JPH0814610B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、回路基板に各種電子部品を実装して組み立
てられた電子回路基板を被検査体とし、この実装電子回
路基板を機能検査する回路基板検査装置に関する。

（従来の技術） この種の回路基板検査装置では、回路基板とテスター
との間に、テストフィクスチャーと呼ばれる部材を配置
し、回路基板のパターン面とテスターの出力端子とを接
続することで、前記回路基板の機能テストを実行するよ
うになっている。

ここで、従来のテストフィクスチャーは、基板の種類
が変更となる度に、テストフィクスチャー全体で交換す
る必要があり、回路基板毎に固有のテストフィクスチャ
ーを作成せざるを得なかった。

また、第５図に示すように、テストフィクスチャーを
回路基板側に配置されるプローブベース100と、テスタ
ー側に配置されるコネクターベース101と、このプロー
ブベース100とコネクターベース101とを接続するための
接続交換ベース102とで構成し、プローブベース100は基
板の種類に拘らず共通化することも考えられる。

しかし、この場合、前記接続交換ベース102とコネク
ターベース101との接続にあたり、補助コネクターベー
ス103を使用し、かつ、この配線を同図のように引き回
して行う他なかった。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように、テストフィクスチャーを回路基板毎
に用意して、基板の種類が変わる度に交換するのでは、
コストも高くなり、かつ、近年の多品種少量生産の場合
に交換作業が極めて煩雑である等の問題がある。

また、第５図に示すテストフィクスチャーにあって
は、一部部品の共通化が図れても、接続交換ベース102
とコネクターベース101,補助コネクターベース103との
接続が手作業による配線であり、作業者の負担の軽減に
はならない。

さらに、大きな問題として、第５図に示すものにあっ
ては、テスターからプローブベース100のプローブ先端
までの信号系の導電距離が、100cm程度と長くなり、テ
スターからの信号が回路基板に正確に伝わらないという
ことが多く、正確な検査を実行することが困難となって
いた。

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来
の問題点を解決し、回路基板の種類が変わっても、一部
の部品の交換のみで容易に対処することができ、しか
も、回路基板とテスターとを最短距離で接続することに
より、正確な検査を実行することができる回路基板検査
装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、回路基板をテストフィクスチャー上に載置
固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッ
チでマトリクス状の各位置に第１のプローブピンを配列
支持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第２のプローブピ
ンを配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置
され、検査対象の種類に応じて前記第１のプローブピン
を前記回路基板と接触させ、かつ、前記第１、第２のプ
ローブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持し
た接続変換ベースと、 前記プローブベースと前記接続交換ベースとの間の対
向間距離を可変する第１の駆動手段と、 前記接続変換ベースと前記コネクタベースとの間の対
向間距離を可変する第２の駆動手段と、 前記第１、第２の駆動手段の駆動後に、前記第１のプ
ローブピン、前記接続ピン及びいい前記第２のブローブ
ピンが接触したことを検出するセンサーと、 を有することを特徴とする。

他の発明は、回路基板をテストフィクスチャー上に載
置固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板
とテスターとを接続することで、回路基板の機能検査を
行う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッ
チでマトリクス状の各位置に第１のプローブピンを配列
支持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第２のプローブピ
ンを配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置
され、検査対象の種類に応じて前記第１のプローブピン
を前記回路基板と接触させ、かつ、前記第１、第２のプ
ローブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持し
た接続変換ベースと、 を有し、接続変換ベースに支持される前記接続ピンとし
て、 前記第１のプローブピンを押し上げて回路基板と接触
させ、かつ、前記第２のプローブピンとは接触しないリ
フターピンと、 前記第１のプローブピンを押し上げずかつこのピンと
接触せず、第２のプローブピンに接触するコネクターピ
ンと、 前記第１のプローブピンを押し上げ、かつ、第２のプ
ロープピンに接触するスルーピンと、 前記第１のプローブピンを絶縁キャップを介して押し
上げ、かつ、前記第２のプローブピンと接触する一対の
交換アダプターピンと、 を有し、 前記リフターピンとコネクターピンとを電気的に接続
し、かつ、一対の前記交換アダプターピンの一方と、他
方の交換アダプターピンによって押し上げられる第１の
プローブピンとを、前記絶縁キャップ上に取り付けられ
た導電体を利用して相互に電気的に接続して構成したこ
とを特徴とする。

