JPH0816647B2 - 微粒子計 - Google Patents
微粒子計Info
- Publication number
- JPH0816647B2 JPH0816647B2 JP2137467A JP13746790A JPH0816647B2 JP H0816647 B2 JPH0816647 B2 JP H0816647B2 JP 2137467 A JP2137467 A JP 2137467A JP 13746790 A JP13746790 A JP 13746790A JP H0816647 B2 JPH0816647 B2 JP H0816647B2
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- fluid
- gas
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微粒子計に関し、例えば気体中の微粒子を検
出する微粒子計に適用し得る。
出する微粒子計に適用し得る。
本発明は、微粒子計において、流路部を密閉箱で密閉
することにより、安全に所望の流体中の微粒子を測定す
ることができる。
することにより、安全に所望の流体中の微粒子を測定す
ることができる。
従来、この種の微粒子計において、例えば石英ガラス
等の透明部材で流体の流路（以下光学セルと呼ぶ）を形
成し、当該光学セル内を流れる流体中の微粒子の濃度及
び粒径を光学的手法を用いて測定し得るようになされた
ものがある。
等の透明部材で流体の流路（以下光学セルと呼ぶ）を形
成し、当該光学セル内を流れる流体中の微粒子の濃度及
び粒径を光学的手法を用いて測定し得るようになされた
ものがある。
すなわち光学セル内に流体を流した状態で、当該光学
セルに光ビームを照射する。
セルに光ビームを照射する。
このようにすれば、光学セルの透過光及び散乱光にお
いては、流体中の微粒子の粒径に応じて光量が変化す
る。
いては、流体中の微粒子の粒径に応じて光量が変化す
る。
従つて当該透過光又は散乱光の光量を検出することに
より、高い精度で流体中の微粒子を測定することができ
る。
より、高い精度で流体中の微粒子を測定することができ
る。
ところで、この種の微粒子計でアルシン（AsO3）、ホ
スフイン（PH3）等の有毒ガスや、シラン（SiH4）のよ
うな反応性の高い気体中の微粒子を測定したい場合があ
る。
スフイン（PH3）等の有毒ガスや、シラン（SiH4）のよ
うな反応性の高い気体中の微粒子を測定したい場合があ
る。
ところが光学セルにおいては、被測定対象の異常加圧
や衝撃により破損する場合があり、この場合被測定対象
の気体が漏れ出し、重大な事故につながるおそれがあつ
た。
や衝撃により破損する場合があり、この場合被測定対象
の気体が漏れ出し、重大な事故につながるおそれがあつ
た。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、種々の
気体中の微粒子を安全に測定することができる微粒子計
を提案しようとするものである。
気体中の微粒子を安全に測定することができる微粒子計
を提案しようとするものである。
かかる課題を解決するため本発明においては、光学セ
ル６内に測定対象となる流体を導入し、照明光学系７に
より当該流体に光ビームを照射し、光ビームの透過光又
は散乱光を受光光学系11で受光し、透過光量又は散乱光
量に応じて当該受光光学系11から送出される検出信号に
基づいて流体中の微粒子を検出する微粒子計１におい
て、光学セル７、照明光学系７及び受光光学系11を密閉
する密閉箱40と、光学セル７に流入する流体の流量を測
定し、当該流量に応じた第１の流量検出信号を送出する
第１の流量計24と、光学セル７から排出される流体の流
量を測定し、当該流量に応じた第２の流量検出信号を送
出する第２の流量計30と、第１の流量計24の上流側に設
けられ、外部からの信号によつて光学セル７に通じる流
体の流路を開閉動作する電磁バルブ22と、第１及び第２
の流量検出信号を比較し、第１の流量検出信号が第２の
流量検出信号より大きいとき、電磁バルブ22を閉動作さ
せる信号を送出するリーク検出器32とを設けるようにす
る。
ル６内に測定対象となる流体を導入し、照明光学系７に
より当該流体に光ビームを照射し、光ビームの透過光又
は散乱光を受光光学系11で受光し、透過光量又は散乱光
量に応じて当該受光光学系11から送出される検出信号に
基づいて流体中の微粒子を検出する微粒子計１におい
て、光学セル７、照明光学系７及び受光光学系11を密閉
する密閉箱40と、光学セル７に流入する流体の流量を測
定し、当該流量に応じた第１の流量検出信号を送出する
第１の流量計24と、光学セル７から排出される流体の流
量を測定し、当該流量に応じた第２の流量検出信号を送
出する第２の流量計30と、第１の流量計24の上流側に設
けられ、外部からの信号によつて光学セル７に通じる流
体の流路を開閉動作する電磁バルブ22と、第１及び第２
の流量検出信号を比較し、第１の流量検出信号が第２の
流量検出信号より大きいとき、電磁バルブ22を閉動作さ
せる信号を送出するリーク検出器32とを設けるようにす
る。
流体の流路を形成する流路部20を密閉箱40で密閉する
と共に、リール発生時電磁バルブを閉動作させることに
より、密閉箱40から外部への流体の流出を確実に防止す
ることができる。
と共に、リール発生時電磁バルブを閉動作させることに
より、密閉箱40から外部への流体の流出を確実に防止す
ることができる。
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
第２図において、１は全体として微粒子計を示し、レ
