JPH08159908A - バルブの性能確認方法及びその装置 - Google Patents
バルブの性能確認方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH08159908A JPH08159908A JP33186994A JP33186994A JPH08159908A JP H08159908 A JPH08159908 A JP H08159908A JP 33186994 A JP33186994 A JP 33186994A JP 33186994 A JP33186994 A JP 33186994A JP H08159908 A JPH08159908 A JP H08159908A
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- JP
- Japan
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- valve
- performance
- flow rate
- fluid supply
- discharge line
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- Pending
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】流体給排ラインのバルブの性能確認方法に於い
て、保守時にバルブの動作確認、性能診断を行えると共
に、バルブの性能確認迄行える様にする。 【構成】流量計１２を具備した流体給排ライン１０のバ
ルブ８，１１，１３の性能確認方法に於いて、流体給排
ラインの性能確認の対象となるバルブを閉塞すると共に
他のバルブを開放して、前記流量計による流量検出を行
い、流量が０であれば、正常、流量が検出されれば、リ
ークが有るということであり、異常と診断する。
て、保守時にバルブの動作確認、性能診断を行えると共
に、バルブの性能確認迄行える様にする。 【構成】流量計１２を具備した流体給排ライン１０のバ
ルブ８，１１，１３の性能確認方法に於いて、流体給排
ラインの性能確認の対象となるバルブを閉塞すると共に
他のバルブを開放して、前記流量計による流量検出を行
い、流量が０であれば、正常、流量が検出されれば、リ
ークが有るということであり、異常と診断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流体給排ラインのバルブ
が正常に作動しているかどうかを検査するバルブの性能
確認方法及びその装置に関するものである。
が正常に作動しているかどうかを検査するバルブの性能
確認方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種生産ラインに導入される製造装置、
例えば半導体製造装置の稼働率は、装置の総合的な性能
を示す大きな要因の１つである。
例えば半導体製造装置の稼働率は、装置の総合的な性能
を示す大きな要因の１つである。
【０００３】半導体製造装置は製造品質を維持する為、
数日に一度、或は数週間に一度は、必ず保守作業を行わ
なければならない。保守作業では寿命の尽きかけている
消耗品の交換、汚れた箇所の清掃、不良設備の修理を行
い、最後に排気動作を含む半導体製造装置の各機器の診
断を実施する。保守作業時には半導体製造装置を休止さ
せる必要があり、稼働率を向上する為には保守作業に要
する時間を最小に抑える必要がある。
数日に一度、或は数週間に一度は、必ず保守作業を行わ
なければならない。保守作業では寿命の尽きかけている
消耗品の交換、汚れた箇所の清掃、不良設備の修理を行
い、最後に排気動作を含む半導体製造装置の各機器の診
断を実施する。保守作業時には半導体製造装置を休止さ
せる必要があり、稼働率を向上する為には保守作業に要
する時間を最小に抑える必要がある。
【０００４】ところで、半導体製造装置としてはエッチ
ング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置等があり、これ
ら装置はウェーハやガラス基板等の被処理物を密閉され
た処理容器内に収納した後、処理容器内を減圧状態とし
て所定の処理を行う様になっている。
ング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置等があり、これ
ら装置はウェーハやガラス基板等の被処理物を密閉され
た処理容器内に収納した後、処理容器内を減圧状態とし
て所定の処理を行う様になっている。
【０００５】図１により前掲した従来の半導体製造装置
の概略を説明する。
の概略を説明する。
【０００６】気密な処理容器１には被処理物載置台２が
設けられ、該被処理物載置台２にはウェーハ、ガラス基
板等の被処理基板３が載置される。前記処理容器１には
排気管４を介して真空ポンプ５が接続されると共にガス
導入管６が接続され、該ガス導入管６には処理容器１側
からガスフィルタ７、エアバルブ８、ガス導入制御部９
が接続される。
設けられ、該被処理物載置台２にはウェーハ、ガラス基
板等の被処理基板３が載置される。前記処理容器１には
排気管４を介して真空ポンプ５が接続されると共にガス
導入管６が接続され、該ガス導入管６には処理容器１側
からガスフィルタ７、エアバルブ８、ガス導入制御部９
が接続される。
【０００７】該ガス導入制御部９はｎ系統のガス供給ラ
イン１０1 ，１０2 ，１０3 ，…，１０n から成り、各
