JPH08144977A - 複合ドライ真空ポンプ - Google Patents
複合ドライ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH08144977A JPH08144977A JP6289822A JP28982294A JPH08144977A JP H08144977 A JPH08144977 A JP H08144977A JP 6289822 A JP6289822 A JP 6289822A JP 28982294 A JP28982294 A JP 28982294A JP H08144977 A JPH08144977 A JP H08144977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- rotors
- closed chamber
- rotor
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/18—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with similar tooth forms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸気口側圧力が変動しても所要動力がほぼ一
定であり、しかもコンパクな構成の複合ドライ真空ポン
プを提案すること。 【構成】 複合ドライ真空ポンプ１は、密閉室１２、１
１を備え、それらの内部には一対のスクリューロータ
５、６および、これらの先端に同軸状に取り付けた一対
のルーツロータ２、３が配列されている。ロータ５、６
およびロータ２、３は、モータ４によって逆方向に等速
回転して、端壁３１に開けた吸気口３２から流体を吸引
して、他方の端壁３０の外周に開けた排気口から排出す
る。ルーツロータ２、３の側の所要動力変動と、スクリ
ューロータ５、６の側の所要動力変動は、吸気口側圧力
の変動に対して逆の特性となっており、従ってポンプ全
体の所要動力特性は全圧力領域に渡ってほぼ一定とな
る。よって、所要動力の増大に伴う過圧縮等の弊害を回
避できる。また、スクリューロータの先端側にルーツロ
ータを同軸状に取り付けた構成を採用しているので、装
置全体をコンパクトに構成できる。
定であり、しかもコンパクな構成の複合ドライ真空ポン
プを提案すること。 【構成】 複合ドライ真空ポンプ１は、密閉室１２、１
１を備え、それらの内部には一対のスクリューロータ
５、６および、これらの先端に同軸状に取り付けた一対
のルーツロータ２、３が配列されている。ロータ５、６
およびロータ２、３は、モータ４によって逆方向に等速
回転して、端壁３１に開けた吸気口３２から流体を吸引
して、他方の端壁３０の外周に開けた排気口から排出す
る。ルーツロータ２、３の側の所要動力変動と、スクリ
ューロータ５、６の側の所要動力変動は、吸気口側圧力
の変動に対して逆の特性となっており、従ってポンプ全
体の所要動力特性は全圧力領域に渡ってほぼ一定とな
る。よって、所要動力の増大に伴う過圧縮等の弊害を回
避できる。また、スクリューロータの先端側にルーツロ
ータを同軸状に取り付けた構成を採用しているので、装
置全体をコンパクトに構成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置等におけ
る反応室を真空引きし、あるいは反応室内で生成された
ガス等を排出するために使用する真空ドライポンプに関
するものである。
る反応室を真空引きし、あるいは反応室内で生成された
ガス等を排出するために使用する真空ドライポンプに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空ドライポンプの一種であるルーツポ
ンプは、低圧域では、所要動力が小さい割に排気速度が
大きいのでブースタポンプとして多用されている。例え
ば、図６に示すように、真空側にルーツポンプ１００が
配置され、大気側に油回転ポンプあるいはドライポンプ
２００が配置された多段ポンプを用いて、半導体製造装
置の反応室等の高真空度を得るようにしている。
ンプは、低圧域では、所要動力が小さい割に排気速度が
大きいのでブースタポンプとして多用されている。例え
ば、図６に示すように、真空側にルーツポンプ１００が
配置され、大気側に油回転ポンプあるいはドライポンプ
２００が配置された多段ポンプを用いて、半導体製造装
置の反応室等の高真空度を得るようにしている。
【０００３】図７には、ルーツポンプの排気速度特性
と、油回転ポンプあるいはドライポンプの排気速度特性
を示してある。これらの特性曲線から分かるように、ル
ーツポンプは大気側の荒引きポンプである油回転ポンプ
あるいはドライポンプに比べて排気速度が大きい。この
ため、一般的に高圧力区域において過圧縮状態に陥り易
い。過圧縮状態に陥った場合には、ポンプの運転を停止
するか、あるいは回転数を下げて、過圧縮状態を回避す
る必要がある。このような過圧縮状態が発生しないよう
にするためには、ポンプの吸気口側圧力に対する所要動
力の変動を少なくする必要がある。
と、油回転ポンプあるいはドライポンプの排気速度特性
を示してある。これらの特性曲線から分かるように、ル
ーツポンプは大気側の荒引きポンプである油回転ポンプ
あるいはドライポンプに比べて排気速度が大きい。この
