JPH0815527B2 - Ｈｅｐａフィルタ - Google Patents
ＨｅｐａフィルタInfo
- Publication number
- JPH0815527B2 JPH0815527B2 JP62044574A JP4457487A JPH0815527B2 JP H0815527 B2 JPH0815527 B2 JP H0815527B2 JP 62044574 A JP62044574 A JP 62044574A JP 4457487 A JP4457487 A JP 4457487A JP H0815527 B2 JPH0815527 B2 JP H0815527B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- hepa filter
- filter element
- hepa
- fluid jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフィルタ、特に、流体ジェットで付着物を除
去するよう構成されたHEPAフィルタ（High Efficiency
ParticulateAir Filter）に関するものである。
去するよう構成されたHEPAフィルタ（High Efficiency
ParticulateAir Filter）に関するものである。
一般に、HEPAフィルタは極めて高い捕集性能を持つフ
ィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様々
な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用の
クリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
ィルタとして良く知られており、微粉末を取り扱う様々
な技術分野、たとえば薬品の製造工程や半導体製造用の
クリーンルームなどの技術分野において利用されてい
る。
ところが、通常のHEPAフィルタは捕集性能が高い反
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集後のクリーン
・アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でHEPAフィルタを使用しよう
とすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不適で
あるなどの問題がある。
面、その厚みが相当大きくなるため、捕集後のクリーン
・アップが困難であり、使い捨てにせざるを得ない。特
に、ダスト濃度の高い場所でHEPAフィルタを使用しよう
とすると、そのライフタイムが短くなり、使用に不適で
あるなどの問題がある。
そこで、HEPAフィルタで金属の微粉、硫黄粉、複写機
用トナー、小麦粉などを捕集して行く過程で、HEPAフィ
ルタに付着した粉塵をダスト捕集面から払い落とすた
め、HEPAフィルタのダスト捕集面の裏面側から高圧ガス
を噴射して付着物を除去するクリーン・アップ機構付き
のフィルタが提案されている。
用トナー、小麦粉などを捕集して行く過程で、HEPAフィ
ルタに付着した粉塵をダスト捕集面から払い落とすた
め、HEPAフィルタのダスト捕集面の裏面側から高圧ガス
を噴射して付着物を除去するクリーン・アップ機構付き
のフィルタが提案されている。
しかしながら、このようなフィルタにおいては、高圧
ガスの噴射により、フィルタエレメントのうちで高圧ガ
スのジェット流が直接衝突する部分の繊維の目が開き、
その部分からダストの漏れが生じるという問題があるこ
とを本発明者は見い出した。
ガスの噴射により、フィルタエレメントのうちで高圧ガ
スのジェット流が直接衝突する部分の繊維の目が開き、
その部分からダストの漏れが生じるという問題があるこ
とを本発明者は見い出した。
本発明の目的は、流体ジェットの噴射によるフィルタ
のダスト除去をフィルタエレメントの破壊を生じること
なく行うことのできるフィルタを提供することにある。
のダスト除去をフィルタエレメントの破壊を生じること
なく行うことのできるフィルタを提供することにある。
本発明のHEPAフィルタは、フィルタエレメントのダス
ト捕集面の裏面側において流体ジェットが直接衝突する
部分に保護手段を設けたものである。
ト捕集面の裏面側において流体ジェットが直接衝突する
部分に保護手段を設けたものである。
上記した手段によれば、流体ジェットがフィルタエレ
メントに直接衝突することなく、まず保護手段に直接衝
突するので、フィルタエレメントが流体ジェットの噴射
により破壊されることが阻止され、しかも所期のクリー
ン・アップを効率的に実現することができる。
メントに直接衝突することなく、まず保護手段に直接衝
突するので、フィルタエレメントが流体ジェットの噴射
により破壊されることが阻止され、しかも所期のクリー
ン・アップを効率的に実現することができる。
〔実施例１〕 第１図は本発明によるフィルタの一実施例の要部の拡
大部分説明図、第２図（ａ），（ｂ）はそれぞれその一
部切欠正面図と平面図、第３図は本発明のフィルタを装
着できる集塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部
切欠正面図、第５図はその一部切欠側面図である。
大部分説明図、第２図（ａ），（ｂ）はそれぞれその一