ガス供給ライン１０1 ，１０2 ，１０3 ，…，１０n は
それぞれ処理容器１側からエアバルブ１１1 ，１１2 ，
１１3 ，…，１１n 、マスフローコントローラ１２1 ，
１２2 ，１２3 ，…，１２n 、エアバルブ１３1 ，１３
2 ，１３3 ，…，１３n 、ガスフィルタ１４1 ，１
４2 ，１４3 ，…，１４nが設けられている。
イン１０1 ，１０2 ，１０3 ，…，１０n から成り、各
ガス供給ライン１０1 ，１０2 ，１０3 ，…，１０n は
それぞれ処理容器１側からエアバルブ１１1 ，１１2 ，
１１3 ，…，１１n 、マスフローコントローラ１２1 ，
１２2 ，１２3 ，…，１２n 、エアバルブ１３1 ，１３
2 ，１３3 ，…，１３n 、ガスフィルタ１４1 ，１
４2 ，１４3 ，…，１４nが設けられている。
【０００８】而して、被処理基板３を処理する場合は、
前記エアバルブ８を閉じ、前記真空ポンプ５により処理
容器１内を排気して減圧状態とし、所定の減圧状態とな
ったら、処理容器１内に導入するガスが選択され、前記
エアバルブ８を開き、選択されたガス供給ライン、例え
ばガス供給ライン１０n の前記エアバルブ１１n 、ガス
フィルタ１４n を開き反応ガスを導入する。反応ガスの
流量は、マスフローコントローラ１２n により設定した
流量に制御され、処理容器１の内部圧力は図示しない圧
力制御装置によって設定した圧力に保持される。
前記エアバルブ８を閉じ、前記真空ポンプ５により処理
容器１内を排気して減圧状態とし、所定の減圧状態とな
ったら、処理容器１内に導入するガスが選択され、前記
エアバルブ８を開き、選択されたガス供給ライン、例え
ばガス供給ライン１０n の前記エアバルブ１１n 、ガス
フィルタ１４n を開き反応ガスを導入する。反応ガスの
流量は、マスフローコントローラ１２n により設定した
流量に制御され、処理容器１の内部圧力は図示しない圧
力制御装置によって設定した圧力に保持される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記したエア
バルブ８、エアバルブ１１、エアバルブ１３等のバルブ
自体にはバルブの開閉動作を確認する手段を具備してい
るものは殆どなく、例えバルブ自体が動作確認の手段を
具備していたとしても、開閉動作が完全であるかどう
か、即ち閉状態でリークがないか、バルブの性能劣化等
については診断する手段はなかった。
バルブ８、エアバルブ１１、エアバルブ１３等のバルブ
自体にはバルブの開閉動作を確認する手段を具備してい
るものは殆どなく、例えバルブ自体が動作確認の手段を
具備していたとしても、開閉動作が完全であるかどう
か、即ち閉状態でリークがないか、バルブの性能劣化等
については診断する手段はなかった。
【００１０】この為、数日に一度、或は数週間に一度行
う保守作業時にもバルブの動作確認はすることができて
も開閉状態が完全であるかどうか等の性能迄確認するこ
とはできなかった。更に、バルブの性能劣化が生じて
も、どのバルブであるかを特定することが困難で、バル
ブ個々の性能確認にはラインを分解してバルブ単体の点
検を行わなければならなかった。
う保守作業時にもバルブの動作確認はすることができて
も開閉状態が完全であるかどうか等の性能迄確認するこ
とはできなかった。更に、バルブの性能劣化が生じて
も、どのバルブであるかを特定することが困難で、バル
ブ個々の性能確認にはラインを分解してバルブ単体の点
検を行わなければならなかった。
【００１１】本発明は斯かる実情に鑑み、保守時にバル
ブの動作確認、性能診断を行えると共に、バルブの性能
確認迄行える様にするものである。
ブの動作確認、性能診断を行えると共に、バルブの性能
確認迄行える様にするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、流量計を具備
した流体給排ラインのバルブの性能確認方法に於いて、
流体給排ラインの性能確認の対象となるバルブを閉塞す
ると共に他のバルブを開放して、前記流量計による流量
検出により対象となるバルブの性能を診断することを特
徴とするものである。
した流体給排ラインのバルブの性能確認方法に於いて、
流体給排ラインの性能確認の対象となるバルブを閉塞す
ると共に他のバルブを開放して、前記流量計による流量
検出により対象となるバルブの性能を診断することを特
徴とするものである。
【００１３】
【作用】対象となるバルブを閉塞して、流量計による流
量検出を行い、流量が０であれば、正常、流量が検出さ
れれば、リークが有るということであり、異常と診断さ
れる。
量検出を行い、流量が０であれば、正常、流量が検出さ
れれば、リークが有るということであり、異常と診断さ
れる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１５】図１に於いてガス供給ライン１０n に関す
るバルブの性能確認をする場合を説明する。
るバルブの性能確認をする場合を説明する。
【００１６】ガス供給ライン１０n に関するバルブ、エ
アバルブ８、エアバルブ１１n 、エアバルブ１３n を全
て開放し、エアバルブ８、エアバルブ１１n 、エアバル
ブ１３n を除く全てのバルブを閉とする。前記ガス供給
ライン１０n には前記マスフローコントローラ１２n で
制御された反応ガスが流れ、該マスフローコントローラ
１２n からは流通する反応ガス流量の出力がある。
アバルブ８、エアバルブ１１n 、エアバルブ１３n を全
