JPH08153312A - 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッド及び磁気ディスク装置Info
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- JPH08153312A JPH08153312A JP29474294A JP29474294A JPH08153312A JP H08153312 A JPH08153312 A JP H08153312A JP 29474294 A JP29474294 A JP 29474294A JP 29474294 A JP29474294 A JP 29474294A JP H08153312 A JPH08153312 A JP H08153312A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子に
センス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体から
の情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部
と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層さ
れてなる複合型の磁気ヘッド並びに磁気ディスク装置に
関し、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導
体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば
正確に且つ高感度で情報を読み出すことができる磁気ヘ
ッド及び磁気ディスク装置を実現することを目的とす
る。 【構成】 導体層6として、磁気抵抗効果素子部2Aの
近傍部分6Aを薄く形成し他の部分6Bを厚く形成した
ものを用いて磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を構成す
る。
センス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体から
の情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部
と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層さ
れてなる複合型の磁気ヘッド並びに磁気ディスク装置に
関し、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導
体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば
正確に且つ高感度で情報を読み出すことができる磁気ヘ
ッド及び磁気ディスク装置を実現することを目的とす
る。 【構成】 導体層6として、磁気抵抗効果素子部2Aの
近傍部分6Aを薄く形成し他の部分6Bを厚く形成した
ものを用いて磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を構成す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果素子及び
該磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給する導体層を有
し、磁気記録媒体からの情報の読み出しを行う磁気抵抗
効果型の再生ヘッド部と、薄膜で形成された一対の磁極
を有し、磁気記録媒体への情報の記録を行う誘導型の記
録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド、並
びに、磁気抵抗効果型の再生ヘッド部を用いて磁気記録
媒体からの情報の読み出しを行い、誘導型の記録ヘッド
部を用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置に関する。
該磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給する導体層を有
し、磁気記録媒体からの情報の読み出しを行う磁気抵抗
効果型の再生ヘッド部と、薄膜で形成された一対の磁極
を有し、磁気記録媒体への情報の記録を行う誘導型の記
録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド、並
びに、磁気抵抗効果型の再生ヘッド部を用いて磁気記録
媒体からの情報の読み出しを行い、誘導型の記録ヘッド
部を用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置に関する。
【0002】近年、磁気ディスク装置の大容量化や小型
化が要望され、面記録密度の高密度化が進んでいる。
化が要望され、面記録密度の高密度化が進んでいる。
【0003】
【従来の技術】高密度の磁気ヘッドとして、磁界の強さ
に応じて電気抵抗が変化する磁気抵抗素子を用いた磁気
抵抗効果型ヘッドが知られている。磁気抵抗効果型ヘッ
ドは、一般にはMRヘッド(MRはmagnetoresistiveの
略)と呼ばれ、異方性磁気抵抗効果を利用したAMRヘ
ッド(AMRは anisotropic magnetoresistiveの略)
や、巨大磁気抵抗効果を利用したGMRヘッド(GMR
は giant magnetoresistiveの略)等がある。
に応じて電気抵抗が変化する磁気抵抗素子を用いた磁気
抵抗効果型ヘッドが知られている。磁気抵抗効果型ヘッ
ドは、一般にはMRヘッド(MRはmagnetoresistiveの
略)と呼ばれ、異方性磁気抵抗効果を利用したAMRヘ
ッド(AMRは anisotropic magnetoresistiveの略)
や、巨大磁気抵抗効果を利用したGMRヘッド(GMR
は giant magnetoresistiveの略)等がある。
【0004】AMRヘッドは、例えば、NiFeCr
(ニッケル−鉄−クロム)等の磁化された磁性材料から
なるソフトアジャセント(soft adjusent)層と、Ta
(タンタル)等の非磁性中間層と、NiFe(フェライ
ト)等の磁気抵抗層(MR層)と、反強磁性体であるF
eMn(鉄−マンガン)で形成されて実質的に磁化され
た状態にあるBCS(boundary control stabilizatio
n)層と、記録トラック幅に相応する間隔をもってBC