部切欠正面図と平面図、第３図は本発明のフィルタを装
着できる集塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部
切欠正面図、第５図はその一部切欠側面図である。
この実施例において、フィルタはHEPAフィルタＦとし
て構成され、このHEPAフィルタＦとして構成され、この
HEPAフィルタＦは集塵装置１の上部のフィルタハウジン
グ２内に４個装着されている。
て構成され、このHEPAフィルタＦとして構成され、この
HEPAフィルタＦは集塵装置１の上部のフィルタハウジン
グ２内に４個装着されている。
この集塵装置１は、フィルタハウジング２等を支持す
る架台３と、図示しない真空ポンプ等の吸引手段により
原料が吸入されるホッパ４と、このホッパ４への原料吸
入口５と、捕集物の収容のための容器６と、HEPAフィル
タＦの支持用のフィルタベース７と、HEPAフィルタＦを
着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、HEPAフィルタ
Ｆに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリー
ニングユニット９と、ハウジングドア10と、圧力計11
と、HAPAフィルタＦで捕集物を捕集されたガスが排出さ
れた排気口12とからなる。
る架台３と、図示しない真空ポンプ等の吸引手段により
原料が吸入されるホッパ４と、このホッパ４への原料吸
入口５と、捕集物の収容のための容器６と、HEPAフィル
タＦの支持用のフィルタベース７と、HEPAフィルタＦを
着脱可能に固定するフィルタ着脱具８と、HEPAフィルタ
Ｆに向けて圧縮空気を噴出して付着物を除去するクリー
ニングユニット９と、ハウジングドア10と、圧力計11
と、HAPAフィルタＦで捕集物を捕集されたガスが排出さ
れた排気口12とからなる。
本実施例のHEPAフィルタＦは、たとえばガラス繊維と
樹脂フィルムの積層物を上下方向に襞状に構成した襞状
構造のフィルタエレメント13よりなり、第２図（ａ）で
見て下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等
の捕集物を捕集する。このHEPAフィルタＦのフィルタエ
レメント13の各襞状部どうしを互いに離間状態に保持す
るため、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパレータ
14がフィルタエレメント13の各空間内に上下方向に挿入
され、その両端は固定剤15により金属製のフィルタケー
シング16に固定されている。
樹脂フィルムの積層物を上下方向に襞状に構成した襞状
構造のフィルタエレメント13よりなり、第２図（ａ）で
見て下方から上方に通過するガスの中に含まれる微粉等
の捕集物を捕集する。このHEPAフィルタＦのフィルタエ
レメント13の各襞状部どうしを互いに離間状態に保持す
るため、金属板の屈曲構造よりなる複数枚のセパレータ
14がフィルタエレメント13の各空間内に上下方向に挿入
され、その両端は固定剤15により金属製のフィルタケー
シング16に固定されている。
このHEPAフィルタＦのフィルタエレメント13のうち、
クリーニングユニット９からの高圧ガスのジェット流が
直接衝突する部分、すなわち本実施例では第１図におけ
る襞状屈曲部の頂部には、フィルタエレメント13を高圧
ガスのジェット流から保護する保護層17（保護手段）が
塗布等によって被着され補強された構造となっている。
この保護層17が設けられていることにより、クリーニン
グユニット９のノズルから噴射された高圧ガスのジェッ
ト流はまず保護層17に直接衝突し、フィルタエレメント
13自体には間接的にしか衝突しないので、フィルタエレ
メント13が高圧ガスのジェット流で破壊されることは有
効に防止される。
クリーニングユニット９からの高圧ガスのジェット流が
直接衝突する部分、すなわち本実施例では第１図におけ
る襞状屈曲部の頂部には、フィルタエレメント13を高圧
ガスのジェット流から保護する保護層17（保護手段）が
塗布等によって被着され補強された構造となっている。
この保護層17が設けられていることにより、クリーニン
グユニット９のノズルから噴射された高圧ガスのジェッ
ト流はまず保護層17に直接衝突し、フィルタエレメント
13自体には間接的にしか衝突しないので、フィルタエレ
メント13が高圧ガスのジェット流で破壊されることは有
効に防止される。
この保護層17の形成に用いることのできる材料として
は、たとえば樹脂またはゴムが挙げられる。このような
樹脂の例としてはアクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、
ポリ酢酸ビニル、EVA（エチレン−酢酸ビニル共重合
体）、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリア
クリルアミド、ナイロン、酢酸セルロース、ニトロセル
ロース、エチルセルロース等が挙げられる。また、ゴム
の例としては、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ブ
チルゴム、シリコーンゴム、ニトリルゴム等が挙げられ
る。
は、たとえば樹脂またはゴムが挙げられる。このような
樹脂の例としてはアクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、
