JPH0814939A - 非接触式直動変位センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 二次コイルの両端子間に発生する電圧信号を
増幅する増幅回路をハウジング内蔵にし、小型で高精度
な出力を発生する非接触式直動変位センサを提供するこ
とにある。 【構成】 センサは、直線的に変位する変位軸３に固定
される磁性体からなるコア１４と、コア１４を軸方向に
移動可能に収容する穴１３を有する筒状のボビン５を備
える。ボビン５の外周部には、差動トランス型の一次コ
イル１ａ、１ｂ及び二次コイル１５ａ、１５ｂが巻回さ
れ、ボビン５は、一次コイル１ａ、１ｂの通電時に磁気
回路の一部を構成する筒状ハウジング７に内蔵固定され
る。コア１４の位置に応じて二次コイル１５ａ、１５ｂ
の両端子間に発生する電圧信号を増幅する増幅回路を備
える回路部６はハウジング７内に備えられる。検出方式
を差動トランス式とし、さらにコアの電気磁気特性、コ
イルの巻数、励磁周波数の最適値等を選定するため、高
精度かつ安価な位置センサになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非接触式直動変位セン
サに関するもので、例えばディーゼルエンジン用燃料噴
射ポンプに使用される位置センサに用いると好適な非接
触式直動変位センサに係る。

【０００２】

【従来の技術】実開平５−８１６１１号公報に開示され
る変位センサは、インダクタンス式位置センサであっ
て、一次巻線と二次巻線を各１個のコイルで構成できる
ため結線が簡略化できるという利点がある。このインダ
クタンス式位置センサは、変位部材と連動するコアを支
持するロッドが非磁性体でかつ絶縁体である材料により
形成されている。

【０００３】特公平５−１８０４６号公報に開示される
ものは、シャフトのねじれ変位に応じて軸方向に変位可
能な磁性体を設け、この磁性体の両側に非磁性導電部材
を固着した差動トランス式変位センサである。一次コイ
ルにより発生する磁束のうち非磁性導電部材を通る漏洩
磁束により環状部材に渦電流を生じ、この渦電流により
漏洩磁束と逆方向の磁束を生じさせることで漏洩磁束を
抑え、検出感度および検出精度を向上する。

【０００４】実開平１−１７３６１８号公報に開示され
るものは、変位部材を非磁性体シャフトで構成し、この
シャフトに嵌合する円筒状部材である磁気コアを設け、
この磁気コアの表面中央部先端外周に摺動材を形成した
差動トランス式変位センサである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
前記実開平５−８１６１１号公報に開示される変位セン
サは、インダクタンス式位置センサであり、検出感度が
小さいために回路に大きな増幅率が必要となり、しかも
回路の温度依存特性が上乗せされて精度が低下するとい
う問題がある。

【０００６】また、前記特公平５−１８０４６号公報及
び実開平１−１７３６１８号公報に開示される変位セン
サにおいては、二次コイルの両端子で発生する電位差を
増幅する回路の構成についてはいずれも開示されていな
い。この両公報にはセンサハウジング内に差動トランス
型の一次コイルと二次コイルを内蔵する技術が開示され
ているが、二次コイルの両端子間に発生する電圧信号を
増幅する増幅回路は、開示されていない。

【０００７】本発明の目的は、このような二次コイルの
両端子間に発生する電圧信号を増幅する増幅回路をハウ
ジング内蔵にし、小型で高精度な出力を発生する非接触
式直動変位センサを提供することにある。本発明の別の
目的は、検出方式を差動トランス式とし、さらにコアの
電気磁気特性、コイルの巻数、励磁周波数の最適値等を
選定することにより、高精度かつ安価な位置センサを提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
非接触式直動変位センサは、直線的に変位する変位部材
と、この変位部材に固定される磁性体からなるコアと、
前記コアを軸方向に移動可能に収容する穴を有する筒状
ボビンと、前記ボビンの外周部に巻回される差動トラン
ス型の一次コイル及び二次コイルと、前記一次コイル及
び二次コイルの外周部に配設され前記ボビンを固定する
とともに前記一次コイルの通電時に磁気回路の一部を構
成する筒状ハウジングと、前記ハウジングに内蔵され、
前記コアの位置に応じて前記二次コイルの両端子間に発
生する電圧信号を増幅する増幅回路とを備えたことを特
徴とする。