ため、一般的に高圧力区域において過圧縮状態に陥り易
い。過圧縮状態に陥った場合には、ポンプの運転を停止
するか、あるいは回転数を下げて、過圧縮状態を回避す
る必要がある。このような過圧縮状態が発生しないよう
にするためには、ポンプの吸気口側圧力に対する所要動
力の変動を少なくする必要がある。
【０００４】しかしながら、従来においてルーツポンプ
と組み合わせて使用されている油回転ポンプあるいはド
ライポンプにおける吸気口側圧力に対する所要動力特性
は、ルーツポンプと同様に大気圧側で所要動力が大きく
なる傾向を持っているので、所要動力の変動を抑制する
ことができない。
と組み合わせて使用されている油回転ポンプあるいはド
ライポンプにおける吸気口側圧力に対する所要動力特性
は、ルーツポンプと同様に大気圧側で所要動力が大きく
なる傾向を持っているので、所要動力の変動を抑制する
ことができない。
【０００５】一方、従来のように高圧縮比（高真空度）
を得るために多段にポンプを連結した場合には装置寸法
が増加して、コンパクトに出来ないという問題点もあ
る。
を得るために多段にポンプを連結した場合には装置寸法
が増加して、コンパクトに出来ないという問題点もあ
る。
【０００６】本発明の課題は、このような点に鑑みて、
所要動力の変動が少なく、しかもコンパクトな構成の複
合ドライ真空ポンプを提案することにある。
所要動力の変動が少なく、しかもコンパクトな構成の複
合ドライ真空ポンプを提案することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の発明者は、本願人が先に提案しているス
クリューロータポンプ（実願平４−７１５２１号、同４
−７１５２２号）の所要動力特性に着目し、スクリュー
ロータとルーツロータとを同軸状に連結することによ
り、動力変動が少なく、しかもコンパクトな構造の複合
ドライ真空ポンプを構成するようにしている。
めに、本発明の発明者は、本願人が先に提案しているス
クリューロータポンプ（実願平４−７１５２１号、同４
−７１５２２号）の所要動力特性に着目し、スクリュー
ロータとルーツロータとを同軸状に連結することによ
り、動力変動が少なく、しかもコンパクトな構造の複合
ドライ真空ポンプを構成するようにしている。
【０００８】すなわち、本発明の複合ドライ真空ポンプ
は次の（ａ）から（ｍ）の構成を備えたことを特徴とし
ている。
は次の（ａ）から（ｍ）の構成を備えたことを特徴とし
ている。
【０００９】（ａ）仕切り壁で仕切られた第１の密閉室
および第２の密閉室 （ｂ）前記第１の密閉室内に配置されていると共に外周
に角ねじが等リードで形成された第１のスクリューロー
タ （ｃ）第１の密閉室内に配置されていると共に外周に前
記角ねじに噛み合っている等リードの角ネジが形成され
た第２のスクリューロータ （ｄ）前記第１および第２のスクリューロータの先端か
らそれぞれ同軸状に延びて前記仕切り壁を貫通して前記
第２の密閉室内まで延びている第１および第２のロータ
先端軸部 （ｅ）これらの第１および第２のロータ先端軸部のそれ
ぞれに取付けられた第１および第２のルーツロータ （ｆ）前記第１および第２のスクリューロータの基端か
ら第１の密閉室の端壁を貫通して同軸状に延びている第
１および第２のロータ基端軸部 （ｇ）前記第１および第２のスクリューロータを回転さ
せるための駆動モータ （ｈ）前記第１および第２のスクリューロータが同一速
度で逆向きに回転するように前記駆動モータの回転力を
各スクリューロータに伝達する動力伝達機構 （ｉ）前記仕切り壁に対して前記第１および第２のロー
タ先端軸部を回転自在に支持している軸受け機構 （ｊ）前記第１の密閉室の端壁に対して前記第１および
第２のロータ基端軸部を回転自在に支持している軸受け
機構 （ｋ）前記第２の密閉室の端壁に形成され、当該密閉室
内に連通している吸気口 （ｌ）前記仕切り壁に形成された、前記第１および第２
の密閉室内を相互に連通している連通孔 （ｍ）前記第１の密閉室の端壁に形成され、当該密閉室
内に連通している排気口
および第２の密閉室 （ｂ）前記第１の密閉室内に配置されていると共に外周
に角ねじが等リードで形成された第１のスクリューロー
タ （ｃ）第１の密閉室内に配置されていると共に外周に前
記角ねじに噛み合っている等リードの角ネジが形成され
た第２のスクリューロータ （ｄ）前記第１および第２のスクリューロータの先端か
らそれぞれ同軸状に延びて前記仕切り壁を貫通して前記
第２の密閉室内まで延びている第１および第２のロータ
先端軸部 （ｅ）これらの第１および第２のロータ先端軸部のそれ
ぞれに取付けられた第１および第２のルーツロータ （ｆ）前記第１および第２のスクリューロータの基端か
ら第１の密閉室の端壁を貫通して同軸状に延びている第
１および第２のロータ基端軸部 （ｇ）前記第１および第２のスクリューロータを回転さ
せるための駆動モータ （ｈ）前記第１および第２のスクリューロータが同一速
度で逆向きに回転するように前記駆動モータの回転力を
各スクリューロータに伝達する動力伝達機構 （ｉ）前記仕切り壁に対して前記第１および第２のロー
タ先端軸部を回転自在に支持している軸受け機構 （ｊ）前記第１の密閉室の端壁に対して前記第１および
第２のロータ基端軸部を回転自在に支持している軸受け
機構 （ｋ）前記第２の密閉室の端壁に形成され、当該密閉室
内に連通している吸気口 （ｌ）前記仕切り壁に形成された、前記第１および第２
