JPH08155472A - オゾン処理システム - Google Patents
オゾン処理システムInfo
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- JPH08155472A JPH08155472A JP29927294A JP29927294A JPH08155472A JP H08155472 A JPH08155472 A JP H08155472A JP 29927294 A JP29927294 A JP 29927294A JP 29927294 A JP29927294 A JP 29927294A JP H08155472 A JPH08155472 A JP H08155472A
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、各ユニット毎の予備機を必要
最小限の構成とすることで設備を大幅に低下すると共に
運転・補修費も低下させて、信頼性の高い運転を可能と
したオゾン処理システムのオゾン処理システムを提供す
る。 【構成】図1において、原料空気系は空気源発生器1と
冷却乾燥器2と圧力容器5とコンプレッサ群制御器7と
による予備機運転オゾン発生系は、流量調節器9とオゾ
ン発生器10と非常用オゾン発生器13と非常用流量調
節器12Xとによる予備機運転、排オゾン処理系は切替
弁24と非常用ファン25とによる予備機運転とによ
り、最小の予備機設備とすることでイニシャルコストと
ランニングコストを低減する。
最小限の構成とすることで設備を大幅に低下すると共に
運転・補修費も低下させて、信頼性の高い運転を可能と
したオゾン処理システムのオゾン処理システムを提供す
る。 【構成】図1において、原料空気系は空気源発生器1と
冷却乾燥器2と圧力容器5とコンプレッサ群制御器7と
による予備機運転オゾン発生系は、流量調節器9とオゾ
ン発生器10と非常用オゾン発生器13と非常用流量調
節器12Xとによる予備機運転、排オゾン処理系は切替
弁24と非常用ファン25とによる予備機運転とによ
り、最小の予備機設備とすることでイニシャルコストと
ランニングコストを低減する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、水処理におけるオゾン
酸化反応プロセスを利用する装置で特に浄水処理プラン
トにおけるオゾン処理システムに係り、装置故障が発生
時に最小の設備費でシステム故障を防止する信頼性の高
いオゾン処理システムに関するものである。
酸化反応プロセスを利用する装置で特に浄水処理プラン
トにおけるオゾン処理システムに係り、装置故障が発生
時に最小の設備費でシステム故障を防止する信頼性の高
いオゾン処理システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】オゾン酸化力を利用する各種プラントと
は、化学パルプの無塩素漂白・半導体設備の洗浄・産業
廃水の後処理・上下水道施設の高度処理などであり、原
料空気あるいは酸素原料によりオゾン酸化反応を行わし
めてプロセス処理する実例が増加している。例えば、文
献:オゾン年鑑(リアライズ社発行)ではオゾン酸化プ
ロセスの概要が発表されており、また、特開平5−33838
8 号公報では上下水道施設の高度処理プロセスなどがあ
る。
は、化学パルプの無塩素漂白・半導体設備の洗浄・産業
廃水の後処理・上下水道施設の高度処理などであり、原
料空気あるいは酸素原料によりオゾン酸化反応を行わし
めてプロセス処理する実例が増加している。例えば、文
献:オゾン年鑑(リアライズ社発行)ではオゾン酸化プ
ロセスの概要が発表されており、また、特開平5−33838
8 号公報では上下水道施設の高度処理プロセスなどがあ
る。
【0003】今後の普及拡大の為には、オゾン発生系を
含むオゾン処理システムのコストパフォーマンスの向上
に依るところが多い。コストパフォーマンスとはイニシ
ャルコストとランニングコストと予備機の設置方法とに
よる低価格化である。
含むオゾン処理システムのコストパフォーマンスの向上
に依るところが多い。コストパフォーマンスとはイニシ
ャルコストとランニングコストと予備機の設置方法とに
よる低価格化である。
【0004】従来のオゾン処理システムは次の構成で成