S層上に並設された一対のセンス電流供給用の導体層と
を、この順序で積層して磁気抵抗効果素子部を形成さ
せ、BCS層により、磁気抵抗層に記録トラックの幅方
向の磁気バイアスを与え、ソフトアジャセント層によ
り、磁気抵抗層にBCS層の磁気バイアスと直角方向の
磁気バイアスを与えるようにしたものである。
(ニッケル−鉄−クロム)等の磁化された磁性材料から
なるソフトアジャセント(soft adjusent)層と、Ta
(タンタル)等の非磁性中間層と、NiFe(フェライ
ト)等の磁気抵抗層(MR層)と、反強磁性体であるF
eMn(鉄−マンガン)で形成されて実質的に磁化され
た状態にあるBCS(boundary control stabilizatio
n)層と、記録トラック幅に相応する間隔をもってBC
S層上に並設された一対のセンス電流供給用の導体層と
を、この順序で積層して磁気抵抗効果素子部を形成さ
せ、BCS層により、磁気抵抗層に記録トラックの幅方
向の磁気バイアスを与え、ソフトアジャセント層によ
り、磁気抵抗層にBCS層の磁気バイアスと直角方向の
磁気バイアスを与えるようにしたものである。
【0005】一方、GMRヘッドは、巨大磁気抵抗効果
を利用することで、AMRヘッドよりも、一層の高密度
化を可能にしたものである。GMRヘッドの磁気抵抗効
果素子部も、複数の磁性層を非磁性中間層を介して積層
した積層構造を有し、記録トラック幅に相応する間隔を
もって並設された一対のセンス電流供給用の導体層が、
この磁気抵抗効果素子部に取り付けられており、この点
では両者は共通している。
を利用することで、AMRヘッドよりも、一層の高密度
化を可能にしたものである。GMRヘッドの磁気抵抗効
果素子部も、複数の磁性層を非磁性中間層を介して積層
した積層構造を有し、記録トラック幅に相応する間隔を
もって並設された一対のセンス電流供給用の導体層が、
この磁気抵抗効果素子部に取り付けられており、この点
では両者は共通している。
【0006】図9は複合型の磁気ヘッドに関する従来例
であって、情報の読み出しに磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部を用い、情報の記録に誘導型の記録ヘッド部(薄膜
ヘッド)を用いたものの主要部を示す図、図10は図9
中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示す平面図であ
る。
であって、情報の読み出しに磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部を用い、情報の記録に誘導型の記録ヘッド部(薄膜
ヘッド)を用いたものの主要部を示す図、図10は図9
中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示す平面図であ
る。
【0007】これらの図において、10は磁気記録媒体
のトラック、20は磁気記録媒体への情報の記録を行う
誘導型の記録ヘッド部、30は情報の読み出しを行う磁
気抵抗効果型の再生ヘッド部である。記録ヘッド部20
は、NiFe等でなる下部磁極(上部シールド層)21
と、トラックとの対向部分が一定間隔をもって下部磁極
21と対向したNiFe等でなる上部磁極22と、これ
ら磁極21,22を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁
気記録媒体の記録トラック10に情報の記録を行わせる
コイル23等から構成される。尚、コイル23周辺の空
間には、Al2O3等でなる非磁性絶縁層24が隙間なく
設けられている。
のトラック、20は磁気記録媒体への情報の記録を行う
誘導型の記録ヘッド部、30は情報の読み出しを行う磁
気抵抗効果型の再生ヘッド部である。記録ヘッド部20
は、NiFe等でなる下部磁極(上部シールド層)21
と、トラックとの対向部分が一定間隔をもって下部磁極
21と対向したNiFe等でなる上部磁極22と、これ
ら磁極21,22を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁
気記録媒体の記録トラック10に情報の記録を行わせる
コイル23等から構成される。尚、コイル23周辺の空
間には、Al2O3等でなる非磁性絶縁層24が隙間なく
設けられている。
【0008】再生ヘッド部30はAMRヘッドやGMR
ヘッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗
効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30Aに
センス電流を供給するための一対の導体層31が記録ト
ラック幅に相応する間隔をもって設けられている。
ヘッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗
効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30Aに
センス電流を供給するための一対の導体層31が記録ト
ラック幅に相応する間隔をもって設けられている。
【0009】記録ヘッド部20と再生ヘッド部30の積
層状態を図11を用いて説明する。図11は図9におけ
る磁気ヘッドを磁気記録媒体側から見たときの記録ギャ
ップ近傍の積層構造を示す断面図である。図11におい
て、25はセラミック製の基板で、この基板25上に
は、Al2O3等でなる非磁性絶縁層26、NiFe等で
なる下部シールド層27、Al2O3等でなる非磁性絶縁
層28が、この順序で形成されており、再生ヘッド部3
0の磁気抵抗効果素子部30Aは、この非磁性絶縁層2
8上に形成される。仮に、再生ヘッド部30の磁気抵抗
効果素子部30AをAMRヘッドでもって構成するので
あれば、例えば、ソフトアジャセント層、Ta等の非磁
性中間層、NiFe等の磁気抵抗層、FeMn等のBC
S層が非磁性絶縁層28上に順次形成される。この磁気
抵抗効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30
Aにセンス電流を供給するために、膜厚一定(従来、こ
の膜厚は1000〜1200Åである)の一対の導体層
31が記録トラック幅に相応する間隔をもって形成され
ている。
層状態を図11を用いて説明する。図11は図9におけ
る磁気ヘッドを磁気記録媒体側から見たときの記録ギャ
ップ近傍の積層構造を示す断面図である。図11におい