【０００９】本発明の請求項２記載の非接触式直動変位
センサは、前記コアを最大透磁率４０００以上でかつ比
抵抗５×１０^-5Ω・ｃｍ以上の磁性体で構成し、前記一
次コイルと前記二次コイルの巻数をそれぞれ１００〜５
００ターンとし、前記一次コイルに通電する励磁周波数
を０．５〜５ｋＨｚとしたことを特徴とする。本発明の
請求項３記載の非接触式直動変位センサは、前記コアと
このコアを固定する前記変位部材とが、ねじ結合、圧
入、かしめ等の機械的手段で結合されることを特徴とす
る。

【００１０】本発明の請求項４記載の非接触式直動変位
センサは、前記増幅回路を搭載する基板が、前記ハウジ
ング内部に径方向もしくは軸方向に配置されることを特
徴とする。本発明の請求項５記載の非接触式直動変位セ
ンサは、前記基板が、前記ハウジング内部に前記コアに
対し前記変位部材側と反対側に配置されることを特徴と
する。

【００１１】本発明の請求項６記載の非接触式直動変位
センサは、前記二次コイルが、前記ボビンの外周におい
て前記一次コイルに層状に重ね巻きされたことを特徴と
する。本発明の請求項７記載の非接触式直動変位センサ
は、前記二次コイルが、前記ボビンの外周において前記
一次コイルが巻回される軸方向一端側または両端側に前
記一次コイルと同軸上に巻回されたことを特徴とする。

【００１２】

【作用および発明の効果】請求項１記載の非接触式直動
変位センサによると、ハウジング内に二次コイルの出力
を増幅する増幅回路を内蔵する構成にしたため、センサ
出力が高精度なものとなる。またこの差動トランス式変
位センサは、コアに渦電流が生じにくく出力特性の直線
性が良好である。

【００１３】請求項２記載の非接触式直動変位センサに
よると、変位センサの出力が高感度かつ高精度なものと
なる。請求項３記載の非接触式直動変位センサによる
と、変位部材とコアの固定手段が機械的結合手段である
から、センサの性能に悪影響を及ぼすことなく信頼度の
高い固定方法であるという効果がある。

【００１４】請求項４記載の非接触式直動変位センサに
よると、増幅回路を搭載する基板がハウジング内に設け
られる構成であるから、センサの出力が高感度かつ高出
力になる。請求項５記載の非接触式直動変位センサによ
ると、ハウジング内部の変位部材が動く側と反対側に増
幅回路搭載用の基板を設けたため、ハウジング内の空間
を有効に利用して小型のセンサが得られるという効果が
ある。

【００１５】請求項６または７記載の非接触式直動変位
センサによると、一次コイルが励磁されている場合変位
部材の位置に応じた電圧が二次コイルに誘起されるた
め、良好な差動トランス型の高感度かつ高精度なセンサ
出力が得られるという効果がある。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 （第１実施例）図１は、本発明を適用した位置センサの
実施例の変位センサを示し、図２はこの変位センサの回
路構成を示す。

【００１７】円筒状ハウジング７の内部に一次コイル１
ａ、１ｂと二次コイル１５ａ、１５ｂを巻回する円筒状
のボビン５が内蔵固定されている。ボビン５に形成され
る内壁１３により形成される軸方向に延びる穴の内部に
は、軸方向に移動可能なコア１４が挿入されている。変
位軸３は、その一端に形成される雄ねじ３ａと取付部材
４のヨーク３０に形成される雌ねじ３０ａとがねじ結合
されることで、取付部材４と固定されている。取付部材
４の他端側は小径の棒状部分３１が形成されており、こ
の棒状部分３１の外周部に円筒状のコア１４が圧入固定
されている。

