JPH08167728A - 光起電力素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光起電力素子の提供。 【構成】 有機置換基を有するシリコンポリマーの分解
生成物を半導体層として用いた光起電力素子。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光起電力素子に関し、さ
らに詳しくは、有機置換基を有するシリコンポリマーを
分解して得られる生成物を、半導体層として用いた太陽
電池等に有用な光起電力素子に関する。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】光起
電力素子、特に太陽電池は環境問題および省エネルギー
化の観点から脚光を浴び、その需要は近年大きな勢いで
増大している。しかし、単結晶シリコン太陽電池は、原
料を含めた製造工程が複雑で非常に高価であるので民生
用には不向きであり、多結晶シリコン太陽電池は原料確
保が困難になりつつあるという問題を抱えている。ま
た、アモルファスシリコン太陽電池には初期劣化が激し
いことや製造に大型の真空装置が必要などの問題点があ
る。さらに、ガリウム砒素やカドミウム硫黄、カドミウ
ムテルルなどの化合物半導体太陽電池は公害問題をはら
んでいる。本発明は、これら問題点を一挙に解決するこ
とを目指すものであって、製造が簡単で量産に適し、し
かも無公害の光起電子素子を提供することを目的とす
る。

【０００３】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の様
な状況に鑑みて鋭意検討した結果、有機置換基を有する
シリコンポリマーを分解することにより得られる生成物
を用いると、非常に簡便に光起電力素子が製造できるこ
とを見い出し、本発明を完成するに至った。すなわち、
本発明の光起電力素子は、有機置換基を有するシリコン
ポリマーを分解することにより得られる生成物を半導体
層に用いることを特徴とする。以下、本発明をさらに詳
細に説明する。本発明で用いる有機置換基を有するシリ
コンポリマーにおいて、その有機置換基としては、炭化
水素基、ハロゲン化炭化水素基又はシリル基Ｒ³Ｒ⁴Ｒ⁵
Ｓi−（ここで、Ｒ³〜Ｒ⁵はそれぞれ同一または互いに
異なり、炭素数１〜８のアルキル基または炭素数６〜１
０のアリール基から選ばれる。）等が好適なものとして
挙げられる。そして、上記の炭化水素基には、炭素数１
〜１２、好ましくは１〜８のアルキル基、シクロアルキ
ル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、炭素数７〜
１２のアラルキル基、炭素数６〜１２のアリール基、ま
たこれらの各基から誘導される２価または３価の多価置
換基などが包含される。ハロゲン化炭化水素基として
は、ハロゲン化アルキル基などが好ましい。シリル基に
はトリアルキルシリル基、アリールジアルキルシリル
基、トリアリール基、ジアリールアルキルシリル基など
が包含される。

【０００４】本発明で用いる有機置換基を有するシリコ
ンポリマーとしては、好適なものとして、下記の化１、
化２および化３で表される各繰り返し単位を少なくとも
１種含有し、かつかかる繰り返し単位のうち有機置換基
を有する単位をシリコンポリマー中に必須に含有するシ
リコンポリマーが挙げられ、好ましくはかかる繰り返し
単位から実質的になるシリコンポリマーが挙げられる。

【化１】

【化２】

【化３】 化１、化２および化３において、Ｒ¹、Ｒ²およびＲ´
は、水素、炭素数１〜１２の炭化水素基、ハロゲン化炭
化水素基、上記のシリル基Ｒ³Ｒ⁴Ｒ⁵Ｓi−から選ばれ
る。そして、Ｒ¹、Ｒ²およびＲ´は繰り返し単位構造内
および繰り返し単位構造間で互いに架橋してつながって
いてもよい。

【０００５】Ｒ¹，Ｒ²およびＲ´は、前述のとおり水
素、炭素数１〜１２の炭化水素基、ハロゲン化炭化水素
基、シリル基を示すものであるが、その炭化水素基とし
ては、炭素数１〜１２、好ましくは１〜８のアルキル
基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニ
ル基、炭素数７〜１２のアラルキル基、炭素数６〜１２
のアリール基、またＲ¹、Ｒ² またはＲ´が架橋構造の
一部を構成する場合はこれらの各基から誘導される２価
基などが挙げられる。アルキル基としては、炭素数１〜
１２、好ましくは１〜８のものが望ましく、例えば、メ
チル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-
ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、
n-ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、1,2-
ジメチルプロピル基、n-ヘキシル基、1,1,2-トリメチル
プロピル基、1-メチルペンチル基、1-エチルブチル基、
n-ヘプチル基、1-メチルヘキシル基、1,2,2-トリメチル
ブチル基、1,1-ジメチルペンチル基、n-オクチル基、2-
エチルヘキシル基、1-メチルヘプチル基、1-エチルヘキ
シル基、1,1-ジメチルヘキシル基、n-ノニル基、1-メチ
ルオクチル基、1,1-ジメチルヘプチル基、n-デシル基、
1-エチルオクチル基、1-メチル-1-エチルヘプチル基な
どが挙げられる。シクロアルキル基としては、炭素数３
〜１２、好ましくは３〜１０が望ましく、例えば、シク
ロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シ
クロヘキシル基、シクロヘプチル基、1-ビシクロ［2.2.
1］ヘプチル基、exo-2-ビシクロ［2.2.1］ヘプチル基、
endo-2-ビシクロ［2.2.1］ヘプチル基、7-ビシクロ［2.
2.1］ヘプチル基、シクロオクチル基、1-ビシクロ［2.
2.2］オクチル基、2-ビシクロ［2.2.2］オクチル基、1-
アダマンチル基、2-アダマンチル基などが挙げられる。
アルケニル基としては、炭素数２〜１２、好ましくは２
〜８が望ましく、例えば、ビニル基、1-プロペニル基、
アリル基、イソプロペニル基、1-ブテニル基、2-ブテニ
ル基、2-メチル-2-プロペニル基、1,3-ブタジエニル
基、1-ペンテニル基、2-ペンテニル基、2-メチル-2-ブ
テニル基、1,2-ジメチル-2-プロペニル基、1-ヘキセニ
ル基、2-ヘキセニル基、2,3-ジメチル-2-ブテニル基、1
-ヘプテニル基、2-ヘプテニル基、1-オクテニル基、2-
オクテニル基などが挙げられる。シクロアルケニル基と
しては、炭素数３〜１２、好ましくは３〜８が望まし
く、例えば、1-シクロペンテニル基、2-シクロペンテン
-1-イル基、3-シクロペンテン-1-イル基、1-シクロヘキ
セニル基、2-シクロヘキセン-1-イル基、3-シクロヘキ
セン-1-イル基、1-シクロヘプテニル基、2-シクロヘプ
テン-1-イル基、3-シクロヘプテン-1-イル基、2-ビシク
ロ［2.2.1］ヘプテン-1-イル基、2-ビシクロ［2.2.1］
ヘプテン-2-イル基、5-ビシクロ［2.2.1］ヘプテン-2-
イル基、7-ビシクロ［2.2.1］ヘプテン-2-イル基、1-シ
クロオクテニル基、2-シクロオクテン-1-イル基、3-シ
クロオクテン-1-イル基、2-ビシクロ［2.2.2］オクテン
-1-イル基、2-ビシクロ［2.2.2］オクテン-2-イル基、2
-ビシクロ［2.2.2］オクテン-5-イル基、2-ビシクロ
［2.2.2］オクテン-6-イル基などが挙げられる。アラル
キル基としては、例えば、ベンジル基、1-フェニルエチ
ル基、2-フェニルエチル基、クミル基などが挙げられ
る。アリール基としては、例えば、フェニル基、o-トリ
ル基、m-トリル基、p-トリル基、2,3-キシリル基、2,4-
キシリル基、メシチル基、o-クメニル基、m-クメニル
基、p-クメニル基などが挙げられる。シリル基として
は、例えば、トリメチルシリル基、トリイソプロピルシ
リル基、t-ブチルジメチルシリル基、フェニルジメチル
シリル基、トリフェニルシリル基などが挙げられる。ハ
ロゲン化炭化水素基としては、ハロゲン化アルキル基な
どが好ましく、ハロゲン化アルキル基としては、炭素数
１〜１２、好ましくは１〜８のものが望ましく、ハロゲ
ンとしては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、
好ましくはフッ素、塩素であり、また、基本骨格である
アルキル基におけるハロゲンの置換数は、１〜１２、好
ましくは１〜６であり、例えば、3,3,3-トリフルオロプ
ロピル基、2-クロロプロピル基、3-クロロプロピル基、
2,3-ジクロロブチル基などが挙げられる。

【０００６】化１〜化３で表される単位はブロック状、
ランダム状のいずれのであっても差し支えない。化１〜
化３で表される単位の組成割合は、化１、化２および化
３のモル量を各々ｍ、ｎおよびｏとして示せば、シリコ
ンポリマーが有機置換基を有する点から、ｍ＝０の場合
ｎ≠０であり、ｎ＝０の場合ｍ≠０となるが、ｍ≠０の
場合、ｎ／ｍは通常０〜１０００、好ましくは０を越え
１０００以下、さらに好ましくは０．０１〜１００が望
ましく、ｏ／ｍが通常０〜１０００、好ましくは０を越
え１０００以下、さらに好ましくは０．０１〜１００程
度であり、ｍ≠０かつｎ≠０の場合はｏ／ｎが通常０〜
１０００、好ましくは０を越え１０００以下、好ましく
は０．０１〜１００程度である。また、ｎ≠０の場合、
ｍ／ｎは通常０〜１０００、好ましくは０を越え１００
０以下、さらに好ましくは０．０１〜１００が望まし
く、ｏ／ｎが通常０〜１０００、好ましくは０を越え１
０００以下、さらに好ましくは０．０１〜１００程度で
ある。シリコンポリマーの重合度は２以上であるが、通
常は６〜２０００が望ましく、分子量は通常Ｍｗ１００
〜１０００万、Ｍｎ１００〜１００万、好ましくはＭｗ
１００〜１００万、Ｍｎ３００〜５０万が望ましい。該
シリコンポリマーの性状は通常、液体あるいは固体であ
る。シリコンポリマーの製造方法は、特に限定されない
が、ハロゲノシラン類モノマーを不活性溶媒中でアルカ
リ金属でウルツ型縮合させるキッピング法、ヒドロシラ
ン類モノマーを遷移金属触媒で縮合させる脱水素縮合
法、ハロゲノシラン類モノマーあるいはヒドロシラン類
モノマーを電極還元によって縮合させる電解重合法な
ど、従来より知られている方法で合成することができ、
脱水素縮合法やキッピング法が好ましい。

【０００７】好適なシリコンポリマーを製造する方法の
一例は脱水素縮合法であって、その方法は、下記の化４
で示されるヒドロモノシラン、化５で示されるヒドロキ
シジシラン及び化６で示されるヒドロトリシランからな
る群から選ばれる１種もしくは２種以上のヒドロシラン
類を、(a) 周期律表第３Ｂ族〜第７Ｂ族又は第８族から
選ばれる少なくとも１種の金属又は金属化合物、(b) 上
記(a) と下記の化８で示されるシリル化合物との混合
物、及び(c) 上記(a) と下記の化９で示される金属
（重）水素化物との混合物からなる群から選ばれる触媒
の存在下に脱水素縮合し、得られた縮合物を熱分解する
ものである。

【化４】 （式中、Ｒ¹ 及びＲ² は同一又は互いに異なり、水素、
炭素数１〜１２のアルキル基、シクロアルキル基、ハロ
ゲン化アルキル基、炭素数７〜１２のアラルキル基、ハ
ロゲン化アラルキル基、炭素数６〜１２のアリ−ル基又
は下記の化７で示されるシリル基から選ばれる。）

【化５】 （式中、Ｒ⁶ 〜Ｒ¹⁰はそれぞれ同一又は互いに異なり、
水素、炭素数１〜１２のアルキル基、シクロアルキル
基、ハロゲン化アルキル基、炭素数７〜１２のアラルキ
ル基、ハロゲン化アラルキル基、炭素数６〜１２のアリ
−ル基から選ばれる。但し、Ｒ⁶ 〜Ｒ¹⁰のいずれか一つ
は必ず水素である。）

【化６】 （式中、Ｒ¹¹〜Ｒ¹⁷はそれぞれ同一又は互いに異なり、
水素、炭素数１〜１２のアルキル基、シクロアルキル
基、ハロゲン化アルキル基、炭素数７〜１２のアラルキ
ル基、ハロゲン化アラルキル基、炭素数６〜１２のアリ
−ル基又は上記の化５で示されるシリル基から選ばれ
る。但し、Ｒ¹¹〜Ｒ¹⁷のいずれか一つは必ず水素であ
る。）

【化７】Ｒ³ Ｒ⁴ Ｒ⁵ Ｓｉ− （式中、Ｒ³ 〜Ｒ⁵ はそれぞれ同一又は互いに異なり、
炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１０のアリ−
ル基から選ばれる。）

【化８】Ｒ¹⁸Ｒ¹⁹Ｒ²⁰ＳｉＡ （式中、Ｒ¹⁸〜²⁰はそれぞれ同一又は互いに異なり、炭
素数１〜１２のアルキル基、炭素数７〜１２のアラルキ
ル基、炭素数６〜１２のアリ−ル基又は上記化５で示さ
れるシリル基から選ばれ、ＡはＬｉ、Ｎａ又はＫであ
る。）

【化９】Ａ´Ｘｎ （式中、Ａ´はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ａｌ、Ｒ²¹
_(3-n) Ａｌ、ＬｉＡｌ、ＬｉＡｌＲ²² _(4-n) 、ＮａＡｌ
Ｒ²² _(4-n) 、Ｂ、Ｒ²¹ _(3-n) Ｂ、ＬｉＢ、ＬｉＢＲ²²、
ＮａＢ、ＫＢ又はＲ²³Ｂを表し、Ｒ²¹は炭素数１〜５の
アルキル基、Ｒ²²は炭素数１〜８のアルキル基又はアル
コキシ基、Ｒ²³は水素あるいは炭素数１〜４のアルキル
基を有する第４級アンモニウムであり、Ｘは水素又は重
水素であり、ｎは１〜４の整数である。但し、ｎが１〜
３である場合、個々のＲ²¹、Ｒ²²及びＲ²³はそれぞれ異
種であって差し支えない。）

