JPH0814601B2 - テープキャリヤの検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリヤの検査装置に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化
・薄形化・軽量化実装として又、カメラ・OA機器などの
特殊形状機器への実装の必要性から、IC実装はテープキ
ャリヤ方式が本格的実用段階に入ってきた。テープキャ
リヤは、ICチップの電極配列に合わせたリードパターン
が、スプロケットホールとデバイスホールを持つプラス
チックフィルム上に形成されたものである。このような
テープキャリヤは、連続的にテープ状に形成されてい
て、各デバイスホール部に、ICチップを例えばバンプ方
式でボンディングする。このテープキャリヤのリードパ
ターンとICチップの各電極パッドを接続したものを、テ
ープ状のままピッチ送りして、順次各チップの電気特性
を検査する装置が要望されている。又、上記のように、
テープキャリヤにICチップを装着し、テープ状のままIC
チップの電気特性の検査をする装置は、特公昭62−575
号公報に開示されている。又上記のようなテープキャリ
ヤ状のまま検査を含む装置として特開昭53−27364号公
報に開示されている。

（発明が解決しようとする問題点） ここで、ICを装置したテープキャリヤの検査する装置
の稼働率向上およびそのことに伴ない自動化の促進が要
求されている。

しかしながら、上記記載の公報によるとテープキャリ
ヤに装着された各ICの検査の結果で、不良品と判断され
たものにおいては、インク等によりマークを付加し、後
工程においては、そのマークをパターン認識等により良
・不良の目視判断をしていた。このような構成にする
と、テープキャリヤの検査装置にマーキング機構を設け
る必要があり、装置自体が大型化してしまい、マーキン
グ時間に多くの時間を費やし、又、マーキングミスやマ
ーキング不良が発生した場合、良品を不良品と判断した
り、不良品を良品の判断したりして歩留りおよび信頼性
の低下を招く恐れがあった。さらに、後工程において
も、マーキングの有無を認識する機構が必要となり汎用
性に欠けていた。

この発明は、上記問題点を解決するためになされたも
ので、装置自体の小型化を図ることができると共に検査
の稼働率を向上させて検査を自動化することができ、し
かも検査の信頼性及び歩留まりを向上させることができ
ると共に検査所要時間を把握して次工程の準備等を有効
に行うことができるテープキャリヤの検査装置を提供す
ることを目的としている。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明のテープキャリヤの検査装置は、テープキャ
リヤに装着された多数の電子部品の電気的特性を順次検
査する装置において、上記テープキャリヤに装着された
電子部品の全数及び各電子部品の検査結果を記憶する記
憶機構と、この記憶機構により記憶された検査の結果を
表示する表示機構と、この表示機構に検査の予想終了時
間を表示すべくその検査終了時間を予想する終了時間予
想手段とを備え、上記終了時間予想手段は、上記記憶機
構で記憶された各電子部品個々の検査所要時間をカウン
トすると共にその時間を累計する時間カウンタと、この
時間カウンタによりカウントされた各電子部品を順次累
計する検査済み個数カウンタと、この検査済み個数カウ
ンタによる累計カウント数、上記時間カウンタによる累
計時間及び上記電子部品の全数に基づいて残余の電子部
品の検査所要時間を演算して検査終了予想時間を求める
演算手段とを備えたことを特徴とするものである。

（作用効果） この発明によれば、テープキャリヤに装着された多数
の電子部品の電気的特性を順次検査する際に、各電子部
品について検査を終えると、その検査結果を記憶機構に
記憶すると共に、この記憶機構により記憶された検査結
果を表示機構で表示する。また、この表示機構には検査
終了予想時間を表示することができる。この終了時間を
予想するには終了時間予想手段が作動する。つまり、検
査が始まると時間カウンタが各電子部品の検査に要する
時間を１個ずつカウントすると共にその時間を累計す
る。また、これと並行して検査済み個数カウンタが検査
済みの各電子部品を１個ずつカウントすると共にそのカ
ウント数を順次累計する。次いで、演算手段が検査済み
個数カウンタによる累計カウント数、時間カウンタによ
る累計時間及び記憶装置で記憶された電子部品の全数に
基づいて残余の電子部品の検査に要する時間を演算して
検査終了予想時間を求める。そして、その検査終了予想
時間を表示機構へその都度表示する。