て開放し、エアバルブ８、エアバルブ１１n 、エアバル
ブ１３n を除く全てのバルブを閉とする。前記ガス供給
ライン１０n には前記マスフローコントローラ１２n で
制御された反応ガスが流れ、該マスフローコントローラ
１２n からは流通する反応ガス流量の出力がある。
【００１７】次に、前記エアバルブ１３n のみを閉と
し、前記マスフローコントローラ１２n からの出力を監
視する。反応ガスの流量が０となると、前記マスフロー
コントローラ１２n からの出力が０となり、前記エアバ
ルブ１３n は正常に作動していることが分かり、マスフ
ローコントローラ１２n からの出力が０でない場合は、
前記エアバルブ１３n からガスのリークが有るというこ
とであり、エアバルブ１３n の密閉が破れていることに
なり、動作不良を起こしていることが分かる。
し、前記マスフローコントローラ１２n からの出力を監
視する。反応ガスの流量が０となると、前記マスフロー
コントローラ１２n からの出力が０となり、前記エアバ
ルブ１３n は正常に作動していることが分かり、マスフ
ローコントローラ１２n からの出力が０でない場合は、
前記エアバルブ１３n からガスのリークが有るというこ
とであり、エアバルブ１３n の密閉が破れていることに
なり、動作不良を起こしていることが分かる。
【００１８】同様な手順で、前記エアバルブ１１n 、エ
アバルブ８についても性能診断を行うことができ、更に
他のガス供給ライン１０に関しても同様に行うことがで
き、全てのバルブについて性能診断を行うことができ
る。
アバルブ８についても性能診断を行うことができ、更に
他のガス供給ライン１０に関しても同様に行うことがで
き、全てのバルブについて性能診断を行うことができ
る。
【００１９】次に、上記バルブの性能確認については装
置自体が自己診断することもできる。
置自体が自己診断することもできる。
【００２０】自己診断機能について図２により略述す
る。
る。
【００２１】前記エアバルブ８、エアバルブ１１1 ，１
１2 ，１１3 ，…，１１n 、エアバルブ１３1 ，１
３2 ，１３3 ，…，１３n はバルブ駆動制御器１６によ
り駆動され、該バルブ駆動制御器１６は主制御器１７か
らの指令信号により前記バルブを駆動する。又、前記主
制御器１７には記憶器１８が接続され、該記憶器１８に
は製造工程を実施する為のバルブ駆動プログラムが設定
入力されると共に自己診断プログラムが設定入力されて
いる。
１2 ，１１3 ，…，１１n 、エアバルブ１３1 ，１
３2 ，１３3 ，…，１３n はバルブ駆動制御器１６によ
り駆動され、該バルブ駆動制御器１６は主制御器１７か
らの指令信号により前記バルブを駆動する。又、前記主
制御器１７には記憶器１８が接続され、該記憶器１８に
は製造工程を実施する為のバルブ駆動プログラムが設定
入力されると共に自己診断プログラムが設定入力されて
いる。
【００２２】該自己診断プログラムは上記した性能診断
を実施する為のバルブの開閉シーケンス、及びマスフロ
ーコントローラから入力される信号によりバルブの性能
判断を行い、診断結果を表示器１９に表示する為のフォ
ーマットを格納している。
を実施する為のバルブの開閉シーケンス、及びマスフロ
ーコントローラから入力される信号によりバルブの性能
判断を行い、診断結果を表示器１９に表示する為のフォ
ーマットを格納している。
【００２３】キーボード等の入力手段２０で自己診断プ
ログラムを選択し実行すると、上記したバルブの性能確
認の手順に従って、順次ガス供給ライン１０が選択さ
れ、更にバルブが順次開閉される。又、開閉の度に該当
するラインのマスフローコントローラからの信号を呼込
み、主制御器１７に於いてバルブの性能確認が行われ
る。
ログラムを選択し実行すると、上記したバルブの性能確
認の手順に従って、順次ガス供給ライン１０が選択さ
れ、更にバルブが順次開閉される。又、開閉の度に該当
するラインのマスフローコントローラからの信号を呼込
み、主制御器１７に於いてバルブの性能確認が行われ
る。
【００２４】バルブの性能確認が完了すると、診断結果
は表形式等、設定されたフォーマットで表示、或はプリ
ントアウトされる。
は表形式等、設定されたフォーマットで表示、或はプリ
ントアウトされる。
【００２５】而して、半導体製造装置自体がバルブの性
能確認を実施し、作業者は各バルブの開閉作動を指示す
る必要はない。
能確認を実施し、作業者は各バルブの開閉作動を指示す
る必要はない。
【００２６】尚、上記実施例ではライン中のマスフロー
コントローラを利用してバルブの性能確認を行ったが、
マスフローコントローラに限らず流量を検出できるもの
であればよく、或はバルブの性能確認の為に別途対象と
なるラインに流量検出器を設けてもよく、ラインを流れ
る流体は気体に限らず液体であってもよいことは勿論で
ある。
コントローラを利用してバルブの性能確認を行ったが、
マスフローコントローラに限らず流量を検出できるもの
であればよく、或はバルブの性能確認の為に別途対象と
なるラインに流量検出器を設けてもよく、ラインを流れ
る流体は気体に限らず液体であってもよいことは勿論で
ある。
【００２７】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、流体給
排ラインのバルブが正常に作動しているかどうか、更に
バルブの性能検査迄容易に実施でき、処理不良、或はガ
スのリーク等の事故を未然に防ぐことができる。
排ラインのバルブが正常に作動しているかどうか、更に
バルブの性能検査迄容易に実施でき、処理不良、或はガ