【００１８】コア１４は、この例では電磁ステンレスＤ
ＳＵＳＩ７Ｆを材料とし、変位軸３に非磁性の取付部材
４を介して取付けられている。このコア１４は、ボビン
５の内壁１３で形成される軸穴を軸方向に変位自由であ
り、このコア１４は、ボビン５の内壁１３と隔離された
非接触構造となっている。図１に示す状態では、コア１
４は、一次コイル１ａ、１ｂおよび二次コイル１５ａ、
１５ｂに対し最も左側位置にある状態を示しており、変
位軸３はこの図１に示す位置から右方向に直線往復動す
るようになっている。

【００１９】ボビン５の変位軸３側は、一方の端部外周
に形成される溝５ａに嵌合されるＯリング１２によりボ
ビン５の回路部６側との液密が保持されている。ボビン
５の他方の端部には溝５ｂが形成され、この溝５ｂに嵌
合されるＯリング１９によりハウジング７の回路部６側
と外部側との液密が保持されている。ボビン５の端部に
形成されるフランジ２２の外周部にハウジング７の端部
７ａがかしめ固定されている。また、このかしめ部の外
周部には、防水性を高めるためにゴムカバー１１により
センサ端面が覆われている。

【００２０】一次コイル１ａ、１ｂと二次コイル１５
ａ、１５ｂは、二層構造であり、ボビン５の外周に形成
される溝５ｃ、５ｄの下層に一次コイル１ａ、１ｂが巻
数２５０ターンで巻かれ、溝５ｃ、５ｄの上層に二次コ
イル１５ａ、１５ｂが巻数２５０ターンが重ね巻きされ
ている。一次コイル１ａと１ｂは、直列に接続して励磁
コイルを総巻数５００ターンに構成している。二次コイ
ル１５ａと１５ｂも同様に、総巻数５００ターンに構成
している。

【００２１】一次コイル１ａ、１ｂと二次コイル１５
ａ、１５ｂから引出されるワイヤは回路部６内のターミ
ナル５１等と接続されており、回路部６から取出される
３個のターミナル２４は、外部に電気配線を取出すため
のターミナル９の一端と電気的に接続されている。ター
ミナル９の外周部はゴム栓８で被覆されており、このゴ
ム栓８がボビン５に形成される穴５ｅに収容されてい
る。このターミナル９等に相当する３個の端子は図２に
示す端子１６、１７、１８である。カバー１１の端部
は、ターミナル９に接続されるワイヤ１０を内蔵した状
態でバンド２６で絞られており、このバンド２６が取付
具２７により締付固定されている。

【００２２】変位センサの電気回路は、図２に示すよう
に、構成される。一次コイル１ａ、１ｂの両端子には回
路部６を経由して所定周波数の交流電圧が印加される。
二次コイル１５ａ、１５ｂの両端子は、回路部６に導か
れ、この回路部６内の増幅器３５において二次コイル１
５ａ、１５ｂの両端電位差を増幅する。回路部６は、端
子１６、１７、１８が取り出され、第１の端子１６には
回路部６内の増幅器３５を駆動する電源電圧Ｖ_CCが図示
しない外部電源から印加され、また第２の端子１７には
二次コイル１５ａ、１５ｂの両端電位差の増幅された電
圧Ｖ_OUT が発生し、第３の端子１８には標準電位ＶGnd
が発生している。回路部６は、一次コイル１ａ、１ｂを
周波数１〜２ｋＨｚにて励磁し、かつ二次コイル１５
ａ、１５ｂの出力電圧差を増幅する増幅器３５を有して
おり、コイル１ｂ、１５ｂの端末近傍のボビン５の凹部
５ｆに配設されている。

【００２３】次に、この実施例による非接触式直動変位
センサの作動について説明する。ボビン５の内部に形成
される空間部に軸方向にコア１４が移動可能になってい
る。例えば、変位軸３が図１に示す位置から軸方向右側
に変位すると、この変位軸３に取付けられるコア１４が
コイル１ａ、１ｂの内部を軸方向に移動する。回路部６
により一定周波数で励磁されるコイル１ａ、１ｂの一次
コイルは、交流の磁束を発生し、同時に二次コイル１５
ａ、１５ｂにも発生磁束が鎖交している。