従って、この発明によれば、テープキャリヤに装着さ
れた電子部品を検査する場合に、検査結果を順次記憶機
構へ記憶すると共にその結果を表示機構へ表示するた
め、マーキング機構を必要とせず装置自体の小型化を図
ることができると共に検査の稼働率を向上させて検査を
自動化することができ、しかも検査の信頼性及び歩留ま
りを向上させることができると共に検査所要時間を把握
して次工程の準備等を有効に行うことができる。

（実 施 例） 以下、本発明を第１図〜第４図に示す実施例に基づい
て説明する。

プローブ装置（１）における被検査体であるテープキ
ャリヤ（２）は、第２図に示すように、プラスチックフ
ィルム例えばポリイミドフィルム例えば幅35mm厚さ125
μｍの長手方向の両側縁部（2a）に、所定の一定間隔を
設けて複数個同一大きさの長方形状から成る貫通孔例え
ば角形スプロケットホール（３）が設けられている。さ
らに、長手方向の中央帯位置即ち、ICチップ（４）の実
装位置にも、所定の一定間隔を設けて貫通孔であるデバ
イスホール（図示せず）が設けらている。このデバイス
ホールに対応して実装されるICチップ（４）の各電極端
子（５）が上記テープキャリヤ（２）上に印刷され、こ
の電極パッド（５）と上記ICチップ（４）の端子間を接
続する如く、リードパターン（６）が形成されている。
このようなテープキャリヤ（２）の上記各デバイスホー
ルには、電子部品の半導体素子であるICチップ（４）が
インナーリードボンディング法等により、装着され、こ
の時、ICチップ（４）の各電極パッドと上記各対応する
リードパターン（６）が配線されている。上記のような
ICチップ（４）を装着したテープキャリヤ（２）を検査
するプローブ装置（１）の構成を次に説明する。

