JPH08147660A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH08147660A JPH08147660A JP28532594A JP28532594A JPH08147660A JP H08147660 A JPH08147660 A JP H08147660A JP 28532594 A JP28532594 A JP 28532594A JP 28532594 A JP28532594 A JP 28532594A JP H08147660 A JPH08147660 A JP H08147660A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高保磁力、低ノイズで、しかも記録再生特性
の良好な磁気記録媒体を提供する。 【構成】 本発明の磁気記録媒体は、非磁性の基板1の
上にCr系下地層2、Co合金磁性層3および保護層4
が同順序で積層成膜された磁気記録媒体である。前記C
o合金磁性層3は下部磁性層3Aと上部磁性層3Bから
なり、前記下部磁性層3Aは原子%で Cr:10〜1
8%、Ta:4〜7%を含有し、残部がCoからなるC
oCrTa合金で形成される。前記上部磁性層3Bは原
子%でCr:10〜18%、Pt:10〜15%を含有
し、残部がCoからなるCoPtCr合金で形成され、
かつ層厚が2〜6nmに設定されている。
の良好な磁気記録媒体を提供する。 【構成】 本発明の磁気記録媒体は、非磁性の基板1の
上にCr系下地層2、Co合金磁性層3および保護層4
が同順序で積層成膜された磁気記録媒体である。前記C
o合金磁性層3は下部磁性層3Aと上部磁性層3Bから
なり、前記下部磁性層3Aは原子%で Cr:10〜1
8%、Ta:4〜7%を含有し、残部がCoからなるC
oCrTa合金で形成される。前記上部磁性層3Bは原
子%でCr:10〜18%、Pt:10〜15%を含有
し、残部がCoからなるCoPtCr合金で形成され、
かつ層厚が2〜6nmに設定されている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等の記
憶装置に使用される面内磁気記録媒体に関する。
憶装置に使用される面内磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気記録媒体の高密度記録化に伴って、
CoNiCr,CoCrTa等の一軸結晶磁気異方性を
有するCo合金を非磁性の基板上にCr下地層を介して
スパッタリングにより成膜した金属薄膜型面内磁気記録
媒体が用いられている。前記Cr下地層は、該下地層を
形成するCrの結晶構造がその上に成膜されるCo合金
磁性層の磁気異方性を示す結晶軸(h軸)を面内配向さ
せるように作用し、保磁力を向上させる。
CoNiCr,CoCrTa等の一軸結晶磁気異方性を
有するCo合金を非磁性の基板上にCr下地層を介して
スパッタリングにより成膜した金属薄膜型面内磁気記録
媒体が用いられている。前記Cr下地層は、該下地層を
形成するCrの結晶構造がその上に成膜されるCo合金
磁性層の磁気異方性を示す結晶軸(h軸)を面内配向さ
せるように作用し、保磁力を向上させる。
【0003】近年、MR(磁気抵抗)ヘッド技術の採用
などにより、磁気記録媒体の高密度記録化のテンポが速
まっており、これに伴い、磁気記録媒体には高保磁力化
のみならず低ノイズ化の要求も強く求められている。面
内磁気記録媒体における媒体ノイズの主要因は、記録パ
ターンの磁化遷移領域における不規則なジグザグ磁壁に
起因するといわれており、このジグザグ磁壁はCo合金
結晶粒間の磁気的交換相互作用により大きく影響され、
特に磁気的交換相互作用が強くなる程、ジグザグ構造が
顕著になり、媒体ノイズは大きくなる。
などにより、磁気記録媒体の高密度記録化のテンポが速
まっており、これに伴い、磁気記録媒体には高保磁力化
のみならず低ノイズ化の要求も強く求められている。面
内磁気記録媒体における媒体ノイズの主要因は、記録パ
ターンの磁化遷移領域における不規則なジグザグ磁壁に
起因するといわれており、このジグザグ磁壁はCo合金
結晶粒間の磁気的交換相互作用により大きく影響され、
特に磁気的交換相互作用が強くなる程、ジグザグ構造が
顕著になり、媒体ノイズは大きくなる。
【0004】前記結晶粒子間に働く磁気的交換相互作用
は、CoCr系合金の場合、Cr濃度の増加に伴い低下
することが知られている。その理由は、CoCr系合金
スパッタ膜中にはCo濃度の高い領域と低い領域がミク
ロ的に連続した、いわゆる組成分離組織が存在し、この
組成分離はCr濃度の増加により促進されるためと考え
られている。
は、CoCr系合金の場合、Cr濃度の増加に伴い低下
することが知られている。その理由は、CoCr系合金
スパッタ膜中にはCo濃度の高い領域と低い領域がミク