立っている。
立っている。
【0005】まず、原料空気(設置環境温湿度)を空気
源発生器(ブロア)で1気圧程度昇圧し断熱圧縮により
空気温度上昇をアフタークーラでドレン抜きし更にクー
ラで冷却して、ドライヤー(アルミナシリカゲル剤によ
る脱湿)を経由して乾燥圧縮空気(露点−50℃程度)
をつくる冷却・乾燥装置と、その乾燥圧縮空気を入力と
したオゾン発生器(グロー放電空間通過)によりオゾン
化空気を得る装置とオゾン散気するオゾン接触池とその
余剰オゾンを分解処理にて無害として排気する排オゾン
処理器で構成されている。それらの冷却水は一般の水道
水を用いている。
源発生器(ブロア)で1気圧程度昇圧し断熱圧縮により
空気温度上昇をアフタークーラでドレン抜きし更にクー
ラで冷却して、ドライヤー(アルミナシリカゲル剤によ
る脱湿)を経由して乾燥圧縮空気(露点−50℃程度)
をつくる冷却・乾燥装置と、その乾燥圧縮空気を入力と
したオゾン発生器(グロー放電空間通過)によりオゾン
化空気を得る装置とオゾン散気するオゾン接触池とその
余剰オゾンを分解処理にて無害として排気する排オゾン
処理器で構成されている。それらの冷却水は一般の水道
水を用いている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン処理シス
テムでは、用途上24時間連続運転のため機器故障を想
定し、各ユニット毎(空気源発生器,冷却乾燥器,オゾ
ン発生装置,排オゾン処理器)に予備機を設けて、切替
操作を行ってシステムダウンを防止していた。その為、
イニシャルコスト(設備費)が予備機を含むので高価と
なっていた。
テムでは、用途上24時間連続運転のため機器故障を想
定し、各ユニット毎(空気源発生器,冷却乾燥器,オゾ
ン発生装置,排オゾン処理器)に予備機を設けて、切替
操作を行ってシステムダウンを防止していた。その為、
イニシャルコスト(設備費)が予備機を含むので高価と
なっていた。
【0007】本発明の目的は、予備機の費用を最小とす
るオゾン処理システムを提供することにある。
るオゾン処理システムを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のオゾン処理シス
テムは、空気源発生器,冷却乾燥器,圧力容器,流量調
節器,オゾン発生装置,オゾン接触池,排オゾン処理器
とより成りオゾン処理システムにおいて、空気源発生器
と冷却乾燥器の複数ユニットに予備ユニットを設けるこ
と、圧力容器を2分割として並列に設けること、流量調
節器とオゾン発生装置の複数ユニットに共通分配できる
非常用オゾン発生器を設けること、オゾン発生器の出口
より一部他のオゾン発生器出口へ分配する非常用流量調
節器を設けること、排オゾン処理器の複数ユニットの排
気ファン部分のみを共有化する非常用ファンを設けるこ
とにある。
テムは、空気源発生器,冷却乾燥器,圧力容器,流量調
節器,オゾン発生装置,オゾン接触池,排オゾン処理器
とより成りオゾン処理システムにおいて、空気源発生器
と冷却乾燥器の複数ユニットに予備ユニットを設けるこ
と、圧力容器を2分割として並列に設けること、流量調
節器とオゾン発生装置の複数ユニットに共通分配できる
非常用オゾン発生器を設けること、オゾン発生器の出口
より一部他のオゾン発生器出口へ分配する非常用流量調
節器を設けること、排オゾン処理器の複数ユニットの排
気ファン部分のみを共有化する非常用ファンを設けるこ
とにある。
【0009】
【作用】各ユニット毎の予備機を必要最小限の構成とす
ることで、イニシャルジコスト(設備費)が大幅に低下
すると共にランニングコスト(運転・補修費用)も低下
する。
ることで、イニシャルジコスト(設備費)が大幅に低下
すると共にランニングコスト(運転・補修費用)も低下
する。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1により説明す
る。図1は浄水施設のオゾン処理システムである。
る。図1は浄水施設のオゾン処理システムである。
【0011】空気源発生器(コンプレッサC1 )1は、
オゾン発生器10へ原料空気を供給してオゾン接触池1
7Aの処理水(17A1→17A2)の水深損失に打ち
勝ってオゾン化空気をオゾン散気管18により水中に散
気させるために必要なものである。