て、25はセラミック製の基板で、この基板25上に
は、Al2O3等でなる非磁性絶縁層26、NiFe等で
なる下部シールド層27、Al2O3等でなる非磁性絶縁
層28が、この順序で形成されており、再生ヘッド部3
0の磁気抵抗効果素子部30Aは、この非磁性絶縁層2
8上に形成される。仮に、再生ヘッド部30の磁気抵抗
効果素子部30AをAMRヘッドでもって構成するので
あれば、例えば、ソフトアジャセント層、Ta等の非磁
性中間層、NiFe等の磁気抵抗層、FeMn等のBC
S層が非磁性絶縁層28上に順次形成される。この磁気
抵抗効果素子部30A上には、磁気抵抗効果素子部30
Aにセンス電流を供給するために、膜厚一定(従来、こ
の膜厚は1000〜1200Åである)の一対の導体層
31が記録トラック幅に相応する間隔をもって形成され
ている。
【0010】更に、磁気抵抗効果素子部30A及び導体
層31上には、非磁性絶縁層32が形成され、この上に
前述の記録ヘッド部20が形成されている。即ち、Ni
Fe等でなる下部磁極(上部シールド層)21、コイル
23(図11中には現れない)、Al2O3等でなる非磁
性絶縁層24、NiFe等でなる上部磁極22が、この
順序で形成されている。そして最後に記録ヘッド部20
の表面を覆うため、上部磁極22の外側にAl2O3等で
なる保護層33が形成されている。
層31上には、非磁性絶縁層32が形成され、この上に
前述の記録ヘッド部20が形成されている。即ち、Ni
Fe等でなる下部磁極(上部シールド層)21、コイル
23(図11中には現れない)、Al2O3等でなる非磁
性絶縁層24、NiFe等でなる上部磁極22が、この
順序で形成されている。そして最後に記録ヘッド部20
の表面を覆うため、上部磁極22の外側にAl2O3等で
なる保護層33が形成されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の磁
気ヘッドでは、図11から明らかなように、間隔をおい
て並設した導体層31の存在に起因して、導体層31の
形成後に成膜される上層膜が波形に形成されることにな
る。特に、導体層31に近い下部磁極(上部シールド
層)21の湾曲が大きくなる。磁極21,22が湾曲す
ると、磁気記録媒体に対向する記録ギャップの形状も湾
曲し、磁気記録媒体上の記録ギャップ端部での記録形状
(磁気パターン)がかなり歪んだものとなる。このた
め、情報の記録時における磁気ヘッドのトラック上の位
置と読み出し時における磁気ヘッドのトラック上の位置
にずれがあると、再生ヘッド部では磁気記録媒体上の記
録ギャップ端部での記録情報をも読み出すことになり、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができな
くなる。即ち、従来のこの種の磁気ヘッドでは、オフト
ラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差が生じ
るという問題があった。
気ヘッドでは、図11から明らかなように、間隔をおい
て並設した導体層31の存在に起因して、導体層31の
形成後に成膜される上層膜が波形に形成されることにな
る。特に、導体層31に近い下部磁極(上部シールド
層)21の湾曲が大きくなる。磁極21,22が湾曲す
ると、磁気記録媒体に対向する記録ギャップの形状も湾
曲し、磁気記録媒体上の記録ギャップ端部での記録形状
(磁気パターン)がかなり歪んだものとなる。このた
め、情報の記録時における磁気ヘッドのトラック上の位
置と読み出し時における磁気ヘッドのトラック上の位置
にずれがあると、再生ヘッド部では磁気記録媒体上の記
録ギャップ端部での記録情報をも読み出すことになり、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができな
くなる。即ち、従来のこの種の磁気ヘッドでは、オフト
ラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差が生じ
るという問題があった。
【0012】この問題を解決するために、導体層31を
薄く形成することが考えられるが、膜厚を薄くすると、
導体層31の抵抗が大きくなってここでの電圧降下が大
きくなり、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出す
ることが困難になる。この結果、S/Nが悪くなるとい
う新たな問題が生じる。又、導体層31での発熱によ
り、ノイズが生じるという新たな問題も生じる。
薄く形成することが考えられるが、膜厚を薄くすると、
導体層31の抵抗が大きくなってここでの電圧降下が大
きくなり、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出す
ることが困難になる。この結果、S/Nが悪くなるとい
う新たな問題が生じる。又、導体層31での発熱によ
り、ノイズが生じるという新たな問題も生じる。
【0013】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さく
すると共に導体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい
範囲であれば正確に且つ高感度で情報を読み出すことが
できる磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を実現すること
にある。
ので、その目的は、記録ヘッド部の磁極の湾曲を小さく
すると共に導体層の抵抗を下げ、オフトラックが小さい
範囲であれば正確に且つ高感度で情報を読み出すことが
できる磁気ヘッド及び磁気ディスク装置を実現すること
にある。
【0014】
【課題を解決するための手段】磁気ヘッドに関する本発
明は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセン
ス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体からの情
報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部と、
薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体への
情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層されて
