JPH08153672A

JPH08153672A - 半導体製造装置およびデバイス製造方法

Info

Publication number: JPH08153672A
Application number: JP6317752A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Suzukawa; 弘樹鈴川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-11-29
Filing date: 1994-11-29
Publication date: 1996-06-11

Abstract

(57)【要約】【目的】オペレータが状況に応じた適切な操作を、オ
ペレータの熟練度に関係なく、正確かつ速やかに実施で
きるようにし、もって、半導体デバイス製造の効率化を
図る。【構成】装置の動作を制御する制御手段、およびこの
制御手段とオペレータとの間で情報の授受を行うための
入出力手段を備えた半導体製造装置により半導体デバイ
スを製造する際、入出力手段により制御装置に情報を与
えるためのボタン５０７を表示し、これにアサインする
情報および表示内容を装置の動作シーケンスに応じて変
化させる。装置の状態、装置環境に関する情報等をさら
に表示する。また、各種メンテナンス用や操作用のウイ
ンドウを開くためのボタンを表示し、その操作に応じて
対応するウインドウを表示する。このボタンは対応する
処理ユニットにおいて未対処のエラーが発生していると
きは、その表示態様を通常とは異なるものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の
半導体デバイスを製造する半導体製造装置およびデバイ
ス製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体集積回路の微細化が進むと
ともに、半導体製造装置においては、装置の高精度化、
高機能化が要求されている。これに伴って、装置の操作
も高度化、複雑化してきている。

【０００３】通常、オペレータが行わなければならない
操作として、次のような操作がある。すなわち、露光条
件の設定、露光性能の確認、露光動作の起動、露光状態
の確認、動作不良等による露光動作中断状態からの復
帰、装置メンテナンス、等である。そして、これらの操
作を可能とするために、装置全体を統合制御するための
操作パネルは、多くのスイッチやボタンを有し、また多
くのコマンドを指定することが可能となっている。この
ような操作パネル、スイッチ、ボタン等は、装置を構成
する各サブユニット毎にも設けられている。そして、こ
れらスイッチやボタンおよびコマンドの内容については
通常、操作説明書などが参照され、オペレータはそれら
スッチやボタンおよびコマンドを適切に使いこなして装
置を適切に操作することが要求されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
半導体製造装置における操作は、上述のように種類が多
く、かつ操作のためのスッチ、ボタン、コマンド等の数
も多いため、いちいち説明書を参照していたのでは、非
常に手間がかかるとともに、それらすべての意味や機能
を記憶するのも現実的に難しいという問題がある。特
に、動作不良等による露光動作中断状態からの復帰操作
に至っては、中断状態に応じた操作手順が必要となるこ
とが多く、手順を誤ると、復帰できないばかりか、ウエ
ハや装置にまで被害を与えてしまうことがある。実際、
様々な状況に対して適切な操作によって対処すること
は、熟練したオペレータでなければできないというのが
現状である。

【０００５】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、半導体製造装置において、オペレータが状
況に応じた適切な操作を、オペレータの熟練度に関係な
く、正確かつ速やかに実施できるようにすることにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明では、装置の動作を制御する制御手段、およ
びこの制御手段とオペレータとの間で情報の授受を行う
ための入出力手段を備えた半導体製造装置において、入
出力手段は、ポインティング操作により前記制御手段に
指令を与えるためのボタンを表示するディスプレイを有
し、このボタンにアサインされる指令内容およびボタン
表示の内容を、装置の動作シーケンスの状態に応じて切
り替えるものであることを特徴とする。ここで、「ボタ
ン」とは、ディスプレイ上に表示された特定の図形であ
り、それをポインティングすることにより、そのボタン
にアサインされている指令を装置に入力するためのもの
である。ポインティングは、ディスプレイがタッチスク
リーンを有する場合は、タッチすることにより行うこと
ができ、あるいは、マウス等のポインティングデバイス
により行うことができる。