オゾン発生器10へ原料空気を供給してオゾン接触池1
7Aの処理水(17A1→17A2)の水深損失に打ち
勝ってオゾン化空気をオゾン散気管18により水中に散
気させるために必要なものである。
【0012】一般に空気源発生器1の圧縮圧力は大気取
入れ口に対し1〜1.5 気圧程度に昇圧するので圧縮圧
力の空気温度は150℃程度物理的に上昇する。
入れ口に対し1〜1.5 気圧程度に昇圧するので圧縮圧
力の空気温度は150℃程度物理的に上昇する。
【0013】ところが、オゾン発生器10のグロー放電
によるオゾン化空気発生効率は、入口空気温度が数℃と
低く乾燥(露点−50℃)している方がよくかつ寿命も
長くなるので、冷却乾燥器2(クーラ・ドライヤーC/
D)により低温であって乾燥した圧縮空気とする。
によるオゾン化空気発生効率は、入口空気温度が数℃と
低く乾燥(露点−50℃)している方がよくかつ寿命も
長くなるので、冷却乾燥器2(クーラ・ドライヤーC/
D)により低温であって乾燥した圧縮空気とする。
【0014】図1のように、オゾン発生装置8が複数ユ
ニット(8A,8B,8C)ある大規模装置では、オゾ
ン接触池17の複数ユニット(17Aと図示省略の17
B,17C)とが対向して浄水処理プロセス制御(処理
水量や水質の変化によりオゾン化空気量を増減するいわ
ゆるオゾン濃度制御を行う)を行っている。したがっ
て、オゾン発生装置8の定格はユニット毎に変わる設計
方式となる。そこで、圧力容器5を設けて圧力検出器6
により一定圧力(例えば1.5 気圧)を蓄積して、オゾ
ン発生装置8の各々ユニット(8A,8B,8C)の運
転条件に合せて流量調節器9で各々設定しておけば、必
要な空気原料がオゾン発生器10へ供給されオゾン化空
気を得られる便利さが生ずる。
ニット(8A,8B,8C)ある大規模装置では、オゾ
ン接触池17の複数ユニット(17Aと図示省略の17
B,17C)とが対向して浄水処理プロセス制御(処理
水量や水質の変化によりオゾン化空気量を増減するいわ
ゆるオゾン濃度制御を行う)を行っている。したがっ
て、オゾン発生装置8の定格はユニット毎に変わる設計
方式となる。そこで、圧力容器5を設けて圧力検出器6
により一定圧力(例えば1.5 気圧)を蓄積して、オゾ
ン発生装置8の各々ユニット(8A,8B,8C)の運
転条件に合せて流量調節器9で各々設定しておけば、必
要な空気原料がオゾン発生器10へ供給されオゾン化空
気を得られる便利さが生ずる。
【0015】したがって、圧力検出器6の圧力検出信号
7aと複数ユニットの空気源発生器1と冷却乾燥器2と
の故障出力信号7bとをコンプレッサ群制御器7へ入力
して、何台月のコンプレッサ1を運転すべきかの指令信
号7Cを発生させる(この時、C1→C/D−1 が停止
時、5からの逆流防止に逆止弁が必要となる)。
7aと複数ユニットの空気源発生器1と冷却乾燥器2と
の故障出力信号7bとをコンプレッサ群制御器7へ入力
して、何台月のコンプレッサ1を運転すべきかの指令信
号7Cを発生させる(この時、C1→C/D−1 が停止
時、5からの逆流防止に逆止弁が必要となる)。
【0016】勿論、コンプレッサ1またはクーラ・ドラ
イヤー2のいずれかの故障出力信号7bによりコンプレ
ッサ1の運転可否が7で決定される。
イヤー2のいずれかの故障出力信号7bによりコンプレ
ッサ1の運転可否が7で決定される。
【0017】したがって、オゾン発生装置8で必要な原
料空気は圧力容器5により常時一定の設定圧力値で蓄積
されていることとなる。尚、圧力容器5を2分割したの
は点検時内側のみ止めることができるために、そのため
の止弁類は図1では表示省略としている。
料空気は圧力容器5により常時一定の設定圧力値で蓄積
されていることとなる。尚、圧力容器5を2分割したの
は点検時内側のみ止めることができるために、そのため
の止弁類は図1では表示省略としている。
【0018】さて、オゾン発生装置8はオゾン接触池1
7と1対向とするため、図1では3ユニット(8A→1
7A,8B→17B,8C→17C)となり、17B,
17Cは17Aと構成要素は同じなので図示省略してい
る。
7と1対向とするため、図1では3ユニット(8A→1
7A,8B→17B,8C→17C)となり、17B,
17Cは17Aと構成要素は同じなので図示省略してい
る。