（作用） 本発明では、回路基板の種類に応じて接続変換ベース
を用意しておき、被検査対象に応じた前記接続変換ベー
スを、前記プローブベースとコネクターベースとの間に
配置する。

ここで、接続変換ベースには、被検査対象となる回路
基板の種類に応じて接続ピンが配列支持されていて、こ
の接続ピンによって、プローブベースの第１のプローブ
ピンと、コネクターベースの第２まプローブピンとを接
続することができ、前記第１のプローブピンを回路基板
に、第２のプローブピンをテスターに接触させること
で、回路基板とテスターとを容易に接続することができ
る。

この際、回路基板の種類が変更される場合には、接続
変換ベースのみを交換するのみで足り、交換作業及び費
用が大幅に軽減される。

しかも、テスターと回路基板とは、第１のプローブピ
ン，接続ピン及び第２のプローブピンの接触によって確
保できるので、テスターと回路基板とを最短距離で接続
することができ、常時的確な検査を実行することができ
る。

さらに、本発明では、３つのベースの対向間距離を可
変駆動することで、第1,第２のプローブピン及び接続ピ
ンの相互の接触を可能としてる。このため、接続変換ベ
ースの交換時期では、接続ピンが第1,第２のプローブピ
ンと非接触な状態であるため、接続変換ベースの交換を
容易に行うことができる。

さらに加えて、回路基板の機能検査を行う前には、第
1,第２のプローブピン及び接続ピンの相互の接触がセン
サーにより予め検出されるため、接続不良の状態での不
正確な検査を未然に防止することできる。

本発明の他の態様によれば、第１のプローブピンと上
下にて対向関係にある第２のプローブピン同士を単純に
接続することができない場合に、コネクタピン、スルー
ピン、一対交換アダプタピンを用いることで、上下にて
対向関係にない第1,第２のプローブピン同士を電気的に
接続することが可能となる。

（実施例） 以下、本発明を適用した一実施例について、図面を参
照して具体的に説明する。

まず、実施例装置の全体の概要について、第３図を参
照して説明する。

本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品
を実装した回路基板１と、この回路基板１の機能検査を
実行するためのテスター10と、前記回路基板１を設置固
定し、かつ、この回路基板１のパターン面と接続される
各種ピンを介して、前記テスタ10と回路基板１とを接続
するテストフィクスチャー20とから構成されている。

前記テスター10は、前記テストフィクスチャー20を昇
降可能に支持するリフター11と、前記テストフィクスチ
ャー20の後述する支持ベース21を位置決め案内する案内
部材の一例であるロケーティングピン12と、前記支持ベ
ース21を真空吸引するためのバキュームポート13と、前
記テストフィクチャー20と対向する面上に、テスター10
の出力端子であるスプリング付きコンタクトプローブ14
とを有して構成されている。

次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフ
ィクチャー20について、第１図，第２図を参照して説明
する。

前記テストフィクスチャー20は、プローブベース30,
接続変換ベース（以下、CTBと略記する）40及びコネク
ターベース50を有し、この各ベース30,40,50に後述する
各種接続ピンを配置して、前記回路基板１とテスター10
との接続を行うようになっている。尚、本実施例の場
合、前記プローブベース30及びコネクターベース50は、
前記回路基板１の種類に拘らず共通に使用することがで
きるものであり、回路基板１の種類が変わった場合に
は、前記CTB40のみを基板１に固有なものに変更すれば
よいようになっている。

まず、各ベース30,40,50の取り付け構造について説明
すると、第１図に示すように前記テストフィクスチャー
20の基台となる支持ベース21が設けられ、この支持ベー
ス21に前記コネクターベース50が固定されている。ま
た、前記支持ベース21には支柱22が垂直に支持固定され
ており、この支柱22をガイドとして前記プローブベース
30とCTB40とが上下動可能に支持されている。