ロ的に連続した、いわゆる組成分離組織が存在し、この
組成分離はCr濃度の増加により促進されるためと考え
られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、低ノイ
ズ化のためにCoCr合金のCr濃度を上げると、Cr
濃度の増加に伴い磁性層のMs(飽和磁化)は減少し、
Cr:20at%では非磁性になる。このことは、同じB
r・t(残留磁化・層厚)の媒体では、Cr濃度の高い
媒体ほどCo合金磁性層の層厚が大きくなり、その結
果、記録再生上、出力の低下および孤立波の半値幅(P
W50)やオーバーライト(O/W)等の記録再生特性
の劣化を招来する。
ズ化のためにCoCr合金のCr濃度を上げると、Cr
濃度の増加に伴い磁性層のMs(飽和磁化)は減少し、
Cr:20at%では非磁性になる。このことは、同じB
r・t(残留磁化・層厚)の媒体では、Cr濃度の高い
媒体ほどCo合金磁性層の層厚が大きくなり、その結
果、記録再生上、出力の低下および孤立波の半値幅(P
W50)やオーバーライト(O/W)等の記録再生特性
の劣化を招来する。
【0006】本発明はかかる問題に鑑みなされたもの
で、高保磁力、低ノイズで、しかも記録再生特性の良好
な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
で、高保磁力、低ノイズで、しかも記録再生特性の良好
な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、非磁性の基板の上にCr系下地層、Co合金磁性層
および保護層が同順序で積層成膜された磁気記録媒体に
おいて、前記Co合金磁性層は前記下地層の上に形成さ
れた下部磁性層と該下部磁性層の上に形成された上部磁
性層からなり、前記下部磁性層は原子%でCr:10〜
18%、Ta:4〜7%を含有し、残部がCoからなる
CoCrTa合金で形成され、一方前記上部磁性層は原
子%で Cr:10〜18%、Pt:10〜15%を含
有し、残部がCoからなるCoPtCr合金で形成さ
れ、かつ層厚が2〜6nmに形成されている。
は、非磁性の基板の上にCr系下地層、Co合金磁性層
および保護層が同順序で積層成膜された磁気記録媒体に
おいて、前記Co合金磁性層は前記下地層の上に形成さ
れた下部磁性層と該下部磁性層の上に形成された上部磁
性層からなり、前記下部磁性層は原子%でCr:10〜
18%、Ta:4〜7%を含有し、残部がCoからなる
CoCrTa合金で形成され、一方前記上部磁性層は原
子%で Cr:10〜18%、Pt:10〜15%を含
有し、残部がCoからなるCoPtCr合金で形成さ
れ、かつ層厚が2〜6nmに形成されている。
【0008】
【作用】上部磁性層を形成するCoPtCr合金は、P
tの含有により結晶磁気異方性が増大し、高保磁力を有
する。この上部磁性層により下部磁性層の結晶磁気異方
性が誘起増大され、下部磁性層の保磁力が増加するた
め、下部磁性層を形成するCoCrTa合金として媒体
ノイズの小さい高Cr濃度のCo合金を用いても、保磁
力や記録再生特性の低下を防止することができる。
tの含有により結晶磁気異方性が増大し、高保磁力を有
する。この上部磁性層により下部磁性層の結晶磁気異方
性が誘起増大され、下部磁性層の保磁力が増加するた
め、下部磁性層を形成するCoCrTa合金として媒体
ノイズの小さい高Cr濃度のCo合金を用いても、保磁
力や記録再生特性の低下を防止することができる。
【0009】上部磁性層はPt:10〜15at%、C
r:10〜18at%および残部CoからなるCoPtC
r合金により形成される。Ptが10%未満では磁気異
方性の増大作用が不足し、一方18%を越えると面内へ
の異方性磁界の大きさ(Hk)が小さくなり、保磁力が
低下するようになる。また、Crが10%未満では面内
への異方性磁界の大きさが小さくなり保磁力が低下する
ようになり、一方18%を越えると非磁性に近づくと共
に下部磁性層の結晶磁気異方性の増大を誘起しなくな
り、保磁力が低下するようになる。更に、上部磁性層の
層厚は2〜6nmに限定される。2nm未満、6nm超
過では下部磁性層への結晶磁気異方性の誘起作用が低下
するようになり、下部磁性層の保磁力が低下するように
なる。
r:10〜18at%および残部CoからなるCoPtC
r合金により形成される。Ptが10%未満では磁気異
方性の増大作用が不足し、一方18%を越えると面内へ
の異方性磁界の大きさ(Hk)が小さくなり、保磁力が
低下するようになる。また、Crが10%未満では面内
への異方性磁界の大きさが小さくなり保磁力が低下する
ようになり、一方18%を越えると非磁性に近づくと共
に下部磁性層の結晶磁気異方性の増大を誘起しなくな
り、保磁力が低下するようになる。更に、上部磁性層の
層厚は2〜6nmに限定される。2nm未満、6nm超
過では下部磁性層への結晶磁気異方性の誘起作用が低下