【0019】浄水処理設計では、処理水量17A−1と
その原水の汚れによるオゾン注入率とで、オゾン発生量
を設計するので、図1の如くオゾン発生装置8のオゾン
発生量の定格値は、略々同じの時が8A,8Bとし、片
側が大きい時は8B≪8Cとしている。
その原水の汚れによるオゾン注入率とで、オゾン発生量
を設計するので、図1の如くオゾン発生装置8のオゾン
発生量の定格値は、略々同じの時が8A,8Bとし、片
側が大きい時は8B≪8Cとしている。
【0020】まず、8A,8Bの場合での予備機の位置
付けを説明する。オゾン発生装置8Aではヘッダ共通管
4Bより流量調節器9を経由して、適正な原料空気をオ
ゾン発生器10へ供給すると図示のないグロー放電制御
部より電力注入されてオゾン化空気を生じ、止弁11を
経由してヘッダ共通管4C1→4D1経由しオゾン接触池
17Aのオゾン散気管18へ放出される。ここに、オゾ
ン発生器10において〔OZN−A1=OZN−A2〕
の定格出力条件として季節変化に伴うオゾン散気管18
へのオゾン濃度を可変するために最小2台構成となる。
ここで、若しOZN−A1が故障して停止するとオゾン
発生量が減るのでオゾン接触池17Aのオゾン反応が低
くなり目的が達成されなくなる。
付けを説明する。オゾン発生装置8Aではヘッダ共通管
4Bより流量調節器9を経由して、適正な原料空気をオ
ゾン発生器10へ供給すると図示のないグロー放電制御
部より電力注入されてオゾン化空気を生じ、止弁11を
経由してヘッダ共通管4C1→4D1経由しオゾン接触池
17Aのオゾン散気管18へ放出される。ここに、オゾ
ン発生器10において〔OZN−A1=OZN−A2〕
の定格出力条件として季節変化に伴うオゾン散気管18
へのオゾン濃度を可変するために最小2台構成となる。
ここで、若しOZN−A1が故障して停止するとオゾン
発生量が減るのでオゾン接触池17Aのオゾン反応が低
くなり目的が達成されなくなる。
【0021】そこで、非常用オゾン発生器13が運転
し、関連の非常用流量調節器12と止弁14A−14B
が開となり、ヘッダ共通管4C1 へオゾン化空気を送り
込むので、オゾン接触池17A側では何ら変わらぬオゾ
ン反応を進めることができる。勿論、その間に故障した
オゾン発生器(OZN−A1)10を修理して復旧させ
る(約1週間程度の修理時間がかかる。)。ここに8
A,8Bであるから、8B側のオゾン発生器が故障して
も止弁14Cを開とすることで同じ操作となるので、8
A−8Bのオゾン発生器の予備機は共用化できて2台→
1台と省略できる。次に8B≪8Cの場合での予備機の
位置付けを説明する。オゾン発生器(OZN−C1,C2,
Cx)は予備機としてOZN−Cxが設置される。ここ
で、若し8Bのオゾン発生器(OZN−B1又はOZN
−B2)が故障すると、非常用バイパス管15により非
常用装置調節器12Xを介して止弁14Cを開としてヘ
ッダ共通管4C2 へオゾン化空気が供給されるのでオゾ
ン接触池17B側では何ら変わらぬオゾン反応を進める
ことができる。
し、関連の非常用流量調節器12と止弁14A−14B
が開となり、ヘッダ共通管4C1 へオゾン化空気を送り
込むので、オゾン接触池17A側では何ら変わらぬオゾ
ン反応を進めることができる。勿論、その間に故障した
オゾン発生器(OZN−A1)10を修理して復旧させ
る(約1週間程度の修理時間がかかる。)。ここに8
A,8Bであるから、8B側のオゾン発生器が故障して
も止弁14Cを開とすることで同じ操作となるので、8
A−8Bのオゾン発生器の予備機は共用化できて2台→
1台と省略できる。次に8B≪8Cの場合での予備機の
位置付けを説明する。オゾン発生器(OZN−C1,C2,
Cx)は予備機としてOZN−Cxが設置される。ここ
で、若し8Bのオゾン発生器(OZN−B1又はOZN
−B2)が故障すると、非常用バイパス管15により非
常用装置調節器12Xを介して止弁14Cを開としてヘ
ッダ共通管4C2 へオゾン化空気が供給されるのでオゾ
ン接触池17B側では何ら変わらぬオゾン反応を進める
ことができる。
【0022】尚、流量計16はオゾン化空気量のチェッ
クに用い予備機切替運転時、正常性を制御上求める場合
に用いられる。したがって、8B及び8A側の予備機は
不要となり8Cの予備機のみで代用できる。
クに用い予備機切替運転時、正常性を制御上求める場合