の密閉室内を相互に連通している連通孔 （ｍ）前記第１の密閉室の端壁に形成され、当該密閉室
内に連通している排気口
【００１０】
【作用】本発明の複合ドライ真空ポンプでは、真空側に
ルーツポンプが構成され、大気側にスクリューポンプが
構成される。ルーツポンプの所要動力特性は、大気側で
大きく、真空側で小さい。これに対して、スクリューポ
ンプの所要動力特性は、大気側で小さく、真空側で大き
い。したがって、ポンプ全体としては、吸気口圧力に対
する所要動力の変動を抑制でき、ほぼ一定にすることが
できる。よって、ポンプが過圧縮状態に陥ることが回避
される。
ルーツポンプが構成され、大気側にスクリューポンプが
構成される。ルーツポンプの所要動力特性は、大気側で
大きく、真空側で小さい。これに対して、スクリューポ
ンプの所要動力特性は、大気側で小さく、真空側で大き
い。したがって、ポンプ全体としては、吸気口圧力に対
する所要動力の変動を抑制でき、ほぼ一定にすることが
できる。よって、ポンプが過圧縮状態に陥ることが回避
される。
【００１１】また、本発明のポンプでは、一対のスクリ
ューロータの先端を延ばして、ルーツロータを同軸状に
取り付けた構造を採用している。よって、別個に構成さ
れたポンプを組み合わせた多段ポンプに比べて、装置構
成がコンパクトになる。
ューロータの先端を延ばして、ルーツロータを同軸状に
取り付けた構造を採用している。よって、別個に構成さ
れたポンプを組み合わせた多段ポンプに比べて、装置構
成がコンパクトになる。
【００１２】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１３】図１には、本例の複合ドライ真空ポンプの
主要構造部分を示してある。本例の複合ドライ真空ポン
プ１は、先端側に一対のルーツロータ２、３が内蔵さ
れ、基端側には駆動モータ４が取付けられ、これらの間
には、一対のスクリューロータ５、６がルーツロータ
２、３と同軸状態で内蔵された構成となっている。
主要構造部分を示してある。本例の複合ドライ真空ポン
プ１は、先端側に一対のルーツロータ２、３が内蔵さ
れ、基端側には駆動モータ４が取付けられ、これらの間
には、一対のスクリューロータ５、６がルーツロータ
２、３と同軸状態で内蔵された構成となっている。
【００１４】詳細に説明すると、ポンプケーシング７の
内部には、仕切り壁８を挟み、真空側の密閉室１１と大
気側の密閉室１２が区画形成されている。大気側の密閉
室１２の内部には、一対のスクリューロータ５、６が平
行に配列されている。各スクリューロータ５、６の外周
には、角ねじ５１、６１が等リードでらせん状に形成さ
れている。これらのスクリューロータ５、６の先端は、
それぞれ仕切り壁８を貫通して真空側の密閉室１１の中
まで延びており、仕切り壁８を貫通している部分は、そ
れぞれ軸受け１３、１４によって回転自在に支持されて
いる。これらの軸受け１３、１４の両側にはシールが取
付けられており、双方の密閉室１１、１２の間を封鎖し
ている。図２には密閉室１２の断面形状を示してある。
内部には、仕切り壁８を挟み、真空側の密閉室１１と大
気側の密閉室１２が区画形成されている。大気側の密閉
室１２の内部には、一対のスクリューロータ５、６が平
行に配列されている。各スクリューロータ５、６の外周
には、角ねじ５１、６１が等リードでらせん状に形成さ
れている。これらのスクリューロータ５、６の先端は、
それぞれ仕切り壁８を貫通して真空側の密閉室１１の中
まで延びており、仕切り壁８を貫通している部分は、そ
れぞれ軸受け１３、１４によって回転自在に支持されて
いる。これらの軸受け１３、１４の両側にはシールが取
付けられており、双方の密閉室１１、１２の間を封鎖し
ている。図２には密閉室１２の断面形状を示してある。
【００１５】真空側の密閉室１１の内部に延びているス
クリューロータの先端軸部５２、６２の外周には、それ
ぞれ、ルーツロータ２、３が固着されている。図３に
は、本例の密閉室１２の断面形状およびルーツロータ
２、３の形状を示してある。この図に示すように、本例
のルーツロータ２、３は五葉形状をしたものを使用して
いる。勿論、三葉形状等のその他の形状のものを使用し
てもよい。
クリューロータの先端軸部５２、６２の外周には、それ
ぞれ、ルーツロータ２、３が固着されている。図３に
は、本例の密閉室１２の断面形状およびルーツロータ
２、３の形状を示してある。この図に示すように、本例
のルーツロータ２、３は五葉形状をしたものを使用して
いる。勿論、三葉形状等のその他の形状のものを使用し
てもよい。
【００１６】一方、スクリューロータ５、６の基端側
は、密閉室１２の端壁３０を貫通して、歯車室２１の内
部まで延びている。各スクリューロータ５、６の基端側
軸部５３、６３は、端壁３０に配置した軸受け２２、２
３によって回転自在に支持されている。これらの軸受け
２２、２３にはシールが取付けられ、密閉室１２の密閉
状態が確保されている。歯車室２１の内部に延びている
スクリューロータ５の基端側軸部５３にはアイドルギア
２４が固着され、このアイドルギア２４は、他方のスク
リューロータ６の基端側軸部６３に固着したタイミング
ギヤ２５と噛み合っている。アイドルギヤ２４には従動
ギヤ２６が一体形成されており、この従動ギヤ２６は、
歯車室２１の内部に突出しているモータ４の出力軸４１
に固着した駆動ギヤ２７に噛み合っている。本例では、