【０００８】上記のシリコンポリマー製造法をさらに詳
しく説明すると、原料モノマーには、化４で示されるヒ
ドロモノシラン、化５で示されるヒドロジシラン及び化
６で示されるヒドロトリシランからなる群から選ばれる
モノマーの１種もしくは２種以上が使用される。ヒドロ
モノシランとしては、化４で示されるモノマーが何れも
使用可能であるが、化４において、Ｒ¹ およびＲ² は、
前述のとおり、互いに同一でも異なっても良く、水素、
炭素数１〜12のアルキル基、シクロアルキル基、ハロゲ
ン化アルキル基、炭素数７〜12のアラルキル基、ハロゲ
ン化アラルキル基、炭素数６〜12のアリール基である。
アルキル基としては、炭素数１〜12、好ましくは１〜８
のものが望ましく、シクロアルキル基としては、炭素数
３〜12、好ましくは５〜６が望ましい。ハロゲン化アル
キル基としては、炭素数１〜12、好ましくは１〜８のも
のが望ましく、ハロゲンとしては、フッ素、塩素、臭
素、ヨウ素が挙げられ、好ましくはフッ素であり、ま
た、基本骨格であるアルキル基におけるハロゲンの置換
数は、１〜12、好ましくは１〜６であり、例えば３，
３，３−トリフルオロプロピル基が特に好適である。具
体的には、シラン、メチルシラン、エチルシラン、ｎ−
プロピルシラン、（３，３，３−トリフルオロプロピ
ル）シラン、ｎ−ブチルシラン、ｔ−ブチルシラン、
（１−メチルプロピル）シラン、（２−メチルプロピ
ル）シラン、ｎ−ヘキシルシラン、シクロヘキシルシラ
ン、ｎ−ヘプチルシラン、ｎ−オクチルシラン、ｎ−ノ
ニルシラン、ｎ−デシルシラン、ｎ−ドデシルシラン、
フェニルシラン、ｐ−トリルシラン、メシチルシラン、
ベンジルシラン、フェネチルシラン、（トリメチルシリ
ルメチル）シラン、ジメチルシラン、ジエチルシラン、
ジ−ｎ−プロピルシラン、ジ−ｎ−ブチルシラン、ジ−
ｎ−ヘキシルシラン、ジ−ｎ−オクチルシラン、ジフェ
ニルシラン、ジベンジルシラン、ジフェネチルシラン、
メチルフェニルシラン、ｐ−トリルメチルシラン、ベン
ジルメチルシラン、メチルフェネチルシラン等が好まし
い。

【０００９】このほか、ビス（３，３，３−トリフルオ
ロプロピル）シラン、ジ−ｎ−ブチルシラン、ジ−ｔ−
ブチルシラン、ジ（１−メチルプロピル）シラン、ジ
（２−メチルプロピル）シラン、ジペンチルシラン、ジ
シクロヘキシルシラン、ジ−ｎ−ヘプチルシラン、ジ−
ｎ−ノニルシラン、ジ−ｎ−デシルシラン、ジ−ｎ−ド
デシルシラン、ジ−ｐ−トリルシラン、ジメチルシラ
ン、ビス（トリメチルシリルメチル）シラン、エチルメ
チルシラン、メチル−ｎ−プロピルシラン、メチル
（３，３，３−トリフルオロプロピル）シラン、メチル
−ｉ−プロピルシラン、ｎ−ブチルメチルシラン、ｔ−
ブチルメチルシラン、メチル（１−メチルプロピル）シ
ラン、メチル（２−メチルプロピル）シラン、アミルメ
チルシラン、ｎ−ヘキシルメチルシラン、シクロヘキシ
ルメチルシラン、ｎ−ヘプチルメチルシラン、メチル−
ｎ−オクチルシラン、メチル−ｎ−ノニルシラン、ｎ−
デシルメチルシラン、ｎ−ドデシルメチルシラン、メチ
ルメシチルシラン、（ｐ−メチルフェネチル）シラン、
エチルフェニルシラン、ｔ−ブチルフェニルシラン等も
ヒドロモノシランモノマーとして使用できる。

【００１０】ヒドロジシランとしては、化５で示される
モノマーが何れも使用可能であって、化５におけるＲ⁶
〜Ｒ¹⁰は前述の通りであるが、その具体的な基は前記７
と各々同様なものを意味する。なかでも、ジシラン、メ
チルジシラン、エチルジシラン、ｎ−プロピルジシラ
ン、（３，３，３−トリフルオロプロピル）ジシラン、
ｎ−ブチルジシラン、ｔ−ブチルジシラン、（１−メチ
ルプロピル）ジシラン、（２−メチルプロピル）ジシラ
ン、ペチルジシラン、ｎ−ヘキシルジシラン、シクロヘ
キシルジシラン、ｎ−ヘプチルジシラン、ｎ−オクチル
ジシラン、ｎ−ノニルジシラン、ｎ−デシルジシラン、
ｎ−ドデシルジシラン、フェニルジシラン、ｐ−トリル
ジシラン、メシチルジシラン、メチル（トリメチルシリ
ルメチル）シラン、ベンジルジシラン、フェネチルジシ
ラン、１，１−ジメチルジシラン、１，１−ジエチルジ
シラン、１，１−ジ−ｎ−プロピルシラン、１，１−ジ
−ｎ−ブチルジシラン、１，１−ジ−ｎ−アミルジシラ
ン、１，１−ジ−ｎ−ヘキシルジシラン、１，１−ジシ
クロヘキシルジシラン、１，１−ジフェニルジシラン、
１，１−ジメシチルジシラン、１，２−ジメチルジシラ
ン、１，２−ジエチルジシラン、１，２−ジ−ｎ−プロ
ピルジシラン、１，２−ジ−ｎ−ブチルジシラン、１，
２−ジ−ｎ−アミルジシラン、１，２−ジ−ｎ−ヘキシ
ルジシラン、１，２−ジシクロヘキシルジシラン、１，
２−ジフェニルジシラン、１，２−ジメシチルジシラン
などが好ましい。

【００１１】このほか、本発明で使用できるヒドロジシ
ランモノマーとしては、１−エチル−１−メチルジシラ
ン、１−メチル−１−ｎ−プロピルジシラン、１−メチ
ル−１−ｉ−プロピルジシラン、１−ｎ−ブチル−１−
メチルジシラン、１−ｔ−ブチル−１−メチルジシラ
ン、１−ｎ−ヘキシル−１−メチルジシラン、１−シク
ロヘキシル−１−メチルジシラン、１−ｎ−ヘプチル−
１−メチルジシラン、１−メチル−１−ｎ−オクチルジ
シラン、１−ｎ−デシル−１−メチルジシラン、１−メ
チル−１−フェニルジシラン、１−（ｐ−メチルフェネ
チル）−１−メチルジシラン、１−メチル−１−（β−
フェネチル）ジシラン、１−ｐ−トリル−１−メチルジ
シラン、１−フェニル−１−エチルジシラン、１−ｔ−
ブチル−１−フェニルジシラン、１−エチル−２−メチ
ルジシラン、１−メチル−２−ｎ−プロピルジシラン、
１−メチル−２−ｉ−プロピルジシラン、１−ｎ−ブチ
ル−２−メチルジシラン、１−ｔ−ブチル−２−メチル
ジシラン、１−ｎ−ヘキシル−２−メチルジシラン、１
−シクロヘキシル−２−メチルジシラン、１−ｎ−ヘプ
チル−２−メチルジシラン、１−メチル−２−ｎ−オク
チルジシラン、１−ｎ−デシル−２−メチルジシラン、
１−メチル−２−フェニルジシラン、１−（ｐ−メチル
フェネチル）−２−メチルジシラン、１−メチル−２−
（β−フェネチル）ジシラン、１−ｐ−トリル−２−メ
チルジシラン、１−フェニル−２−エチルジシラン、１
−ｔ−ブチル−２−フェニルジシラン、トリメチルシリ
ルシラン、トリフェニルシリルシラン、（ｔ−ブチルジ
メチルシリル）シラン、１，１，２−トリメチルジシラ
ン、１，１，２−トリエチルジシラン、１，１，２−ト
リ−ｎ−プロピルジシラン、１，１，２−トリ−ｎ−ブ
チルジシラン、１，１，２−トリ−ｎ−アミルジシラ
ン、１，１，２−トリ−ｎ−ヘキシルジシラン、１，
１，２−トリシクロヘキシルジシラン、１，１，２−ト
リフェニルジシラン、１，１，２−トリメシチルジシラ
ン、１，１−ジエチル−２−メチルジシラン、１，１−
ジメチル−２−ｎ−プロピルジシラン、１，１−ジメチ
ル−２−ｉ−プロピルジシラン、１，１−ジ−ｎ−ブチ
ル−２−メチルジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチル−２
−メチルジシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘキシル−２−メ
チルジシラン、１，１−ジシクロヘキシル−２−メチル
ジシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘプチル−２−メチルジシ
ラン、１，１−ジメチル−２−ｎ−オクチルジシラン、
１，１−ジ−ｎ−デシル−２−メチルジシラン、１，１
−ジメチル−２−フェニルジシラン、１，１−ジ−（ｐ
−メチルフェネチル）−２−メチルジシラン、１，１−
ジメチル−２−（β−フェネチル）ジシラン、１，１−
ジ−ｐ−トリル−２−メチルジシラン、１，１−ジフェ
ニル−２−エチルジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチル−
２−フェニルジシラン、１−エチル−２，２−ジメチル
ジシラン、１−メチル−２，２−ジ−ｎ−プロピルジシ
ラン、１−メチル−２，２−ジ−ｉ−プロピルジシラ
ン、１−ｎ−ブチル−２，２−ジメチルジシラン、１−
ｔ−ブチル−２，２−ジメチルジシラン、１−ｎ−ヘキ
シル−２，２−ジメチルジシラン、１−シクロヘキシル
−２，２−ジメチルジシラン、１−ｎ−ヘプチル−２，
２−ジメチルジシラン、１−メチル−２，２−ジ−ｎ−
オクチルジシラン、１−ｎ−デシル−２，２−ジメチル
ジシラン、１−メチル−２，２−ジフェニルジシラン、
１−（ｐ−メチルフェネチル）−２，２−ジメチルジシ
ラン、１−メチル−２，２−ジ（β−フェネチル）ジシ
ラン、１−ｐ−トリル−２，２−ジメチルジシラン、１
−フェニル−２，２−ジエチルジシラン、１−ｔ−ブチ
ル−２，２−ジフェニルジシラン、１，１，１，２−テ
トラメチルジシラン、１，１，１，２−テトラエチルジ
シラン、１，１，１，２−テトラ−ｎ−プロピルジシラ
ン、１，１，１，２−テトラ−ｎ−ブチルジシラン、
１，１，１，２−テトラ−ｎ−アミルジシラン、１，
１，１，２−テトラ−ｎ−ヘキシルジシラン、１，１，
１，２−テトラシクロヘキシルジシラン、１，１，１，
２−テトラフェニルジシラン、１，１，１，２−テトラ
メチルジシラン、１，１，２，２−テトラメチルジシラ
ン、１，１，２，２−テトラエチルジシラン、１，１，
２，２−テトラ−ｎ−プロピルジシラン、１，１，２，
２−テトラ−ｎ−ブチルジシラン、１，１，２，２−テ
トラ−ｎ−アミルジシラン、１，１，２，２−テトラ−
ｎ−ヘキシルジシラン、１，１，２，２−テトラシクロ
ヘキシルジシラン、１，１，２，２−テトラフェニルジ
シラン、１，１，２，２−テトラメシチルジシラン、
１，１，１−トリエチル−２−メチルジシラン、１，
１，１−トリメチル−２−ｎ−プロピルジシラン、１，
１，１−トリメチル−２−ｉ−プロピルジシラン、１，
１，１−トリ−ｎ−ブチル−２−メチルジシラン、１，
１，１−トリ−ｔ−ブチル−２−メチルジシラン、１，
１，１−トリ−ｎ−ヘキシル−２−メチルジシラン、
１，１，１−トリシクロヘキシル−２−メチルジシラ
ン、１，１，１−ｎ−ヘプチル−２−メチルジシラン、
１，１，１−トリメチル−２−ｎ−オクチルジシラン、
１，１，１−トリ−ｎ−デシル−２−メチルジシラン、
１，１，１−トリメチル−２−フェニルジシラン、１，
１，１−トリ−（ｐ−メチルフェネチル）−２−メチル
ジシラン、１，１，１−トリメチル−２−（β−フェネ
チル）ジシラン、１，１，１−トリ−ｐ−トリル−２−
メチルジシラン、１，１，１−トリフェニル−２−エチ
ルジシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチル−フェニル
ジシラン、１−エチル−２，２，２−トリメチルジシラ
ン、１−メチル−２，２，２−トリ−ｎ−プロピルジシ
ラン、１−メチル−２，２，２−トリ−ｉ−プロピルジ
シラン、１−ｎ−ブチル−２，２，２−トリメチルジシ
ラン、１−ｔ−ブチル−２，２，２−トリメチルジシラ
ン、１−ｎ−ヘキシル−２，２，２−トリメチルジシラ
ン、１−シクロヘキシル−２，２，２−トリメチルジシ
ラン、１−ｎ−ヘプチル−２，２，２−トリメチルジシ
ラン、１−メチル−２，２，２−トリ−ｎ−オクチルジ
シラン、１−ｎ−デシル−２，２，２−トリメチルジシ
ラン、１−メチル−２，２，２−トリフェニルジシラ
ン、１−（ｐ−メチルフェネチル）−２，２，２−トリ
メチルジシラン、１−メチル−２，２，２−トリ（β−
フェネチル）ジシラン、１−ｐ−トリル−２，２，２−
トリメチルジシラン、１−フェニル−２，２，２−トリ
エチルジシラン、１−ｔ−ブチル−２，２，２−トリフ
ェニルジシラン、，１−ジエチル−２，２−ジメチルジ
シラン、１，１−ジメチル−２，２−ジ−ｎ−プロピル
ジシラン、１，１−ジメチル−２，２−ジ−ｉ−プロピ
ルジシラン、１，１−ジ−ｎ−ブチル−２，２−ジメチ
ルジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチル−２，２−ジメチ
ルジシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘキシル−２，２−ジメ
チルジシラン、１，１−ジシクロヘキシル−２，２−ジ
メチルジシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘプチル−２，２−
ジメチルジシラン、１，１−ジメチル−２，２−ジ−ｎ
−オクチルジシラン、１，１−ジ−ｎ−デシル−２，２
−ジメチルジシラン、１，１−ジメチル−２，２−ジフ
ェニルジシラン、１，１−ジ−（ｐ−メチルフェネチ
ル）−２，２−ジメチルジシラン、１，１−ジメチル−
２，２−ジ（β−フェネチル）ジシラン、１，１−ジ−
ｐ−トリル−２，２−ジメチルジシラン、１，１−ジフ
ェニル−２，２−ジエチルジシラン、１，１−ジ−ｔ−
ブチル−２，２−ジフェニルジシラン、１，２−ジエチ
ル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−ジメチル−
１，２−ジ−ｎ−プロピルジシラン、１，２−ジメチル
−１，２−ジ−ｉ−プロピルジシラン、１，２−ジ−ｎ
−ブチル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−ジ−ｔ
−ブチル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−ジ−ｎ
−ヘキシル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−ジシ
クロヘキシル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−ジ
−ｎ−ヘプチル−１，２−ジメチルジシラン、１，２−
ジメチル−１，２−ジ−ｎ−オクチルジシラン、１，２
−ジ−ｎ−デシル−１，２−ジメチルジシラン、１，２
−ジメチル−１，２−ジフェニルジシラン、１，２−ジ
−（ｐ−メチルフェネチル）−１，２−ジメチルジシラ
ン、１，２−ジメチル−１，２−ジ（β−フェネチル）
ジシラン、１，２−ジ−ｐ−トリル−１，２−ジメチル
ジシラン、１，２−ジフェニル−１，２−ジエチルジシ
ラン、１，２−ジ−ｔ−ブチル−１，２−ジフェニルジ
シランなどが挙げられる。