【００２４】ここで、変位軸３の移動によりコア１４が
一次コイル１ａ、１ｂ内を移動して磁束密度が変化する
と、二次コイル１５ａ、１５ｂに鎖交する磁束量が変化
する。このとき二次コイルに誘起される電圧がコア位置
に比例するため、二次コイル１５ａ、１５ｂの電圧差を
増幅器３５にて増幅し、この増幅信号を検出することに
より、コア１４の位置が電圧値として検知される。

【００２５】次に、一次、二次コイルの巻き数、温度、
励磁周波数、コアの透磁率、比抵抗等がセンサの感度に
与える影響について実験した実験データについて説明す
る。 (1) 巻数依存性 前記第１実施例の一次コイルの巻き総数を５００ターン
に固定し、二次コイルの巻き総数を変化させ、センサ出
力の感度を測定した。その実験結果を二次コイルの巻数
と感度との関係として図３に示す。

【００２６】図３から理解されるように、この実施例で
は、差動トランス式変位センサであるため、二次コイル
に発生する電圧すなわち感度は、二次コイルの巻数に比
例する。図３に示すように、インダクタンス式変位セン
サと異なり、二次コイルの巻数を増大するほどこの巻数
に比例して感度が良好になることが判る。 (2) 温度依存性 本実施例の非接触式直動変位センサの温度変化による感
度の影響を実験した。その実験結果を図４に示す。

【００２７】実験は温度２５℃の環境での感度と１２０
℃の環境での感度とを比較し、各比較を、一次コイルの
巻き総数５００に固定し、二次コイルの巻き総数を１０
０、２００、３００、４００、５００の各場合について
行った。その実験結果を図４に示す。図４は、横軸に二
次コイルの巻数、縦軸に温度２５℃から１２０℃に変化
させたときの感度の変化率（％）を示す。ここで図４に
示すグラフは、温度２５℃の環境での感度に対する１２
０℃の環境での感度の変化率をプロットした。

【００２８】図４から理解されるように、二次コイルの
巻数が１００巻から３００巻程度においては感度の変化
率は小さいが、二次コイルの巻数が３００巻を超える
と、感度の変化率は著しく大きくなり温度変化に対する
出力電圧の変化率（温度特性）が悪化することが判る。
このため、本実施例による非接触式直動変位センサの使
用温度が２５℃から１２０℃の範囲においても感度の変
化率ができるだけ小さい範囲すなわち二次コイルの巻数
が１００巻から３００巻程度が望ましいと考えられる。
なお、二次コイルの巻数の増加により、ボビンの外径が
大型化するという不利点も考慮して巻数を設定するのが
望ましい。

【００２９】(3) 励磁周波数依存性 本実施例の非接触式直動変位センサの一次コイルに印加
する交流の周波数が感度に与える影響について実験し
た。一次コイルの巻き総数と二次コイルの巻き総数をそ
れぞれ５００に固定し、一次コイルに印加する交流の周
波数を変化させ、感度を測定した。その結果を図５に示
す。図５は横軸に励磁周波数を示し縦軸に感度を示す。

【００３０】図５に示すグラフから明らかなように、励
磁周波数ｆ＝５ｋＨｚ以下において感度が最大となり、
望ましい励磁周波数は０．５〜５ｋＨｚであった。 (4) 励磁周波数及び温度依存性 前記(3) にて望ましい励磁周波数０．５〜５ｋＨｚとし
て得られた励磁周波数の範囲において、温度依存性につ
いて実験したところ、温度２５℃から１２０℃の範囲に
おいて、感度の変化率が±２％程度となり良好であるこ
とが判った。また好ましくは、励磁周波数を０．５〜２
ｋＨｚの低周波数とすることにより、出力直線性をも向
上させられるという効果がある。これは渦電流の発生量
を低減できるためと考えられる。