これらのギヤ列を介して、スクリューロータ５、６は、
逆方向に等速回転するようになっている。したがって、
これらのスクリューロータ５、６の先端側軸部５２、６
２に固着されているルーツロータ２、３も逆方向に等速
回転する。
は、密閉室１２の端壁３０を貫通して、歯車室２１の内
部まで延びている。各スクリューロータ５、６の基端側
軸部５３、６３は、端壁３０に配置した軸受け２２、２
３によって回転自在に支持されている。これらの軸受け
２２、２３にはシールが取付けられ、密閉室１２の密閉
状態が確保されている。歯車室２１の内部に延びている
スクリューロータ５の基端側軸部５３にはアイドルギア
２４が固着され、このアイドルギア２４は、他方のスク
リューロータ６の基端側軸部６３に固着したタイミング
ギヤ２５と噛み合っている。アイドルギヤ２４には従動
ギヤ２６が一体形成されており、この従動ギヤ２６は、
歯車室２１の内部に突出しているモータ４の出力軸４１
に固着した駆動ギヤ２７に噛み合っている。本例では、
これらのギヤ列を介して、スクリューロータ５、６は、
逆方向に等速回転するようになっている。したがって、
これらのスクリューロータ５、６の先端側軸部５２、６
２に固着されているルーツロータ２、３も逆方向に等速
回転する。
【００１７】ここで、真空側の密閉室１１は、その端壁
３１の側に吸気口３２が形成されている。また、仕切り
壁８には、この密閉室１１と大気側の密閉室１２を連通
している連通孔８１が形成されている。さらに、大気側
の密閉室１２の端壁３０には、この端壁の外周面に開け
た排気口（図示せず）に連通している連通孔３３が形成
されている。したがって、吸気口３２から、密閉室１
１、連通孔８１、密閉室１２、連通孔３３を介して、排
気口に通ずる吸排気経路が形成されている。
３１の側に吸気口３２が形成されている。また、仕切り
壁８には、この密閉室１１と大気側の密閉室１２を連通
している連通孔８１が形成されている。さらに、大気側
の密閉室１２の端壁３０には、この端壁の外周面に開け
た排気口（図示せず）に連通している連通孔３３が形成
されている。したがって、吸気口３２から、密閉室１
１、連通孔８１、密閉室１２、連通孔３３を介して、排
気口に通ずる吸排気経路が形成されている。
【００１８】このように本例の複合ドライ真空ポンプ１
においては、真空側にルーツポンプ機構が構成され、大
気側にはスクリューポンプ機構が構成されている。ま
た、本例では、これらの機構が同軸状態に配列されてい
る。モータ４を駆動することにより、一対のスクリュー
ロータ５、６、および一対のルーツロータ２、３が逆方
向に等速回転して、吸気口３２から吸引された空気等の
流体が、排気口から大気側に放出される。例えば、半導
体製造装置の反応室に対して、ポンプ１の吸気口３２を
接続して、ポンプ１を駆動すると、反応室内が真空引き
されて、その中が高真空となる。
においては、真空側にルーツポンプ機構が構成され、大
気側にはスクリューポンプ機構が構成されている。ま
た、本例では、これらの機構が同軸状態に配列されてい
る。モータ４を駆動することにより、一対のスクリュー
ロータ５、６、および一対のルーツロータ２、３が逆方
向に等速回転して、吸気口３２から吸引された空気等の
流体が、排気口から大気側に放出される。例えば、半導
体製造装置の反応室に対して、ポンプ１の吸気口３２を
接続して、ポンプ１を駆動すると、反応室内が真空引き
されて、その中が高真空となる。
【００１９】図４には、本例のポンプ１の所要動力特性
を示してある。この特性曲線Ａから分かるように、吸気
口圧力の如何にかかわらず、ポンプの所要動力（消費電
力）はほぼ一定に保持される。すなわち、この図の曲線
Ｂで示すように、ルーツポンプ単体での所要動力特性は
吸気口圧力が大気側に移行すると増大する。しかるに、
スクリューロータポンプの所要動力特性は、図の曲線Ｃ
で示すように、曲線Ｂとは逆に大気側に移行すると低下
する。これは、スクリューロータポンプでは、内部で流
体圧縮が行われないので、吸気口圧力が大気側に移行す
ると所要動力が少なくなる。逆に、吸気口圧力が真空側
に移行すると所要動力が増大する。すなわち、排気口側
との圧力差に応じて角ねじに作用する応力によって、ス
クリューロータには角ねじのリード角に応じたトルクが
増大するので、それに応じて所要動力が増大する。よっ
て、これらを複合した構造を備えた本例のポンプ１で
は、曲線Ａで示すように、全圧力領域に渡り所要動力は
ほぼ一定に保持されることになる。
を示してある。この特性曲線Ａから分かるように、吸気
口圧力の如何にかかわらず、ポンプの所要動力（消費電
力）はほぼ一定に保持される。すなわち、この図の曲線
Ｂで示すように、ルーツポンプ単体での所要動力特性は
吸気口圧力が大気側に移行すると増大する。しかるに、
スクリューロータポンプの所要動力特性は、図の曲線Ｃ
で示すように、曲線Ｂとは逆に大気側に移行すると低下
する。これは、スクリューロータポンプでは、内部で流
体圧縮が行われないので、吸気口圧力が大気側に移行す
ると所要動力が少なくなる。逆に、吸気口圧力が真空側
に移行すると所要動力が増大する。すなわち、排気口側
との圧力差に応じて角ねじに作用する応力によって、ス
クリューロータには角ねじのリード角に応じたトルクが
増大するので、それに応じて所要動力が増大する。よっ
て、これらを複合した構造を備えた本例のポンプ１で