【００１２】本発明のヒドロトリシランモノマーとして
は、化６で示されるモノマーが使用可能である。化６に
おけるＲ¹¹およびＲ¹⁷は、前述のとおり、互いに同一で
も異なっても良く、水素、炭素数１〜12のアルキル基、
シクロアルキル基、ハロゲン化アルキル基、炭素数７〜
12のアラルキル基、ハロゲン化アラルキル基、炭素数６
〜12のアリール基、又は、前記化７で示されるシリル基
である。アルキル基としては、炭素数１〜12、好ましく
は１〜８のものが望ましい。シクロアルキル基として
は、炭素数３〜12、好ましくは５〜６が望ましく、例え
ば、シクロペンチル基、シクロヒキシル基等が挙げられ
る。ハロゲン化アルキル基としては、炭素数１〜12、好
ましくは１〜８のものが望ましく、ハロゲンとしては、
フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、好ましくはフ
ッ素であり、また、基本骨格であるアルキル基における
ハロゲンの置換数は、１〜12、好ましくは１〜６であ
り、例えば、３，３，３−トリフルオロプロピル基が特
に好適である。また、化７で示されるシリル基におい
て、Ｒ³ ，Ｒ⁴ およびＲ⁵ は、前述のとおり、炭素数１
〜８のアルキル基又は炭素数６〜10のアリール基であ
る。化７で示されるシリル基の具体例としては、例えば
トリメチルシリル基、フェニルジメチルシリル基、トリ
エチルシリル基、トリフェニルシリル基が挙げられる。
化６で示されるモノマーなかでも、トリシラン、１−メ
チルトリシラン、１−エチルトリシラン、１−１−ｎ−
プロピルトリシラン、１−（３，３，３−トリフルオロ
プロピル）トリシラン、１−ｎ−ブチルトリシラン、１
−ｔ−ブチルトリシラン、１−（１−メチルプロピル）
トリシラン、１−（２−メチルプロピル）トリシラン、
１−アミルトリシラン、１−ｎ−ヘキシルトリシラン、
１−シクロヘキシルトリシラン、１−ｎ−ヘプチルトリ
シラン、１−ｎ−オクチルトリシラン、１−ｎ−ノニル
トリシラン、１−ｎ−デシルトリシラン、１−ｎ−ドデ
シルトリシラン、１−フェニルトリシラン、１−ｐ−ト
リルトリシラン、１−メシチルトリシラン、１−ベンジ
ルトリシラン、１−フェネチルトリシラン、１−（トリ
メチルシリルメチル）トリシラン、２−メチルトリシラ
ン、２−エチルトリシラン、２−ｎ−プロピルトリシラ
ン、２−（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリシ
ラン、２−ｎ−ブチルトリシラン、２−ｔ−ブチルトリ
シラン、２−（１−メチルプロピル）トリシラン、２−
（２−メチルプロピル）トリシラン、２−アミルトリシ
ラン、２−ｎ−ヘキシルトリシラン、２−シクロヘキシ
ルトリシラン、２−ｎ−ヘプチルトリシラン、２−ｎ−
オクチルトリシラン、２−ｎ−ノニルトリシラン、２−
ｎ−デシルトリシラン、２−ｎ−ドデシルトリシラン、
２−フェニルトリシラン、２−ｐ−トリルトリシラン、
２−メシチルトリシラン、２−ベンジルトリシラン、２
−フェネチルトリシラン、２−（トリメチルシリルメチ
ル）トリシラン、１，１−ジメチルトリシラン、１，１
−ジエチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−プロピルトリ
シラン、ビス（３，３，３−トリフルオロプロピル）ト
リシラン、１，１−ジ−ｎ−ブチルトリシラン、１，１
−ジ−ｔ−ブチルトリシラン、ジ（１−メチルプロピ
ル）トリシラン、ジ（２−メチルプロピル）トリシラ
ン、１，１−ジアミルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘ
キシルトリシラン、１，１−ジシクロヘキシルトリシラ
ン、１，１−ジ−ｎ−ヘプチルトリシラン、１，１−ジ
−ｎ−オクチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−ノニルト
リシラン、１，１−ジ−ｎ−デシルトリシラン、１，１
−ジ−ｎ−ドデシルトリシラン、１，１−ジフェニルト
リシラン、１，１−ジ−ｐ−トリルトリシラン、１，１
−ジメチルトリシラン、１，１−ジベンジルトリシラ
ン、１，１−ジフェネチルトリシラン、１，１−ビス
（トリメチルシリルメチル）トリシラン、１，２−ジメ
チルトリシラン、１，２−ジエチルトリシラン、１，２
−ジ−ｎ−プロピルトリシラン、ビス（３，３，３−ト
リフルオロプロピル）トリシラン、１，２−ジ−ｎ−ブ
チルトリシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチルトリシラン、
ジ（１−メチルプロピル）トリシラン、ジ（２−メチル
プロピル）トリシラン、１，２−ジアミルトリシラン、
１，２−ジ−ｎ−ヘキシルトリシラン、１，２−ジシク
ロヘキシルトリシラン、１，２−ジ−ｎ−ヘプチルトリ
シラン、１，２−ジ−ｎ−オクチルトリシラン、１，２
−ジ−ｎ−ノニルトリシラン、１，２−ジ−ｎ−デシル
トリシラン、１，２−ジ−ｎ−ドデシルトリシラン、
１，２−ジフェニルトリシラン、１，２−ジ−ｐ−トリ
ルトリシラン、１，２−ジメシチルトリシラン、１，２
−ジベンジルトリシラン、１，２−ジフェネチルトリシ
ラン、１，２−ビス（トリメチルシリルメチル）トリシ
ラン、１，３−ジメチルトリシラン、１，３−ジエチル
トリシラン、１，３−ジ−ｎ−プロピルトリシラン、ビ
ス（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリシラン、
１，３−ジ−ｎ−ブチルトリシラン、１，３−ジ−ｔ−
ブチルトリシラン、ジ（１−メチルプロピル）トリシラ
ン、ジ（２−メチルプロピル）トリシラン、１，３−ジ
アミルトリシラン、１，３−ジ−ｎ−ヘキシルトリシラ
ン、１，３−ジシクロヘキシルトリシラン、１，３−ジ
−ｎ−ヘプチルトリシラン、１，３−ジ−ｎ−オクチル
トリシラン、１，３−ジ−ｎ−ノニルトリシラン、１，
３−ジ−ｎ−デシルトリシラン、１，３−ジ−ｎ−ドデ
シルトリシラン、１，３−ジフェニルトリシラン、１，
３−ジ−ｐ−トリルトリシラン、１，３−ジメシチルト
リシラン、１，３−ジベンジルトリシラン、１，３−ジ
フェネチルトリシラン、１，３−ビス（トリメチルシリ
ルメチル）トリシラン、１，１，１−トリメチルトリシ
ラン、１，１，１−トリエチルトリシラン、１，１，１
−トリ−ｎ−プロピルトリシラン、１，１，１−トリス
（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリシラン、
１，１，１−トリ−ｎ−ブチルトリシラン、１，１，１
−トリ−ｔ−ブチルトリシラン、１，１，１−トリ（１
−メチルプロピル）トリシラン、１，１，１−トリ（２
−メチルプロピル）トリシラン、１，１，１−トリアミ
ルトリシラン、１，１，１−トリ−ｎ−ヘキシルトリシ
ラン、１，１，１−トリシクロヘキシルトリシラン、
１，１，１−トリ−ｎ−ヘプチルトリシラン、１，１，
１−トリ−ｎ−オクチルトリシラン、１，１，１−トリ
−ｎ−ノニルトリシラン、１，１，１−トリ−ｎ−デシ
ルトリシラン、１，１，１−トリ−ｎ−ドデシルトリシ
ラン、１，１，１−トリフェニルトリシラン、１，１，
１−トリ−ｐ−トリルトリシラン、１，１，１−トリメ
シチルトリシラン、１，１，１−トリベンジルトリシラ
ン、１，１，１−トリフェネチルトリシラン、１，１，
１−トリス（トリメチルシリルメチル）トリシラン、１
−エチル−１，１−ジメチルトリシラン、１−メチル−
１，１−ジ−ｎ−プロピルトリシラン、１−メチル−
１，１−ビス（３，３，３−トリフルオロプロピル）ト
リシラン、１−メチル−１，１−ジ−ｉ−プロピルトリ
シラン、１−ｎ−ブチル−１，１−ジメチルトリシラ
ン、１−ｔ−ブチル−１，１−ジメチルトリシラン、１
−メチル−１，１−ジ（１−メチルプロピル）トリシラ
ン、１−メチル−１，１−ジ（２−メチルプロピル）ト
リシラン、１−アミル−１，１−ジメチルトリシラン、
１−ｎ−ヘキシル−１，１−ジメチルトリシラン、１−
シクロヘキシル−１，１−ジメチルトリシラン、１−ｎ
−ヘプチル−１，１−ジメチルトリシラン、１−メチル
−１，１−ジ−ｎ−オクチルトリシラン、１−メチル−
１，１−ジ−ｎ−ノニルトリシラン、１−ｎ−デシル−
１，１−ジメチルトリシラン、１−ｎ−ドデシル−１，
１−ジメチルトリシラン、１−メチル−１，１−ジフェ
ニルトリシラン、１−ｐ−トリル−１，１−ジメチルト
リシラン、１−メチル−１，１−ジメシチルトリシラ
ン、１−ベンジル−１，１−ジメチルトリシラン、１−
メチル−１，１−ジフェネチルトリシラン、１−メチル
−１，１−ビス（トリメチルシリルメチル）トリシラ
ン、１−（ｐ−メチルフェネチル）−１，１−ジメチル
トリシラン、１−エチル−１，１−ジフェニルトリシラ
ン、１−ｔ−ブチル−１，１−ジフェニルトリシランな
どが好ましい。