するようになり、下部磁性層の保磁力が低下するように
なる。
【0010】下部磁性層はTa:4〜7at%、Cr:1
0〜18at%および残部CoからなるCoCrPt合金
により形成される。Taが4%未満では保磁力が低下
し、一方7%を越えると結晶構造が崩れるようになり、
この場合も保磁力が低下するようになる。また、Crが
10%未満では組成分離作用が不足し、媒体ノイズの低
減が期待できず、一方18%を越えると結晶構造が非晶
質状になり保磁力が低下する。
0〜18at%および残部CoからなるCoCrPt合金
により形成される。Taが4%未満では保磁力が低下
し、一方7%を越えると結晶構造が崩れるようになり、
この場合も保磁力が低下するようになる。また、Crが
10%未満では組成分離作用が不足し、媒体ノイズの低
減が期待できず、一方18%を越えると結晶構造が非晶
質状になり保磁力が低下する。
【0011】
【実施例】図1は実施例に係る磁気記録媒体の部分断面
図を示しており、非磁性のNiP/Al基板1の上にC
r系下地層2、下部磁性層3Aと上部磁性層3Bとから
なる磁性層3および非磁性の保護層4がこの順序で形成
されている。尚、前記NiP/Al基板1はアルミニウ
ム合金基板の上に無電解めっきによりNiP層が形成さ
れたものであるが、基板としては該NiP/Al基板に
限らず、ガラス基板、炭素基板、Al2 O3 等のセラミ
ック基板を用いてもよい。これらの基板の上には、通
常、耐久性の向上のためにテキスチャー(微細凹凸)が
施される。
図を示しており、非磁性のNiP/Al基板1の上にC
r系下地層2、下部磁性層3Aと上部磁性層3Bとから
なる磁性層3および非磁性の保護層4がこの順序で形成
されている。尚、前記NiP/Al基板1はアルミニウ
ム合金基板の上に無電解めっきによりNiP層が形成さ
れたものであるが、基板としては該NiP/Al基板に
限らず、ガラス基板、炭素基板、Al2 O3 等のセラミ
ック基板を用いてもよい。これらの基板の上には、通
常、耐久性の向上のためにテキスチャー(微細凹凸)が
施される。
【0012】前記Cr系下地層2は、その上に形成され
る磁性層3の一軸結晶磁気異方性を示すCoCr合金
(結晶構造hcp)のC軸(磁気異方性を示す結晶軸)
を面内配向させるために形成されるもので、通常50〜
200nm程度の厚さに形成される。Cr系下地層を形
成する材料としては、純Crに限らず、Co合金の磁気
異方性を促進する元素、例えばCuを含有するCr合金
を用いてもよい。
る磁性層3の一軸結晶磁気異方性を示すCoCr合金
(結晶構造hcp)のC軸(磁気異方性を示す結晶軸)
を面内配向させるために形成されるもので、通常50〜
200nm程度の厚さに形成される。Cr系下地層を形
成する材料としては、純Crに限らず、Co合金の磁気
異方性を促進する元素、例えばCuを含有するCr合金
を用いてもよい。
【0013】前記磁性層3を構成する下部磁性層3A
は、既述の通り、Cr:10〜18at%、Ta:4〜7
at%、残部CoからなるCoCr合金で形成され、一方
上部磁性層3BはCr:10〜18at%、Pt:10〜
15at%、残部CoからなるCoCr合金で形成されて
いる。上部磁性層3Bの層厚は既述の通り2〜6nmに
設定されるが、磁性層3全体の層厚は、通常、誘導型ヘ
ッド用としては40〜80nm程度、MR(磁気抵抗
型)ヘッド用としては20〜40nm程度とされる。
は、既述の通り、Cr:10〜18at%、Ta:4〜7
at%、残部CoからなるCoCr合金で形成され、一方
上部磁性層3BはCr:10〜18at%、Pt:10〜
15at%、残部CoからなるCoCr合金で形成されて
いる。上部磁性層3Bの層厚は既述の通り2〜6nmに
設定されるが、磁性層3全体の層厚は、通常、誘導型ヘ
ッド用としては40〜80nm程度、MR(磁気抵抗
型)ヘッド用としては20〜40nm程度とされる。
【0014】前記磁性層3の上には炭素、SiC等から
なる非磁性の保護層4が15〜40nm程度形成されて
おり、更にその上に必要に応じてフッ素化ポリエーテル
等の潤滑剤を1〜5nm程度塗布してもよい。前記基板
1の上にCr系下地層2、磁性層3を成膜するに際し
て、赤外線ヒータ等によって基板表面を250〜350
℃程度に加熱するのがよい。基板1の加熱後、Cr系下
地層2、磁性層3、保護層4を形成する手段としては、
スパッタリングが一般的に適用されるが、他の物理気相
蒸着法を利用することもできる。
なる非磁性の保護層4が15〜40nm程度形成されて
おり、更にその上に必要に応じてフッ素化ポリエーテル
等の潤滑剤を1〜5nm程度塗布してもよい。前記基板
1の上にCr系下地層2、磁性層3を成膜するに際し
て、赤外線ヒータ等によって基板表面を250〜350
℃程度に加熱するのがよい。基板1の加熱後、Cr系下
地層2、磁性層3、保護層4を形成する手段としては、
スパッタリングが一般的に適用されるが、他の物理気相