は、曲線Ａで示すように、全圧力領域に渡り所要動力は
ほぼ一定に保持されることになる。
【００２０】図５には、本例のポンプ１の排気速度特性
を示してある。この図においては破線によりスクリュー
ポンプ単体での排気速度特性も併せて描いてある。
を示してある。この図においては破線によりスクリュー
ポンプ単体での排気速度特性も併せて描いてある。
【００２１】このように、本例のポンプを使用すれば、
従来の多段ポンプのように過圧縮状態に陥ることがな
い。また、全圧力領域に渡って所要動力がほぼ一定なの
で、必要なモータ出力が小さくで済む。すなわち、小容
量のモータを使用できる。
従来の多段ポンプのように過圧縮状態に陥ることがな
い。また、全圧力領域に渡って所要動力がほぼ一定なの
で、必要なモータ出力が小さくで済む。すなわち、小容
量のモータを使用できる。
【００２２】一方、本例では、一対のスクリューロータ
に先端側に、同軸状態でルーツロータを取り付けた構成
を採用している。したがって、２台のポンプを連結した
場合に比べて、装置をコンパクトに構成することができ
る。
に先端側に、同軸状態でルーツロータを取り付けた構成
を採用している。したがって、２台のポンプを連結した
場合に比べて、装置をコンパクトに構成することができ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の複合ドラ
イ真空ポンプは、一対のスクリューロータと、これらの
先端に同軸状態で取り付けた一対のルーツロータから構
成してある。よって、所要動力特性を吸気口圧力の変動
にかかわらずほぼ一定に保持することができ、過圧縮状
態等の不具合を回避できる。また、本発明によれば、装
置全体をコンパクトに構成することができる。
イ真空ポンプは、一対のスクリューロータと、これらの
先端に同軸状態で取り付けた一対のルーツロータから構
成してある。よって、所要動力特性を吸気口圧力の変動
にかかわらずほぼ一定に保持することができ、過圧縮状
態等の不具合を回避できる。また、本発明によれば、装
置全体をコンパクトに構成することができる。
【図１】本発明の一実施例である複合ドライ真空ポンプ
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図２】図１のポンプのスクリューロータの部分を示す
断面構成図である。
断面構成図である。
【図３】図１のポンプのルーツロータの部分を示す断面
構成図である。
構成図である。
【図４】図１のポンプの所要動力特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図５】図１のポンプの排気速度特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図６】従来の多段ドライ真空ポンプを示す構成図であ
る。
る。
【図７】図６のポンプの排気速度特性を示す特性曲線図
である。
である。
１・・・複合ドライ真空ポンプ ２、３・・・ルーツロータ ４・・・モータ ５、６・・・スクリューロータ １１・・・真空側の密閉室（第２の密閉室） １２・・・大気側の密閉室（第１の密閉室） １３、１４、２２、２３・・・軸受け ２４、２５、２６、２７・・・ギヤ ３０、３１・・・端壁 ３２・・・吸気口 ３３、８１・・・連通孔 ５１、６１・・・角ねじ ５２、６２・・・先端側軸部 ５３、６３・・・基端側軸部 ８・・・仕切り壁
Claims (1)
- 【請求項１】 仕切り壁で仕切られた第１の密閉室およ
び第２の密閉室と、前記第１の密閉室内に配置されてい
ると共に外周に角ねじが等リードで形成された第１のス
クリューロータと、同じく第１の密閉室内に配置されて
いると共に外周に前記角ねじに噛み合っている等リード
の角ネジが形成された第２のスクリューロータと、前記
第１および第２のスクリューロータの先端からそれぞれ
同軸状に延びて前記仕切り壁を貫通して前記第２の密閉
室内まで延びている第１および第２のロータ先端軸部
と、これらの第１および第２のロータ先端軸部のそれぞ
れに取付けられた第１および第２のルーツロータと、前
記第１および第２のスクリューロータの基端から第１の
密閉室の端壁を貫通して同軸状に延びている第１および
第２のロータ基端軸部と、前記第１および第２のスクリ
ューロータを回転させるための駆動モータと、前記第１
および第２のスクリューロータが同一速度で逆向きに回
転するように前記駆動モータの回転力を各スクリューロ
ータに伝達する動力伝達機構と、前記仕切り壁に対して
前記第１および第２のロータ先端軸部を回転自在に支持
している軸受け機構と、前記第１の密閉室の端壁に対し
て前記第１および第２のロータ基端軸部を回転自在に支
持している軸受け機構と、前記第２の密閉室の端壁に形
成され、当該密閉室内に連通している吸気口と、前記仕
切り壁に形成され、前記第１および第２の密閉室内を相
互に連通している連通孔と、前記第１の密閉室の端壁に
形成され、当該密閉室内に連通している排気口とを有す
ることを特徴とする複合ドライ真空ポンプ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6289822A JPH08144977A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 複合ドライ真空ポンプ |
