JPH0814317B2 - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPH0814317B2 JPH0814317B2 JP63006895A JP689588A JPH0814317B2 JP H0814317 B2 JPH0814317 B2 JP H0814317B2 JP 63006895 A JP63006895 A JP 63006895A JP 689588 A JP689588 A JP 689588A JP H0814317 B2 JPH0814317 B2 JP H0814317B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- flange
- gas
- storage groove
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Gasket Seals (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空装置に係わり、特に真空容器の下端開口
部に設けられたフランジに形成されたＯリング収納溝の
改良に関する。
部に設けられたフランジに形成されたＯリング収納溝の
改良に関する。
〔従来の技術〕 一般にＯリング収納溝には、第７図に示すように断面
が角形のＯリング収納溝と、第８図に示すように断面が
台形状のＯリング収納溝とがあり、このうち第８図に示
すＯリング収納溝１は鉛直下のフランジ面であってもＯ
リング２が脱落しないため、下方が開口した縦型の真空
容器などに使用されている。
が角形のＯリング収納溝と、第８図に示すように断面が
台形状のＯリング収納溝とがあり、このうち第８図に示
すＯリング収納溝１は鉛直下のフランジ面であってもＯ
リング２が脱落しないため、下方が開口した縦型の真空
容器などに使用されている。
しかしながら、上記のようなＯリング収納溝はフラン
ジの開口部をシール板で塞いだ際、第９図に示すように
Ｏリング収納溝１とＯリング２との間隙部３にガスが残
留し、この残留ガスが真空側へ徐々にリークするため、
真空容器内を排気するのに時間がかかるという不具合が
あった。
ジの開口部をシール板で塞いだ際、第９図に示すように
Ｏリング収納溝１とＯリング２との間隙部３にガスが残
留し、この残留ガスが真空側へ徐々にリークするため、
真空容器内を排気するのに時間がかかるという不具合が
あった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされた
もので、その目的は減圧時に残留ガスが真空側へリーク
するようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に
到達させることができる真空装置を提供することにあ
る。
もので、その目的は減圧時に残留ガスが真空側へリーク
するようなことがなく、真空容器内を短時間で高真空に
到達させることができる真空装置を提供することにあ
る。
上記目的を達成するために本発明は、真空容器と、こ
の真空容器の下端に設けられ断面が逆台形形状のＯリン
グ収納溝を下面に有するフランジと、前記Ｏリング収納
溝内に収容され断面が円形形状のＯリングと、このＯリ
ングを介して前記フランジの開口部を気密に閉塞するシ
ール板とを有する真空装置において、前記フランジの下
面に前記Ｏリング収納溝に残留したガスを前記真空容器
側へ排出するためのガス抜き穴を設けたことを特徴とす
る。
の真空容器の下端に設けられ断面が逆台形形状のＯリン
グ収納溝を下面に有するフランジと、前記Ｏリング収納
溝内に収容され断面が円形形状のＯリングと、このＯリ
ングを介して前記フランジの開口部を気密に閉塞するシ
ール板とを有する真空装置において、前記フランジの下
面に前記Ｏリング収納溝に残留したガスを前記真空容器
側へ排出するためのガス抜き穴を設けたことを特徴とす
る。
本発明では、フランジの開口部をシール板で塞いだ際
にＯリングとＯリング収納溝との間隙部にガスが残留し
てもＯリング収納溝に設けられたガス抜き手段により残
留ガスを真空側に速やかに排気できるため、減圧時に残
留ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空容
器内を短時間で高真空に到達させることができる。
にＯリングとＯリング収納溝との間隙部にガスが残留し
てもＯリング収納溝に設けられたガス抜き手段により残
留ガスを真空側に速やかに排気できるため、減圧時に残
留ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空容
器内を短時間で高真空に到達させることができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図ないし第４図は本発明の第１実施例を示すもの
で、図中11は図示しない真空容器の下端に設けられたフ
ランジである。このフランジ11の下面であるフランジ面
12には断面が逆台形状のＯリング収納溝13が設けられて
いる。上記Ｏリング収納溝13内には弾性材からなるＯリ
ング14が保持されており、Ｏリング収納溝13の底面と側
癖に接触している。
で、図中11は図示しない真空容器の下端に設けられたフ
ランジである。このフランジ11の下面であるフランジ面
12には断面が逆台形状のＯリング収納溝13が設けられて
いる。上記Ｏリング収納溝13内には弾性材からなるＯリ
ング14が保持されており、Ｏリング収納溝13の底面と側
癖に接触している。
また、上記Ｏリング収納溝13上にはＯリング収納溝13
の幅より径の大きい複数のガス抜き穴15…がガス抜き手
段として複数箇所に設けられている。これらのガス抜き
穴15…はＯリング収納溝13とＯリング14との間隙部16に
通じており、この間隙部16に残留したガスをガス抜き穴
15より真空側に排気できるようになっている。
の幅より径の大きい複数のガス抜き穴15…がガス抜き手
段として複数箇所に設けられている。これらのガス抜き
穴15…はＯリング収納溝13とＯリング14との間隙部16に
通じており、この間隙部16に残留したガスをガス抜き穴
15より真空側に排気できるようになっている。
上記のような構成において、フランジ11の開口部17を
図示しないシール板で塞ぐと、Ｏリング14は第４図に示
すようにＯリング収納溝13内に押し潰される。このと
き、Ｏリング収納溝13とＯリング14との間隙部16にはガ