蒸着法を利用することもできる。
【0015】次に具体的実施例を掲げる。 実施例A テキスチャーを施したNiP/Al基板の表面を赤外線
ヒータにより加熱し、基板温度280℃でCr下地層2
を70nm、その上に表1に示した層厚の下部磁性層3
A(組成Co−14at%Cr−6at%Ta)及び上部磁
性層3B(組成Co−13at%Cr−12at%Pt)を
合計で20nm、炭素保護層4を20nm積層成膜し
た。更に、その上にフッ素化高分子化合物系の液体潤滑
剤を2nm塗布して磁気記録媒体を製作した。尚、試料
No. 1は従来例、No. 2及び3は実施例、No. 4及び5
は比較例である。
ヒータにより加熱し、基板温度280℃でCr下地層2
を70nm、その上に表1に示した層厚の下部磁性層3
A(組成Co−14at%Cr−6at%Ta)及び上部磁
性層3B(組成Co−13at%Cr−12at%Pt)を
合計で20nm、炭素保護層4を20nm積層成膜し
た。更に、その上にフッ素化高分子化合物系の液体潤滑
剤を2nm塗布して磁気記録媒体を製作した。尚、試料
No. 1は従来例、No. 2及び3は実施例、No. 4及び5
は比較例である。
【0016】実施例、比較例及び従来例の磁気記録媒体
を用いて、保磁力及びMRヘッドにより記録再生特性を
調べた。その結果を同表に併せて示す。
を用いて、保磁力及びMRヘッドにより記録再生特性を
調べた。その結果を同表に併せて示す。
【0017】
【表1】
【0018】同表より、実施例は従来例、比較例に比し
て130Oe以上の高保磁力が得られており、しかも媒
体ノイズ(SNm)が同等かそれ以上であるにもかかわ
らず、出力(TAA)、分解能(Res)、半値幅(P
W50)は向上しており、概ね良好な記録再生特性が得ら
れている。 実施例B 表2に示したCoCr合金により上部磁性層を形成した
点を除いて、前記実施例Aと同様の条件で磁気記録媒体
を製作し、保磁力を調べた。その結果を表2に併せて示
す。尚、試料No. 11、No. 12及び15は比較例、N
o. 13及び14は実施例である。
て130Oe以上の高保磁力が得られており、しかも媒
体ノイズ(SNm)が同等かそれ以上であるにもかかわ
らず、出力(TAA)、分解能(Res)、半値幅(P
W50)は向上しており、概ね良好な記録再生特性が得ら
れている。 実施例B 表2に示したCoCr合金により上部磁性層を形成した
点を除いて、前記実施例Aと同様の条件で磁気記録媒体
を製作し、保磁力を調べた。その結果を表2に併せて示
す。尚、試料No. 11、No. 12及び15は比較例、N
o. 13及び14は実施例である。
【0019】
【表2】
【0020】同表より、Pt含有量が本発明範囲内のN
o. 3及び4は他の媒体に比して保磁力が極めて高いこ
とが分かる。保磁力が高いほど、同じBr・tの媒体で
は、磁性層の層厚を薄くすることができ、引いては記録
再生特性を向上させることができる。
o. 3及び4は他の媒体に比して保磁力が極めて高いこ
とが分かる。保磁力が高いほど、同じBr・tの媒体で
は、磁性層の層厚を薄くすることができ、引いては記録
再生特性を向上させることができる。
【0021】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の磁気記録媒
体は、CoCr合金磁性層を上部と下部とに分け、上部
を特定組成、特定層厚のCoCrPt合金で形成したの
で、下部磁性層のCr含有量を高くして低ノイズ化を図
っても、高保磁力および優れた記録再生特性を具備した
ものとなり、記録密度を大いに向上させることができ
る。
体は、CoCr合金磁性層を上部と下部とに分け、上部
を特定組成、特定層厚のCoCrPt合金で形成したの
で、下部磁性層のCr含有量を高くして低ノイズ化を図
っても、高保磁力および優れた記録再生特性を具備した
ものとなり、記録密度を大いに向上させることができ
る。
【図1】実施例の磁気記録媒体の要部断面図である。
1 基板 2 Cr系下地層 3 磁性層 3A 下部磁性層 3B 上部磁性層 4 保護層
Claims (1)
- 【請求項1】 非磁性の基板の上にCr系下地層、Co
合金磁性層および保護層が同順序で積層成膜された磁気
記録媒体において、 前記Co合金磁性層は前記下地層の上に形成された下部
磁性層と該下部磁性層の上に形成された上部磁性層から
なり、前記下部磁性層は原子%でCr:10〜18%、
Ta:4〜7%を含有し、残部がCoからなるCoCr
Ta合金で形成され、一方前記上部磁性層は原子%でC
r:10〜18%、Pt:10〜15%を含有し、残部
がCoからなるCoPtTa合金で形成され、かつ層厚