| US08/398,441 US5549463A (en) | 1994-11-24 | 1995-03-03 | Composite dry vacuum pump having roots and screw rotors |
| KR1019950005782A KR0151320B1 (ko) | 1994-11-24 | 1995-03-20 | 복합 드라이 진공 펌프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6289822A JPH08144977A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 複合ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08144977A true JPH08144977A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17748223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6289822A Pending JPH08144977A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 複合ドライ真空ポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5549463A (ja) |
| JP (1) | JPH08144977A (ja) |
| KR (1) | KR0151320B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004501308A (ja) * | 2000-04-18 | 2004-01-15 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ２つの協働するロータを備えた真空ポンプ |
| DE102008008683A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki, Kariya | Verbundfluidmaschine |
| KR100855187B1 (ko) * | 2006-11-16 | 2008-09-01 | (주)엘오티베큠 | 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 |
| JP2015081712A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | 株式会社大川原製作所 | 乾燥・濃縮方法並びにその装置 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19519247C2 (de) * | 1995-05-25 | 2000-08-31 | Guenter Kirsten | Schraubenverdichter |
| EP0965756B1 (en) * | 1998-06-17 | 2006-02-08 | The BOC Group plc | Screw pump |
| US6129534A (en) * | 1999-06-16 | 2000-10-10 | The Boc Group Plc | Vacuum pumps |
| JP2001207984A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-08-03 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空排気装置 |
| DE10004373B4 (de) * | 2000-02-02 | 2007-12-20 | Steffens, Ralf, Dr. Ing. | Trockenverdichtende Schraubenpumpe |
| GB0004404D0 (en) * | 2000-02-24 | 2000-04-12 | Boc Group Plc | Improvements in vacuum pumps |
| AU2002213243A1 (en) * | 2000-10-18 | 2002-04-29 | Leybold Vakuum Gmbh | Multi-stage helical screw rotor |
| JP3673743B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2005-07-20 | 大晃機械工業株式会社 | スクリュー式真空ポンプ |
| JP2003129979A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Taiko Kikai Industries Co Ltd | 密閉式メカニカルブースタ |
| KR100497982B1 (ko) * | 2004-10-01 | 2005-07-01 | (주)엘오티베큠 | 루츠형 로터와 스크루형 로터를 지닌 복합 드라이 진공펌프 |
| GB0525378D0 (en) * | 2005-12-13 | 2006-01-18 | Boc Group Plc | Screw Pump |