なる複合型の磁気ヘッドにおいて、前記導体層の膜厚に
関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の
部分を厚く形成したことを特徴とするものである。
明は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセン
ス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体からの情
報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部と、
薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録媒体への
情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積層されて
なる複合型の磁気ヘッドにおいて、前記導体層の膜厚に
関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の
部分を厚く形成したことを特徴とするものである。
【0015】ここで、導体層の膜厚を薄くするだけでな
く、その幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の
部分は幅広に形成することが、磁極の湾曲を小さくする
と共に導体層の抵抗を下げる点から好ましい。
く、その幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の
部分は幅広に形成することが、磁極の湾曲を小さくする
と共に導体層の抵抗を下げる点から好ましい。
【0016】導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍以外の
部分を厚く形成するには、導体層を成膜により多層化す
ることが有効である。磁気ディスク装置に関する本発明
は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセンス
電流を供給する導体層を有する磁気抵抗効果型の再生ヘ
ッド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有する誘導型
の記録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド
を備え、前記磁気抵抗効果型ヘッドを用いて磁気記録媒
体からの情報の読み出しを行い、前記誘導型の薄膜ヘッ
ドを用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置において、前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗
効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の部分を厚く形成
したことを特徴とするものである。
部分を厚く形成するには、導体層を成膜により多層化す
ることが有効である。磁気ディスク装置に関する本発明
は、磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素子にセンス
電流を供給する導体層を有する磁気抵抗効果型の再生ヘ
ッド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有する誘導型
の記録ヘッド部とが積層されてなる複合型の磁気ヘッド
を備え、前記磁気抵抗効果型ヘッドを用いて磁気記録媒
体からの情報の読み出しを行い、前記誘導型の薄膜ヘッ
ドを用いて磁気記録媒体への情報の記録を行う磁気ディ
スク装置において、前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗
効果素子部の近傍部分を薄く形成し他の部分を厚く形成
したことを特徴とするものである。
【0017】更に、図面を用いて本発明の磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置における記録ヘッド部と再生ヘッド
部の積層構造を説明する。図1は本発明の磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置の原理図で、記録ヘッド及び再生ヘ
ッド部分の主要部を示す断面図、図2は図1におけるB
−B断面図である。
び磁気ディスク装置における記録ヘッド部と再生ヘッド
部の積層構造を説明する。図1は本発明の磁気ヘッド及
び磁気ディスク装置の原理図で、記録ヘッド及び再生ヘ
ッド部分の主要部を示す断面図、図2は図1におけるB
−B断面図である。
【0018】図1及び図2において、1は磁気記録媒体
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部、2は情報
の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部であ
る。記録ヘッド部1は、NiFe等でなる下部磁極(上
部シールド層)3と、一定間隔をもって下部磁極3と対
向したNiFe等でなる上部磁極4と、これら磁極3,
4を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁気記録媒体に情
報の記録を行わせるコイル5等から構成される。
への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部、2は情報
の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部であ
る。記録ヘッド部1は、NiFe等でなる下部磁極(上
部シールド層)3と、一定間隔をもって下部磁極3と対
向したNiFe等でなる上部磁極4と、これら磁極3,
4を励磁し、記録ギャップ部分にて、磁気記録媒体に情
報の記録を行わせるコイル5等から構成される。
【0019】再生ヘッド部2はAMRヘッドやGMRヘ
ッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗効
果素子部2A上には、磁気抵抗効果素子部2Aにセンス
電流を供給するための一対の導体層6が記録トラック幅
に相応する間隔をもって設けられている。ここで、導体
層6の膜厚は、磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6A