ーザ光源２から射出された光ビームLA1をレンズ４を介
して光学セル６に照射することにより、レーザ光源２、
レンズ４で照明光学系７を構成し、被測定対象に光ビー
ムLA1を照射する。
ーザ光源２から射出された光ビームLA1をレンズ４を介
して光学セル６に照射することにより、レーザ光源２、
レンズ４で照明光学系７を構成し、被測定対象に光ビー
ムLA1を照射する。
光ビームLA1の光軸上には、光学セル６を間に挟んで
遮光板でなる光トラツプ８が配置され、光学セル６を透
過する直進光を遮光する。
遮光板でなる光トラツプ８が配置され、光学セル６を透
過する直進光を遮光する。
さらに微粒子計１は、光学セル６で散乱された散乱光
LA2のみ選択的にレンズ10を介して受光素子12に集光
し、これにより光トラツプ８、レンズ10及び受光素子12
で散乱光LA2を受光する受光光学系11を構成する。
LA2のみ選択的にレンズ10を介して受光素子12に集光
し、これにより光トラツプ８、レンズ10及び受光素子12
で散乱光LA2を受光する受光光学系11を構成する。
これにより微粒子計１において、受光素子12の出力信
号を所定の信号処理回路で処理することにより、光学セ
ル６内を流れる気体の微粒子を測定し得るようになされ
ている。
号を所定の信号処理回路で処理することにより、光学セ
ル６内を流れる気体の微粒子を測定し得るようになされ
ている。
ここで光学セル６は石英ガラスで形成され、第１図に
示すように、導入部16及び排出部18と共に流路部20を形
成するようになされている。
示すように、導入部16及び排出部18と共に流路部20を形
成するようになされている。
すなわち流路部20は、それぞれＯリングを間に挟ん
で、導入部16及び排出部18で両端から押圧した状態で光
学セル６を保持し、これにより導入部16から被測定対象
を導入して気体流を形成し、当該気体を排出部18から排
出するようになされている。
で、導入部16及び排出部18で両端から押圧した状態で光
学セル６を保持し、これにより導入部16から被測定対象
を導入して気体流を形成し、当該気体を排出部18から排
出するようになされている。
すなわち導入部16は、ステンレス製の管状部材でな
り、バルブ22、流量検出器24、導入導管26を順次介して
被測定対象の気体を導入し、光学セル６に供給する。
り、バルブ22、流量検出器24、導入導管26を順次介して
被測定対象の気体を導入し、光学セル６に供給する。
排出部18は、導入部16と同様にステンレス製の管状部
材でなり、光学セル６から流入する被測定対象の気体を
排出導管28、流量検出器30を介して送出する。
材でなり、光学セル６から流入する被測定対象の気体を
排出導管28、流量検出器30を介して送出する。
流量検出器24及び30は、当該流量検出器24及び30を通
過する気体の流量を検出し、当該検出結果をリーク検出
器32に出力する。
過する気体の流量を検出し、当該検出結果をリーク検出
器32に出力する。
従つて、リーク検出器32においては、流量検出器24及
び30の検出結果に基づいて、微粒子計１に流入する気体
の流量と、微粒子計１から排出される気体の流量を検出
し得、これにより光学セル６が破損した場合等の気体の
リークを検出することができる。
び30の検出結果に基づいて、微粒子計１に流入する気体
の流量と、微粒子計１から排出される気体の流量を検出
し得、これにより光学セル６が破損した場合等の気体の
リークを検出することができる。
リーク検出器32は、気体のリークが検出されると、バ
ルブ開閉器34に制御信号を出力し、これによりバルブ22
を閉制御して気体の供給を停止し、引き続き気体がリー
クしないようにする。
ルブ開閉器34に制御信号を出力し、これによりバルブ22
を閉制御して気体の供給を停止し、引き続き気体がリー
クしないようにする。
さらにこの実施例において、流路部20は、照明光学系
７、受光光学系11と共にステンレス製の密閉箱40で密閉
され、これによりリークしてもリークした気体が外部に
流出しないようになされている。
７、受光光学系11と共にステンレス製の密閉箱40で密閉
され、これによりリークしてもリークした気体が外部に
流出しないようになされている。
すなわち密閉箱40は、導入導管42を介して不活性ガス
でなる窒素ガスを導入し得るようになされ、これにより
被測定対象の気体を外部から二重に密閉すると共に、当
該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得るようになされて
いる。
でなる窒素ガスを導入し得るようになされ、これにより
被測定対象の気体を外部から二重に密閉すると共に、当
該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得るようになされて
いる。
従つて、例えばホスフインのように、毒性の強い気体
が流路部20からリークしても、当該密閉箱40で外部への
リークを防止し得、これにより重大な人身事故の発生を
有効に回避することができる。
が流路部20からリークしても、当該密閉箱40で外部への
リークを防止し得、これにより重大な人身事故の発生を
有効に回避することができる。
さらにシランガスのように、反応性の高い気体が流路
部20からリークしても、窒素ガスでパージすることによ
り、当該気体の反応、引火を防止し得、爆発事故等の発
生を有効に回避することができる。
部20からリークしても、窒素ガスでパージすることによ
り、当該気体の反応、引火を防止し得、爆発事故等の発
生を有効に回避することができる。
さらに密閉箱40は、排出導管44を介して、リークした
気体を例えばスクラバ等の処理システム系に排出し得る
ようになされ、これにより毒性の強い気体等を安全に処