| TWI438342B (zh) | 2006-07-28 | 2014-05-21 | Lot Vacuum Co Ltd | 具有魯式與螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦 |
| KR101173168B1 (ko) | 2010-11-17 | 2012-08-16 | 데이비드 김 | 다단형 건식 진공펌프 |
| CN104097025B (zh) * | 2013-04-07 | 2017-12-08 | 吴为国 | 一种罗茨鼓风机及曝气增氧装置 |
| KR101613161B1 (ko) * | 2014-09-05 | 2016-04-18 | 주식회사 우성진공 | 2단형 건식 진공펌프 |
| KR101926658B1 (ko) | 2017-03-15 | 2018-12-07 | 이인철 | 반도체 챔버용 펌프 시스템 |
| DE102019100404B4 (de) * | 2018-01-22 | 2023-06-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Motorgetriebene Wälzkolbenpumpe |
| WO2019148007A1 (en) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | Waterblasting, Llc | Pump for melted thermoplastic materials |
| KR101999646B1 (ko) | 2018-11-15 | 2019-07-12 | 이인철 | 반도체 챔버용 펌프 시스템 |
| CA3128596A1 (fr) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | Ateliers Busch S.A. | Pompe seche pour gaz et jeu de plusieurs pompes seches pour gaz |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1626768A (en) * | 1926-03-08 | 1927-05-03 | Carl W Vollmann | Rotary compressor |
| US3182670A (en) * | 1963-01-16 | 1965-05-11 | Martin Marietta Corp | Means for decontaminating fluid systems |
| US3146717A (en) * | 1963-03-06 | 1964-09-01 | Jr Lewis Tyree | Pumping apparatus |
| SU840414A2 (ru) * | 1979-07-02 | 1981-06-23 | Предприятие П/Я А-3884 | Роторна объемна машина |
| US4504201A (en) * | 1982-11-22 | 1985-03-12 | The Boc Group Plc | Mechanical pumps |
| US5158644A (en) * | 1986-12-19 | 1992-10-27 | Applied Materials, Inc. | Reactor chamber self-cleaning process |
| JPH01237384A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-21 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ装置 |
| JPH03111690A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-13 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空ポンプ |
| US5011520A (en) * | 1989-12-15 | 1991-04-30 | Vector Technical Group, Inc. | Hydrodynamic fume scrubber |
| DE69132867T2 (de) * | 1990-08-01 | 2002-09-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Drehkolbenanlage für flüssige Medien |
| JP3074829B2 (ja) * | 1991-09-05 | 2000-08-07 | 松下電器産業株式会社 | 流体回転装置 |
| JP3074845B2 (ja) * | 1991-10-08 | 2000-08-07 | 松下電器産業株式会社 | 流体回転装置 |
| JPH05195957A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
| JP3569924B2 (ja) * | 1992-03-19 | 2004-09-29 | 松下電器産業株式会社 | 流体回転装置 |