【００３１】(5) 透磁率依存性 本実施例の非接触式直動変位センサのコアの透磁率と感
度との関係を実験した。その結果を図７に示す。コアの
材料に電磁ステンレスを用いた場合、その透磁率は図７
に示すグラフの結果によると、４０００以上の磁性材料
を選定することが感度向上の観点から望ましい。

【００３２】コアの前記の実施例では、コアの材質に電
磁ステンレスを用いている。この電磁ステンレスは加工
容易であり組付方法もネジ止め、かしめ等による簡略な
方法が可能となるため、小型化および高精度かつ安価な
センサの製作実現が可能となるという効果がある。 (6) 比抵抗依存性 コアの比抵抗と温度変化による感度の変化率の関係を実
験した。その結果を図８に示す。

【００３３】図８に示すように、コアの材料については
電磁ステンレスを用いる場合、５×１０^-5Ω・ｃｍ以上
の比抵抗の磁性材料を選定することが感度向上の観点か
ら望ましいことが判る。 （第２実施例）本発明の第２実施例による非接触式直動
変位センサのコイルの巻き方の変形例を図９に示す。

【００３４】この図９に示す第２実施例は、検出可能な
コアの変位量（検出ストローク）を増大することを可能
にした例である。その構成については、図９に示すよう
に、コア１４の外周に位置する一次コイル１ａの軸方向
両端側にそれぞれ二次コイル１５ｃ、１５ｄを一次ボビ
ンに巻くようにした例である。一次コイル１ａには回路
部６により一定周波数の交流電流が供給される。二次コ
イル１５ｃ、１５ｄにも同様に電圧Ｖ_ccの電圧が誘起さ
れている。ここで変位軸の移動によりコア１４が図９に
示す点線位置から右方向に示す実線位置まで移動する位
置に応じた磁束量となる。これに対応するように二次コ
イル１５ｃ、１５ｄの誘起電圧が変化し、この電圧値よ
りコア１４の位置を電圧値として検出できる。

【００３５】本実施例によると、一次コイル１ａの軸方
向両側に二次コイル１５ｃ、１５ｄを巻く構成としたた
め、コア１４の検出ストロークを増大することができる
という効果がある。 （第３実施例）本発明の第３実施例を図１０に示す。図
１０に示す第３実施例は、一次コイル１ａ、１ｂならび
に二次コイル１５ａ、１５ｂの巻線ワイヤの径のばらつ
き例えば１０μｍ程度のばらつきにより整列巻きした場
合、巻線コイルの各層での巻数が異なり特性にばらつき
が発生するという問題があるので、この特性のばらつき
を解消するために、コイルの各層の巻数を所望の巻数と
し特性の安定化を図るという効果を狙ったものである。

【００３６】図１０に示す実施例では、ボビン５の一次
コイル１ａならびに二次コイル１ｂの巻き位置の最終側
位置に外周方向に溝３２、３３を形成し、この溝３１、
３２にわずかに嵌まり込むコイル１ａ−１、１ｂ−１に
よりワイヤ径のばらつきを吸収し、ボビン５に巻かれる
コイルの各層の巻数を所望の値とし、特性を安定化する
ことができるという効果がある。溝３１、３２の径は、
コイルの径よりも小さい径にする。

【００３７】なお、一次コイル、二次コイルの層数は、
本実施例に示す各一層に限らず複数層であっても良い。 （第４実施例）本発明の第４実施例を図１１に示す。図
１１に示す第４実施例は、コアを取り付けた取付部材４
と変位軸３との取付け手段の改良である。変位軸３の端
部に雌ねじ３３を形成し、取付部材４の端部に雄ねじ３
４を形成し、雌ねじ３３と雄ねじ３４とをねじ結合して
いる。

【００３８】第４実施例の変形例を図１２、図１３およ
び図１４に示す。図１２に示す変形例は、図１１に示す
コア１４と取付部材４に代えて取付部とコアとを金属材
料を用いて一体化した例である。この一体化したコア３
６は、その取付側に雄ねじ３７を外周部に形成し、その
中間部から段差をつけて他端部に同径の小径円柱状コア
３８を形成している。この例では、取付部である雄ねじ
部３７とコア部３８とが一体品で形成されているため、
組付および取付作業が簡易化されるという効果がある。