このプローブ装置（１）は、第１図に示すように被検
査体であるICチップ（４）を実装したテープキャリヤ
（２）が供給リール（７）の回転軸（８）に巻装されて
いる。

上記供給リール（７）に巻装されたテープキャリヤ
（２）は、テープキャリヤ送り用スプロケット（９）及
び検査部（10）を介して回転軸（11）を中心に回転自在
に設けられた収納リール（12）に巻かれている。上記ス
プロケット（９）は、図示しない駆動装置であるモータ
に連設しており、このモータを正逆方向に選択的に回転
可能とすることにより、所望の回転方向にスプロケット
（９）は、回転可能とされている。又、スプロケット
（９）は、モータごと中心軸方向にスライド自在に設け
られたスライド体（図示せず）に載置されている。この
ようなスプロケット（９）には、第３図に示すように、
テープキャリヤ（２）のスプロケットホール（３）の対
応した位置に突起例えばトラクター（13）が設けられて
いる。このトラクター（13）は、スプロケットホール
（３）に挿入し、かみ合う状態に設けられていて、トラ
クター（13）の送り方向（14）側と上記スプロケットホ
ール（３）の送り方向（14）側との形状が位置合わせし
ながら送ることが可能な形状である。上記スプロケット
（９）は、例えば検査部（10）の前後に２系統設けられ
ている。この検査部（10）には、第３図に示すように、
テープキャリヤ（２）の送り方向（14）順にまず、テー
プキャリヤ（２）上方向に、ITVカメラ（15）が設置さ
れている。このITVカメラ（15）でパターン認識による
画像処理アライメントが行なわれる。次に、プローブユ
ニット（16）が配設されている。このプローブユニット
（16）は、いわゆるプリント基板と呼ばれている基板に
テープキャリヤ（２）に形成された電極端子（５）の配
列パターンに対応する如く多数のプローブ体例えばプロ
ーブ針（17）が配列装着されている。各プローブ針（1
7）の装着位置からは、夫々絶縁状態で図示しないテス
タに接続する如くプリント配線されている。このような
プローブユニット（16）は、図示しない昇降機構に係合
されていて、テープキャリヤ（２）に対して上下方向に
移動可能とされている。又、プローブユニット（16）と
の対向位置であり、テープキャリヤ（２）の下方向に
は、テープキャリヤ（２）を載置固定するための載置台
（18）が設置されている。載置台（18）の上面には、バ
キューム孔（図示せず）が設けられていて、テープキャ
リヤ（２）を真空吸着可能とされている。又、載置台
（18）は、図示しない昇降機構に係合されていて、テー
プキャリヤ（２）に対して上下方向に移動可能であり、
さらに、テープキャリヤ（２）の送り方向（14）に対し
て直角に水平方向にスライド自在とされている。又、上
記ICチップ（４）が装着接続されたテープキャリヤ
（２）が、供給リール（７）及び収納リール（12）に巻
かれる際、上記ICチップ（４）及びテープキャリヤ
（２）の保護の目的で、テープキャリヤ（２）の間にス
ペーサ（19）が巻かれている。このスペーサ（19）は、
上記テープキャリヤ（２）と同じ幅例えば35mmに設けら
れており、このスペーサ（19）の両端即ち、上記テープ
キャリヤ（２）が有するスプロケットホール（３）と対
応する位置に突起が表裏交互に設けられている。この突
起によりテープキャリヤ（２）を供給リール（７）及び
収納リール（12）に巻く際に、上記ICチップ（４）に他
の物が接触することを防止する構成になっている。又、
スペーサ（19）は、テープキャリヤ（２）の移動に従っ
て、テープキャリヤ（２）を離れて供給リール（７）か
ら例えば２箇所に設けられたガイドローラー（20）を介
して収納リール（12）に巻き取られる。この巻き取られ
た時点でスペーサ（19）は、再び検査済テープキャリヤ
（２）と接続して保護をする構成になっている。

上記したようなプローブ装置（１）は、内臓されてい
るCPUにより動作が制御されていて、プローブ装置
（１）の動作設定する場合は、図示しない操作パネルか
らキー入力することが可能とされている。又、上記CPU
には、図示しない記憶機構例えばフロッピィーディスク
やRAM等が接続されていて、テープキャリヤ（２）に装
着されたICチップ（４）の検査結果例えば良・不良や機
能レベルを記憶することが可能とされている。記憶機構
に記憶された検査結果は、CPUを介してプローブ装置
（１）に設けられた表示機構例えばTVモニタ（21）に表
（マップ）にして表示可能とされている。又、図示しな
いプリンターによりプリントアウトすることも可能であ
る。

上述したように、ICチップ（４）を装着したテープキ
ャリヤ（２）をリール・ツゥー・リール方式で搬送し、
ICチップ（４）の電気特性を検査する装置が構成されて
いる。