| US5443644A (en) * | 1994-03-15 | 1995-08-22 | Kashiyama Industry Co., Ltd. | Gas exhaust system and pump cleaning system for a semiconductor manufacturing apparatus |
-
1994
- 1994-11-24 JP JP6289822A patent/JPH08144977A/ja active Pending
-
1995
- 1995-03-03 US US08/398,441 patent/US5549463A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-20 KR KR1019950005782A patent/KR0151320B1/ko not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004501308A (ja) * | 2000-04-18 | 2004-01-15 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ２つの協働するロータを備えた真空ポンプ |
| JP4838480B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2011-12-14 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ２つの協働するロータを備えた真空ポンプ |
| KR100855187B1 (ko) * | 2006-11-16 | 2008-09-01 | (주)엘오티베큠 | 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 |
| DE102008008683A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki, Kariya | Verbundfluidmaschine |
| JP2015081712A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | 株式会社大川原製作所 | 乾燥・濃縮方法並びにその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0151320B1 (ko) | 1998-11-02 |
| KR960018251A (ko) | 1996-06-17 |
| US5549463A (en) | 1996-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08144977A (ja) | 複合ドライ真空ポンプ | |
| US8702407B2 (en) | Multistage roots vacuum pump having different tip radius and meshing clearance from inlet stage to exhaust stage | |
| EP1101942A2 (en) | Evacuating apparatus | |
| US7744356B2 (en) | Screw vacuum pump with male and female screw rotors having unequal leads | |
| KR100647012B1 (ko) | 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프 | |
| WO2005042977A1 (en) | Two stage scroll vacuum pump | |
| US6764288B1 (en) | Two stage scroll vacuum pump | |
| JPH01237384A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
| JP2002174174A (ja) | 真空排気装置 | |
| US6638040B2 (en) | Dry vacuum pump | |
| JPH0518380A (ja) | スクリユー形真空ポンプ | |
| JP2591023B2 (ja) | 真空ポンプ装置 | |
| JPS60249689A (ja) | スクリユ−圧縮機 | |
| JP2768156B2 (ja) | ロータリー圧縮機 | |
| JP2002070776A (ja) | 複合型真空ポンプ | |
| JPH07217563A (ja) | スクリュー流体機械の中空ロータ | |
| JP2007263122A (ja) | 真空排気装置 | |
| JP2007298043A (ja) | 真空排気装置 | |
| JPH0726625B2 (ja) | ２段スクリュー真空ポンプ | |
| JP3884101B2 (ja) | オイルフリースクロール真空ポンプ | |
| JP2589865B2 (ja) | 複合型真空ポンプ | |
| JPH04370379A (ja) | ドライ真空ポンプ | |
| JP6653732B2 (ja) | 真空ポンプユニット | |
| KR100469467B1 (ko) | 압축기의 회전축 변속장치 | |
| JP2002174175A (ja) | 真空排気装置 |