が薄く形成され、他の部分6Bは厚く形成されている。
ッド等でもって構成されるものであり、その磁気抵抗効
果素子部2A上には、磁気抵抗効果素子部2Aにセンス
電流を供給するための一対の導体層6が記録トラック幅
に相応する間隔をもって設けられている。ここで、導体
層6の膜厚は、磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6A
が薄く形成され、他の部分6Bは厚く形成されている。
【0020】
【作用】図1及び図2の構成では、導体層6の膜厚が、
磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)3等の湾曲が小さ
くなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記録
ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における
磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができ、
オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差
が生じるという事態を避けることができる。
磁気抵抗効果素子部2Aの近傍部分6Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)3等の湾曲が小さ
くなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記録
ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における
磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、
磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことができ、
オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの誤差
が生じるという事態を避けることができる。
【0021】一方、導体層6の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部2Aの近傍以外の部分6Bでは厚く形成されている
ため、導体層6の抵抗を全体として小さくすることもで
き、その結果、磁気抵抗素子部2Aの抵抗変化を高感度
で検出することが可能になり、S/Nが向上する。又、
導体層6での発熱も避けることができ、発熱に起因した
ノイズの発生も防げる。
子部2Aの近傍以外の部分6Bでは厚く形成されている
ため、導体層6の抵抗を全体として小さくすることもで
き、その結果、磁気抵抗素子部2Aの抵抗変化を高感度
で検出することが可能になり、S/Nが向上する。又、
導体層6での発熱も避けることができ、発熱に起因した
ノイズの発生も防げる。
【0022】
【実施例】図3は磁気ヘッドに関する本発明の一実施例
を示す断面図、図4は図3中の磁気抵抗効果素子部及び
導体層を示す斜視図である。これらの図において、図1
1及び図12と対応する部分には同一符号を付し、重複
部分の説明は省略する。
を示す断面図、図4は図3中の磁気抵抗効果素子部及び
導体層を示す斜視図である。これらの図において、図1
1及び図12と対応する部分には同一符号を付し、重複
部分の説明は省略する。
【0023】本実施例と図11及び図12の構成との相
違点は、導体層31部分の構成及びこれに付随した構成
にある。即ち、本実施例では、導体層31の膜厚が、磁
気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄く形成さ
れ(例えば1200Å以下。薄いほど良い)、他の部分
31Bで厚く形成されている(例えば3000〜400
0Å若しくは磁気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31
Aの2〜4倍)。
違点は、導体層31部分の構成及びこれに付随した構成
にある。即ち、本実施例では、導体層31の膜厚が、磁
気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄く形成さ
れ(例えば1200Å以下。薄いほど良い)、他の部分
31Bで厚く形成されている(例えば3000〜400
0Å若しくは磁気抵抗効果素子部30Aの近傍部分31
Aの2〜4倍)。
【0024】導体層31の磁気抵抗効果素子部30Aの
近傍以外の部分31Bを厚く形成するには、導体層31
を成膜により多層化することが有効である。本実施例で
は、図4に示したように、2層で形成した導体層31を
用いており、まず第1層31−1(例えば膜厚1200
Å以下)を形成し、次に、第1層31−1の31B部分
にだけ、第2層31−2(例えば膜厚1800〜220
0Å)を積層形成している。
近傍以外の部分31Bを厚く形成するには、導体層31
を成膜により多層化することが有効である。本実施例で
は、図4に示したように、2層で形成した導体層31を
用いており、まず第1層31−1(例えば膜厚1200
Å以下)を形成し、次に、第1層31−1の31B部分
にだけ、第2層31−2(例えば膜厚1800〜220
0Å)を積層形成している。
【0025】上記実施例での情報の記録/再生動作は、
従来のものと全く同様である。即ち、磁気記録媒体への
情報の記録を行う場合は、記録ヘッド部のコイルに電流
を流し、磁極21,22に磁束を生じさせる。これによ
り、磁極21,22の記録ギャップ部分にて漏れ磁束が
生じ、磁気記録媒体に情報の記録が行われる。
従来のものと全く同様である。即ち、磁気記録媒体への
情報の記録を行う場合は、記録ヘッド部のコイルに電流
を流し、磁極21,22に磁束を生じさせる。これによ
り、磁極21,22の記録ギャップ部分にて漏れ磁束が
生じ、磁気記録媒体に情報の記録が行われる。
【0026】一方、磁気記録媒体からの情報の読み出し
は、磁気記録媒体から外部磁界が印加された場合と印加
されない場合において磁気抵抗素子部30Aの電気抵抗
に相違があることを利用して行う。具体的には、磁気抵
抗素子部30Aでの抵抗変化を導体層35,36を介し
て検出し、磁気ヘッドが再生信号として出力する。
は、磁気記録媒体から外部磁界が印加された場合と印加
されない場合において磁気抵抗素子部30Aの電気抵抗