次に上述したプローブ装置（１）によるテープキャリ
ヤ（２）に実装されたICチップ（４）の検査方法を説明
する。

プローブ装置（１）は、プローブ装置（１）に内臓さ
れているCPUに記憶されたプログラムに従って動作す
る。まず、テープキャリヤ送り用スプロケット（９）及
び収納リール（12）が連動回転する。このことにより、
同速度で検査部（10）にテープキャリヤ（２）を移送す
る。この検査部（10）に移送されたテープキャリヤ
（２）を、ITVカメラ（15）によりアライメントする。
このアライメントは、ITVカメラ（15）の撮像位置に設
置されたテープキャリヤ（２）を撮像し、この撮像出力
と予め記憶されている基準データを比較する。いわゆる
パターン認識を行なう。このアライメント後、テープキ
ャリヤ（２）を所定量だけ送り方向（14）にピッチ送り
し、テープキャリヤ（２）に実装されたICチップ（４）
の検査を実行する。この検査は、送られてきたテープキ
ャリヤ（２）の裏面の載置台（18）の上面において真空
吸着し固定する。この固定状態で、プローブユニット
（16）の各プローブ体例えばプローブ針配列と、検査対
象ICチップを実装したテープキャリヤ（２）の電極端子
（５）は、上記アライメントにより位置合わせされてい
る。次に、プローブユニット（16）と載置台（18）を上
下方向に相対的に移動する。例えばプローブユニット
（16）を所定量下降する。このことにより、各プローブ
針（17）とテープキャリヤ（２）の各電極端子（５）
は、接続状態となる。この状態で、テスタとプローブ針
（17）は、導通状態のため、テスタで電気特性検査を実
行する。この検査結果をプローブ装置（１）に内臓され
ているCPUを介して記憶機構に記憶する。この記憶内容
は、テープキャリヤ（２）に装着されたICチップ（４）
の良・不良別に記憶し、なおかつ機能レベルまで検査し
た場合は、その判断された機能レベルまで記憶する。こ
のように記憶した各ICチップ（４）別の検査結果は、随
時所望した時に、プローブ装置（１）に設けられたTVモ
ニタ（21）に表示もしくは図示しないプリンターにより
プリントアウト可能である。この時、テープキャリヤ
（２）に装着されたICチップ（４）別にマップ形式で表
示し、良品および不良品の数から歩留りも同時に表示可
能である。上記接続検査後、プローブユニット（16）を
所定量だけ上昇し、各プローブ針（17）と電極端子
（５）を非接続状態とする。さらに、載置台（18）によ
るテープキャリヤ（２）の真空吸着固定を解除する。こ
の時、塵等の発生を防止するために、載置台（18）を下
降させて、載置台（18）とテープキャリヤ（２）を確実
に非接触状態とするのが望ましい。このような状態で、
テープキャリヤ（２）を所定量だけピッチ送りして順
次、各ICチップ（４）を検査し、この検査結果を記憶機
構に記憶する。

このように記憶機構に、テープキャリヤに装着された
各ICチップ別の良・不良を記憶した後、この記憶した内
容を次工程機器や関連機器に提供する。この提供方法と
しては、記憶機構がフロッピィーディスクや磁気ディス
クや光ディスク等の搬出入可能な場合、オペレータがマ
ニュアルで夫々の機器とディスク交換を行ない、又、RA
M等のプローブ装置内に固定して設けられたものについ
ては、他の機器とインターフェイスで接続し、データ交
換を行なう。この提供された情報を基に各関連機器で処
理を行なう。このように、記憶機構の検査結果の情報を
他の関連機器に提供するようにすると、プローブ装置に
マーキング機構を設けることなく、又、関連機構にもマ
ーキングの解読装置を設ける必要がないので、各装置の
小型化が実現でき、作業効率の向上が得られる。又、さ
らにプローブ装置の稼動率を向上させるために、事前に
検査終了時間が判断可能なように、検査終了予想時間が
上記TVモニタ（21）に表示可能となっている。従って、
本実施例のテープキャリヤの検査装置は、表示機構に検
査の予想終了時間を表示すべくその検査終了時間を予想
する終了時間予想手段を備えている。この終了時間予想
手段は、ICチップ（４）の全数を記憶機構に入力する入
力手段と、この入力手段により入力された各ICチップ
（４）それぞれの検査所要時間をカウントすると共にそ
の時間を累計する時間カウンタと、この時間カウンタに
よりカウンタされた各ICチップ（４）を順次累計する検
査済み個数カウンタと、この検査済み個数カウンタによ
る累計カウント数、時間カウンタによる累計時間及び上
記ICチップ（４）の全数に基づいて残余のICチップ
（４）の検査に要する時間を演算して検査終了予想時間
を求める演算手段とを備えている。そして、この検査終
了予想時間は終了時間予想手段を用いて第４図に示すよ
うに計算される。例えばテープキャリヤ（２）に実装さ
れたICチップ（４）の実装数を検査前にプローブ装置
（１）のCPUに入力する（Ａ）。次に所定のプログラム
に従って検査を開始する（Ｂ）。この検査開始から検査
にかかわる時間例えばテープキャリヤ送り時間やアライ
メント時間やプローブ針（17）の接続による検査時間な
どの経過時間をカウントする（Ｃ）。又、この経過時間
と同時に検査済ICチップ（４）数をカウントする
（Ｄ）。上記の検査対象ICチップ数（Ａ）と経過時間
（Ｃ）および検査済ICチップ数（Ｄ）の条件より演算を
行なう（Ｅ）。この演算（Ｅ）は、経過時間（Ｃ）を検
査済ICチップ数（Ｄ）で割ったものに、検査対象ICチッ
プ数（Ａ）から検査済ICチップ数（Ｄ）を引いたものを
掛けたものである。即ち式で表わすと、 となる。