スのリーク等の事故を未然に防ぐことができる。
【図１】本発明の実施の対象の１つである半導体製造装
置のガス導入制御部を示す系統図である。
置のガス導入制御部を示す系統図である。
【図２】本発明を実施する為の診断装置の概略を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
８ エアバルブ １０ ガス供給ライン １１ エアバルブ １２ マスフローコントローラ １４ ガスフィルタ １７ 主制御器 １８ 記憶器
Claims (2)
- 【請求項１】 流量計を具備した流体給排ラインのバル
ブの性能確認方法に於いて、流体給排ラインの性能確認
の対象となるバルブを閉塞すると共に他のバルブを開放
して、前記流量計による流量検出により対象となるバル
ブの性能を診断することを特徴とするバルブの性能確認
方法。 - 【請求項２】 所要数のバルブが設けられた流体給排ラ
インに設けられた流量計と、流体給排ラインの性能確認
の対象となるバルブを閉塞すると共に他のバルブを開放
して前記流量計による流量検出を行う様に設定された自
己診断プログラムを格納する記憶器と、前記自己診断プ
ログラムを実行する為の制御器とを具備したことを特徴
とするバルブの性能確認装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33186994A JPH08159908A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | バルブの性能確認方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33186994A JPH08159908A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | バルブの性能確認方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08159908A true JPH08159908A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=18248560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33186994A Pending JPH08159908A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | バルブの性能確認方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08159908A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010519511A (ja) * | 2007-02-19 | 2010-06-03 | ブルックス・インストルメント・エルエルシー | 弁の自己漏洩の診断 |
| WO2017018257A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系のバルブのリークを検査する方法 |
| JP2022155227A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 株式会社ディスコ | 基板処理システム |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP33186994A patent/JPH08159908A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010519511A (ja) * | 2007-02-19 | 2010-06-03 | ブルックス・インストルメント・エルエルシー | 弁の自己漏洩の診断 |
| US8887549B2 (en) | 2007-02-19 | 2014-11-18 | Brooks Instrument, Llc | Valve leakby diagnostics |
| WO2017018257A1 (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系のバルブのリークを検査する方法 |
| JP2017032305A (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系のバルブのリークを検査する方法 |
| CN107709953A (zh) * | 2015-07-29 | 2018-02-16 | 东京毅力科创株式会社 | 检查气体供给系统的阀泄漏的方法 |
| CN107709953B (zh) * | 2015-07-29 | 2019-12-06 | 东京毅力科创株式会社 | 检查气体供给系统的阀泄漏的方法 |
| TWI688726B (zh) * | 2015-07-29 | 2020-03-21 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 氣體供給系統之閥體洩漏的檢查方法 |
| JP2022155227A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 株式会社ディスコ | 基板処理システム |
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