ポリ酢酸ビニル、EVA（エチレン−酢酸ビニル共重合
体）、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリア
クリルアミド、ナイロン、酢酸セルロース、ニトロセル
ロース、エチルセルロース等が挙げられる。また、ゴム
の例としては、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ブ
チルゴム、シリコーンゴム、ニトリルゴム等が挙げられ
る。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、捕集されるべき微粉を含んだガスは、図示しな
い真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５
からホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に
吸引される。
い真空ポンプ等の吸引手段の吸引力により原料吸入口５
からホッパ４内に吸入され、該ホッパ４からその上方に
吸引される。
次いで、ガスはホッパ４の上方のHEPAフィルタＦに到
達し、該HEPAフィルタＦを通過して該ガス中の微粉等が
捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口12から集塵
装置１の外部に排出される。
達し、該HEPAフィルタＦを通過して該ガス中の微粉等が
捕集された後、清浄状態のガスのみが排気口12から集塵
装置１の外部に排出される。
HEPAフィルタＦで捕集された微粉等はクリーニングユ
ニット９で該HEPAフィルタＦの上方側から圧縮空気を噴
出することにより該HEPAフィルタＦから落下し、ホッパ
４内を経て容器６の中に集められる。容器６の微粉等の
捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される。
ニット９で該HEPAフィルタＦの上方側から圧縮空気を噴
出することにより該HEPAフィルタＦから落下し、ホッパ
４内を経て容器６の中に集められる。容器６の微粉等の
捕集物は必要に応じて適宜外部に回収される。
上記の捕集工程において、HEPAフィルタＦ下面側のダ
スト捕集面には、微粉が効率良く確実に捕集されるが、
この捕集物をダスト捕集面から払い落とすためにクリー
ニングユニット９から高圧ガスのジェット流が噴射され
る。
スト捕集面には、微粉が効率良く確実に捕集されるが、
この捕集物をダスト捕集面から払い落とすためにクリー
ニングユニット９から高圧ガスのジェット流が噴射され
る。
その時、本実施例のフィルタエレメント13におけるダ
スト捕集面の裏側、すなわち上面側においては、クリー
ニングユニット９からのジェット流が直接衝突する部分
に保護層17が被着されているので、クリーニングユニッ
ト９からのジェット流がこの保護層17に直接衝突し、フ
ィルタエレメント13自体には直接衝突しない。
スト捕集面の裏側、すなわち上面側においては、クリー
ニングユニット９からのジェット流が直接衝突する部分
に保護層17が被着されているので、クリーニングユニッ
ト９からのジェット流がこの保護層17に直接衝突し、フ
ィルタエレメント13自体には直接衝突しない。
したがって、フィルタエレメント13の繊維の織り目ま
たは編み目がジェット流で開くようなことは阻止され、
ダストの漏れが生じることを防止することができる。
たは編み目がジェット流で開くようなことは阻止され、
ダストの漏れが生じることを防止することができる。
〔実施例２〕 第６図は本発明によるフィルタの他の実施例の要部を
示す拡大部分説明図である。
示す拡大部分説明図である。
この実施例においては、フィルタエレメント13を高圧
ガスのジェット流から保護するための保護手段として、
弧状断面形状の保護カバー17aが接続剤等よりなる取付
部18によって該フィルタエレメント13の頂部すなわちジ
ェット流が直接衝突する部分の上方に配設されている。
ガスのジェット流から保護するための保護手段として、
弧状断面形状の保護カバー17aが接続剤等よりなる取付
部18によって該フィルタエレメント13の頂部すなわちジ
ェット流が直接衝突する部分の上方に配設されている。
本実施例の場合にも、フィルタエレメント13のクリー
ン・アップ時にクリーニングユニット９から噴射される
高圧ガスのジェット流はフィルタエレメント13に直接衝
突せず、まず保護カバー17aに直接衝突するので、ジェ
ット流でフィルタエレメント13が破壊されることを防止
できる。
ン・アップ時にクリーニングユニット９から噴射される
高圧ガスのジェット流はフィルタエレメント13に直接衝
突せず、まず保護カバー17aに直接衝突するので、ジェ
ット流でフィルタエレメント13が破壊されることを防止
できる。
保護カバー17aの構造や材料の例としては、金属、プ
ラスチック（ABS,ポリ塩化ビニル，ポリエーテル，ポリ
エステル，ポリエチレン，ポリプロピレン，アクリル，
ポリスチレン，ナイロン）、セラミックス等の板または
鞘、プラスチックフィルム、布または紙（ゴム，樹脂等
を含浸または塗布して目をつめたもの）、金属箔等を貼
ったもの等が考えられる。
ラスチック（ABS,ポリ塩化ビニル，ポリエーテル，ポリ
エステル，ポリエチレン，ポリプロピレン，アクリル，
ポリスチレン，ナイロン）、セラミックス等の板または
鞘、プラスチックフィルム、布または紙（ゴム，樹脂等