【０００７】また本発明では、装置の動作を制御する制
御手段、およびこの制御手段とオペレータとの間で情報
の授受を行うための入出力手段を備えた半導体製造装置
により半導体デバイスを製造する方法において、前記制
御装置に指令を与えるためのボタンを前記入出力手段に
よりディスプレイ上に表示する工程と、このボタンにア
サインする指令内容およびボタン表示の内容を装置の動
作シーケンスの状態に応じて切り替える工程と、このボ
タンを必要に応じてポインティング操作する工程と、こ
の操作に対応する指令を前記入力手段により前記制御手
段に付与する工程とを具備することを特徴とする。

【０００８】本発明のより限定された好ましい態様にお
いては、入出力手段は装置の状態をディスプレイ上に表
示する。また、半導体製造装置が半導体露光装置を有す
る場合は、気圧、前記半導体露光装置のチャンバ・ドア
の状態、ランプの点灯時間等の装置環境に関する情報を
表示する。また、半導体製造装置が複数のサブユニット
を有する場合は、各サブユニットに対応したメンテナン
ス用のウインドウを開くためのボタンを表示し、このボ
タンが必要に応じて操作されると、そのボタン操作に応
じて前記メンテナンス用のウインドウを表示する。この
場合、各サブユニットにおいて未対処のエラーが発生し
ているときは、対応するボタンの表示態様を通常とは異
なるものとする。半導体製造装置がウエハ搬送系および
レチクル搬送系を有する場合は、このウエハ搬送系およ
びレチクル搬送系を操作するためのウインドウを開くた
めのボタンを表示し、そのボタンが必要に応じて操作さ
れた場合は、対応するウインドウを開く。さらに、装置
の動作を開始する際に必要なパラメータを設定するため
のウインドウを開くためのボタンを表示し、必要に応じ
てそのボタンが操作されると、そのボタン操作に応じて
前記必要なパラメータを設定するためのウインドウを表
示する。

【０００９】

【作用】これによれば、制御装置に指令を与えるための
ボタンにアサインされる指令および表示を、装置の動作
シーケンスに応じて切り替えることにより、さらには、
他の必要なボタンを併せて表示することにより、動作シ
ーケンスに応じて必要なボタンのみが表示され、不要な
ものは表示されない。したがって、状況に応じた適切な
操作が、マニュアル等を参照する必要なく、またオペレ
ータの熟練度に関係なく、正確かつ速やかに行われる。
また、ディスプレイにおける限られた表示領域が有効に
使用される。したがって、半導体デバイスの製造が効率
的に行われる。以下、本発明の実施例を通じて本発明を
より具体的に説明する。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装
置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この
半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温
調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制
御を行うＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならびに、
装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレ
イ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得ら
れる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し
所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キ
ーボード１０４等を含むコンソール部を備えている。図
中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止
スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０は
ＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能からの発
熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気装置で
ある。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内部に設
置される。

【００１１】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行なえるようにしてある。

【００１２】図２は、図１の装置の内部構造を示す図で
ある。同図においては、半導体露光装置としてのステッ
パが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３は
ウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学
系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影
レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエ
ハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル
２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチク
ルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３
はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露
光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０
９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の
上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチク
ル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の
上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微
鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２
は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマ
ークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。
また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレ
チクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２
３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬
送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステ
ッパ本体に搬送される。

【００１３】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行なう空調機室２１０および微小異物を濾過し清浄空気
の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０
に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、この
チャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブー
ス２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割の
ブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた外
気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このよ
うにしてチャンバ１０１は本装置の置かれる環境温度を
一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしてい
る。また光源装置２０４には超高圧水銀灯の冷却やレー
ザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅ
ａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置
２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排
気ファンを介して工場設備に強制排気されている。ま
た、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィル
タｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリタ
ーン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００１４】図３は、図１の装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、３２１は装置全体の
制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュ
ータ等の中央演算処理装置からなる。３２２はウエハス
テージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕微鏡２８
２等のアライメント検出系、３２４はレチクルステージ
駆動装置、３２５は前記光源装置２０４等の照明系、３
２６はシャッタ駆動装置、３２７はフォーカス検出系、
３２８はＺ駆動装置であり、これらは、本体ＣＰＵ３２
１により制御される。３２９は前記レチクル搬送装置２
２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。３３０
は前記ディスプレイ１０２、キーボード１０４等を有す
るコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの
露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを
与えるためのものである。すなわち、オペレータとの間
で情報の授受を行うためのものである。３３１はコンソ
ールＣＰＵ、３３２はパラメータ等を記憶する外部メモ
リである。