【００１３】このほか、使用可能なヒドロトリシランモ
ノマーを例示すると、１−エチル−１−メチルトリシラ
ン、１−メチル−１−ｎ−プロピルトリシラン、１−メ
チル−１−（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリ
シラン、１−メチル−１−ｉ−プロピルトリシラン、１
−ｎ−ブチル−１−メチルトリシラン、１−ｔ−ブチル
−１−メチルトリシラン、１−メチル−１−（１−メチ
ルプロピル）トリシラン、１−メチル−１−（２−メチ
ルプロピル）トリシラン、１−アミル−１−メチルトリ
シラン、１−ｎ−ヘキシル−１−メチルトリシラン、１
−シクロヘキシル−１−メチルトリシラン、１−ｎ−ヘ
プチル−１−メチルトリシラン、１−メチル−１−ｎ−
オクチルトリシラン、１−メチル−１−ｎ−ノニルトリ
シラン、１−ｎ−デシル−１−メチルトリシラン、１−
ｎ−ドデシル−１−メチルトリシラン、１−メチル−１
−フェニルトリシラン、１−ｐ−トリル−１−メチルト
リシラン、１−メシチル−１−メチルトリシラン、１−
ベンジル−１−メチルトリシラン、１−メチル−１−フ
ェネチルトリシラン、１−メチル−１−（トリメチルシ
リルメチル）トリシラン、１−（ｐ−メチルフェネチ
ル）−１−メチルトリシラン、１−エチル−１−フェニ
ルトリシラン、１−ｔ−ブチル−１−フェニルトリシラ
ン、１−エチル−２−メチルトリシラン、１−メチル−
２−ｎ−プロピルトリシラン、１−メチル−２−（３，
３，３−トリフルオロプロピル）トリシラン、１−メチ
ル−２−ｉ−プロピルトリシラン、１−ｎ−ブチル−２
−メチルトリシラン、１−ｔ−ブチル−２−メチルトリ
シラン、１−メチル−２−（１−メチルプロピル）トリ
シラン、１−メチル−２−（２−メチルプロピル）トリ
シラン、１−アミル−２−メチルトリシラン、１−ｎ−
ヘキシル−２−メチルトリシラン、１−シクロヘキシル
−２−メチルトリシラン、１−ｎ−ヘプチル−２−メチ
ルトリシラン、１−メチル−２−ｎ−オクチルトリシラ
ン、１−メチル−２−ｎ−ノニルトリシラン、１−ｎ−
デシル−２−メチルトリシラン、１−ｎ−ドデシル−２
−メチルトリシラン、１−メチル−２−フェニルトリシ
ラン、１−ｐ−トリル−２−メチルトリシラン、１−メ
チル−２−メシチルトリシラン、１−ベンジル−２−メ
チルトリシラン、１−メチル−２−フェネチルトリシラ
ン、１−メチル−２−（トリメチルシリルメチル）トリ
シラン、１−（ｐ−メチルフェネチル）−２−メチルト
リシラン、１−エチル−２−フェニルトリシラン、１−
ｔ−ブチル−２−フェニルトリシラン、１−エチル−３
−メチルトリシラン、１−メチル−３−ｎ−プロピルト
リシラン、１−メチル−３−（３，３，３−トリフルオ
ロプロピル）トリシラン、１−メチル−３−ｉ−プロピ
ルトリシラン、１−ｎ−ブチル−３−メチルトリシラ
ン、１−ｔ−ブチル−３−メチルトリシラン、１−メチ
ル−３−（１−メチルプロピル）トリシラン、１−メチ
ル−３−（２−メチルプロピル）トリシラン、１−アミ
ル−３−メチルトリシラン、１−ｎ−ヘキシル−３−メ
チルトリシラン、１−シクロヘキシル−３−メチルトリ
シラン、１−ｎ−ヘプチル−３−メチルトリシラン、１
−メチル−３−ｎ−オククチルトリシラン、１−メチル
−３−ｎ−ノニルトリシラン、１−ｎ−デシル−３−メ
チルトリシラン、１−ｎ−ドデシル−３−メチルトリシ
ラン、１−メチル−３−フェニルトリシラン、１−ｐ−
トリル−３−メチルトリシラン、１−メチル−３−メシ
チルトリシラン、１−ベンジル−３−メチルトリシラ
ン、１−メチル−３−フェネチルトリシラン、１−メチ
ル−３−（トリメチルシリルメチル）トリシラン、１−
（ｐ−メチルフェネチル）−３−メチルトリシラン、１
−エチル−３−フェニルトリシラン、１−ｔ−ブチル−
３−フェニルトリシラン、１，１，２−トリメチルトリ
シラン、１，１，２−トリエチルトリシラン、１，１，
２−トリ−ｎ−プロピルトリシラン、１，１，２−トリ
ス（３，３，３−トルフルオロプロピル）トリシラン、
１，１，２−トリ−ｎ−ブチルトリシラン、１，１，２
−トリ−ｔ−ブチルトリシラン、１，１，２−トリ（１
−メチルプロピル）トリシラン、１，１，２−トリ（２
−メチルプロピル）トリシラン、１，１，２−トリアミ
ルトリシラン、１，１，２−トリ−ｎ−ヘキシルトリシ
ラン、１，１，２−トリシクロヘキシルトリシラン、
１，１，２−トリ−ｎ−ヘプチルトリシラン、１，１，
２−トリ−ｎ−オクチルトリシラン、１，１，２−トリ
−ｎ−ノニルトリシラン、１，１，２−トリ−ｎ−デシ
ルトリシラン、１，１，２−トリ−ｎ−ドデシルトリシ
ラン、１，１，２−トリフェニルトリシラン、１，１，
２−トリ−ｐ−トリルトリシラン、１，１，２−トリメ
シチルトリシラン、１，１，２−トリベンジルトリシラ
ン、１，１，２−トリフェネチルトリシラン、１，１，
２−トリス（トリメチルシリルメチル）トリシラン、
１，１，３−トリメチルトリシラン、１，１，３−トリ
エチルトリシラン、１，１，３−トリ−ｎ−プロピルト
リシラン、１，１，３−トリス（３，３，３−トリフル
オロプロピル）トリシラン、１，１，３−トリ−ｎ−ブ
チルトリシラン、１，１，３−トリ−ｔ−ブチルトリシ
ラン、１，１，３−トリ（１−メチルプロピル）トリシ
ラン、１，１，３−トリ（２−メチルプロピル）トリシ
ラン、１，１，３−トリアミルトリシラン、１，１，３
−トリ−ｎ−ヘキシルトリシラン、１，１，３−トリシ
クロヘキシルトリシラン、１，１，３−トリ−ｎ−ヘプ
チルトリシラン、１，１，３−トリ−ｎ−オクチルトリ
シラン、１，１，３−トリ−ｎ−ノニルトリシラン、
１，１，３−トリ−ｎ−デシルトリシラン、１，１，３
−トリ−ｎ−ドデシルトリシラン、１，１，３−トリフ
ェニルトリシラン、１，１，３−トリ−ｐ−トリルトリ
シラン、１，１，３−トリメシチルトリシラン、１，
１，３−トリベンジルトリシラン、１，１，３−トリフ
ェネチルトリシラン、１，１，３−トリス（トリメチル
シリルメチル）トリシラン、１，２，３−トリメチルト
リシラン、１，２，３−トリエチルトリシラン、１，
２，３−トリ−ｎ−プロピルトリシラン、１，２，３−
トリス（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリシラ
ン、１，２，３−トリ−ｎ−ブチルトリシラン、１，
２，３−トリ−ｔ−ブチルトリシラン、１，２，３−ト
リ（１−メチルプロピル）トリシラン、１，２，３−ト
リ（２−メチルプロピル）トリシラン、１，２，３−ト
リアミルトリシラン、１，２，３−トリ−ｎ−ヘキシル
トリシラン、１，２，３−トリシクロヘキシルトリシラ
ン、１，２，３−トリ−ｎ−ヘプチルトリシラン、１，
２，３−トリ−ｎ−オクチルトリシラン、１，２，３−
トリ−ｎ−ノニルトリシラン、１，２，３−トリ−ｎ−
デシルトリシラン、１，２，３−トリ−ｎ−ドデシルト
リシラン、１，２，３−トリフェニルトリシラン、１，
２，３−トリ−ｐ−トリルトリシラン、１，２，３−ト
リメシチルトリシラン、１，２，３−トリベンジルトリ
シラン、１，２，３−トリフェネチルトリシラン、１，
２，３−トリス（トリメチルシリルメチル）トリシラ
ン、１，１−ジエチル−２−メチルトリシラン、１，１
−ジメチル−２−ｎ−プロピルトリシラン、１，１−ジ
メチル−２−ｉ−プロピルトリシラン、１，１−ジ−ｎ
−ブチル−２−メチルトリシラン、１，１−ジ−ｔ−ブ
チル−２−メチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘキシ
ル−２−メチルトリシラン、１，１−ジシクロヘキシル
−２−メチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−ヘプチル−
２−メチルトリシラン、１，１−ジメチル−２−ｎ−オ
クチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ−デシル−２−メチ
ルトリシラン、１，１−ジメチル−２−フェニルトリシ
ラン、１，１−ジ（ｐ−メチルフェネチル）−２−メチ
ルトリシラン、１，１−ジメチル−２−（β−フェネチ
ル）トリシラン、１，１−ジ−ｐ−トリル−２−メチル
トリシラン、１，１−ジフェニル−２−エチルトリシラ
ン、１，１−ジ−ｔ−ブチル−２−フェニルトリシラ
ン、１，１−ジ（フェニルジメチルシリル）−２−メチ
ルトリシラン、１，１−ビス（トリメチルシリル）−２
−メチルトリシラン、１，１−ジエチル−３−メチルト
リシラン、１，１−ジメチル−３−ｎ−プロピルトリシ
ラン、１，１−ジメチル−３−ｉ−プロピルトリシラ
ン、１，１−ジ−ｎ−ブチル−３−メチルトリシラン、
１，１−ジ−ｔ−ブチル−３−メチルトリシラン、１，
１−ジ−ｎ−ヘキシル−３−メチルトリシラン、１，１
−ジシクロヘキシル−３−メチルトリシラン、１，１−
ジ−ｎ−ヘプチル−３−メチルトリシラン、１，１−ジ
メチル−３−ｎ−オクチルトリシラン、１，１−ジ−ｎ
−デシル−３−メチルトリシラン、１，１−ジメチル−
３−フェニルトリシラン、１，１−ジ−（ｐ−メチルフ
ェネチル）−３−メチルトリシラン、１，１−ジメチル
−３−（β−フェネチル）トリシラン、１，１−ジ−ｐ
−トリル−３−メチルトリシラン、１，１−ジフェニル
−３−エチルトリシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチル−３
−フェニルトリシラン、１，１−ジ（フェニルジメチル
シリル）−３−メチルトリシラン、１，１−ビス（トリ
メチルシリル）−３−メチルトリシラン、１，２−ジエ
チル−３−メチルトリシラン、１，２−ジメチル−３−
ｎ−プロピルトリシラン、１，２−ジメチル−３−ｉ−
プロピルトリシラン、１，２−ジ−ｎ−ブチル−３−メ
チルトリシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチル−３−メチル
トリシラン、１，２−ジ−ｎ−ヘキシル−３−メチルト
リシラン、１，２−ジシクロヘキシル−３−メチルトリ
シラン、１，２−ジ−ｎ−ヘプチル−３−メチルトリシ
ラン、１，２−ジメチル−３−ｎ−オクチルトリシラ
ン、１，２−ジ−ｎ−デシル−３−メチルトリシラン、
１，２−ジメチル−３−フェニルトリシラン、１，２−
ジ（ｐ−メチルフェネチル）−３−メチルトリシラン、
１，２−ジメチル−３−（β−フェネチル）トリシラ
ン、１，２−ジ−ｐ−トリル−３−メチルトリシラン、
１，２−ジフェニル−３−エチルトリシラン、１，２−
ジ−ｔ−ブチル−３−フェニルトリシラン、１，２−ジ
（フェニルジメチルシリル）−３−メチルトリシラン、
１，２−ビス（トリメチルシリル）−３−メチルトリシ
ラン、（トリメチルシリル）メチルジシラン、１−（フ
ェニルジメチルシリル）−１−メチルジシラン、１−
（トリメチルシリル）−１−メチルジシラン、１−（フ
ェニルジメチルシリル）−２−メチルジシラン、１−
（トリメチルシリル）−２−メチルジシラン、１，１−
ビス（フェニルジメチルシリル）−２−メチルジシラ
ン、１，１−ビス（トリメチルシリル）−２−メチルジ
シラン、１−（フェニルジメチルシリル）−２，２−ジ
メチルジシラン、１−（トリメチルシリル）−２，２−
ジメチルジシラン、１，１，１−トリ（フェニルジメチ
ルシリル）−２−メチルジシラン、１，１，１−トリ
（トリメチルシリル）−２−メチルジシラン、１−（フ
ェニルジメチルシリル）−２，２，２−トリメチルジシ
ラン、１−ビス（トリメチルシリル）−２，２，２−ト
リメチルジシラン、１，１−ビス（フェルジメチルシリ
ル）−２，２−ジメチルジシラン、１，１−ビス（トリ
メチルシリル）−２，−ジメチルジシラン、１，２−ビ
ス（フェニルジメチルシリル）−１，２−ジメチルジシ
ラン、１，２−ビス（トリメチルシリル）−１，２−ジ
メチルジシランなどが挙げられる。上に例示されたシラ
ンモノマーは単独でも複数組み合わせて用いることがで
きることはもちろん、例えば、化４と化５、化５と化
６、化４と化５と化６とのモノマーの組み合わせもまた
可能である。

【００１４】次に触媒について説明すると、本発明では
下記(a) 〜(c) から選ばれる少なくとも１種が、原料モ
ノマーの脱水素縮合触媒として使用される。 (a) 周期律表第３Ｂ族〜７Ｂ族又は第８族から選ばれる
少なくとも１種の金属又は金属化合物 (b) 上記(a) と化８で示されるシリル化合物との混合物 (c) 上記(a) と化９で示される金属（重）水素化物との
混合物 本発明で使用可能な触媒を具体的に例示すると、第３Ｂ
族ではサマリウム、ユーロビウム、イッテルビウムなど
のランタニドが、第４Ｂ族ではチタニウム、ジルコニウ
ム、ハフニウムが、第５Ｂ族ではバナジウム、ニオビウ
ム、タンタルが、第６Ｂ族ではクロム、モリブデン、タ
ングステンが、第７Ｂ族ではマンガン、テクネチウム、
レニウムが、第８族では鉄、ルテニウム、オスミウム、
コバルト、ロジウム、イリジウム、ニッケル、パラジウ
ム、白金の各金属及びその化合物を挙げることができ
る。なかでもランタニド、チタニウム、ジルコニウム、
ハフニウム、ルテニウム、コバルト、ロジウム、イリジ
ウム、ニッケル、パラジウム、白金などの各金属及びそ
の化合物が好ましい。

【００１５】第４Ｂ族金属の化合物としては、係る金属
のハロゲン化合物、アセチルアセトナート、アルコキシ
化合物、アリールオキシ化合物、アルコキシハロゲン化
合物、アリールオキシハロゲン化合物共役π結合置換
基、例えばシクロペンタジエニル基やアルキルシクロペ
ンタジエニル基やインデニル基等の置換（環を形成して
いてもよい）シクロペンタジエニル基などのシクロペン
タジエニル骨格を有する化合物が挙げられる。チタニウ
ム化合物としては、例えば、（η−シクロヘプタトリエ
ニル）（η−シクロペンタジエニル）チタン、水素化チ
タン、ジカルボニルビス（η−シクロペンタジエニル）
チタン、ビス（η−ペンタメチルシクロペンタジエニ
ル）チタン、三塩化チタン、クロロビス（η−シクロペ
ンタジエニル）チタン、ジクロロ（η−シクロペンタジ
エニル）チタン、四塩化チタン、四臭化チタン、四よう
化チタン、トリクロロメチルチタン、メチルトリイソプ
ロポキシチタン、チタニウムテトラエトキシド、チタニ
ウムテトラプロポキシド、チタニウムテトライソプロポ
キシド、チタニウムテトラブトキシド、ジヒドリドビス
（η−ペンタメチルシクロペンタジエニル）チタン、ト
リクロロ（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロ
ロビス（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロロ
ビス（η−メチルシクロペンタジエニル）チタン、ジク
ロロビス（η−ジメチルシクロペンタジエニル）チタ
ン、ジクロロビス（η−トリメチルシクロペンタジエニ
ル）チタン、ジクロロビス（η−ペンタメチルシクロペ
ンタジエニル）チタン、ジクロロビス（η−トリフルオ
ロメチルシクロペンタジエニル）チタン、ジクロロビス
（η−トリメチルシリルシクロペンタジエニル）チタ
ン、ジクロロ（η−ペンタメチルシクロペンタジエニ
ル）（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロロ
（η−トリフルオロメチルシクロペンタジエニル）（η
−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロロメチレンビ
ス（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロロエチ
レンビス（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジクロ
ロプロピレンビス（η−シクロペンタジエニル）チタ
ン、ジクロロジメチルシリレンビス（η−シクロペンタ
ジエニル）チタン、ジクロロビス（η−インデニル）チ
タン、ジクロロビス（η−メチルインデニル）チタン、
ジクロロビス（η−ジメチルインデニル）チタン、ジク
ロロビス（η−トリメチルシリルインデニル）チタン、
ジクロロメチレンビス（η−インデニル）チタン、ジク
ロロエチレンビス（η−インデニル）チタン、ジクロロ
プロピレンビス（η−インデニル）チタン、ジメチルビ
ス（η−シクロペンタジエニル）チタン、ジメチルビス
（η−メチルシクロペンタジエニル）チタン、ジメチル
ビス（η−ペンタメチルシクロペンタジエニル）チタ
ン、ジメチルビス（η−トリメチルシリルシクロペンタ
ジエニル）チタン、ジメチルビス（η−インデニル）チ
タン、ジフェニルビス（η−シクロペンタジエニル）チ
タン、ジフェニルビス（η−メチルシクロペンタジエニ
ル）チタン、ジベンジルビス（η−シクロペンタジエニ
ル）チタン、ビス（トリメチルシリルメチル）ビス（η
−シクロペンタジエニル）チタン、ジメトキシビス（η
−シクロペンタジエニル）チタン、ジエトキシビス（η
−シクロペンタジエニル）チタン、ジブトキシビス（η
−シクロペンタジエニル）チタン、ジフェノキシビス
（η−シクロペンタジエニル）チタンなどが挙げられ
る。