【００３９】図１３に示す変形例は、コア４０の取付部
材４１に雄ねじ部を形成し、コア部４２を内部にインサ
ートモールド成形した例である。この変形例において
も、一体品として構成されるため、部品点数の削除、組
付精度の向上が可能となる。図１４に示す変形例は、コ
アを形成する取付部材４３の一端側にコア部挿入用の円
筒状穴４５を形成し、この円筒状穴４５に円柱形状のコ
ア部４６を圧入し取付けた例である。取付部材４４の他
方の端部には雄ねじ４７を形成している。

【００４０】この図４に示す変形例によるコアにおいて
も、部品点数の低減ならびに組付精度の向上が図れると
いう効果がある。なお、図１２、１３、１４に示す雄ね
じ部は、図１に示すごとく雌ねじにしても良い。 （第５実施例）本発明の第５実施例を図１５に示す。

【００４１】図１５（ａ）、（ｂ）に示す実施例は、巻
き線ワイヤと回路部６のターミナルとの接続部分の構造
例である。図１５（ａ）に示す接続部は、回路部６側の
ターミナル５１にＴ字状凸部５２を形成し、このＴ字状
凸部５２の凹部にコイル１を２〜５回巻いた後はんだ付
けすることで接続している。

【００４２】図１５（ｂ）による接続部は、回路部６側
のターミナル５２をＵ字状に折曲げ、このＵ字状折曲げ
部の折曲げ根元部に巻き線ワイヤ１を２〜５回巻いた後
スポット溶接等により接合した例である。このスポット
溶接による接合により信頼性が向上できるという効果が
ある。 （第６実施例）本発明の第６実施例を図１６に示す。こ
の第６実施例は、回路部６側のターミナル２４と外部側
のターミナル９を接続するターミナル形状の例である。
（ａ）は回路部側ターミナル２４１の穴２４１ａに外部
側ターミナル９を嵌込みはんだ付けする形式、（ｂ）は
回路部側ターミナル２４２の脚部２４２ａ、２４２ｂの
間の凹部に外部側ターミナル９を嵌込みはんだ付けする
形式であり、これらは貫通ならびに嵌込み後にはんだ付
けで接合するのが一般である。（ｃ）は回路部側ターミ
ナル２４２の凹部２４３ａに外部側ターミナル９を嵌込
む形式、（ｄ）は回路部側ターミナル２４４の平板部２
４４ａに外部側ターミナル９をスポット溶接する形式で
あり、（ｃ）および（ｄ）による方式でははんだ付けを
廃止することで安価なセンサの製作が可能となる。この
ときターミナル２４１、２４２、２４３、２４４には丸
形状をつけてＲ部分による熱膨張の影響を感応し応力集
中の発生を回避するようにする。

【００４３】（第７実施例）本発明の第７実施例を図１
７に示す。図１７に示す第７実施例は、図１に示す回路
部の取付けに代えて、回路部取付を軸に垂直面になるよ
うに取付けた例である。図１に示す部分と実質的に同一
構成部分については同一符号を付し、説明を省略する。

【００４４】図１７に示す第７実施例では、回路部を軸
方向に垂直方向に取付けたため、ハウジングの軸長さを
短縮することができ、変位センサの軸長の小型化を図れ
るという効果がある。回路部側ターミナル２４５に外部
ターミナル９を圧入する形式である。なお、本発明の非
接触式直動変位センサは、例えばディーゼルエンジン用
燃料噴射ポンプに使用される位置センサに用いることが
できる。変位センサの適用は、例えば、ディーゼルエン
ジン等で用いる列型燃料噴射ポンプの噴射を制御するラ
ックの位置検出に用いることができる。このラック位置
検出に本発明の非接触式直動変位センサを用いると、ラ
ック位置を適確かつ高精度に検出することで噴射時期制
御やＥＧＲ制御等を高精度かつ精密に行える。本発明
は、このラック位置検出に限らずその他の変位位置を検
出するセンサに適用することができるのはもちろんであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による非接触式直動変位セ
ンサの断面図である。