【００１５】図４は露光処理における本体ＣＰＵ３２１
とコンソールＣＰＵ３３１での処理を示す模式図であ
る。本体ＣＰＵ３２１とコンソールＣＰＵ３３１とは通
信プロセスにより状態テーブルを介してエラー等の装置
の状態に関するイベント発生等の情報の授受を行うよう
になっている。コンソールＣＰＵ３３１はボタンの押下
（もしくはポインティング）およびイベントの発生を常
時監視しており（ステップＳ１０）、ボタンの押下およ
びイベントの発生があったと判定されたときには、ボタ
ン表示の変更等の処理を行う（ステップＳ２０）。

【００１６】この構成において、装置を起動させると、
図５に示す画面がディスプレイ１０２上に表示される。
同図において、５０１は現在のジョブに関する情報、例
えば使用装置名、ジョブ名等を表示する領域、５０２は
ウエハ上の露光レイアウトを表示する領域、５０３はチ
ャンバ・ドアの状態、ランプ点灯時間、気圧、気温、ジ
ョブ終了予想時間等の装置の環境や装置の状態を表示す
る領域、５０４はレチクル搬送装置、ウエハ搬送装置等
のサブユニットのメンテナス用のウインドウを開くため
のボタンを表示する領域、５０５はジョブの選択、露光
パラメータの設定等の露光条件の設定や、レチクル搬送
装置、ウエハ搬送装置等の標準操作を行うためのウイン
ドウ（操作パネル）を開くためのボタンを表示する領
域、そして５０６はアサインされる情報および表示内容
が装置の動作シーケンスに応じて切り替わるボタンを表
示する領域である。

【００１７】この画面が表示されているときは、本体Ｃ
ＰＵ３２１は待ち状態にある（ステップＳ１）。また、
その待ち状態である旨およびそのときに領域５０６に表
示すべきボタンの内容「ＳＴＡＲＴ」（スタート）が状
態テーブルに送られており、これに基づきコンソールＣ
ＰＵ３３１はスタートボタン５０７および装置の環境や
状態等の表示を行っている。装置の状態とは、図６に示
されるような「稼働状態」、「中断状態」、「待機状
態」等を意味し、これら各状態の変化に応じて領域５０
６に表示されるボタンの内容が図６に例示するように切
り替えられる。

【００１８】この例に従えば、図５の画面において、ス
タートボタン５０７を押下すると、設定されている露光
条件にしたがって、露光動作が開始する。これと同時
に、コンソールＣＰＵ３３１は稼働状態である旨および
表示すべきボタンの内容「ＳＴＯＰ」（ストップ）、
「ＡＢＯＲＴ」（アボート）、および「ＲＥＬＯＡＤ」
（リロード）を状態テーブルに送出する。そして、コン
ソールＣＰＵ３３１はこれに基づき、スタートボタン５
０７を消去するとともに、ストップ、アボート、および
リロードの各ボタンを領域５０６において左側から順に
表示する。また、本体ＣＰＵ３２１における処理はプリ
アライメント工程の処理（ステップＳ２）に移行する。

【００１９】そして本体ＣＰＵ３２１がプリアライメン
ト工程を終了してグローバルアライメント工程（ステッ
プＳ３）に移行すると、その旨を状態テーブルに送出す
る。グローバルアライメント工程において位置計測エラ
ーが発生したとすると、その旨およびそのときに表示す
べきボタンの内容「ＣＯＮＴＩＮＵＥ」（コンティニュ
ー）、「ＲＥＴＲＹＡＧＡ」（リトライ・グローバル
アライメント）、「ＲＥＬＯＡＤ」（リロード）を状態
テーブルに送出し、コンソールＣＰＵ３３１はこれに基
づいてストップ、アボート、およびリロードの各ボタン
を消去するとともに、コンティニュー、リトライ・グロ
ーバルアライメント、およびリロードの各ボタンを領域
５０６において左側から順に表示する。