【００１６】ジルコニウム化合物としては、例えば、ビ
ス（η−シクロオクタテトラエン）ジルコニウム、水素
化ジルコニウム、ビス（η−シクロペンタジエニル）
（η−１，３−ブタジエン）ジルコニウム、ジカルボニ
ルビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、ク
ロロビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、
ベンジルビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウ
ム、トリメチルシリルメチルビス（η−シクロペンタジ
エニル）ジルコニウム、四塩化ジルコニウム、ジルコニ
ウムアセチルアセトナート、ジルコニウムテトラエトキ
シド、ジルコニウムテトラブトキシド、テトラアリルジ
ルコニウム、トリクロロ（η−ペンタメチルシクロペン
タジエニル）ジルコニウム、トリブロモ（η−シクロペ
ンタジエニル）ジルコニウム、ビス（η−シクロペンタ
ジエニル）ジヒドリドジルコニウム、クロロビス（η−
シクロペンタジエニル）ヒドリドジルコニウム、ビス
（テトラヒドロホウ酸）ビス（η−シクロペンタジエニ
ル）ジルコニウム、ジクロロビス（η−シクロペンタジ
エニル）ジルコニウム、ジクロロビス（η−メチルシク
ロペンタジエニル）ジルコニウム、ジクロロビス（η−
ジメチルシクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジクロ
ロビス（η−トリメチルシクロペンタジエニル）ジルコ
ニウム、ジクロロビス（η−ペンタメチルシクロペンタ
ジエニル）ジルコニウム、ジクロロビス（η−トリフル
オロメチルシクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジク
ロロビス（η−トリメチルシリルシクロペンタジエニ
ル）ジルコニウム、ジクロロ（η−ペンタメチルシクロ
ペンタジエニル）（η−シクロペンタジエニル）ジルコ
ニウム、ジクロロ（η−トリフルオロメチルシクロペン
タジエニル）（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウ
ム、ジクロロメチレンビス（η−シクロペンタジエニ
ル）ジルコニウム、ジクロロエチレンビス（η−シクロ
ペンタジエニル）ジルコニウム、ジクロロプロピレンビ
ス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジクロ
ロジメチルシリレンビス（η−シクロペンタジエニル）
ジルコニウム、ジクロロビス（η−インデニル）ジルコ
ニウム、ジクロロビス（η−メチルインデニル）ジルコ
ニウム、ジクロロビス（η−ジメチルインデニル）ジル
コニウム、ジクロロビス（η−トリメチルシリルインデ
ニル）ジルコニウム、ジクロロメチレンビス（η−イン
デニル）ジルコニウム、ジクロロエチレンビス（η−イ
ンデニル）ジルコニウム、ジクロロプロピレンビス（η
−インデニル）ジルコニウム、ジメチルビス（η−シク
ロペンタジエニル）ジルコニウム、ジメチルビス（η−
ペンタメチルシクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジ
メチルビス（η−インデニル）ジルコニウム、ジフェニ
ルビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジ
フェニルビス（η−メチルシクロペンタジエニル）ジル
コニウム、ジベンジルビス（η−シクロペンタジエニ
ル）ジルコニウム、ビス（トリメチルシリルメチル）ビ
ス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、ジメト
キシビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニウム、
ジエトキシビス（η−シクロペンタジエニル）ジルコニ
ウム、ジブトキシビス（η−シクロペンタジエニル）ジ
ルコニウム、ジフェノキシビス（η−シクロペンタジエ
ニル）ジルコニウムなどが挙げられる。

【００１７】ハフニウム化合物としては、例えば、ビス
（η−ブタジエン）〔１，２−ビス（ジメチルホスフィ
ノ）エタン〕ハフニウム、ジカルボニルビス（η−シク
ロペンタジエニル）ハフニウム、トリメチルシリルメチ
ルビス（η−イソプロピルシクロペンタジエニル）ハフ
ニウム、テトラベンジルハフニウム、トリクロロ（η−
シクロペンタジエニル）ハフニウム、クロロビス（η−
シクロペンタジエニル）ヒドリドハフニウム、ジヒドリ
ドビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ビス
（テトラヒドロホウ酸）ビス（η−メチルシクロペンタ
ジエニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−シクロペン
タジエニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−メチルシ
クロペンタジエニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−
ジメチルシクロペンタジエニル）ハフニウム、ジクロロ
ビス（η−トリメチルシクロペンタジエニル）ハフニウ
ム、ジクロロ（η−ペンタメチルシクロペンタジエニ
ル）（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジクロ
ロ（η−トリフルオロメチルシクロペンタジエニル）
（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジクロロメ
チレンビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、
ジクロロエチレンビス（η−シクロペンタジエニル）ハ
フニウム、ジクロロプロピレンビス（η−シクロペンタ
ジエニル）ハフニウム、ジクロロジメチルシリレンビス
（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジクロロビ
ス（η−インデニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−
メチルインデニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−ジ
メチルインデニル）ハフニウム、ジクロロビス（η−ト
リメチルインデニル）ハフニウム、ジクロロメチレンビ
ス（η−インデニル）ハフニウム、ジクロロエチレンビ
ス（η−インデニル）ハフニウム、ジクロロプロピレン
ビス（η−インデニル）ハフニウム、ジメチルビス（η
−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジメチルビス
（η−ペンタメチルシクロペンタジエニル）ハフニウ
ム、ジメチルビス（η−インデニル）ハフニウム、ジフ
ェニルビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、
ジフェニルビス（η−メチルシクロペンタジエニル）ハ
フニウム、ジベンジルビス（η−シクロペンタジエニ
ル）ハフニウム、ビス（トリメチルシリルメチル）ビス
（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジメトキシ
ビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジエト
キシビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウム、ジ
ブトキシビス（η−シクロペンタジエニル）ハフニウ
ム、ジフェノキシビス（η−シクロペンタジエニル）ハ
フニウムなどが挙げられる。

【００１８】コバルト化合物としては、ハロゲン化合
物、酢酸塩、硫黄含有有機化合物、カルボニル化合物、
リン含有有機化合物、共役π結合置換基、例えばシクロ
ペンタジエニル基やアルキルシクロペンタジエニル基や
インデニル基等の置換（環を形成していてもよい）シク
ロペンタジエニル基などのシクロペンタジエニル骨格を
有する基を有する化合物が挙げられる。このようなコバ
ルト化合物には、例えば、ヘキサカルボニルビス（トリ
ブチルホスフィン）二コバルト、ヘキサカルボニル−μ
−（ジフェニルアセチレン）二コバルト、テトラカルボ
ニルビス（η−ブタジエン）二コバルト、ドデカカルボ
ニル四コバルト、ヒドリドテトラカルボニルコバルト、
テトラカルボニル（トリメチルシリル）コバルト、（η
−アリル）トリカルボニルコバルト、ヒドリド（二窒
素）トリス（トリフェニルホスフィン）コバルト、テト
ラキス（トリメチルホスフィン）メチルコバルト、ジカ
ルボニル（η−シクロペンタジエニル）コバルト、ビス
〔（μ−カルボニル）（η−シクロペンタジエニル）コ
バルト〕、トリス〔（μ−カルボニル）（η−シクロペ
ンタジエニル）コバルト〕、ジカルボニル（η−ペンタ
メチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（トリメ
チルホスフィト）（η−シクロペンタジエニル）コバル
ト、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）コバル
ト、（η−シクロペンタジエニル）ビス（トリフェニル
ホスフィン）コバルト、（η−シクロペンタジエニル）
ビス（η−エチレン）コバルト、（η−シクロペンタジ
エニル）（η−１，５−シクロオクタジエン）コバル
ト、（η−シクロペンタジエニル）（η−シクロヘキサ
ジエン）コバルト、酢酸コバルト、コバルト（アセチル
アセトナート）、塩化コバルト、臭化コバルト、ヨウ化
コバルト、コバルトチオシアネート、ビス（η−シクロ
ペンタジエニル）コバルト、カルボニル（η−シクロペ
ンタジエニル）ジヨードコバルト、（η−シクロペンタ
ジエニル）（トリフェニルホスフィン）ジヨードコバル
ト、ビス（η−シクロペンタジエニル）コバルト三臭化
物、（η−シクロペンタジエニル）（η−シクロヘキサ
ジエニル）コバルトヨウ化物、（η−ベンゼン）（η−
シクロペンタジエニル）コバルトテトラフルオロホウ酸
塩などが挙げられる。

【００１９】ニッケル化合物としては、ハロゲン化合
物、酢酸塩、含窒素有機化合物、含硫黄有機化合物、カ
ルボニル化合物、含リン有機化合物、共役π結合置換
基、例えばシクロペンタジエニル基やアルキルシクロペ
ンタジエニル基やインデニル基等の置換（環を形成して
いてもよい）シクロペンタジエニル基などのシクロペン
タジエニル骨格を有する基やシクロオクタジエニル基、
アリル基等を有する化合物が挙げられる。このようなニ
ッケル化合物には、例えば、テトラカルボニルニッケ
ル、ジカルボニルビス（トリフェニルホスフィン）ニッ
ケル、ビス（１，５−シクロオクタジエン）ニッケル、
（η−エチレン）ビス（トリフェニルホスフィン）ニッ
ケル、テトラキス（トリフェニルホスフィン）ニッケ
ル、テトラキス（イソシアン化ｔ−ブチル）ニッケル、
μ−（２窒素）ビス〔ビス（トリシクロヘキシルホスフ
ィン）ニッケル〕、酢酸ニッケル、ニッケル（アセチル
アセトナート）、塩化ニッケル、臭化ニッケル、ジクロ
ロ〔１，２−ビス（ジフェニルホスフィノ）エタン〕ニ
ッケル、トランス−ビス（１，３−ブタジイニル）ビス
（トリブチルホスフィン）ニッケル、ジメチルビス（ト
リメチルホスフィン）ニッケル、ジエチル（２，２´−
ビピリジル）ニッケル、トランス−ブロモ（フェニル）
ビス（トリエチルホスフィン）ニッケル、テトラメチレ
ンビス（トリフェニルホスフィン）ニッケル、トランス
−クロロ（ヒドリド）ビス（トリシクロヘキシルホスフ
ィン）ニッケル、ビス（η−シクロペンタジエニル）ニ
ッケル、クロロ（η−シクロペンタジエニル）（トリフ
ェニルホスフィン）ニッケル、メチル（η−シクロペン
タジエニル）（トリフェニルホスフィン）ニッケル、
（η−アリル）（η−シクロペンタジエニル）ニッケ
ル、（η−１，５−シクロオクタジエン）（η−シクロ
ペンタジエニル）ニッケルテトラフルオロホウ酸塩、ビ
ス（η−アリル）ニッケル、（η−アリル）ブロモ（ト
リフェニルホスフィン）ニッケル、ビス（η−シクロペ
ンタジエニル）ジ（μ−カルボニル）二ニッケルなどが
挙げられる。

【００２０】ルテニウム化合物としては、例えば、ルテ
ニウムカーボン、ルテニウムアルミナ、ドデカカルボニ
ル３ルテニウム、テトラ−μ−ヒドリドドデカカルボニ
ル四ルテニウム、テトラカルボニル（トリメチルホスフ
ィト）ルテニウム、ペンタキス（トリメチルホスフィ
ト）ルテニウム、トリカルボニル（シクロオクタテトラ
エン）ルテニウム、トリカルボニル（１，５−シクロオ
クタジエン）ルテニウム、テトラカルボニルビス（η−
シクロペンタジエニル）二ルテニウム、テトラカルボニ
ルビス（η−ペンタメチルシクロペンタジエニル）二ル
テニウム、ジカルボニルトリス（トリフェニルホスフィ
ン）ルテニウム、ジアセタトジカルボニルビス（トリフ
ェニルホスフィン）ルテニウム、ジ−μ−クロロビス
（クロロトリカルボニルルテニウム）、ジクロロトリス
（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、カルボニルク
ロロヒドリドトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニ
ウム、ジヒドリドテトラキス（トリフェニルホスフィ
ン）ルテニウム、トランス−ジクロロテトラキス（イソ
シアン化ｔ−ブチル）ルテニウム、ビス（η−シクロペ
ンタジエニル）ルテニウム、クロロ（η−シクロペンタ
ジエニル）ビス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム、ヒドリド（η−シクロペンタジエニル）ビス（トリ
フェニルホスフィン）ルテニウム、シクロペンタジエニ
ルトリス（トリメチルホスフィン）ルテニウムヘキサフ
ルオロリン酸塩、クロロジカルボニル（η−シクロペン
タジエニル）ルテニウム、ヒドリド（シクロペンタジエ
ニル）（１，５−シクロオクタジエン）ルテニウム、ク
ロロ（シクロペンタジエニル）（１，５−シクロオクタ
ジエン）ルテニウム、トリカルボニル（ペンタメチルシ
クロペンタジエニル）ルテニウムテトラフルオロホウ酸
塩、ルテニウム（アセチルアセトナート）、塩化ルテニ
ウム、ジクロロ（ペンタメチルシクロペンタジエニル）
ルテニウム、ジクロロ（ペンタメチルシクロペンタジエ
ニル）（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、テトラ
ヒドリドトリス（トリフェニルホスフィン）ルテニウ
ム、トリクロロ（ペンタメチルシクロペンタジエニル）
ルテニウム、トリヒドロ（ペンタメチルシクロペンタジ
エニル）（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジク
ロロ（η−アリル）（シクロペンタジエニル）ルテニウ
ムなどが挙げられる。

【００２１】ロジウム化合物としては、例えば、ロジウ
ムカーボン、ロジウムアルミナ、ロジウムシリカ、オク
タカルボニル２ロジウム、ドデカカルボニル四ロジウ
ム、ロジウム（ジカルボニル）（アセチルアセトナー
ト）、ジ−μ−クロロテトラカルボニル２ロジウム、ヒ
ドリドテトラカルボニルロジウム、クロロトリス（トリ
フェニルホスフィン）ロジウム、テトラキス（トリメチ
ルホスフィン）ロジウム塩化物、トランス−〔クロロカ
ルボニルビス（トリシクロヘキシルホスフィン）ロジウ
ム〕、ヒドリドトリス（トリイソプロピルホスフィン）
ロジウム、ヒドリドテトラキス（トリフェニルホスフィ
ン）ロジウム、ヒドリドテトラキス（トリイソプロピル
ホスフィト）２ロジウム、ジ−μ−クロロ−テトラ（η
−エチレン）２ロジウム、ジ−μ−クロロテトラキス
（シクロオクテン）２ロジウム、ジ−μ−クロロビス
（シクロオクタジエン）２ロジウム、ジ−μ−クロロ−
ビス（η−テトラフェニルシクロブタジエン）２ロジウ
ム、２，４−ペンタンジオナートビス（エチレン）ロジ
ウム、ビス（シクロオクタ−１，５−ジエン）ロジウ
ム、１，５−シクロオクタジエンビス（アセトニトリ
ル）ロジウムテトラフルオロホウ酸塩、ジアンミンシク
ロオクタジエンロジウムヘキサフルオロリン酸塩、酢酸
ロジウム、ロジウム（アセチルアセトナート）、塩化ロ
ジウム、臭化ロジウム、ジ−μ−クロロジクロロビス
（ペンタメチルシクロペンタジエニル）２ロジウム、ジ
−μ−カルボニル−ビス（ペンタメチルシクロペンタジ
エニル）２ロジウム、トリス（アセトニトリル）ペンタ
メチルシクロペンタジエニルロジウム２ヘキサフルオロ
リン酸塩、（１，４−ブタンジイル）（η−ペンタメチ
ルシクロペンタジエニル）（トリフェニルホスフィン）
ロジウム、ジ−μ−クロロ−テトラキス（η−アリル）
２ロジウム、トリス（η−アリル）ロジウム、ヒドリド
オクタエチルポルフィリナトロジウム、ジメチル−ジ−
μ−メチレンビス（ペンタメチルシクロペンタジエニ
ル）２ロジウム、ジヒドリドビス（トリエチルシリル）
ペンタメチルシクロペンタジエニルロジウムなどが挙げ
られる。