に用いられる。したがって、8B及び8A側の予備機は
不要となり8Cの予備機のみで代用できる。
【0023】一方、排オゾン処理器19Aは、オゾン接
触池17Aの処理水とのオゾン化反応の余剰オゾンが2
0%上部へ蓄積されるので、排気ファン25Aで外部へ
放出しなければならない。しかし、余剰オゾンは有害で
あるので、水分除去のミオトセパレータ20→ヒータ2
1→2酸化マンガン触媒(MnO2)22でオゾン分解後
に止弁(バタフライ弁)23経由排気ファン25Aで大
気へ放出することになる。図1では排オゾン処理器を2
ユニット(19Aと19B)設けているが常時24時間
運転のため予備機が必要である。
触池17Aの処理水とのオゾン化反応の余剰オゾンが2
0%上部へ蓄積されるので、排気ファン25Aで外部へ
放出しなければならない。しかし、余剰オゾンは有害で
あるので、水分除去のミオトセパレータ20→ヒータ2
1→2酸化マンガン触媒(MnO2)22でオゾン分解後
に止弁(バタフライ弁)23経由排気ファン25Aで大
気へ放出することになる。図1では排オゾン処理器を2
ユニット(19Aと19B)設けているが常時24時間
運転のため予備機が必要である。
【0024】本発明では、故障率の一番高い回数体の排
気ファン25Aのみを予備機たとえば非常用ファン25
(Fx)とすることで、25Aまたは25Bが故障時に
切替弁24経由して非常用ファン25(Fx)を運転
し、19Aユニット相当の予備機を設置せずに代用でき
る。
気ファン25Aのみを予備機たとえば非常用ファン25
(Fx)とすることで、25Aまたは25Bが故障時に
切替弁24経由して非常用ファン25(Fx)を運転
し、19Aユニット相当の予備機を設置せずに代用でき
る。
【0025】インバータ制御器26は故障F1のみのと
きとF2も同時故障した時に、非常用ファン25(F
x)の排気量が変化するので、その排気量制御の為のも
のである。
きとF2も同時故障した時に、非常用ファン25(F
x)の排気量が変化するので、その排気量制御の為のも
のである。
【0026】すなわち、非常用ファン25(Fx)の排
気能力は、排気ファン25A=25Bであるから25Aの
2倍の定格能力を有する。
気能力は、排気ファン25A=25Bであるから25Aの
2倍の定格能力を有する。
【0027】従来例のシステム構成を図2に示したが、
空気源発生器はブロア27〜冷却乾燥器2〜オゾン発生
器10が並列に予備機(BLX−C/DX−OZN−
X)を設け、排オゾン処理器の予備機19Xを設けてい
た。
空気源発生器はブロア27〜冷却乾燥器2〜オゾン発生
器10が並列に予備機(BLX−C/DX−OZN−
X)を設け、排オゾン処理器の予備機19Xを設けてい
た。
【0028】
【発明の効果】このように、原料空気発生部分(1→2
→3→4A→5→4B)とオゾン発生装置部分(9→1
0→11→4C1→4D1)とオゾン処理器部分(20→
21→22→23→25Aおよび24→25←26)と
が各々予備機を必要最小限の構成としたので、イニシャ
ルコストとランニングコストを大幅に低下できる。
→3→4A→5→4B)とオゾン発生装置部分(9→1
0→11→4C1→4D1)とオゾン処理器部分(20→
21→22→23→25Aおよび24→25←26)と
が各々予備機を必要最小限の構成としたので、イニシャ
ルコストとランニングコストを大幅に低下できる。
【図1】本発明の実施例として示したオゾン処理システ
ムの概略説明図である。
ムの概略説明図である。
【図2】従来のオゾン処理システムの概略構成図であ
る。
る。
1…空気源発生器、2…冷却乾燥器、5…圧力容器、7
…コンプレッサ群制御器、8…オゾン発生装置、12…
非常用流量調節器、13…非常用オゾン発生器、17…
オゾン接触池、18…オゾン散気管、25…非常用ファ
ン。
…コンプレッサ群制御器、8…オゾン発生装置、12…
非常用流量調節器、13…非常用オゾン発生器、17…
オゾン接触池、18…オゾン散気管、25…非常用ファ
ン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩野 繁男 茨城県日立市国分町一丁目1番1号 株式 会社日立製作所国分工場内
Claims (5)
- 【請求項1】空気源発生器,冷却乾燥器,圧力容器,流