【００２０】そして、この状態においてリトライ・グロ
ーバルアライメントボタンが押下されたとすると、コン
ソールＣＰＵ３３１はその旨を本体ＣＰＵ３２１に送信
し、本体ＣＰＵ３２１はこれに基づいてグローバルアラ
イメント工程をやり直す。また、本体ＣＰＵ３２１はそ
の旨および表示すべきボタンの内容「ＳＴＯＰ」、「Ａ
ＢＯＲＴ」、および「ＲＥＬＯＡＤ」を状態テーブルに
送出する。そして、コンソールＣＰＵ３３１はこれをに
基づき、コンティニュー、リトライ・グローバルアライ
メント、およびリロードの各ボタンを消去するととも
に、ストップ、アボート、およびリロードの各ボタンを
領域５０６において左側から順に表示する。

【００２１】このようにして、次の露光処理（ステップ
Ｓ４）も終了すると、本体ＣＰＵ３２１は再び待ち状態
（ステップＳ１）に戻り、コンソールＣＰＵ３３１は再
び図５の画面を表示する。

【００２２】なお、プリアライメント工程（ステップＳ
２）においてエラーが発生した場合は「ＣＯＮＴＩＮＵ
Ｅ」、「ＲＥＴＲＹＴＶＰＡ」（リトライ・プリアラ
イメント）、および「ＲＥＬＯＡＤ」の各ボタンが、上
述と同様にして、領域５０６に表示される。また、露光
工程（ステップＳ４）においてエラーが発生したとき
は、「ＣＯＮＴＩＮＵＥ」、「ＲＥＴＲＹＴＶＰ
Ａ」、「ＲＥＴＲＹＡＧＡ」、および「ＲＥＬＯＡ
Ｄ」の各ボタンが領域５０６に表示される。

【００２３】一方、レチクル搬送装置やウエハ搬送装置
等のサブユニットにエラーが発生した場合は、本体ＣＰ
Ｕ３２１はその旨を状態テーブルに送出する。そして、
コンソールＣＰＵ３３１はそれに基づき、エラーが発生
したユニットのメンテナス用のウインドウを開くための
ボタンの表示を黒色に変化させる。この状態において黒
色に変化したウエハ搬送装置のメンテナス用のウインド
ウを開くためのボタン５０８が押下されると、コンソー
ルＣＰＵ３３１は図７に示すようなウエハ搬送装置メン
テナンス用のウインドウ（操作パネル）７０１を表示す
る。そして、オペレータがこの画面を操作すると、コン
ソールＣＰＵ３３１はその結果を状態テーブルに書き込
み、本体ＣＰＵ３２１はそれに基づきウエハ搬送装置の
メンテナンスのための駆動制御を行なう。同様に、レチ
クル搬送装置のメンテナス用のウインドウを開くための
ボタン５０９が押下された場合は、図８に示すようなレ
チクル搬送装置のメンテナス用のウインドウ８０１が表
示され、オペレータはこれを操作することにより、レチ
クル搬送装置のメスンテナスのための駆動を行わせるこ
とができる。

【００２４】また、レチクル搬送装置の標準的な操作を
したい場合は、レチクル搬送装置の標準操作を行うため
のウインドウを開くためのボタン５１０を押下すること
により、図９に示すようなのレチクル搬送装置の標準操
作を行うためのウインドウ９０１を開くことができ、こ
れを操作することにより、レチクル搬送装置の標準的な
動作を行うことができる。同様にして、ウエハ搬送装置
の標準的操作を行うためのウインドウを開くためのボタ
ン５１１を押下することにより、図１０に示すようなウ
インドウ９０２を開いて、ウエハ搬送装置の標準操作を
行うことができる。