理し得るようになされている。
気体を例えばスクラバ等の処理システム系に排出し得る
ようになされ、これにより毒性の強い気体等を安全に処
理し得るようになされている。
かくして密閉箱40で流路部20を密閉することにより、
被測定対象の気体を外部から二重に密閉すると共に、当
該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得、光学セル６が破
損した場合でも、事故の発生を有効に回避することがで
きる。
被測定対象の気体を外部から二重に密閉すると共に、当
該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得、光学セル６が破
損した場合でも、事故の発生を有効に回避することがで
きる。
さらに光学セル６が破損した場合に限らず、光学セル
６、導入部16及び排出部18の接続部分から気体が漏れ出
した場合も、事故の発生を有効に回避することができ
る。
６、導入部16及び排出部18の接続部分から気体が漏れ出
した場合も、事故の発生を有効に回避することができ
る。
従つてその分安全に被測定対象の微粒子を測定するこ
とができる。
とができる。
以上の構成において、被測定対象でなる気体を導入部
16から導入した後、光学セル６を通して排出部18から排
出する。
16から導入した後、光学セル６を通して排出部18から排
出する。
このとき密閉箱40で流路部20全体を密閉し、密閉箱40
内を窒素ガスでパージすることにより、流路部20から毒
性の強い気体がリークしても、外部への流出を防止し
得、人身事故等の発生を未然に防止することができる。
内を窒素ガスでパージすることにより、流路部20から毒
性の強い気体がリークしても、外部への流出を防止し
得、人身事故等の発生を未然に防止することができる。
さらに、反応性の高い気体がリークした場合でも、気
体の反応、引火を防止し得、爆発事故等の発生を有効に
回避することができる。
体の反応、引火を防止し得、爆発事故等の発生を有効に
回避することができる。
以上の構成によれば、流路部20を密閉箱40で密閉する
ことにより、被測定対象の気体を外部から二重に密閉す
ると共に、当該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得、流
路部20から被測定対象の気体がリークした場合でも、事
故の発生を有効に回避することができる。
ことにより、被測定対象の気体を外部から二重に密閉す
ると共に、当該密閉箱40内を窒素ガスでパージし得、流
路部20から被測定対象の気体がリークした場合でも、事
故の発生を有効に回避することができる。
従つて、その分安全に微粒子を測定することができ
る。
る。
なお上述の実施例においては、窒素ガスで密閉箱40内
をパージする場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、アルゴンガス等の不活性ガスで満たすようにして
もよい。
をパージする場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、アルゴンガス等の不活性ガスで満たすようにして
もよい。
さらに被測定対象の気体が空気と反応しない気体の場
合、密閉箱40内を空気で密閉するようにしてもよい。
合、密閉箱40内を空気で密閉するようにしてもよい。
さらに上述の実施例においては、石英ガラスで光学セ
ルを形成した場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、コランダム、サフアイヤ等の透明部材で形成する
場合に広く適用することができる。
ルを形成した場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、コランダム、サフアイヤ等の透明部材で形成する
場合に広く適用することができる。
さらに上述の実施例においては、ステンレス材で導入
部16、排出部18、密閉箱40を形成する場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、例えばアルミ合金、イン
コネルなどの材料で形成する場合に広く適用することが
できる。
部16、排出部18、密閉箱40を形成する場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、例えばアルミ合金、イン
コネルなどの材料で形成する場合に広く適用することが
できる。
さらに上述の実施例においては、気体中の微粒子を測
定する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
気体、液体でなる流体中の微粒子を測定する場合に広く
適用することができる。
定する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
気体、液体でなる流体中の微粒子を測定する場合に広く
適用することができる。
すなわち、半導体プロセスで用いられる材料ガスのう
ちトリメチルガリウムやトリメチルアルミニウムなどの
有害金属、トリクロルシランなどは、常温では液体であ
る。
ちトリメチルガリウムやトリメチルアルミニウムなどの
有害金属、トリクロルシランなどは、常温では液体であ
る。
従つてこのような高い反応性を有する試料の微粒子を
検出する場合、窒素ガスで密閉箱40内をパージすること
により、安全に微粒子を測定することができる。
検出する場合、窒素ガスで密閉箱40内をパージすること
により、安全に微粒子を測定することができる。
さらに上述の実施例においては、散乱光LA2の光量を
検出する微粒子計に本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、透過量の光量を検出する