量調節器,オゾン発生装置,オゾン接触池,排オゾン処
理器とより成るオゾン処理システムにおいて、空気発生
器と冷却乾燥器の複数ユニットに予備ユニットを設ける
こと、圧力容器を2分割として並列に設けること、流量
調節器とオゾン発生装置の複数ユニットに共通分配でき
る非常用オゾン発生器を設けること、オゾン発生器の出
口より一部他のオゾン発生器出口へ分配する非常用流量
調節器を設けること、排オゾン処理器の複数ユニットの
排気ファン部分のみを共有化する非常用ファンを設ける
ことを特徴とするオゾン処理システム。 - 【請求項2】上記圧力容器の指定圧力を圧力検出器から
の信号と空気源発生器と冷却乾燥器の故障信号とを受け
て空気源発生器の台数選択信号を送出するコンプレッサ
群制御器を有することを特徴とする請求項1記載のオゾ
ン処理システム。 - 【請求項3】上記複数ユニットのオゾン発生量が略々等
しい場合は、共通予備の非常用オゾン発生器を設けて、
いずれかのユニットが故障時に弁切替操作により緊急応
援して故障系のオゾン発生量を補充することを特徴とす
る請求項1記載のオゾン処理システム。 - 【請求項4】上記複数ユニットのオゾン発生量が大きく
異なる場合はオゾン発生量の大きいオゾン発生器のオゾ
ン化空気をオゾン発生量の小さいオゾン発生器側へ非常
用流量調節器により緊急応援して故障系の小さいオゾン
発生器側のオゾン発生量を補充することを特徴とする請
求項1記載のオゾン処理システム。 - 【請求項5】上記排気ファン故障時に切替経由して非常
用排気ファンが運転し、かつ非常用ファンの排気量は排
気ファンの2倍の能力を有し、1又は2台の排気ファン
故障時に排気量を1〜2倍と制御するインバータ制御器
を有することを特徴とする請求項1記載のオゾン処理シ
ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29927294A JPH08155472A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | オゾン処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29927294A JPH08155472A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | オゾン処理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08155472A true JPH08155472A (ja) | 1996-06-18 |
Family
ID=17870402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29927294A Pending JPH08155472A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | オゾン処理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08155472A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007069108A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Ebara Corp | 放電処理システム |
| JP2014014549A (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-30 | Ihi Shibaura Machinery Corp | 脱臭除菌装置 |
| CN109574330A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-04-05 | 田野 | 一种一体化可移动生活污水净化处理系统及处理工艺 |
-
1994
- 1994-12-02 JP JP29927294A patent/JPH08155472A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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