前記CTB40は、各種回路基板１の種類に応じて容易に
交換できるように、下記のようにして支持されている。
すなわち、前記支柱22に沿って移動自在であって、対向
する面に溝23aを具備した移動案内部材23を有し、この
移動案内部材23の前記溝23aには、コ字状断面の移動レ
ール24を配置している。そして、前記CTB40は、前記移
動レール24に沿って、第２図の表面より裏面に向かう方
向に移動自在に支持されている。

また、前記支持ベース21に対して前記プローブベース
30,コネクターベース50を移動させるために、第1,第２
のエアーシリンダー25,26が設けられている。

そして、前記移動案内部材23に固定された前記第１の
エアーシリンダー25によって、前記プローブベース30に
近づく方向に移動案内部材23すなわちCTB40を移動可能
とし、前記支持ベース21に固定された第２のエアーシリ
ンダー26によって、前記プローブベース30を支持ベース
21側に移動可能としている。

次に、前記プローブベース30について説明する。

前記プローブベース30は、前記回路基板１の部品実装
面とは反対側のパターン面と接触する第１のプローブピ
ン31を支持するベースである。本実施例では、前記第１
のプローブピン31を縦，横共に例えば1/10inchのピッチ
で、総数約２万本をマトリクス状の各点に配列支持して
いる。

このように、本実施例においてマトリクス状の各位置
に細分して第１のプローブピン31を配置している理由
は、このプローブベース30を各種回路基板１に共通に使
用できるようにするためである。

すなわち、電子部品の最少端子ピッチである1/10inch
で縦横に第１のプローブピン31を配置することで、回路
基板１のパータンの相違に拘らず、このいずれかの第１
のプローブピン31を必要に応じて前記回路基板１のパタ
ーン面に接触させることができ、プローブベース30の変
更を要せずに各種回路基板１の検査に使用することが可
能となる。

前記第１のプローブピン31は、第２図に詳図するよう
に、その両端に電気的に導通する接続片32を有し、中間
部より上側にストッパー33を備えている。そして、前記
接続片32は、同図の矢印方向である軸方向の両端側に突
出付勢されるように、ダブルスプリングプローブピン構
造となっている。

この第１のプローブピン31は、前記プローブベース30
に形成した挿入穴30aに挿入され、かつ、前記ストッパ
ー33が前記挿入穴30aの上端に当接することで、その自
重によって所定位置に支持されるようになっている。

また、前記プローブベース30の上面には、前記各第１
のプローブピン31の配列位置に対応してガイド穴35aを
有するピンガイドプレート35がプレートガイド36によっ
て取り付け案内され、かつ、圧縮コイルスプリング37に
よって常時上方に付勢されている。そして、前記ガイド
穴35aに挿通されることにより、前記第１のプローブピ
ン31を回路基板１のパターン面に正確に接触できるよう
に構成している。さらに、前記ピンガイドプレート35上
には、回路基板１用のガイドピン38が垂直に立設され、
前記基板１をピンガイドプレート35上で正確に位置決め
できるようになっている。

次に、前記コネクターベース50について説明する。

このコネクターベース50は、前記テスター10のスプリ
ング付きコンタクトプローブ14と接触し、かつ、前記CT
B40の各種ピンと接触して、コネクターとしての機能を
有するベースであり、このベース50には、前記テスター
10のスプリング付きコンタクトプローブ14と対向する各
位置に、第２のプローブピン51が支持されている。尚、
この第２のプローブピン51は、その上端の接続片52がス
プリングによって常時上方に付勢されている。また、図
示していないが、このコネクターベース50には、前記テ
スター10のロケーティングピン12に挿通される被案内部
材であるガイド穴が形成され、前記テスター側との正確
な位置決めが成されるようになっている。

尚、このコネクターベース50は、後述するように、テ
スター10側に真空吸引されるので、テスター10側への空
気の流入を防止する構造となっている。

次に、実動作状態における第２図を使用して、前記CT
B40の構成について説明する。

このCTB40には、前記プローブベース30とコネクター
ベース50とを、各種基板１に共通に使用するため、４種
類の接続ピンを各種回路基板１のパターンに応じて配列
支持するようになっている。