に相違があることを利用して行う。具体的には、磁気抵
抗素子部30Aでの抵抗変化を導体層35,36を介し
て検出し、磁気ヘッドが再生信号として出力する。
【0027】本実施例では、導体層31の膜厚が、磁気
抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)21等の湾曲が小
さくなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記
録ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時にお
ける磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあって
も、磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことがで
き、オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの
誤差が生じるという事態を避けることができる。
抵抗効果素子部30Aの近傍部分31Aで薄くなってい
るため、下部磁極(上部シールド層)21等の湾曲が小
さくなっている。このため、磁気記録媒体に対向する記
録ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の記録時にお
ける磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出し時におけ
る磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれがあって
も、磁気ディスク装置は正確に情報を読み出すことがで
き、オフトラック量が小さいにもかかわらず読み出しの
誤差が生じるという事態を避けることができる。
【0028】又、導体層31の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部30Aの近傍以外の部分31Bでは厚く且つ幅広に
形成されているため、導体層31の抵抗を全体として小
さくすることもでき(本願発明者の実験によれば、従来
10Ω程度であった抵抗を7〜8Ω程度に低下させるこ
とは容易である)、その結果、磁気抵抗素子部30Aの
抵抗変化を高感度で検出することが可能になり、S/N
も向上する。又、導体層31での発熱も避けることがで
き、発熱に起因したノイズの発生も防げる。
子部30Aの近傍以外の部分31Bでは厚く且つ幅広に
形成されているため、導体層31の抵抗を全体として小
さくすることもでき(本願発明者の実験によれば、従来
10Ω程度であった抵抗を7〜8Ω程度に低下させるこ
とは容易である)、その結果、磁気抵抗素子部30Aの
抵抗変化を高感度で検出することが可能になり、S/N
も向上する。又、導体層31での発熱も避けることがで
き、発熱に起因したノイズの発生も防げる。
【0029】尚、上記実施例では、磁気抵抗効果素子部
30Aの近傍以外の部分31Bでは導体層31を厚く且
つ幅広に形成したが、厚くするだけでもよい。又、導体
層31の接続位置はセンス電流を所定の方向に流せるも
のであればよく、図4の位置に限る必要はない。
30Aの近傍以外の部分31Bでは導体層31を厚く且
つ幅広に形成したが、厚くするだけでもよい。又、導体
層31の接続位置はセンス電流を所定の方向に流せるも
のであればよく、図4の位置に限る必要はない。
【0030】上記磁気ヘッドはセラミック製ヘッド基板
上に薄膜技術を用いて多数形成される。その後、ヘッド
基板をヘッド毎に切り出し所定の形状に加工することに
より、図5に示す磁気ヘッド付きのスライダが得られ
る。図5において、スライダ40の磁気記録媒体に対向
する面には、該磁気記録媒体の回転によって生じる空気
流の方向に沿った浮上力発生用レール41,42が設け
られている。このレール41,42の浮上面の空気流入
側部分には、傾斜面41a,42aが形成されている。
そして、スライダ40におけるレール42の後端面に、
図3に示した磁気ヘッド45が形成されている。
上に薄膜技術を用いて多数形成される。その後、ヘッド
基板をヘッド毎に切り出し所定の形状に加工することに
より、図5に示す磁気ヘッド付きのスライダが得られ
る。図5において、スライダ40の磁気記録媒体に対向
する面には、該磁気記録媒体の回転によって生じる空気
流の方向に沿った浮上力発生用レール41,42が設け
られている。このレール41,42の浮上面の空気流入
側部分には、傾斜面41a,42aが形成されている。
そして、スライダ40におけるレール42の後端面に、
図3に示した磁気ヘッド45が形成されている。
【0031】磁気ディスク装置に関する本発明の実施例
は、図5の磁気ヘッド及びスライダを用いて構成され
る。以下、磁気ディスク装置に関する本発明の実施例に
ついて説明する。
は、図5の磁気ヘッド及びスライダを用いて構成され
る。以下、磁気ディスク装置に関する本発明の実施例に
ついて説明する。
【0032】図6は図5の磁気ヘッド付きスライダを用
いた磁気ディスク装置の平面図(カバーを除いた状
態)、図7は図6におけるA−A断面図、図8は図6中
のサスペンションの斜視図である。
いた磁気ディスク装置の平面図(カバーを除いた状
態)、図7は図6におけるA−A断面図、図8は図6中
のサスペンションの斜視図である。
【0033】これらの図において、50はベースプレー
ト51上に設けられたスピンドルモータ52によって回
転駆動される磁気記録媒体としての複数枚(本実施例で
は3枚)の磁気ディスクである。
ト51上に設けられたスピンドルモータ52によって回
転駆動される磁気記録媒体としての複数枚(本実施例で
は3枚)の磁気ディスクである。
【0034】53はベースプレート51上に回転可能に
設けられたアクチュエータである。このアクチュエータ
53の一方の回転端部には、磁気ディスク50の記録面
方向に延出する複数のヘッドアーム54が形成されてい
る。このヘッドアーム54の回転端部には、スプリング
アーム55が取り付けられ、更に、このスプリングアー
ム55のフレクシャー部に前述のスライダ40が図示し
ない絶縁膜を介して傾動可能に取り付けられている。一
方、アクチュエータ53の他方の回転端部には、コイル
57が設けられている。
設けられたアクチュエータである。このアクチュエータ
53の一方の回転端部には、磁気ディスク50の記録面
方向に延出する複数のヘッドアーム54が形成されてい