【００２５】なお、以上の各工程において本体ＣＰＵ３
２１から送られる装置の環境や装置の状態や変化は、必
要に応じて逐次コンソールＣＰＵ３３１により領域５０
３上に表示される。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、制御装置に情報を与え
るためのボタンにアサインされる情報および表示内容
を、装置の動作シーケンスに応じて切り替えるようにし
たため、動作シーケンスに応じて必要なボタンのみを表
示することができ、したがって、オペレータは、状況に
応じた適切な操作を、オペレータの熟練度に関係なく、
正確かつ速やかに装置に対して指示することができる。
また、ディスプレイにおける限られた表示領域を有効に
使用することもできる。したがって、半導体デバイスの
製造を効率的に行うことができる。

【００２７】また、装置の状態や装置環境に関する情報
を表示するようにしたため、オペレレータはその情報に
基づく的確な判断による操作を行うことができる。

【００２８】また、各サブユニットに対応したメンテナ
ンス用のウインドウをディスプレイにおいて表示する機
能を有するとともにこのウインドウを開くためのボタン
をディスプレイにおいて表示するようにしたため、オペ
レータは容易にメンテナンスを行うことができる。

【００２９】また、各サブユニットにおいて未対処のエ
ラーが発生しているときは、対応する前記メンテナンス
用のウインドウを開くためのボタンの表示態様を通常と
は異なるものとするようにしたため、オペレータはエラ
ーの発生を直ちに認識して適切な処理を行うことができ
る。

【００３０】また、ウエハ搬送系およびレチクル搬送系
を操作するためのウインドウをそれぞれ表示する機能を
有するとともに、それらのウインドウを開くためのボタ
ンを表示するようしたため、オペレータはウエハ搬送系
およびレチクル搬送系を容易に操作することができる。

【００３１】また、装置の動作を開始する際に必要なパ
ラメータを設定するためのウインドウを表示する機能を
有するとともにそのウインドウを開くためのボタンを表
示するようしたため、オペレータは容易にパラメータの
設定を行うことができる。

【００３２】そして、上述の各ボタン表示やウインドウ
の機能を単一のディスプレイで行うことにより、ディス
プレイの表示領域を有効に使用しつつ、非常に効率的な
半導体デバイスの製造を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体露光装置の外
観を示す斜視図である。