この４種類の接続ピンについて第２図を参照して説明
すると、リフターピン41とは、前記プローブベース30側
の第１のプローブピン31と接触してこれを上方に突き上
げる寸法であり、かつ、下方のコネクターベース50側の
第２のプローブピン５とは接触しない寸法に形成されて
いる。

コネクターピン42とは、前記プローブベース30側の第
１のプローブピン31とは接触しない寸法であり、かつ、
下方のコネクターベース50側の第２のプローブピン51と
は接触してこれを下方に押し下げる寸法に形成されてい
る。

尚、前記リフターピン41とコネクターピン42とは、接
続電線43によって電気的に接続されるようになってい
る。従って、前記リフターピン41とコネクターピン42と
を使用することで、上下に対向関係のない第1,第２のプ
ローブピン31,51を接続可能となっている。

スルーピン44とは、上下の第1,第２のプローブピン3
1,51を共に突き上げ，押し下げる寸法となっていて、上
下に対向関係にある第1,第２のプローブピン31,51の接
続を行うようになっている。

交換アダプターピン45とは、寸法的には前記スルーピ
ン44と同様に、上下の第１のプローブピン31,51を突き
上げ，押し下げる寸法であるが、その上端には上面に導
電層46aを形成した絶縁キャップ46が装着されている。
この結果、前記第１のプローブピン31と導電層46aとは
導通するが、交換アダプターピン45と前記第１のプロー
ブピン31とは絶縁されるようになっている。

この交換アダプターピン45は、２本を一対として使用
され、一方の交換アダプターピン45の中間部に巻回した
交換配線47の端部を、他方の交換アダプターピン45の前
記絶縁キャップ46上の前記導電層46aに接続して使用す
るようになっている。

この結果、回路基板１のパターンに接触する２本の第
１のプローブピン31,31を、前記一対の交換アダプター
ピン45を使用することにより、上下関係に無い逆の第２
のプローブピン51にそれぞれ接続できるようになってい
る。

次に、上記検査装置の作用について説明する。

まず、この検査装置に被検査体としての回路基板１を
セットし、セットされた回路基板１に固有の前記CTB40
を選択し、これを前記移動案内部材23の移動レール24に
挿入して装着する。そして、このCTB40を前記移動レー
ル24に沿って移動させ、前記回路基板１がセットされる
ピンガイドプレート35に対向する下方に配置する。

次に、第１のエアーシリンダー25を駆動し、前記CTB4
0を保持する移動案内部材23を上方に移動させる。この
後、前記第２のエアーシリンダー26を駆動し、前記プロ
ーブベース30及びCTB40を一体的に下降移動させる。

このような移動によって、第２図に示すような各種ピ
ンの接続状態を確保することができる。

ここで、前記回路基板１と接触するプローブベース30
上の第１のプローブピン31とは、リフターピン41に突き
上げられたもの、スルーピン44に突き上げられたもの、
交換アダプターピン45に突き上げられたものの３種類で
ある。他の第１のプローブピン31は、前記ピンガイドプ
レート35よりも突出されることがないので、回路基板１
との接続が行われない。

ここで、本実施例では、前記第１のプローブピン31
を、電子部品の最少端子ピッチでマトリクス状の各位置
に備え、セットされる回路基板１に固有の前記CTB40の
上述したピン41,44,45によって、接続が必要な第１のプ
ローブピン31のみを突き上げて使用している。

この結果、多種類の回路基板１をこの検査装置で使用
する場合であっても、回路基板１に応じたCTB40を予め
作成しておき、基板１に応じてこのCTB40のみを交換す
るだけで、他に何等の変更を要せずに検査装置を兼用す
ることができ、従来のように、回路基板１に合わせて多
数の部品の変更を要し、また多数の部材を使用するもの
に比べれば、汎用性が大幅に向上し、検査者の負担を格
段に軽減することができる。

また、このようにプローブベース30及びコネクターベ
ース50を、回路基板１の種類に拘らず兼用する場合、プ
ローブベース30の第１のプローブピン31を、これと上下
関係にあるコネクターベース50上の第２のプローブピン
51に単純に接続することが、前記テスター10の検査機能
との関係で制限されることがある。