を含浸または塗布して目をつめたもの）、金属箔等を貼
ったもの等が考えられる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではな
く、他の様々な変形が可能である。
く、他の様々な変形が可能である。
たとえば、クリーン・アップ用のジェット流に対する
保護手段としては、前記実施例以外の構造のものを用い
ることもできる。
保護手段としては、前記実施例以外の構造のものを用い
ることもできる。
また、本発明のフィルタは集塵装置の他に、粉砕や分
級により製品を回収する装置等にも広く適用できる。
級により製品を回収する装置等にも広く適用できる。
本発明によれば、襞状に形成され、流体ジェットの噴
射により付着物を除去するフィルタであって、フィルタ
エレメントの流体ジェットが直接衝突する部分に保護手
段を設けたことにより、流体ジェットの噴射時にジェッ
ト流がフィルタエレメントに直接衝突しないので、フィ
ルタエレメントの破壊を阻止でき、ダスト漏れを生じる
ことを防止できる。
射により付着物を除去するフィルタであって、フィルタ
エレメントの流体ジェットが直接衝突する部分に保護手
段を設けたことにより、流体ジェットの噴射時にジェッ
ト流がフィルタエレメントに直接衝突しないので、フィ
ルタエレメントの破壊を阻止でき、ダスト漏れを生じる
ことを防止できる。
（２）．前記（１）により、フィルタ、特にHEPAフィル
タをダスト濃度の高い場所でも目詰まりを起こすことな
く利用できる。
タをダスト濃度の高い場所でも目詰まりを起こすことな
く利用できる。
（３）．前記（１）により、フィルタエレメントを破壊
することなく、クリーン・アップ操作を連続的な流体パ
ルスジェットで行うことができる。
することなく、クリーン・アップ操作を連続的な流体パ
ルスジェットで行うことができる。
（４）．前記（１）により、フィルタエレメントが補強
され、強度が向上する他に、小形化が可能となる。
され、強度が向上する他に、小形化が可能となる。
（５）．前記（１）により、省エネルギー化が可能とな
る。
る。
第１図は本発明によるフィルタの一実施例の要部の拡大
部分説明図、第２図（ａ），（ｂ）はそれぞれその一部
切欠正面図と平面図、第３図は本発明のフィルタを装着
できる集塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切
欠正面図、第５図はその一部切欠側面図、第６図は本発
明によるフィルタの他の実施例の要部を示す拡大部分説
明図である。 １……集塵装置、 ２……フィルタハウジング、 ３……架台、 ４……ホッパ、 ５……原料吸入口、 ６……容器、 ７……フィルタベース、 ８……フィルタ着脱具、 ９……クリーニングユニット、 10……ハウジングドア、 11……圧力計、 12……排気口、 13……フィルタエレメント、 14……セパレータ、 15……固定剤、 16……フィルタケーシング、 17……保護層（保護手段）、 17a……保護カバー、 18……取付部、 Ｆ……HEPAフィルタ。
部分説明図、第２図（ａ），（ｂ）はそれぞれその一部
切欠正面図と平面図、第３図は本発明のフィルタを装着
できる集塵装置の一部切欠平面図、第４図はその一部切
欠正面図、第５図はその一部切欠側面図、第６図は本発
明によるフィルタの他の実施例の要部を示す拡大部分説
明図である。 １……集塵装置、 ２……フィルタハウジング、 ３……架台、 ４……ホッパ、 ５……原料吸入口、 ６……容器、 ７……フィルタベース、 ８……フィルタ着脱具、 ９……クリーニングユニット、 10……ハウジングドア、 11……圧力計、 12……排気口、 13……フィルタエレメント、 14……セパレータ、 15……固定剤、 16……フィルタケーシング、 17……保護層（保護手段）、 17a……保護カバー、 18……取付部、 Ｆ……HEPAフィルタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−261522（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−57217（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−91417（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−141726（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭56−22853（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (3)
- 【請求項１】襞状に形成され、流体ジェットの噴射によ
り付着物を除去するHEPAフィルタであって、フィルタエ
レメントのダスト捕集面の裏面側において流体ジェット
が直接衝突する部分に保護手段を設けたことを特徴とす
るHEPAフィルタ。 - 【請求項２】前記保護手段が、少なくともHEPAフィルタ
の流体ジェット衝突部に被着された保護層であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のHEPAフィルタ。 - 【請求項３】前記保護手段が、少なくともHEPAフィルタ
の流体ジェット衝突部を覆うよう配設された保護カバー
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のHE
PAフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044574A JPH0815527B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044574A JPH0815527B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63209724A JPS63209724A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0815527B2 true JPH0815527B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=12695276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62044574A Expired - Lifetime JPH0815527B2 (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | Ｈｅｐａフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815527B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622853U (ja) * | 1979-07-31 | 1981-02-28 | ||
| JPS56141726U (ja) * | 1980-03-26 | 1981-10-26 | ||
| JPS5891417U (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-21 | 日本無機株式会社 | 波形エアフイルタ−用炉材 |
| SE451947B (sv) * | 1984-05-30 | 1987-11-09 | Nederman Philip & Co Ab | Filterrensanordning |
| JPS6157217A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-24 | Hitachi Ltd | 濾過式集塵機 |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP62044574A patent/JPH0815527B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63209724A (ja) | 1988-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4112441B2 (ja) | 粉塵類の回収装置 | |
| EP2399498A1 (en) | Device for purifying a fluid | |
| KR20040075573A (ko) | 진공청소기용 집진통 | |
| EP2091631B1 (en) | System configuration of pulsed cleaned panel-style filter elements and methods | |
| EP1495708B1 (en) | Dust Collecting Unit with Filter Assembly for Vacuum Cleaner | |
| RU2003115095A (ru) | Пылеулавливающий фильтр для пылесоса и пылесос, имеющий такой фильтр | |
| KR20090080228A (ko) | 집진 테이블 | |
| CN117046228B (zh) | 一种自清理的工业布袋除尘器 | |
| US6017377A (en) | Spray paint booth filter | |
| JP2000343226A (ja) | ヒューム回収機におけるフィルタ洗浄装置 | |
| EP0024636B2 (en) | Vacuum cleaner | |
| JPH0815527B2 (ja) | Ｈｅｐａフィルタ | |
| CN218794610U (zh) | 一种脉冲袋式除尘器 | |
| CN213313969U (zh) | 一种滤筒式除尘器 | |
| CN210751887U (zh) | 一种可排尘方形过滤器 | |
| JPH0223919A (ja) | 電気掃除機 | |
| JP2591869Y2 (ja) | エアーノッカを備えた集塵装置 | |
| CN211189499U (zh) | 一种用于环境保护的新型过滤除尘设备 | |
| CN223289532U (zh) | 一种干磨机声波震动清灰装置 | |
| JPH0749089B2 (ja) | 製品回収装置 | |
| JPH0729011B2 (ja) | 塵埃除去装置 | |
| CN217251403U (zh) | 一种用于半导体封装的吹气除尘装置 | |
| KR102532920B1 (ko) | 역세척 도중 필터링이 가능한 집진 장치 | |
| CN223382181U (zh) | 一种pcb板除尘机 | |
| JPH01262915A (ja) | 集塵装置 |