る。このヘッドアーム54の回転端部には、スプリング
アーム55が取り付けられ、更に、このスプリングアー
ム55のフレクシャー部に前述のスライダ40が図示し
ない絶縁膜を介して傾動可能に取り付けられている。一
方、アクチュエータ53の他方の回転端部には、コイル
57が設けられている。
【0035】ベースプレート51上には、マグネット及
びヨークで構成された磁気回路58が設けられ、この磁
気回路58の磁気ギャップ内に、上記コイル57が配置
されている。そして、磁気回路58とコイル57とでム
ービングコイル型のリニアモータ(VCM:ボイスコイ
ルモータ)が構成されている。そして、これらベースプ
レート51の上部はカバー59で覆われている。
びヨークで構成された磁気回路58が設けられ、この磁
気回路58の磁気ギャップ内に、上記コイル57が配置
されている。そして、磁気回路58とコイル57とでム
ービングコイル型のリニアモータ(VCM:ボイスコイ
ルモータ)が構成されている。そして、これらベースプ
レート51の上部はカバー59で覆われている。
【0036】次に、上記構成の磁気ディスク装置の作動
を説明する。磁気ディスク50が停止している時には、
スライダ40は磁気ディスク50の退避ゾーンに接触し
停止している。
を説明する。磁気ディスク50が停止している時には、
スライダ40は磁気ディスク50の退避ゾーンに接触し
停止している。
【0037】次に、磁気ディスク50がスピンドルモー
タ52によって、高速で回転駆動されると、この磁気デ
ィスク50の回転による発生する空気流によって、スラ
イダ40は微小間隔をもってディスク面から浮上する。
この状態でコイル57に電流を流すと、コイル57には
推力が発生し、アクチュエータ53が回転する。これに
より、ヘッド(スライダ40)を磁気ディスク50の所
望のトラック上に移動させ、データのリード/ライトを
行なうことができる。
タ52によって、高速で回転駆動されると、この磁気デ
ィスク50の回転による発生する空気流によって、スラ
イダ40は微小間隔をもってディスク面から浮上する。
この状態でコイル57に電流を流すと、コイル57には
推力が発生し、アクチュエータ53が回転する。これに
より、ヘッド(スライダ40)を磁気ディスク50の所
望のトラック上に移動させ、データのリード/ライトを
行なうことができる。
【0038】この磁気ディスク装置では、磁気ヘッドの
導体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形
成し他の部分を厚く形成したものを用いているため、記
録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導体層の抵
抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば正確に且
つ高感度に情報を読み出すことができる。
導体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形
成し他の部分を厚く形成したものを用いているため、記
録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導体層の抵
抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば正確に且
つ高感度に情報を読み出すことができる。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、磁気ヘッドに関す
る本発明によれば、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子
部の近傍部分で薄くなっているため、下部磁極(上部シ
ールド層)等の湾曲が小さくなる。このため、磁気記録
媒体に対向する記録ギャップの形状もあまり湾曲しなく
なる。しかも、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子部の
近傍部分以外では厚く形成されるため、導体層の抵抗が
全体として小さくなる。
る本発明によれば、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子
部の近傍部分で薄くなっているため、下部磁極(上部シ
ールド層)等の湾曲が小さくなる。このため、磁気記録
媒体に対向する記録ギャップの形状もあまり湾曲しなく
なる。しかも、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素子部の
近傍部分以外では厚く形成されるため、導体層の抵抗が
全体として小さくなる。
【0040】ここで、導体層の膜厚薄くするだけでな
く、幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の部分
を幅広に形成すれば、導体層の抵抗を一層低下させるこ
とができる。
く、幅に関して、磁気抵抗効果素子部の近傍以外の部分
を幅広に形成すれば、導体層の抵抗を一層低下させるこ
とができる。
【0041】又、導体層として成膜により多層化したも
のを用いれば、導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍以外
の部分を厚く形成する作業が容易になる。一方、磁気デ
ィスク装置に関する本発明においても、磁気ヘッドの導
体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成
したものを用いているため、情報の記録時における磁気
ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における磁気ヘ
ッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、正確に
情報を読み出すことができ、オフトラック量が小さいに
もかかわらず読み出しの誤差が生じるという事態を避け
ることができる。
のを用いれば、導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍以外
の部分を厚く形成する作業が容易になる。一方、磁気デ
ィスク装置に関する本発明においても、磁気ヘッドの導
体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形成
したものを用いているため、情報の記録時における磁気