そこで、本実施例では前記CTB40に４種類のピン41,4
2,44,45を各種回路基板１に応じて配置し、接続される
第1,第２のプローブピン31,51の関係を変更可能として
いる。

以上のように、テストフィクスチャー20における接続
状態の設定終了後、前記テスター10のバキュームポート
13によって真空吸引し、前記テストフィクチャー20の基
台である支持ベース21をテスター10側に吸引し、前記コ
ネクターベース50に支持されている第２のプローブピン
51の下端を、前記テスター10のスプリング付きコンタク
トプローブ14に接触させる。

ここで、前記テスター10によって、前記回路基板１に
通電を行い、所定の機能検査を実行することができる。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、上記実施例装置に下記の各部材を付加し、検
査の確実性と作業性の向上とを確保するようにしてもよ
い。

すなわち、第４図に示すように、この検査装置の制御
を司どるCPU60に下記の各部材を接続している。

まず、第１のセンサー61は、前記第１のエアーシリン
ダー25によって接続されるプローブベース30とCTB40と
のの接続状態を検出するものであり、このセンサー61と
しては、例えば第１のプローブピン31とリフターピン41
とを使用し、この両ピン31,41の接触抵抗が所定値以下
になったことを検出するように構成することができる。

第２のセンサー62は、前記第２のエアーシリンダー26
によって接続される３つのベース30,40,50の接続状態を
検出するものである。

この第２のセンサー62としては、前記第１のセンサー
61と同様に、各ベース30,40,50に支持されているピンの
うち、例えば第1,第２のプローブピン31,51とスルーピ
ン44とを使用することができ、この間の接触抵抗が所定
値以下となったことを検出するように構成できる。

尚、上記第1,第２のセンサー61,62としては、上述し
たようにベースに支持されたピンを利用するものに限ら
ず、光センサー等他の種々のセンサーを使用することが
できる。

駆動モータ63は、前記CTB40を移動レール24に沿って
自動搬送するものであり、例えば操作キー64での入力に
基づき駆動されるものである。また、第４図に示す第1,
第２のエアーシリンダー25,26は、第１図に示したもの
と同一機能を有するものである。

ここで、検査を行うに際して、前記CTB40を移動レー
ル24にセットし、前記操作キー64を操作すると、駆動モ
ータ63がCPU60によって駆動され、前記CTB40を基板１と
対向する位置まで自動搬送することになる。

次に、前記第１のエアーシリンダー25がCPU60によっ
て駆動され、前記CTB40をプローブベース30側に移動さ
せることになる。

そして、前記第１のセンサー61によって、上記両ベー
ス30,40のピンの接続状態が確認された後に、CPU60は第
２のエアーシリンダー26を駆動し、プローブベース30及
びCTB40を前記コネクターベース50側に移動することに
なる。

そして、その後、前記第２のセンサー62によって、各
ベース30,40,50のピンの接続状態が確認された後に、以
降の工程に移行することになる。

このように、各ベースの移動後に、センサーによって
接続状態を確認しているので、接続不良の下での検査を
排除することができ、常時確実な検査を実行することが
可能となる。また、CTB40を自動搬送することで、検査
のための負担が大幅に軽減される。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によればプローブベース
とコネクターベースは、検査対象なる回路基板の種類が
変わった場合にも共通に使用でき、この場合には各種基
板について予め作成された接続変換ベースのみを交換す
ればよいので、従来よりも汎用性が大幅に向上し、検査
費用の低減を図ることができる。