【００２２】パラジウム化合物としては、例えば、パラ
ジウムカーボン、パラジウムアルミナ、テトラキス（ト
リフェニルホスフィン）パラジウム、ビス（トリシクロ
ヘキシルホスフィン）パラジウム、テトラキス（トリエ
チルホスフィト）パラジウム、カルボニルトリス（トリ
フェニルホスフィン）パラジウム、（η−エチレン）ビ
ス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、ビス（シク
ロオクタ−１，５−ジエン）パラジウム、トリス（ジベ
ンジリデンアセトン）２パラジウム、ジクロロ−μ−ビ
ス〔ビス（ジフェニルホスフィノ）メタン〕２パラジウ
ム、酢酸パラジウム、パラジウム（アセチルアセトナー
ト）、塩化パラジウム、ヨウ化パラジウム、ジクロロビ
ス（ベンゾニトリル）パラジウム、ジクロロ（１，５−
シクロオクタジエン）パラジウム、ジクロロビス（トリ
フェニルホスフィン）パラジウム、ジ−μ−クロロ−ジ
クロロビス（イソシアニド）２パラジウム、ジ−μ−ク
ロロ−ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）２パラ
ジウム、トランス−〔ビス（ｔ−ブチルイソシアニド）
ジクロロパラジウム〕、クロロメチル（１，５−シクロ
オクタジエン）パラジウム、ジメチルビス（トリエチル
ホスフィン）パラジウム、トランス−〔ブロモ（メチ
ル）ビス（トリエチルホスフィン）パラジウム〕、トラ
ンス−クロロ（フェニルエチニル）ビス（トリブチルホ
スフィン）パラジウム、シクロペンタジエニル（フェニ
ル）（トリエチルホスフィン）パラジウム、η−アリル
（ペンタメチルシクロペンタジエニル）パラジウム、η
−アリル（１，５−シクロオクタジエン）パラジウムテ
トラフルオロホウ酸塩、ジ−μ−クロロビス（η−アリ
ル）２パラジウムなどが挙げられる。

【００２３】イリジウム化合物としては、例えば、ドデ
カカルボニル四イリジウム、ヘキサカルボニル六イリジ
ウム、ジ−μ−クロロテトラキス（シクロオクテン）２
イリジウム、ジ−μ−クロロテトラキス（エチレン）２
イリジウム、ジ−μ−クロロビス（１，５−シクロオク
タジエン）２イリジウム、クロロトリス（トリフェニル
ホスフィン）イリジウム、クロロカルボニルビス（トリ
フェニルホスフィン）イリジウム、クロロエチレンビス
（トリフェニルホスフィン）イリジウム、クロロ（２窒
素）ビス（トリフェニルホスフィン）イリジウム、（ペ
ンタメチルシクロペンタジエニル）ジカルボニルイリジ
ウム、ペンタメチルシクロペンタジエニルビス（エチレ
ン）イリジウム、カルボニルヒドリドトリス（トリフェ
ニルホスフィン）イリジウム、クロロジカルボニル（ｐ
−トルイジン）イリジウム、カルボニルメチルビス（ト
リフェニルホスフィン）イリジウム、イリジウム（アセ
チルアセトナート）、塩化イリジウム、トリス（η−ア
リル）イリジウム、ジ−μ−クロロジクロロビス（ペン
タメチルシクロペンタジエニル）２イリジウム、トリク
ロロトリス（トリエチルホスフィン）イリジウム、ジヒ
ドリド（ペンタメチルシクロペンタジエニル）トリメチ
ルホスフィンイリジウム、ペンタヒドリドビス（トリメ
チルホスフィン）イリジウムなどが挙げられる。

【００２４】白金化合物としては、例えば、白金カーボ
ン、白金アルミナ、ビス（ジベンジリデンアセトン）白
金、トリス（エチレン）白金、テトラキス（トリフェニ
ルホスフィン）白金、トリス（トリフェニルホスフィ
ン）白金、テトラキス（トリフェニルホスフィト）白
金、カルボニルトリス（トリフェニルホスフィン）白
金、ビス（トリフェニルホスフィン）（ジフェニルアセ
チレン）白金、ビス（トリフェニルホスフィン）（トラ
ンス−スチルベン）白金、ビス〔カルボニル（ペンタメ
チルシクロペンタジエニル）白金〕、μ−〔ビス（ジフ
ェニルホスフィノ）メタン〕−ビス（クロロ白金）、白
金（アセチルアセトナート）、二塩化白金、二臭化白
金、シス−ビス（ベンゾニトリル）ジクロロ白金、シス
−ジクロロビス（アセトニトリル）白金、トランス−ジ
クロロビス（アセトニトリル）白金、ジクロロ（η−
１，５−シクロオクタジエン）白金、シス−ジクロロビ
ス（トリブチルホスフィン）白金、トランス−ジクロロ
ビス（トリブチルホスフィン）白金、シス−〔ジクロロ
（フェニルイソシアニド）（トリフェニルホスフィン）
白金〕、シス−〔ジクロロ（ジアミノカルベン）（トリ
エチルホスフィン）白金〕、トリクロロ（η−エチレ
ン）白金酸カリウム、ジ−μ−クロロ−ジクロロ（エチ
レン）２白金、ビス（１，５−シクロオクタジエン）白
金、トランス−ヒドリドクロロビス（トリエチルホスフ
ィン）白金、ジメチル（１，５−シクロオクタジエン）
白金、トランス−〔ヨード（メチル）ビス（トリエチル
ホスフィン）白金〕、シス−〔クロロ（メチル）ビス
（ジメチルフェニルホスフィン）白金〕、ジブチルビス
（トリフェニルホスフィン）白金、四塩化白金などが挙
げられる。上に例示した各金属及び各金属化合物はそれ
ぞれ２種以上を混合して用いることができる。

【００２５】上記した金属及び／又は金属化合物と共
に、触媒として使用される本発明のシリル化合物及び金
属（重）水素化物（メタルハイドライド）は、それぞれ
化８及び化９で示される。化８におけるＲ¹⁸〜Ｒ²⁰は、
前述のとおり、互いに同一でも異なっても良く、炭素数
１〜12のアルキル基、炭素数７〜12のアラルキル基、炭
素数６〜12のアリール基または前記化７で示されるシリ
ル基である。シリル基としては、例えばトリメチリシリ
ル基、フェニルジメチルシリル基、トリエチルシリル
基、トリフェニルシリル基等が挙げられる。化９におけ
るＲ²¹〜Ｒ²³は、前述のとおり、Ｒ²¹は炭素数１〜５の
アルキル基、Ｒ²²は炭素数１〜８のアルキル基、アルコ
キシ基であり、Ｒ²³は、炭素数１〜４のアルキル基や第
４級アンモニウムである。また、Ｘは水素または重水素
である。そのシリル化合物の具体例を示せば、フェニル
ジメチルシリルリチウム、ジフェニルメチルシリルリチ
ウム、ｔ−ブチルジフェニルシリルリチウム、トリフェ
ニルシリルリチウム、トリス（トリメチルシリル）シリ
ルリチウム、トリメチルシリルナトリウム、トリエチル
シリルナトリウム、トリ−ｎ−プロピルシリルナトリウ
ム、トリ−ｉ−プロピルシリルナトリウム、トリ−ｎ−
ブチルシリルナトリウム、トリ−ｎ−ヘキシルシリルナ
トリウム、トリフェニルシリルナトリウム、エチルジメ
チルシリルナトリウム、ｎ−プロピルジメチルシリルナ
トリウム、ｉ−プロピルジメチルシリルナトリウム、ｎ
−ブチルジメチルシリルナトリウム、ｔ−ブチルジメチ
ルシリルナトリウム、ｎ−ヘキシルジメチルシリルナト
リウム、シクロヘキシルジメチルシリルナトリウム、ｎ
−オクチルジメチルシリルナトリウム、ｎ−デシルジメ
チルシリルナトリウム、フェニルジメチルシリルナトリ
ウム、ベンジルジメチルシリルナトリウム、フェネチル
ジメチルシリルナトリウム、ジ−ｎ−ブチルメチルシリ
ルナトリウム、ジフェニルメチルシリルナトリウム、ｔ
−ブチルジフェニルシリルナトリウム、トリス（トリメ
チルシリル）シリルナトリウム、トリメチルシリルカリ
ウム、トリエチルシリルカリウム、トリ−ｎ−プロピル
シリルカリウム、トリ−ｉ−プロピルシリルカリウム、
トリ−ｎ−ブチルシリルカリウム、トリ−ｎ−ヘキシル
シリルカリウム、トリフェニルシリルカリウム、エチル
ジメチルシリルカリウム、ｎ−プロピルジメチルシリル
カリウム、ｉ−プロピルジメチルシリルカリウム、ｎ−
ブチルジメチルシリルカリウム、ｔ−ブチルジメチルシ
リルカリウム、ｎ−ヘキシルジメチルシリルカリウム、
シクロヘキシルジメチルシリルカリウム、ｎ−オクチル
ジメチルシリルカリウム、ｎ−デシルジメチルシリルカ
リウム、フェニルジメチルシリルカリウム、ベンジルジ
メチルシリルカリウム、フェネチルジメチルシリルカリ
ウム、ジ−ｎ−ブチルメチルシリルカリウム、ジフェニ
ルメチルシリルカリウム、ｔ−ブチルジフェニルシリル
カリウム、トリス（トリスメチルシリル）シリルカリウ
ムなどが挙げられる。これらのシリル化合物は２種以上
を混合して用いても差し支えなく、またこれらシリル化
合物は、エーテル、ＴＨＦなどの溶媒を配位子として有
していてもよい。

【００２６】また、化９で表される金属（重）水素化物
（メタルハイドライド）としては、例えば、ＬｉＨ、Ｎ
ａＨ、ＫＨ、ＣａＨ₂ 、ＡｌＨ₃ 、ＭｅＡｌＨ₂ 、Ｅｔ
ＡｌＨ₂ 、ｉ−ＰｒＡｌＨ₂ 、ｎ−ＢｕＡｌＨ₂ 、ｉ−
ＢｕＡｌＨ₂ 、ｓｅｃ−ＢｕＡｌＨ₂ 、ｔ−ＢｕＡｌＨ
₂ 、Ｍｅ₂ ＡｌＨ₂ 、Ｅｔ₂ ＡｌＨ、ｎ−Ｐｒ₂ Ａｌ
Ｈ、ｉ−Ｐｒ₂ ＡｌＨ、ｎ−Ｂｕ₂ ＡｌＨ、ｉ−Ｂｕ₂
ＡｌＨ、ｓｅｃ−Ｂｕ₂ＡｌＨ、ｔ−Ｂｕ₂ ＡｌＨ、Ｌ
ｉＡｌＨ₄ 、ＬｉＡｌ（Ｅｔ）₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ（ｎ−
Ｐｒ）₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｐｒ）₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ
（ｎ−Ｂｕ）₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｂｕ）₂ Ｈ₂ 、Ｌ
ｉＡｌ（ｓｅｃ−Ｂｕ）₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ（ｔ−Ｂｕ）
₂ Ｈ₂ 、ＬｉＡｌ（Ｅｔ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（ｎ−Ｐｒ）
₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｐｒ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（ｎ−Ｂ
ｕ）₂ Ｈ、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｂｕ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（ｓｅ
ｃ−Ｂｕ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（ＯＭｅ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ
（ＯＥｔ）₃ Ｈ、ＬｉＡｌ（Ｏ−ｔ−Ｂｕ）₃ Ｈ、Ｎａ
Ａｌ（ＯＣＨ₂ ＣＨ₂ −ＯＭｅ）₃ Ｈ、ＢＨ₃ 、〔（Ｃ
Ｈ₃ ）₂ ＣＨＣＨ（ＣＨ₃ ）〕₂ ＢＨ、ＬｉＢＨ₄ 、Ｌ
ｉＢ（ｓｅｃ−Ｂｕ）₃ Ｈ、ＬｉＢ（Ｅｔ）₃ Ｈ、Ｌｉ
（９−ＢＢＮ）Ｈ、ＮａＢＨ₄ 、ＫＢＨ₄ 、Ｍｅ₄ ＮＢ
Ｈ₄ 、Ｅｔ₄ ＮＢＨ₄ 、ＬｉＤ、ＮａＤ、ＫＤ、ＣａＤ
₂ 、ＡｌＤ₃ 、ＭｅＡｌＤ₂ 、ＥｔＡｌＤ₂ 、ｎ−Ｐｒ
ＡｌＤ₂ 、ｉ−ＰｒＡｌＤ₂ 、ｎ−ＢｕＡｌＤ₂ 、ｉ−
ＢｕＡｌＤ₂ 、ｓｅｃ−ＢｕＡｌＤ₂ 、ｔ−ＢｕＡｌＤ
₂ 、Ｍｅ₂ ＡｌＤ、Ｅｔ₂ ＡｌＤ、ｎ−Ｐｒ₂ ＡｌＤ、
ｉ−Ｐｒ₂ ＡｌＤ、ｎ−Ｂｕ₂ ＡｌＤ、ｉ−Ｂｕ₂ Ａｌ
Ｄ、ｓｅｃ−Ｂｕ₂ ＡｌＤ、ｔ−Ｂｕ₂ ＡｌＤ、ＬｉＡ
ｌＤ₄ 、ＬｉＡｌ（Ｅｔ）₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ（ｎ−Ｐ
ｒ）₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｐｒ）₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ
（ｎ−Ｂｕ）₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｂｕ）₂ Ｄ₂ 、Ｌ
ｉＡｌ（ｓｅｃ−Ｂｕ）₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ（ｔ−Ｂｕ）
₂ Ｄ₂ 、ＬｉＡｌ（Ｅｔ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ｎ−Ｐｒ）
₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｐｒ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ｎ−Ｂ
ｕ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ｉ−Ｂｕ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ｓｅ
ｃ−Ｂｕ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（ＯＭｅ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ
（ＯＥｔ）₃ Ｄ、ＬｉＡｌ（Ｏ−ｔ−Ｂｕ）₃ Ｄ、Ｎａ
Ａｌ（ＯＣＨ₂ ＣＨ₂ ＯＭｅ）₃ Ｄ、ＢＤ₃ 、〔（ＣＨ
₃ ）₂ ＣＨＣＨ（ＣＨ₃ ）〕₂ ＢＤ、ＬｉＢＤ₄ 、Ｌｉ
Ｂ（ｓｅｃ−Ｂｕ）₃ Ｄ、ＬｉＢ（Ｅｔ）₃ Ｄ、Ｌｉ
（９−ＢＢＮ）Ｄ、ＮａＢＤ₄ 、ＫＢＤ₄ 、Ｍｅ₄ ＮＢ
Ｄ₄ 、Ｅｔ₄ ＮＢＤ₄ などが挙げられる（ここで、Ｍｅ
はメチル基、Ｅｔはエチル基、Ｐｒはプロピル基、Ｂｕ
はブチル基を示す）。これらの金属（重）水素化物も、
任意に２種以上混合して用いることができる。