ヘッドのトラック上の位置と読み出し時における磁気ヘ
ッドのトラック上の位置に多少ずれがあっても、正確に
情報を読み出すことができ、オフトラック量が小さいに
もかかわらず読み出しの誤差が生じるという事態を避け
ることができる。
【0042】しかも、導体層の膜厚が、磁気抵抗効果素
子部の近傍以外の部分では厚く形成されているため、導
体層の抵抗を全体として小さくすることもでき、その結
果、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出すること
が可能になり、S/Nが向上する。又、導体層での発熱
も避けることができ、発熱に起因したノイズの発生も防
げる。
子部の近傍以外の部分では厚く形成されているため、導
体層の抵抗を全体として小さくすることもでき、その結
果、磁気抵抗素子部の抵抗変化を高感度で検出すること
が可能になり、S/Nが向上する。又、導体層での発熱
も避けることができ、発熱に起因したノイズの発生も防
げる。
【図1】本発明の磁気ヘッド及び磁気ディスク装置の原
理図である。
理図である。
【図2】図1におけるB−B断面図である。
【図3】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図4】図3中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図5】磁気ヘッド付きのスライダの説明図である。
【図6】図5に示した磁気ヘッド付きスライダを用いた
磁気ディスク装置の平面図である。
磁気ディスク装置の平面図である。
【図7】図6におけるA−A断面図である。
【図8】図6中のサスペンションの斜視図である。
【図9】複合型の磁気ヘッドに関する従来例の主要部を
示す図である。
示す図である。
【図10】図9中の磁気抵抗効果素子部及び導体層を示
す平面図である。
す平面図である。
【図11】図9における磁気ヘッドの記録ギャップ近傍
の積層構造を示す断面図である。
の積層構造を示す断面図である。
1,20:記録ヘッド部 2,30:再生ヘッド部 2A,30A:磁気抵抗効果素子部 3,21:下部磁極(上部シールド層) 4,22:上部磁極 5,23:コイル 6,31:導体層 10:トラック 24:絶縁層 25:ヘッド基板 27:下部シールド層 40:スライダ 45:磁気ヘッド 50:磁気ディスク 51:ベースプレート 52:スピンドルモータ 53:アクチュエータ 54:ヘッドアーム 55:スプリングアーム 57:コイル 58:磁気回路 59:カバー
Claims (4)
- 【請求項1】 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素
子にセンス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体
からの情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録
媒体への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積
層されてなる複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部
分を薄く形成し他の部分を厚く形成したことを特徴とす
る磁気ヘッド。 - 【請求項2】 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素
子にセンス電流を供給する導体層を有し、磁気記録媒体
からの情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッ
ド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有し、磁気記録
媒体への情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部とが積
層されてなる複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記導体層の膜厚及び幅に関し、磁気抵抗効果素子部の
近傍部分を薄く形成し他の部分を厚く且つ幅広に形成し
たことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項3】 前記導体層を成膜により多層化すること
で、前記導体層の磁気抵抗効果素子部の近傍部分以外の
部分を厚く形成したことを特徴とする請求項1又は2に
記載の磁気ヘッド。 - 【請求項4】 磁気抵抗効果素子及び該磁気抵抗効果素
子にセンス電流を供給する導体層を有する磁気抵抗効果
型の再生ヘッド部と、薄膜で形成された一対の磁極を有
する誘導型の記録ヘッド部とが積層されてなる複合型の
磁気ヘッドを備え、前記磁気抵抗効果型ヘッドを用いて
磁気記録媒体からの情報の読み出しを行い、前記誘導型
の薄膜ヘッドを用いて磁気記録媒体への情報の記録を行
う磁気ディスク装置において、 前記導体層の膜厚に関し、磁気抵抗効果素子部の近傍部
分を薄く形成し他の部分を厚く形成したことを特徴とす
る磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29474294A JPH08153312A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29474294A JPH08153312A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153312A true JPH08153312A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17811727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29474294A Pending JPH08153312A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08153312A (ja) |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29474294A patent/JPH08153312A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030812 |