しかも、３種のベースに支持されたピンの接続によっ
て、回路基板とテスターとを接続しているので、最短距
離での接続が可能となり、特に高周波において検査信号
が改善され、的確な検査を実行することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である回路基板多機能検査装
置におけるテストフィクスチャーの概略断面図、 第２図は第１図の検査装置におけるテストフィクスチャ
ーでの各種ピンの接続状態を、実動作状態において寸法
的に示す概略説明図、 第３図は第１図のテストフィクスチャーを用いた回路基
板検査装置の全体構成を示す概略斜視図、 第４図は第１図の実施例装置に適用される制御系のブロ
ック図、 第５図は従来の検査装置におけるテストフィクスチャー
の構造を示す概略説明図である。 １……回路基板、10……テスター、 20……テストフィクスチャー、 21……支持ベース、 25……第１のエアーシリンダー、 26……第２のエアーシリンダー、 30……プローブベース、 31……第１のプローブピン、 40……接続変換ベース、41……リフターピン、 42……コネクターピン、44……スルーピン、 45……交換アダプターピン、 50……コネクターベース、 51……第２のプローブピン、 61,62……センサー。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回路基板をテストフィクスチャー上に載置
   固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
   テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
   う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッチ
   でマトリクス状の各位置に第１のプローブピンを配列支
   持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第２のプローブピン
   を配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置さ
   れ、検査対象の種類に応じて前記第１のプローブピンを
   前記回路基板と接触させ、かつ、前記第１、第２のプロ
   ーブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持した
   接続変換ベースと、 前記プローブベースと前記接続交換ベースとの間の対向
   間距離を可変する第１の駆動手段と、 前記接続変換ベースと前記コネクタベースとの間の対向
   間距離を可変する第２の駆動手段と、 前記第１、第２の駆動手段の駆動後に、前記第１のプロ
   ーブピン、前記接続ピン及び前記第２のプローブピンが
   接触したことを検出するセンサーと、 を有することを特徴とする回路基板検査装置。
2. 【請求項２】接続変換ベースは、前記プローブベース及
   びコネクターベースに対してスライド移動可能な移動部
   材に支持され、かつ、この移動部材に対して、前記回路
   基板に対向する位置としない位置とにスライド移動自在
   に支持されたものである特許請求の範囲第１項記載の回
   路基板検査装置。
3. 【請求項３】回路基板をテストフィクスチャー上に載置
   固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
   テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
   う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッチ
   でマトリクス状の各位置に第１のプローブピンを配列支
   持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第２のプローブピン
   を配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置さ
   れ、検査対象の種類に応じて前記第１のプローブピンを
   前記回路基板と接触させ、かつ、前記第１、第２のプロ
   ーブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持した
   接続変換ベースと、 を有し、接続変換ベースに支持される前記接続ピンとし
   て、 前記第１のプローブピンを押し上げて回路基板と接触さ
   せ、かつ、前記第２のプローブピンとは接触しないリフ
   ターピンと、 前記第１のプローブピンを押し上げずかつこのピンと接
   触せず、第２のプローブピンに接触するコネクターピン
   と、 前記第１のプローブピンを押し上げ、かつ、第２のプロ
   ーブピンに接触するスルーピンと、 前記第１のプローブピンを絶縁キャップを介して押し上
   げ、かつ、前記第２のプローブピンと接触する一対の交
   換アダプターピンと、 を有し、 前記リフターピンとコネクターピンとを電気的に接続
   し、かつ、一対の前記交換アダプターピンの一方と、他
   方の交換アダプターピンによって押し上げられる第１の
   プローブピンとを、前記絶縁キャップ上に取り付けられ
   た導電体を利用して相互に電気的に接続して構成したこ
   とを特徴とする回路基板検査装置。
4. 【請求項４】各ベースは、支持ベースに支持され、この
   支持ベースをテスター側に移動させて、前記第２のプロ
   ーブピンとテスターの出力端子とを接続する特許請求の
   範囲第３項記載の回路基板検査装置。
5. 【請求項５】支持ベースは、テスター側に配置された案
   内部材と係合する被案内部材を有し、前記支持ベースの
   移動を案内するように構成した特許請求の範囲第４項記
   載の回路基板検査装置。
6. 【請求項６】プローブベースに対して接続変換ベースを
   スライド移動する第１のエアーシリンダーと、 支持ベースに固定されたコネクターベースに対して前記
   プローブベースをスライド移動させる第２のエアーシリ
   ンダーと、 プローブベースの第１のプローブピンと接続変換ベース
   の接続ピンとが接触したことを検知するセンサーとを有
   し、 このセンサーで接触が検知された後に、前記第２のエア
   ーシリンダーを駆動するように構成した特許請求の範囲
   第３項乃至第５項のいずれかに記載の回路基板検査装
   置。