微粒子計、さらには回折光を検出する微粒子にも広く適
用することができる。
検出する微粒子計に本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、透過量の光量を検出する
微粒子計、さらには回折光を検出する微粒子にも広く適
用することができる。
上述のように本発明によれば、光学セル、照明光学系
及び受光光学系でなる流路部を密閉箱内に密閉すると共
に、光学セルの流入側及び流出側位置に設けた第１及び
第２の流量計の検出出力を比較することによつて流路部
におけるリークの発生を検出したとき、第１の流量計の
上流側に設けた電磁バルブを閉動作させることにより、
密閉箱内へのその後の被測定対象のリークをさせないよ
うにし、その結果測定対象である流体を密閉箱から外部
に流出させないようにしながら当該流体内の微粒子を一
段と安全に測定することができるようにし得る。
及び受光光学系でなる流路部を密閉箱内に密閉すると共
に、光学セルの流入側及び流出側位置に設けた第１及び
第２の流量計の検出出力を比較することによつて流路部
におけるリークの発生を検出したとき、第１の流量計の
上流側に設けた電磁バルブを閉動作させることにより、
密閉箱内へのその後の被測定対象のリークをさせないよ
うにし、その結果測定対象である流体を密閉箱から外部
に流出させないようにしながら当該流体内の微粒子を一
段と安全に測定することができるようにし得る。
第１図は本発明の一実施例による微粒子計を示す略線
図、第２図はその測定系の概略を示す略線図である。 １……微粒子計、６……光学セル、７……照明光学系、
11……受光光学系、16……導入部、18……排出部、20…
…流路部。
図、第２図はその測定系の概略を示す略線図である。 １……微粒子計、６……光学セル、７……照明光学系、
11……受光光学系、16……導入部、18……排出部、20…
…流路部。
Claims (1)
- 【請求項１】光学セル内に測定対象となる流体を導入
し、照明光学系により当該流体に光ビームを照射し、上
記光ビームの透過光又は散乱光を受光光学系で受光し、
透過光量又は散乱光量に応じて当該受光光学系から送出
される検出信号に基づいて上記流体中の微粒子を検出す
る微粒子計において、 上記光学セル、上記照明光学系及び上記受光光学系を密
閉する密閉箱と、 上記光学セルに流入する上記流体の流量を測定し、当該
流量に応じた第１の流量検出信号を送出する第１の流量
計と、 上記光学セルから排出される上記流体の流量を測定し、
当該流量に応じた第２の流量検出信号を送出する第２の
流量計と、 上記第１の流量計の上流側に設けられ、外部からの信号
によつて上記光学セルに通じる上記流体の流路を開閉動
作する電磁バルブと、 上記第１及び第２の流量検出信号を比較し、上記第１の
流量検出信号が上記第２の流量検出信号より大きいと
き、上記電磁バルブを閉動作させる信号を送出するリー
ク検出器と を具えることを特徴とする微粒子計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137467A JPH0816647B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 微粒子計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2137467A JPH0816647B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 微粒子計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431741A JPH0431741A (ja) | 1992-02-03 |
| JPH0816647B2 true JPH0816647B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15199291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2137467A Expired - Fee Related JPH0816647B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 微粒子計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0816647B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115791542A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-03-14 | 邯郸钢铁集团有限责任公司 | 一种将颗粒度仪流量计外置的方法及装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551749U (ja) * | 1978-10-04 | 1980-04-05 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2137467A patent/JPH0816647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0431741A (ja) | 1992-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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