【００２７】進んで、触媒の使用量について言えば、上
記した金属及び／又は金属化合物は、ヒドロシランモノ
マー100 モル当り、0.01〜10モル、好ましくは0.1 〜５
モルの範囲で選ばれ、シリル化合物及び金属（重）水素
化物は、通常ヒドロシランモノマー100 モル当り、それ
ぞれ0.005 〜50モル、好ましくは0.05〜20モルの範囲で
選ばれる。また、金属及び／又は金属化合物とシリル化
合物の割合は、金属及び／又は金属化合物／シリル化合
物（モル比）が通常１／0.01〜１／100 、好ましくは１
／0.1 〜１／50が望ましく、金属及び／又は金属化合物
と金属（重）水素化物の割合は、金属及び／又は金属化
合物／金属（重）水素化物（モル比）が通常１／0.01／
〜１／100 、好ましくは１／0.1 〜１／50が望ましい。
本発明で使用する触媒には添加物として、１２−クラウ
ン４、１５−クラウン−５、１８−クラウン−６、ジベ
ンゾ−１２−クラウン４、ジベンゾ−１５−クラウン
５、ジベンゾ−１８−クラウン−６などのクラウンエー
テル類やテトラメチルエチレンジアミンなどのジアミン
類などを加えてもよい。該添加物の使用割合は、ヒドロ
シランモノマー100 モル当り、0.005 〜50モル、好まし
くは0.05〜20モルの範囲にある。

【００２８】本発明の脱水素縮合反応の条件は特に限定
されてないが、反応温度は、通常０〜250 ℃、好ましく
は25〜210 ℃であり、反応圧力は、通常１mmHg〜200 kg
/cm²、好ましくは常圧〜100kg/cm²であり、反応時間
は、反応温度、触媒量、原料モノマー量などの条件によ
って異なるが、通常５分〜24時間、好ましくは30分から
３時間である。反応は触媒の存在下に行ってもよく、ま
たは非存在下に行ってもよい。溶媒を用いる場合は、ト
ルエン、キシレン、ヘプタン、デカン、ドデカンなどの
炭化水素溶媒や、ジエチルエーテル、イソプロピルエー
テル、メチルブチルエーテル、ジメトキシエタン、テト
ラヒドロフラン、ジオキサンなどのエーテル溶媒、ジメ
チルホルムアミド、ヘキサメチルホスフォリックトリア
ミドなどのアミド溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの
エステル溶媒、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシ
ド類など、さらにこれらの混合物などが用いられる。反
応の方法としては、触媒成分とモノマー成分を同時に混
合してもよいし、触媒成分にモノマー成分を加えてもよ
いし、あるいはモノマー成分に触媒成分を加えてもよ
い。また、溶媒や添加物は任意の時点で加えることがで
きる。脱水素縮合反応は、溶媒の有無にかかわらず、ア
ルゴン、窒素などの不活性ガス雰囲気下で行うことが好
ましい。

【００２９】シリコンポリマーを製造する方法の他の一
つは、キッピング法であって、その方法は、下記の化１
３で示されるハロゲノモノシラン、化１４で示されるハ
ロゲノジシラン及び化１５で示されるハロゲノトリシラ
ンからなる群から選ばれる１種もしくは２種以上のハロ
ゲノシランを、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金
属の存在下に反応させて縮合物を生成させ、得られた縮
合物を熱分解することからなる。

【化１３】 （式中、Ｒ¹ 及びＲ² は同一又は互いに異なり、炭素数
３〜１２の２級〜３級アルキル基、シクロアルキル基、
炭素数８〜１２の１級〜３級アラルキル基又はＸから選
ばれ、Ｘは塩素、臭素又はヨウ素である。）

【化１４】 （式中、Ｒ⁶ 〜Ｒ¹⁰はそれぞれ同一又は互いに異なり、
炭素数３〜１２の２級〜３級アルキル基、シクロアルキ
ル基、炭素数８〜１２の１級〜３級アラルキル基又はＸ
から選ばれ、Ｘは塩素，臭素又はヨウ素である。但し、
Ｒ⁶ 〜Ｒ¹⁰のいずれか一つは必ずＸである。）

【化１５】 （式中、Ｒ¹¹〜Ｒ¹⁷はそれぞれ同一又は互いに異なり、
炭素数３〜１２の２級〜３級アルキル基、シクロアルキ
ル基、炭素数８〜１２の１級〜３級アラルキル基、上記
の化１４で示されるシリル基又はＸから選ばれ、Ｘは塩
素、臭素又はヨウ素である。但し、Ｒ¹¹〜Ｒ¹⁷のいずれ
か一つは必ずＸである。）

【化１６】Ｒ³ Ｒ⁴ Ｒ⁵ Ｓｉ− （式中、Ｒ³ 〜Ｒ⁵ はそれぞれ同一又は互いに異なり、
炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１０のアリ−
ル基から選ばれる。）

【００３０】キッピング法で用いるハロゲノシランは、
ハロゲノモノシラン、ハロゲノジシラン及びハロゲノト
リシランの１種もしくは２種以上が選ばれる。ハロゲノ
モノシランとしては、化１３で示される化合物がいずれ
も使用可能であるが，なかでも、テトラクロロシラン、
ｉ−プロピルトリクロロシラン、ｔ−ブチルトリクロロ
シラン、（１−メチルプロピル）トリクロロシラン、シ
クロヘキシルトリクロロシラン、（１，１，２−トリメ
チルプロピル）トリクロロシラン、α−フェネチルトリ
クロロシラン、キュミルトリクロロシラン、（トリメチ
ルシリル）トリクロロシラン、ジ−ｉ−プロピルジクロ
ロシラン、ジ−ｔ−ブチルジクロロシラン、ジ（１−メ
チルプロピル）ジクロロシラン、ジシクロヘキシルジク
ロロシラン、ジ−α−フェネチルジクロロシラン、ビス
（トリメチルシリル）ジクロロシラン等が好ましい。

【００３１】このほか、テトラブロモシラン、ｉ−プロ
ピルトリブロモシラン、ｔ−ブチルトリブロモシラン、
（１−メチルプロピル）トリブロモシラン、シクロヘキ
シルトリブロモシラン、（１，１，２−トリメチルプロ
ピル）トリブロモシラン、α−フェネチルトリブロモシ
ラン、キュミルトリブロモシラン、（トリメチルシリ
ル）トリブロモシラン、ジ−ｉ−プロピルジブロモシラ
ン、ジ−ｔ−ブチルジブロモシラン、ジ（１−メチルプ
ロピル）ジブロモシラン、ジシクロヘキシルジブロモシ
ラン、ジ−α−フェネチルジブロモシラン、ビス（トリ
メチルシリル）ジブロモシラン、テトラヨードシラン、
ｉ−プロピルトリヨードシラン、ｔ−ブチルトリヨード
シラン、（１−メチルプロピル）トリヨードシラン、シ
クロヘキシルトリヨードシラン、（１，１，２−トリメ
チルプロピル）トリヨードシラン、α−フェネチルトリ
ヨードシラン、キュミルトリヨードシラン、（トリメチ
ルシリル）トリヨードシラン、ジ−ｉ−プロピルジヨー
ドシラン、ジ−ｔ−ブチルジヨードシラン、ジ（１−メ
チルプロピル）ジヨードシラン、ジシクロヘキシルジヨ
ードシラン、ジ−α−フェネチルジヨードシラン、ビス
（トリメチルシリル）ジヨードシラン等もハロゲノモノ
シランとして使用できる。

【００３２】ハロゲノジシランとしては、化１４で示さ
れる化合物が使用可能であって、なかでも、ヘキサクロ
ロジシラン、ｉ−プロピルペンタクロロジシラン、ｔ−
ブチルペンタクロロジシラン、（１−メチルプロピル）
ペンタクロロジシラン、シクロヘキシルペンタクロロジ
シラン、（１，１，２−トリメチルプロピル）ペンタク
ロロジシラン、α−フェネチルペンタクロロジシラン、
キュミルペンタクロロジシラン、（トリメチルシリル）
ペンタクロロジシラン、１，１−ジ−ｉ−プロピルテト
ラクロロジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチルテトラクロ
ロジシラン、１，１−ジ（１−メチルプロピル）テトラ
クロロジシラン、１，１−ジシクロヘキシルテトラクロ
ロジシラン、１，１−ジ−α−フェネチルテトラクロロ
ジシラン、１，１−ビス（トリメチルシリル）テトラク
ロロジシラン、１，２−ジ−ｉ−プロピルテトラクロロ
ジシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチルテトラクロロジシラ
ン、１，２−ジ（１−メチルプロピル）テトラクロロジ
シラン、１，２−ジシクロヘキシルテトラクロロジシラ
ン、１，２−ジ−α−フェネチルテトラクロロジシラ
ン、１，２−ビス（トリメチルシリル）テトラクロロジ
シラン等が好ましい。

【００３３】このほか、使用可能なハロゲノジシランモ
ノマーとしては、１，１，１−トリ−ｉ−プロピルトリ
クロロジシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチルトリク
ロロジシラン、１，１，１−トリ（１−メチルプロピ
ル）トリクロロジシラン、１，１，１−トリシクロヘキ
シルトリクロロジシラン、１，１，１−トリ−α−フェ
ネチルトリクロロジシラン、１，１，１−トリス（トリ
メチルシリル）トリクロロジシラン、１，１，２−トリ
−ｉ−プロピルトリクロロジシラン、１，１，２−トリ
−ｔ−ブチルトリクロロジシラン、１，１，２−トリ
（１−メチルプロピル）トリクロロジシラン、１，１，
２−トリシクロヘキシルトリクロロジシラン、１，１，
２−トリ−α−フェネチルトリクロロジシラン、１，
１，２−トリス（トリメチルシリル）トリクロロジシラ
ン、ヘキサブロモジシラン、ｉ−プロピルペンタブロモ
ジシラン、ｔ−ブチルペンタブロモジシラン、（１−メ
チルプロピル）ペンタブロモジシラン、シクロヘキシル
ペンタブロモジシラン、（１，１，２−トリメチルプロ
ピル）ペンタブロモジシラン、α−フェネチルペンタブ
ロモジシラン、キュミルペンタブロモジシラン、（トリ
メチルシリル）ペンタブロモジシラン、１，１−ジ−ｉ
−プロピルテトラブロモジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブ
チルテトラブロモジシラン、１，１−ジ（１−メチルプ
ロピル）テトラブロモジシラン、１，１−ジシクロヘキ
シルテトラブロモジシラン、１，１−ジ−α−フェネチ
ルテトラブロモジシラン、１，１−ビス（トリメチルシ
リル）テトラブロモジシラン、１，２−ジ−ｉ−プロピ
ルテトラブロモジシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチルテト
ラブロモジシラン、１，２−ジ（１−メチルプロピル）
テトラブロモジシラン、１，２−ジシクロヘキシルテト
ラブロモジシラン、１，２−ジ−α−フェネチルテトラ
ブロモジシラン、１，２−ビス（トリメチルシリル）テ
トラブロモジシラン、１，１，１−トリ−ｉ−プロピル
トリブロモジシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチルト
リブロモジシラン、１，１，１−トリ（１−メチルプロ
ピル）トリブロモジシラン、１，１，１−トリシクロヘ
キシルトリブロモジシラン、１，１，１−トリ−α−フ
ェネチルトリブロモジシラン、１，１，１−トリス（ト
リメチルシリル）トリブロモジシラン、１，１，２−ト
リ−ｉ−プロピルトリブロモジシラン、１，１，２−ト
リ−ｔ−ブチルトリブロモジシラン、１，１，２−トリ
（１−メチルプロピル）トリブロモジシラン、１，１，
２−トリシクロヘキシルトリブロモジシラン、１，１，
２−トリ−α−フェネチルトリブロモジシラン、１，
１，２−トリス（トリメチルシリル）トリブロモジシラ
ン、ヘキサヨードジシラン、ｉ−プロピルペンタヨード
ジシラン、ｔ−ブチルペンタヨードジシラン、（１−メ
チルプロピル）ペンタヨードジシラン、シクロヘキシル
ペンタヨードジシラン、（１，１，２−トリメチルプロ
ピル）ペンタヨードジシラン、α−フェネチルペンタヨ
ードジシラン、キュミルペンタヨードジシラン、（トリ
メチルシリル）ペンタヨードジシラン、１，１−ジ−ｉ
−プロピルテトラヨードジシラン、１，１−ジ−ｔ−ブ
チルテトラヨードジシラン、１，１−ジ（１−メチルプ
ロピル）テトラヨードジシラン、１，１−ジシクロヘキ
シルテトラヨードジシラン、１，１−ジ−α−フェネチ
ルテトラヨードジシラン、１，１−ビス（トリメチルシ
リル）テトラヨードジシラン、１，２−ジ−ｉ−プロピ
ルテトラヨードジシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチルテト
ラヨードジシラン、１，２−ジ（１−メチルプロピル）
テトラヨードジシラン、１，２−ジシクロヘキシルテト
ラヨードジシラン、１，２−ジ−α−フェネチルテトラ
ヨードジシラン、１，２−ビス（トリメチルシリル）テ
トラヨードジシラン、１，１，１−トリ−ｉ−プロピル
トリヨードジシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチルト
リヨードジシラン、１，１，１−トリ（１−メチルプロ
ピル）トリヨードジシラン、１，１，１−トリシクロヘ
キシルトリヨードジシラン、１，１，１−トリ−α−フ
ェネチルトリヨードジシラン、１，１，１−トリス（ト
リメチルシリル）トリヨードジシラン、１，１，２−ト
リ−ｉ−プロピルトリヨードジシラン、１，１，２−ト
リ−ｔ−ブチルトリヨードジシラン、１，１，２−トリ
（１−メチルプロピル）トリヨードジシラン、１，１，
２−トリシクロヘキシルトリヨードジシラン、１，１，
２−トリ−α−フェネチルトリヨードジシラン、１，
１，２−トリス（トリメチルシリル）トリヨードジシラ
ン等が挙げられる。