スが残留するが、本実施例では間隙部16に残留したガス
をガス抜き穴15より真空側へ排気できるため、減圧時に
残留ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空
容器内を短時間で高真空に到達させることができる。
図示しないシール板で塞ぐと、Ｏリング14は第４図に示
すようにＯリング収納溝13内に押し潰される。このと
き、Ｏリング収納溝13とＯリング14との間隙部16にはガ
スが残留するが、本実施例では間隙部16に残留したガス
をガス抜き穴15より真空側へ排気できるため、減圧時に
残留ガスが真空側へリークするようなことがなく、真空
容器内を短時間で高真空に到達させることができる。
第５図および第６図は本発明の第２実施例を示すもの
で、この実施例ではガス抜き手段として溝状のガス抜き
穴18がＯリング収納溝13上の複数箇所に設けられてい
る。上記ガス抜き穴18はフランジ11の半径方向に沿って
設けられ、断面が円弧状をなしている。
で、この実施例ではガス抜き手段として溝状のガス抜き
穴18がＯリング収納溝13上の複数箇所に設けられてい
る。上記ガス抜き穴18はフランジ11の半径方向に沿って
設けられ、断面が円弧状をなしている。
このような形状のガス抜き穴18をＯリング収納溝13上
の複数箇所に設けることにより、前記第１実施例と同様
に残留ガスをガス抜き穴18より真空側に排気できるた
め、真空容器内を短時間で高真空に到達させることがで
きる。
の複数箇所に設けることにより、前記第１実施例と同様
に残留ガスをガス抜き穴18より真空側に排気できるた
め、真空容器内を短時間で高真空に到達させることがで
きる。
なお、本発明は上述した第１及び第２実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々の設計的変更が可能である。
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々の設計的変更が可能である。
以上説明したように本発明によれば、真空ポンプを駆
動して真空容器内を真空排気すると、Ｏリング収納溝内
に残留したガスがガス抜き穴を通って真空容器側に吸引
され、真空容器内のガスと共に外部に排出されるので、
真空容器内を短時間で真空状態にすることができる。
動して真空容器内を真空排気すると、Ｏリング収納溝内
に残留したガスがガス抜き穴を通って真空容器側に吸引
され、真空容器内のガスと共に外部に排出されるので、
真空容器内を短時間で真空状態にすることができる。
第１図は本発明の第１実施例を示すＯリング収納溝の平
面図、第２図はその部分詳細図、第３図は第２図に示す
III−III線の矢視断面図、第４図は同実施例の作用を示
す図、第５図は本発明の第２実施例を示すＯリング収納
溝の部分平面図、第６図は第５図に示すVI−VI線の矢視
断面図、第７図ないし第９図は従来例を示す図である。 11……フランジ、12……フランジ面、13……Ｏリング収
納溝、14……Ｏリング、15……ガス抜き穴、16……間隙
部、18……ガス抜き穴。
面図、第２図はその部分詳細図、第３図は第２図に示す
III−III線の矢視断面図、第４図は同実施例の作用を示
す図、第５図は本発明の第２実施例を示すＯリング収納
溝の部分平面図、第６図は第５図に示すVI−VI線の矢視
断面図、第７図ないし第９図は従来例を示す図である。 11……フランジ、12……フランジ面、13……Ｏリング収
納溝、14……Ｏリング、15……ガス抜き穴、16……間隙
部、18……ガス抜き穴。
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、この真空容器の下端に設けら
れ断面が逆台形形状のＯリング収納溝を下面に有するフ
ランジと、前記Ｏリング収納溝内に収容され断面が円形
形状のＯリングと、このＯリングを介して前記フランジ
の開口部を気密に閉塞するシール板とを有する真空装置
において、前記フランジの下面に前記Ｏリング収納溝に
残留したガスを前記真空容器側へ排出するためのガス抜
き穴を設けたことを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006895A JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63006895A JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182670A JPH01182670A (ja) | 1989-07-20 |
| JPH0814317B2 true JPH0814317B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=11650958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63006895A Expired - Lifetime JPH0814317B2 (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814317B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4449292B2 (ja) * | 2002-10-30 | 2010-04-14 | パナソニック株式会社 | 遮断弁 |
| JP2006038051A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Daikin Ind Ltd | 弾性シール部材 |
| JP2011080607A (ja) * | 2011-01-26 | 2011-04-21 | Daikin Industries Ltd | 弾性シール部材 |
| JP7368263B2 (ja) * | 2020-02-14 | 2023-10-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP63006895A patent/JPH0814317B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01182670A (ja) | 1989-07-20 |
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