上記式より導びかれる値が予想終了時間である
（Ｆ）。この予想終了時間（Ｆ）をプローブ装置（１）
に設けられたTVモニタ（21）もしくは、図示しない液晶
表示パネルに表示する。上記式により１度導かれた検
査予想終了時間は、算出された時点から例えば１秒ごと
に減算されていき、検査済ICチップがカウントされるご
とに上記演算が行なわれ、それまで表示されている予想
終了時間に誤差が生じた場合は、随時補正してほぼ正確
な予想終了時間を表示する。又、この予想終了時間をも
とに予想終了時刻を表示するようにするとより効果的で
ある。

上述したように、検査対象である多数のICチップを装
着したテープキャリヤの検査予想終了時間を表示するこ
とにより、事前に検査時間が判断可能となり、次工程の
準備等を有効に行なうことが可能となる。

この発明は上記実施例に限定されるものではなく、記
憶機構をプローブ装置と別に設けシステム管理を行なっ
ても良く、他の記憶機構としては、磁気ディスクや光デ
ィスクや磁気テープなど書き込みおよび読み出し可能な
ものなら何れでも良い。又、検査予想終了時間の演算方
法も上記実施例に限定しなくても何れのものでも良い。
さらに予想終了時間が所定の時間内に達したら、ブザー
等の警告音を発するようにしても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例に使用されるプローブ装
置の説明図、第２図は第１図プローブ装置で検査するIC
を装着したテープキャリヤの説明図、第３図は第１図の
プローブ装置の検査部の拡大図、第４図は第１図の検査
予想終了時間の計算を説明するブロック図である。 １……プローブ装置、２……テープキャリヤ ４……ICチップ、10……検査部 21……TVモニタ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テープキャリヤに装着された多数の電子部
   品の電気的特性を順次検査する装置において、上記テー
   プキャリヤに装着された電子部品の全数及び各電子部品
   の検査結果を記憶する記憶機構と、この記憶機構により
   記憶された検査の結果を表示する表示機構と、この表示
   機構に検査の予想終了時間を表示すべくその検査終了時
   間を予想する終了時間予想手段とを備え、上記終了時間
   予想手段は、上記記憶機構で記憶された各電子部品個々
   の検査所要時間をカウントすると共にその時間を累計す
   る時間カウンタと、この時間カウンタによりカウントさ
   れた各電子部品を順次累計する検査済み個数カウンタ
   と、この検査済み個数カウンタによる累計カウント数、
   上記時間カウンタによる累計時間及び上記電子部品の全
   数に基づいて残余の電子部品の検査所要時間を演算して
   検査終了予想時間を求める演算手段とを備えたことを特
   徴とするテープキャリヤの検査装置。
2. 【請求項２】上記記憶機構に記憶した結果を表にして表
   示することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテ
   ープキャリヤの検査装置。
3. 【請求項３】上記電子部品はICであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載のテープキャリヤの検査装
   置。
4. 【請求項４】上記記憶機構に記憶された検査結果に基づ
   いて上記電子部品を選別することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のテープキャリヤの検査装置。
5. 【請求項５】上記記憶機構は検査の結果の良・不良に分
   けて記憶することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のテープキャリヤの検査装置。