が2〜6nmに形成されている磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28532594A JPH08147660A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28532594A JPH08147660A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08147660A true JPH08147660A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17690090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28532594A Pending JPH08147660A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08147660A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080476A (en) * | 1997-03-28 | 2000-06-27 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording system using such a magnetic recording medium |
| US6150015A (en) * | 1997-12-04 | 2000-11-21 | Komag, Incorporated | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same |
| US6730420B1 (en) | 2000-10-31 | 2004-05-04 | Komag, Inc. | Magnetic thin film recording media having extremely low noise and high thermal stability |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP28532594A patent/JPH08147660A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080476A (en) * | 1997-03-28 | 2000-06-27 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording system using such a magnetic recording medium |
| US6403242B1 (en) | 1997-03-28 | 2002-06-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording system using such a magnetic recording medium |
| US6605374B2 (en) * | 1997-03-28 | 2003-08-12 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording system using such a magnetic recording medium |
| US6150015A (en) * | 1997-12-04 | 2000-11-21 | Komag, Incorporated | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same |
| US6500567B1 (en) | 1997-12-04 | 2002-12-31 | Komag, Inc. | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same |
| US6730420B1 (en) | 2000-10-31 | 2004-05-04 | Komag, Inc. | Magnetic thin film recording media having extremely low noise and high thermal stability |
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Legal Events
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Effective date: 20040816 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 |
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Effective date: 20050121 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |