JPH08148532A - パンチユニットを位置補正するｔａｂ試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 パンチユニット２の位置を補正するＴＡＢ試
験装置を提供する。 【構成】 先頭のＴＡＢを撮像してしてパンチユニット
２のパンチがＴＡＢの所定の位置に識別穴をあけるよう
予めパンチユニット２を位置合わせする。このときのＴ
ＡＢの画像データを初期データとして制御ユニット５内
のメモリに記憶しておく。２番目以降のＴＡＢをカメラ
３Ａで撮像し、このときの撮像データと前記初期データ
を比較照合し、位置補正量をパンチユニット２の移動手
段に指令すれば、２番目以降のＴＡＢは自動的にＴＡＢ
のパンチの打抜き位置を補正できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、パンチユニットを位
置補正するＴＡＢ試験装置についてのものである。ＴＡ
Ｂ試験装置はＩＣテスタと接続され、ＩＣテスタの試験
結果によりパンチユニットでＴＡＢに分類識別用のパン
チ穴をあける。この発明は、このようなＴＡＢ試験装置
において、ＴＡＢに対してパンチユニットの位置を自動
的に補正する。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢはテープ状のフィルムに繰り返し
形成された導体のリードと半導体チップの電極の対応す
る部分とを重ね合わせ適当な手段により接合したもので
ある。このようなＴＡＢを繰り返し形成するキャリアテ
ープを、この発明ではＴＡＢテープと呼称することす
る。

【０００３】次に、従来技術によるＴＡＢ試験装置の構
成を図３により説明する。図３の１はＴＡＢテープ、３
Ｂはカメラ、３Ｄは光源、４は画像処理ユニット、５は
制御ユニットである。また、６Ａは供給リール、６Ｂは
収容リール、６Ｃと６Ｂはスプロケット、６Ｅと６Ｆは
プーリ、６Ｇと６Ｈはスプロケット、７はプッシャ、８
はパンチユニットである。

【０００４】図３では、スプロケット６Ｃは供給リール
６Ａが送り出すＴＡＢテープ１をプッシャ７側に走行さ
せる。スプロケット６ＤはＴＡＢテープ１を収容リール
６Ｂ側に走行させ、収容リール６ＢはＴＡＢテープ１を
巻き取る。プーリ６Ｅは回転中心を固定し、スプロケッ
ト６Ｃとスプロケット６Ｇ間に介在して配置される。プ
ーリ６Ｆは回転中心を固定し、スプロケット６Ｈとスプ
ロケット６Ｄ間に介在して配置される。プーリ６Ｅ・６
ＦはＴＡＢテープ１の走行路を変換する。

【０００５】プッシャ７の両翼にはスプロケット６Ｇ・
６Ｈが配置され、スプロケット６Ｇとスプロケット６Ｈ
は同期回転してＴＡＢテープ１を走行させる。プッシャ
７の下面にはプローブカードが配置され、ＴＡＢテープ
１はプッシャ７とプローブカード間を走行する。プッシ
ャ７がＴＡＢテープ１を保持して降下すると、ＴＡＢは
プローブカードに接触し、プローブカードに接続するＩ
ＣテスタでＴＡＢが測定される。

【０００６】撮像カメラ３Ｂはプッシャ７と対向する位
置に配置され、光源３Ｄの出射光によるＴＡＢの画像を
撮像する。撮像カメラ３Ｂは画像処理ユニット４に接続
され、画像処理ユニット４は撮像カメラ３ＢによるＴＡ
Ｂの画像データを画像処理する。画像処理ユニット４は
制御ユニット５に接続され、制御ユニット５は前記画像
データが入力される。

【０００７】制御ユニット５に前記画像データが入力さ
れると、制御ユニット５はプッシャ７を位置補正するよ
う指令する。前記指令により、プッシャ７はＴＡＢテー
プ１の走行方向またはＴＡＢテープ１の走行方向と直交
方向にプッシャ７を微小移動してＴＡＢをプローブカー
ドに正確に接触させる。

【０００８】パンチユニット８はスプロケット６Ｈとプ
ーリ６Ｆ間に配置され、ＩＣテスタの試験結果によりパ
ンチユニット８でＴＡＢに分類識別用のパンチ穴をあけ
る。

【０００９】次に、パンチユニット８の構成を図４によ
り説明する。図４の８Ａはパンチ、８Ｂはシリンダ、８
Ｃはフレーム、８Ｄはパンチガイド、８Ｅはパンチダイ
である。

【００１０】図４に示されるように、ＴＡＢテープ１は
パンチガイド８Ｄとパンチダイ８Ｅ間をインデックス送
りされる。シリンダ８Ｂはフレーム８Ｃに保持され、Ｉ
Ｃテスタの試験結果により駆動する。パンチ８Ａはパン
チガイド８Ｄに案内されて移動する。フレーム８Ｃはパ
ンチガイド８Ｄに保持され、パンチガイド８Ｄはパンチ
ダイ８Ｅに保持される。パンチダイ８Ｅにはパンチ８Ａ
が入るパンチ穴があけられる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ＴＡＢは検査工程の関
係から、ＴＡＢ試験装置で試験される前工程でバーンイ
ン装置で検査される場合がある。バーンイン装置でＴＡ
Ｂを検査するときには、ＴＡＢテープは所定の長さに寸
断される。この場合、図５に示されるように所定の長さ
に寸断されたＴＡＢテープ１を接着テープ１Ｄで連結
し、このＴＡＢテープをＴＡＢ試験装置の工程で使用す
る。

【００１２】図３のＴＡＢ試験装置では、図５に示され
る継ぎ目があるＴＡＢテープは、パンチユニットの設置
位置にＴＡＢが精度良く搬送されないため、ＴＡＢの所
定の位置に識別穴をあけられない場合がある。また、Ｔ
ＡＢテープ自体のたわみ、ＴＡＢ試験装置の送り誤差な
どの要因より、ＴＡＢの所定の位置に識別穴をあけられ
ない場合もある。特に、ＴＡＢのパターンが微細化、高
密度化すると、パンチユニットでＴＡＢのパターンを破
損してしまうのでパンチユニットの精密な位置合わせが
必要となる。

【００１３】この発明は、先頭のＴＡＢを撮像カメラで
撮像し、前記撮像データを初期データとして記憶し、２
番目以降のＴＡＢは撮像カメラの画像データと前記初期
データと比較照合してパンチユニットを位置補正するＴ
ＡＢ試験装置の提供を目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、測定されたＴＡＢを測定結果により前
記ＴＡＢに識別穴をあけるＴＡＢ試験装置であって、Ｔ
ＡＢテープ１の走行方向に微小移動またはＴＡＢテープ
１の走行方向と直交方向に微小移動するパンチユニット
２と、パンチユニット２に対応するＴＡＢを撮像するカ
メラ３Ａと、カメラ３Ａによる画像データを受信する画
像処理ユニット４と、画像処理ユニット４の前記画像デ
ータを入力する制御ユニット５とを備え、ＴＡＢテープ
１の先頭のＴＡＢを撮像して前記撮像データを制御ユニ
ット５に初期データとして記憶し、２番目以降のＴＡＢ
を撮像し、前記初期データと比較照合し、パンチユニッ
ト２の位置を補正する。

【００１５】

【作用】前述の構成に依れば、この発明は、先頭のＴＡ
Ｂを撮像してパンチユニット２のパンチがＴＡＢの所定
の位置に識別穴をあけるよう予めパンチユニット２を位
置合わせする。このときのＴＡＢの画像データを初期デ
ータとして制御ユニット５内のメモリに記憶しておく。
２番目以降のＴＡＢをカメラ３Ａで撮像し、このときの
撮像データと前記初期データを比較照合し、位置補正量
をパンチユニットの移動手段に指令すれば、２番目以降
のＴＡＢは自動的にＴＡＢのパンチの打抜き位置を補正
できる。

【００１６】

【実施例】次に、この発明によるＴＡＢ試験装置の構成
を図１の実施例により説明する。図１の２はパンチユニ
ット、３Ａはカメラ、３Ｃは光源であり、その他は図３
と同じものである。すなわち、図１は図３のパンチユニ
ット８をパンチユニット２に置き換え、図３にカメラ３
Ａと光源３Ｃを追加したものである。

【００１７】図１では、供給リール６Ａおよび収容リー
ル６Ｂは図３と同じ機能をするので、説明を省略する。
同様に、スプロケット６Ｃ・６Ｄ、プーリ６Ｅ・６Ｆも
図３と同じ機能をするので、説明を省略する。さらに、
プッシャ７、光源３Ｄ、カメラ３Ｂも図３と同じ働きを
するので説明を省略する。

【００１８】図１では、パンチユニット２はＴＡＢテー
プ１の走行方向に微小移動またはＴＡＢテープ１の走行
方向と直交方向に微小移動する。カメラ３Ａと光源３Ｃ
はパンチユニット２に隣接する。カメラ３Ａは例えばＣ
ＣＤなどの撮像用カメラであり、カメラ３Ａは光源３Ｃ
の出射光により、パンチユニット２に対応するＴＡＢの
画像を撮像する。

【００１９】カメラ３Ａは画像処理ユニット４に接続さ
れ、画像処理ユニット４はＴＡＢの画像データを画像処
理する。前記画像データは制御ユニット５に送出され
る。制御ユニット５は前記画像データを記憶するメモリ
をもつ。また、制御ユニット５はパンチユニット２の移
動手段に指令する。

【００２０】次に、パンチユニット２の実施例の構成を
図２により説明する。図２の２Ａはパンチ、２Ｂはシリ
ンダ、２Ｃはフレーム、２Ｄはパンチガイド、２Ｅはパ
ンチダイである。符号２Ａ〜２Ｅでパンチユニット２を
構成する。また、図２の２１と２２はモータ、２３と２
４はボールねじである。モータ２１とボールねじ２３で
パンチユニット２をＴＡＢテープ１の走行方向に移動す
る第１の移動手段を構成する。モータ２２とボールねじ
２４でパンチユニット２をＴＡＢテープ１の走行方向と
直交方向に移動する第２の移動手段を構成する。

【００２１】図２に示されるように、ＴＡＢテープ１は
パンチガイド２Ｄとパンチダイ２Ｅ間をインデックス送
りされる。シリンダ２Ｂはフレーム２Ｃに保持され、Ｉ
Ｃテスタの試験結果により駆動する。パンチ２Ａはパン
チガイド２Ｄに案内されて移動する。フレーム２Ｃはパ
ンチガイド２Ｄに保持され、パンチガイド２Ｄはパンチ
ダイ２Ｅに保持される。パンチダイ２Ｅにはパンチ２Ａ
が入るパンチ穴があけられる。シリンダ２Ｂはパンチ２
Ａの駆動手段であり、エアシリンダに代えて電磁ソレノ
イドなどの駆動手段を使用してもよい。

【００２２】図２では、モータ２１が駆動すると、モー
タ２１の回転軸に連結するボールねじ２３が回転し、パ
ンチユニット２をＴＡＢの走行方向（Ｘ方向とする。）
に微小移動させる。モータ２２が駆動すると、モータ２
２の回転軸に連結するボールねじ２４が回転し、パンチ
ユニット２をＴＡＢの走行方向と直交方向（Ｙ方向とす
る。）に微小移動させる。モータ２１・２２にパルスモ
ータを使用し、モータ２１・２２に歯車減速器を連結す
れば、パンチユニット２をＸＹ方向に微小送りできる。

【００２３】次に、図１の動作を説明する。図１では、
先頭のＴＡＢをカメラ３Ａで撮像し、パンチユニット２
のパンチがＴＡＢの所定の位置に識別穴をあけるよう予
めパンチユニット２を目視またはモニタテレビで位置合
わせする。このときのＴＡＢの画像データを初期データ
として制御ユニット５内のメモリに記憶しておく。な
お、パンチユニット２は初期の位置がイニシャライズさ
れる。

【００２４】２番目以降のＴＡＢは、カメラ３Ａにより
ＴＡＢの画像が撮像され、画像処理ユニット４は前記画
像データを受信して、画像データを制御ユニット５に送
出する。

【００２５】制御ユニット５は、前記記憶された初期デ
ータとパンチユニット２が対応するＴＡＢの画像データ
を比較照合する。次に、制御ユニット５は比較照合の結
果をパンチユニット２の補正移動量に換算して補正値と
し、パンチユニット２をＸ方向または、Ｙ方向に移動指
令する。

【００２６】このように、２番目以降のＴＡＢを撮像し
て逐次パンチユニット２を位置補正すれば、自動的に正
確な位置にパンチ穴をあけることができる。

【００２７】図１では、パンチユニット２の右にＴＡＢ
を撮像するカメラ３Ａを配置したが、パンチユニット２
に対応するＴＡＢを撮像するためには、パンチユニット
２の左にカメラ３Ａと光源３Ｃを配置してもよい。ま
た、図２の光源３Ｃは光源ボックスを使用し、カメラ３
ＡはＴＡＢの透過画像を撮像するが、ＴＡＢ試験装置の
使用環境が満足されれば、光源３Ｃは不要となる。

【００２８】図４の固定式パンチユニットはＴＡＢテー
プの継ぎ目、ＴＡＢテープ自体のたわみ又はＴＡＢ試験
装置の送り誤差でＴＡＢテープの位置決め精度 0.5mm以
上である。

【００２９】この発明は、ＴＡＢ試験装置で測定する最
大形状70mm×76mmを約38万画素のカメラ（１／３ＣＣ
Ｄ）にて画像認識し、位置決めの補正データを処理する
ので、１画素約 0.015mm角となり、位置決め精度が 0.0
15mmの分解能で得られる。すなわち、従来より33倍の位
置精度が得られる。

【００３０】

【発明の効果】この発明は、先頭のＴＡＢを撮像カメラ
で撮像し、前記撮像データを初期データとして記憶し、
２番目以降のＴＡＢは撮像カメラの画像データと前記初
期データと比較照合してパンチユニットを位置補正する
ので、ＴＡＢのパターンの微細化、高密化により小スペ
ース化したマーク領域にパンチ穴をあける場合に、ＴＡ
Ｂの位置ずれによるＴＡＢのパターンの破損を防ぐこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるＴＡＢ試験装置の構成図であ
る。

【図２】この発明によるパンチユニットの構成図であ
る。

【図３】従来技術によるＴＡＢ試験装置の構成図であ
る。

【図４】従来技術によるパンチユニットの構成図であ
る。

【図５】継ぎ目があるＴＡＢテープの外観図である。

【符号の説明】

１ ＴＡＢテープ ２ パンチユニット ３Ａ カメラ ３Ｂ カメラ ３Ｃ 光源 ３Ｄ 光源 ４ 画像処理ユニット ５ 制御ユニット ６Ａ 供給リール ６Ｂ 収容リール ６Ｃ スプロケット ６Ｄ スプロケット ６Ｅ プーリ ６Ｆ プーリ ６Ｇ スプロケット ６Ｈ スプロケット ７ プッシャ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定されたＴＡＢを測定結果により前記
   ＴＡＢに識別穴をあけるＴＡＢ試験装置であって、 ＴＡＢテープ(1) の走行方向に微小移動またはＴＡＢテ
   ープ(1) の走行方向と直交方向に微小移動するパンチユ
   ニット(2) と、 パンチユニット(2) に対応するＴＡＢを撮像するカメラ
   (3A)と、 カメラ(3A)による画像データを受信する画像処理ユニッ
   ト(4) と、 画像処理ユニット(4) の前記画像データを入力する制御
   ユニット(5) とを備え、 ＴＡＢテープ(1) の先頭のＴＡＢを撮像して前記撮像デ
   ータを制御ユニット(5) に初期データとして記憶し、 ２番目以降のＴＡＢを撮像し、前記初期データと比較照
   合し、パンチユニット(2) の位置を補正することを特徴
   とするパンチユニットを位置補正するＴＡＢ試験装置。