【図２】図１の装置の内部構造を示す図である。

【図３】図１の装置の電気回路構成を示すブロック図
である。

【図４】露光処理における本体ＣＰＵとコンソールＣ
ＰＵでの処理を示す模式図である。

【図５】図１の装置における初期表示画面を示す図で
ある。

【図６】図１の装置において、シーケンスに応じて切
替えボタン表示領域に表示されるボタンの内容を例示す
る図である。

【図７】図１の装置におけるウエハ搬送装置メンテナ
ンス用画面を示す図である。

【図８】図１の装置におけるレチクル搬送装置メンテ
ナンス用画面を示す図である。

【図９】図１の装置におけるレチクル搬送装置標準操
作用画面を示す図である。

【図１０】図１の装置におけるウエハ搬送装置標準操
作用画面を示す図である。

【符号の説明】

１０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ
装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボー
ド、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０
７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッ
チ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ
通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装
置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源
装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０
７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８
１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２
１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：
ブース、２１７：送風機、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化
学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン
口、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３
１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、５０１，
５０２，５０３，５０４，５０５，５０６：表示領域、
５０７，５０８，５０９，５１０，５１１：ボタン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項０１】装置の動作を制御する制御手段、およ
びこの制御手段とオペレータとの間で情報の授受を行う
ための入出力手段を備えた半導体製造装置において、入
出力手段は、ポインティング操作により前記制御手段に
指令を与えるためのボタンを表示するディスプレイを有
し、このボタンにアサインされる指令内容およびボタン
表示の内容を、装置の動作シーケンスの状態に応じて切
り替えるものであることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項０２】入出力手段は、前記ディスプレイにお
いて装置の状態を表示するものであることを特徴とする
請求項１記載の半導体製造装置。
【請求項０３】半導体製造装置は半導体露光装置を有
し、入出力手段は前記ディスプレイにおいて気圧、前記
半導体露光装置のチャンバ・ドアの状態、ランプの点灯
時間等の装置環境に関する情報を表示するものであるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の半導体製造装
置。
【請求項０４】半導体製造装置は複数のサブユニット
を有し、入出力手段は各サブユニットに対応したメンテ
ナンス用のウインドウを前記ディスプレイにおいて表示
する機能を有するとともにこのウインドウを開くための
ボタンを前記ディスプレイにおいて表示するものである
ことを特徴とする請求項１〜３記載の半導体製造装置。
【請求項０５】入出力手段は、各サブユニットにおい
て未対処のエラーが発生しているときは、対応する前記
メンテナンス用のウインドウを開くためのボタンの表示
態様を通常とは異なるものとすることを特徴とする請求
項４記載の半導体製造装置。
【請求項０６】半導体製造装置はウエハ搬送系および
レチクル搬送系を有し、入出力手段は、このウエハ搬送
系およびレチクル搬送系を操作するためのウインドウを
前記ディスプレイ上に表示する機能を有するとともに、
そのウインドウを開くためのボタンを前記ディスプレイ
上に表示するものであることを特徴とする請求項１〜５
記載の半導体製造装置。
【請求項０７】入出力手段は装置の動作を開始する際
に設定することが必要なパラメータを設定するためのウ
インドウを前記ディスプレイ上に表示する機能を有する
とともにそのウインドウを開くためのボタンを前記ディ
スプレイ上に表示するものであることを特徴とする請求
項１〜６記載の半導体製造装置。
【請求項０８】装置の動作を制御する制御手段、およ
びこの制御手段とオペレータとの間で情報の授受を行う
ための入出力手段を備えた半導体製造装置により半導体
デバイスを製造する方法において、前記制御装置に指令
を与えるためのボタンを前記入出力手段によりディスプ
レイ上に表示する工程と、このボタンにアサインする指
令内容およびボタン表示の内容を装置の動作シーケンス
の状態に応じて切り替える工程と、このボタンを必要に
応じてポインティング操作する工程と、この操作に対応
する指令を前記入力手段により前記制御手段に付与する
工程とを具備することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項０９】前記入出力手段により装置の状態を前
記ディスプレイ上に表示する工程を有することを特徴と
する請求項８記載のデバイス製造方法。
【請求項１０】半導体製造装置は半導体露光装置を有
するものであり、前記入出力手段により気圧、前記半導
体露光装置のチャンバ・ドアの状態、ランプの点灯時間
等の装置環境に関する情報を前記ディスプレイ上に表示
する工程を有することを特徴とする請求項８または９記
載のデバイス製造方法。
【請求項１１】半導体製造装置は複数のサブユニット
を有するものであり、各サブユニットに対応したメンテ
ナンス用のウインドウを開くためのボタンを前記入力手
段により前記ディスプレイ上に表示する工程と、このボ
タンを必要に応じてポインティング操作する工程と、そ
の操作に対応する前記メンテナンス用のウインドウを前
記入力手段により前記ディスプレイ上に表示する工程と
を有することを特徴とする請求項８〜１０記載のデバイ
ス製造方法。
【請求項１２】各サブユニットにおいて未対処のエラ
ーが発生しているときは、前記入出力手段により、対応
する前記メンテナンス用のウインドウを開くためのボタ
ンの表示態様を通常とは異なるものとする工程を有する
ことを特徴とする請求項１１記載のデバイス製造方法。
【請求項１３】半導体製造装置はウエハ搬送系および
レチクル搬送系を有するものであり、このウエハ搬送系
およびレチクル搬送系を操作するためのウインドウを開
くためのボタンを前記入出力手段により前記ディスプレ
イ上に表示する工程と、そのボタンを必要に応じてポイ
ンティング操作する工程と、そのボタン操作に対応する
前記ウインドウを前記入出力手段により前記ディスプレ
イ上に表示する工程とを有することを特徴とする請求項
８〜１２記載のデバイス製造方法。
【請求項１４】装置の動作を開始する際に必要なパラ
メータを設定するためのウインドウを開くためのボタン
を前記入出力手段により前記ディスプレイ上に表示する
工程と、必要に応じてそのボタンをポインティング操作
する工程と、その操作に対応する前記ウインドウを前記
入出力手段により前記ディスプレイ上に表示する工程と
を有することを特徴とする請求項８〜１３記載のデバイ
ス製造方法。