【図２】図１に示す第１実施例の回路図である。

【図３】本発明の第１実施例による二次コイルの巻数と
感度の関係を示す特性図である。

【図４】本発明の第１実施例による二次コイルの巻数と
感度の変化率との関係を示す特性図である。

【図５】本発明の第１実施例による励磁周波数と感度の
関係を示す特性図である。

【図６】本発明の第１実施例による温度と感度の変化率
との関係を示す特性図である。

【図７】本発明の第１実施例による感度と透磁率の関係
を示す特性図である。

【図８】本発明の第１実施例によるコアの比抵抗と感度
の変化率の関係を示す特性図である。

【図９】本発明の第２実施例によるコイルの巻き方変形
例を示す断面図である。

【図１０】本発明の第３実施例による巻線のボビン形状
についての変形例を示す断面図である。

【図１１】本発明の第４実施例による主要部の断面図で
ある。

【図１２】本発明の第４実施例のコア部の変形例を示す
模式図である。

【図１３】本発明の第４実施例のコア部の変形例を示す
模式図である。

【図１４】本発明の第４実施例のコア部の変形例を示す
模式図である。

【図１５】本発明の第５実施例によるコイル巻線と回路
側ターミナルとの接続部を示す構造図である。

【図１６】本発明の第６実施例による回路側ターミナル
とターミナルとの接続部を示す構造図である。

【図１７】本発明の第７実施例による非接触式直動変位
センサの断面図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ コイル ２ コア ３ 変位軸（変位部材） ４ 取付部 ５ ボビン（筒状ボビン） ６ 回路部（基板） ７ ハウジング（筒状ハウジング） １ａ、１ｂ 一次コイル １５ａ、１５ｂ 二次コイル ３５ 増幅器（増幅回路）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直線的に変位する変位部材と、 この変位部材に固定される磁性体からなるコアと、 前記コアを軸方向に移動可能に収容する穴を有する筒状
   ボビンと、 前記ボビンの外周部に巻回される差動トランス型の一次
   コイル及び二次コイルと、 前記一次コイル及び二次コイルの外周部に配設され前記
   ボビンを固定するとともに前記一次コイルの通電時に磁
   気回路の一部を構成する筒状ハウジングと、 前記ハウジングに内蔵され、前記コアの位置に応じて前
   記二次コイルの両端子間に発生する電圧信号を増幅する
   増幅回路とを備えたことを特徴とする非接触式直動変位
   センサ。
2. 【請求項２】 前記コアは最大透磁率４０００以上でか
   つ比抵抗５×１０^-5Ω・ｃｍ以上の磁性体で構成し、前
   記一次コイルと前記二次コイルの巻数をそれぞれ１００
   〜５００ターンとし、前記一次コイルに通電する励磁周
   波数を０．５〜５ｋＨｚとしたことを特徴とする請求項
   １記載の非接触式直動変位センサ。
3. 【請求項３】 前記コアとこのコアを固定する前記変位
   部材とは、ねじ結合、圧入、かしめ等の機械的手段で結
   合したことを特徴とする請求項１記載の非接触式直動変
   位センサ。
4. 【請求項４】 前記増幅回路を搭載する基板は、前記ハ
   ウジング内部に径方向もしくは軸方向に配置したことを
   特徴とする請求項１記載の非接触式直動変位センサ。
5. 【請求項５】 前記基板は、前記ハウジング内部に前記
   コアに対し前記変位部材側と反対側に配置したことを特
   徴とする請求項４記載の非接触式直動変位センサ。
6. 【請求項６】 前記二次コイルは、前記ボビンの外周に
   おいて前記一次コイルに層状に重ね巻きされたことを特
   徴とする請求項１記載の非接触式直動変位センサ。
7. 【請求項７】 前記二次コイルは、前記ボビンの外周に
   おいて前記一次コイルが巻回される軸方向一端側または
   両端側に前記一次コイルと同軸上に巻回されたことを特
   徴とする請求項１記載の非接触式直動変位センサ。