【００３４】同様にしてハロゲノトリシランとしては、
化１５で示される化合物が使用可能である。なかでも、
オクタクロロトリシラン、１−ｉ−プロピルヘプタクロ
ロトリシラン、１−ｔ−ブチルヘプタクロロトリシラ
ン、１−（１−メチルプロピル）ヘプタクロロトリシラ
ン、１−シクロヘキシルヘプタクロロトリシラン、１−
（１，１，２−トリメチルプロピル）ヘプタクロロトリ
シラン、１−α−フェネチルヘプタクロロトリシラン、
１−キュミルヘプタクロロトリシラン、１−（トリメチ
ルシリル）ヘプタクロロトリシラン、２−ｉ−プロピル
ヘプタクロロトリシラン、２−ｔ−ブチルヘプタクロロ
トリシラン、２−（１−メチルプロピル）ヘプタクロロ
トリシラン、２−シクロヘキシルヘプタクロロトリシラ
ン、２−（１，１，２−トリメチルプロピル）ヘプタク
ロロトリシラン、２−α−フェネチルヘプタクロロトリ
シラン、２−キュミルヘプタクロロトリシラン、２−
（トリメチルシリル）ヘプタクロロトリシラン、１，１
−ジ−ｉ−プロピルヘキサクロロトリシラン、１，１−
ジ−ｔ−ブチルヘキサクロロトリシラン、１，１−ジ
（１−メチルプロピル）ヘキサクロロトリシラン、１，
１−ジシクロヘキシルヘキサクロロトリシラン、１，１
−ジ−α−フェネチルヘキサクロロトリシラン、１，１
−ビス（トリメチルシリル）ヘキサクロロトリシラン、
１，２−ジ−ｉ−プロピルヘキサクロロトリシラン、
１，２−ジ−ｔ−ブチルヘキサクロロトリシラン、１，
２−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサクロロトリシラ
ン、１，２−ジシクロヘキシルヘキサクロロトリシラ
ン、１，２−ジ−α−フェネチルヘキサクロロトリシラ
ン、１，２−ビス（トリメチルシリル）ヘキサクロロト
リシラン、１，３−ジ−ｉ−プロピルヘキサクロロトリ
シラン、１，３−ジ−ｔ−ブチルヘキサクロロトリシラ
ン、１，３−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサクロロト
リシラン、１，３−ジシクロヘキシルヘキサクロロトリ
シラン、１，３−ジ−α−フェネチルヘキサクロロトリ
シラン、１，３−ビス（トリメチルシリル）ヘキサクロ
ロトリシラン、１，１，１−トリ−ｉ−プロピルペンタ
クロロトリシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチルペン
タクロロトリシラン、１，１，１−トリ（１−メチルプ
ロピル）ペンタクロロトリシラン、１，１，１−トリシ
クロヘキシルペンタクロロトリシラン、１，１，１−ト
リ−α−フェネチルペンタクロロトリシラン、１，１，
１−トリス（トリメチルシリル）ペンタクロロトリシラ
ン、１，１，２−トリ−ｉ−プロピルペンタクロロトリ
シラン、１，１，２−トリ−ｔ−ブチルペンタクロロト
リシラン、１，１，２−トリ（１−メチルプロピル）ペ
ンタクロロトリシラン、１，１，２−トリシクロヘキシ
ルペンタクロロトリシラン、１，１，２−トリ−α−フ
ェネチルペンタクロロトリシラン、１，１，２−トリス
（トリメチルシリル）ペンタクロロトリシラン、１，
２，３−トリ−ｉ−プロピルペンタクロロトリシラン、
１，２，３−トリ−ｔ−ブチルペンタクロロトリシラ
ン、１，２，３−トリ（１−メチルプロピル）ペンタク
ロロトリシラン、１，２，３−トリシクロヘキシルペン
タクロロトリシラン、１，２，３−トリ−α−フェネチ
ルペンタクロロトリシラン、１，２，３−トリス（トリ
メチルシリル）ペンタクロロトリシラン等が好ましい。

【００３５】このほか、使用可能なハロゲノトリシラン
化合物を例示すると、オクタブロモトリシラン、１−ｉ
−プロピルヘプタブロモトリシラン、１−ｔ−ブチルヘ
プタブロモトリシラン、１−（１−メチルプロピル）ヘ
プタブロモトリシラン、１−シクロヘキシルヘプタブロ
モトリシラン、１−（１，１，２−トリメチルプロピ
ル）ヘプタブロモトリシラン、１−α−フェネチルヘプ
タブロモトリシラン、１−キュミルヘプタブロモトリシ
ラン、１−（トリメチルシリル）ヘプタブロモトリシラ
ン、２−ｉ−プロピルヘプタブロモトリシラン、２−ｔ
−ブチルヘプタブロモトリシラン、２−（１−メチルプ
ロピル）ヘプタブロモトリシラン、２−シクロヘキシル
ヘプタブロモトリシラン、２−（１，１，２−トリメチ
ルプロピル）ヘプタブロモトリシラン、２−α−フェネ
チルヘプタブロモトリシラン、２−キュミルヘプタブロ
モトリシラン、２−（トリメチルシリル）ヘプタブロモ
トリシラン、１，１−ジ−ｉ−プロピルヘキサブロモト
リシラン、１，１−ジ−ｔ−ブチルヘキサブロモトリシ
ラン、１，１−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサブロモ
トリシラン、１，１−ジシクロヘキシルヘキサブロモト
リシラン、１，１−ジ−α−フェネチルヘキサブロモト
リシラン、１，１−ビス（トリメチルシリル）ヘキサブ
ロモトリシラン、１，２−ジ−ｉ−プロピルヘキサブロ
モトリシラン、１，２−ジ−ｔ−ブチルヘキサブロモト
リシラン、１，２−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサブ
ロモトリシラン、１，２−ジシクロヘキシルヘキサブロ
モトリシラン、１，２−ジ−α−フェネチルヘキサブロ
モトリシラン、１，２−ビス（トリメチルシリル）ヘキ
サブロモトリシラン、１，３−ジ−ｉ−プロピルヘキサ
ブロモトリシラン、１，３−ジ−ｔ−ブチルヘキサブロ
モトリシラン、１，３−ジ（１−メチルプロピル）ヘキ
サブロモトリシラン、１，３−ジシクロヘキシルヘキサ
ブロモトリシラン、１，３−ジ−α−フェネチルヘキサ
ブロモトリシラン、１，３−ビス（トリメチルシリル）
ヘキサブロモトリシラン、１，１，１−トリ−ｉ−プロ
ピルペンタブロモトリシラン、１，１，１−トリ−ｔ−
ブチルペンタブロモトリシラン、１，１，１−トリ（１
−メチルプロピル）ペンタブロモトリシラン、１，１，
１−トリシクロヘキシルペンタブロモトリシラン、１，
１，１−トリ−α−フェネチルペンタブロモトリシラ
ン、１，１，１−トリス（トリメチルシリル）ペンタブ
ロモトリシラン、１，１，２−トリ−ｉ−プロピルペン
タブロモトリシラン、１，１，２−トリ−ｔ−ブチルペ
ンタブロモトリシラン、１，１，２−トリ（１−メチル
プロピル）ペンタブロモトリシラン、１，１，２−トリ
シクロヘキシルペンタブロモトリシラン、１，１，２−
トリ−α−フェネチルペンタブロモトリシラン、１，
１，２−トリス（トリメチルシリル）ペンタブロモトリ
シラン、１，２，３−トリ−ｉ−プロピルペンタブロモ
トリシラン、１，２，３−トリ−ｔ−ブチルペンタブロ
モトリシラン、１，２，３−トリ（１−メチルプロピ
ル）ペンタブロモトリシラン、１，２，３−トリシクロ
ヘキシルペンタブロモトリシラン、１，２，３−トリ−
α−フェネチルペンタブロモトリシラン、１，２，３−
トリス（トリメチルシリル）ペンタブロモトリシラン、
オクタヨードトリシラン、１−ｉ−プロピルヘプタヨー
ドトリシラン、１−ｔ−ブチルヘプタヨードトリシラ
ン、１−（１−メチルプロピル）ヘプタヨードトリシラ
ン、１−シクロヘキシルヘプタヨードトリシラン、１−
（１，１，２−トリメチルプロピル）ヘプタヨードトリ
シラン、１−α−フェネチルヘプタヨードトリシラン、
１−キュミルヘプタヨードトリシラン、１−（トリメチ
ルシリル）ヘプタヨードトリシラン、２−ｉ−プロピル
ヘプタヨードトリシラン、２−ｔ−ブチルヘプタヨード
トリシラン、２−（１−メチルプロピル）ヘプタヨード
トリシラン、２−シクロヘキシルヘプタヨードトリシラ
ン、２−（１，１，２−トリメチルプロピル）ヘプタヨ
ードトリシラン、２−α−フェネチルヘプタヨードトリ
シラン、２−キュミルヘプタヨードトリシラン、２−
（トリメチルシリル）ヘプタヨードトリシラン、１，１
−ジ−ｉ−プロピルヘキサヨードトリシラン、１，１−
ジ−ｔ−ブチルヘキサヨードトリシラン、１，１−ジ
（１−メチルプロピル）ヘキサヨードトリシラン、１，
１−ジシクロヘキシルヘキサヨードトリシラン、１，１
−ジ−α−フェネチルヘキサヨードトリシラン、１，１
−ビス（トリメチルシリル）ヘキサヨードトリシラン、
１，２−ジ−ｉ−プロピルヘキサヨードトリシラン、
１，２−ジ−ｔ−ブチルヘキサヨードトリシラン、１，
２−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサヨードトリシラ
ン、１，２−ジシクロヘキシルヘキサヨードトリシラ
ン、１，２−ジ−α−フェネチルヘキサヨードトリシラ
ン、１，２−ビス（トリメチルシリル）ヘキサヨードト
リシラン、１，３−ジ−ｉ−プロピルヘキサヨードトリ
シラン、１，３−ジ−ｔ−ブチルヘキサヨードトリシラ
ン、１，３−ジ（１−メチルプロピル）ヘキサヨードト
リシラン、１，３−ジシクロヘキシルヘキサヨードトリ
シラン、１，３−ジ−α−フェネチルヘキサヨードトリ
シラン、１，３−ビス（トリメチルシリル）ヘキサヨー
ドトリシラン、１，１，１−トリ−ｉ−プロピルペンタ
ヨードトリシラン、１，１，１−トリ−ｔ−ブチルペン
タヨードトリシラン、１，１，１−トリ（１−メチルプ
ロピル）ペンタヨードトリシラン、１，１，１−トリシ
クロヘキシルペンタヨードトリシラン、１，１，１−ト
リ−α−フェネチルペンタヨードトリシラン、１，１，
１−トリス（トリメチルシリル）ペンタヨードトリシラ
ン、１，１，２−トリ−ｉ−プロピルペンタヨードトリ
シラン、１，１，２−トリ−ｔ−ブチルペンタヨードト
リシラン、１，１，２−トリ（１−メチルプロピル）ペ
ンタヨードトリシラン、１，１，２−トリシクロヘキシ
ルペンタヨードトリシラン、１，１，２−トリ−α−フ
ェネチルペンタヨードトリシラン、１，１，２−トリス
（トリメチルシリル）ペンタヨードトリシラン、１，
２，３−トリ−ｉ−プロピルペンタヨードトリシラン、
１，２，３−トリ−ｔ−ブチルペンタヨードトリシラ
ン、１，２，３−トリ（１−メチルプロピル）ペンタヨ
ードトリシラン、１，２，３−トリシクロヘキシルペン
タヨードトリシラン、１，２，３−トリ−α−フェネチ
ルペンタヨードトリシラン、１，２，３−トリス（トリ
メチルシリル）ペンタヨードトリシラン等が挙げられ
る。

【００３６】キッピング法によれば、上記のハロゲノシ
ラン化合物が、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金
属の存在下、縮合反応せしめられるが、通常この反応は
不活性溶媒中で行われる。この反応は通常ウルツ型の縮
合反応と称される。反応溶媒としては、トルエン、キシ
レン、ヘプタン、デカン、ドデカンなどの炭化水素溶
媒、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、メチル
ブチルエーテル、ジメトキシエタン、テトラヒドロフラ
ン（ＴＨＦ）、ジオキサンなどのエーテル溶媒の１種も
しくは２種以上が使用できる。溶媒の使用量は、ハロゲ
ノシラン化合物１容量部当り、通常１〜１００容量部、
好ましくは５〜５０容量部の範囲にある。アルカリ金属
としては、リチウム、カリウム、ナトリウムが挙げら
れ、アルカリ土類金属としては、マグネシウム、カルシ
ウムが挙げられる。もちろん、これらの金属を複数種組
み合わせて使用することもできる。これら金属の使用量
は、ハロゲノシラン化合物１モル当り、通常１〜１００
モル、好ましくは１〜５０モルの範囲で選ばれる。

【００３７】ハロゲノシラン化合物とアルカリ金属及び
／又はアルカリ土類金属の存在下縮合反応させるに際し
ては、まず反応溶媒に金属を分散させ、これにハロゲノ
シラン化合物を滴下するか、あるいは反応溶媒に分散さ
せた金属を、反応溶媒に溶解させたハロゲノシラン化合
物に滴下する方法が採用される。この反応は、アルゴ
ン、窒素等の不活性ガス雰囲気中で行うことが好まし
く、超音波を照射しながら行うこともできる。反応温度
は０〜250 ℃、好ましくは25〜210 ℃に保持される。反
応圧力は常圧〜200kg/cm²、好ましくは常圧〜100kg/cm²
である。反応時間は反応温度や使用する金属の種類によ
って異なるが、通常５分〜２４時間、好ましくは30分〜
２４時間、反応を行うことで、目的の縮合物を生成させ
ることができる。また、反応系に１２−クラウン４、１
５−クラウン−５、１８−クラウン−６、ジベンゾ−１
２−クラウン４、ジベンゾ−１５−クラウン５、ジベン
ゾ−１８−クラウン−６などのクラウンエーテル類やテ
トラメチルエチレンジアミンなどのジアミン類などを添
加しても差し支えない。これら添加物の使用量は、ハロ
ゲノシラン化合物１モル当り、通常０．０１〜１００モ
ル、好ましくは０．０１〜５０モルの範囲にある。

【００３８】反応終了後は、反応系にメタノール等のア
ルコールを加えて未反応金属等を不活性化した後、反応
溶液を水洗いして副反応物であるNaCl等の塩類を取り除
き、反応溶液をメタノール、エタノール、ＩＰＡ、酢酸
エチル、ペンタン、ヘキサン等に滴下して縮合物を沈降
させて、精製した縮合物を得ることができる。その他、
反応溶液をフロリジルなどのカラムに通して精製するこ
ともできる。また、これらの方法を組み合わせて精製す
ることもできる。

【００３９】シリコンポリマーとしては、溶媒可溶のも
のが後工程に供する観点から好ましく。かかる溶媒とし
ては、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの炭化水素系
溶媒や、テトラヒドロフラン、ジブチルエーテルなどの
エーテル系溶媒や、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエス
テル系溶媒などを例示することができる。前述の通り、
本発明は、有機置換基を有するシリコンポリマーを分解
することにより得られる生成物を半導体層に用いること
を特徴とする。本発明での分解とは、 １．シリコンポリマーの（側鎖）有機置換基の全部ある
いは（側鎖）有機置換基の一部が脱離する場合、 ２．シリコンポリマーの有機置換基全部あるいは有機置
換基の一部分がポリマー骨格のSi-Si結合間に取り込ま
れて、主鎖構造を形成する場合、 ３．ポリマー骨格のSi-Si結合の切断・再結合が起こ
り、主鎖骨格の組み替えが起こる場合、 ４．ポリマー骨格のSi原子と側鎖有機置換基との間の結
合の切断・再結合が起こり、ポリマー構造に変化が起こ
る場合、 ５．ポリマー骨格のSi-Si結合が切断して、ポリマー骨
格を形成していたSi原子を含む原子団が脱離する場合、 ６．上記１〜５の変化が起こると同時に、あるいは上記
１〜５の変化を経て、新しいSi-Si結合が生成する場
合、 ７．新しいSi-Si結合が生成する結果、上記１〜５の変
化が起こる場合、 ８．上記１〜７の変化が起こる時に、分解雰囲気に共存
しているシリコンポリマー以外の分子あるいは分子の一
部が、共有結合やイオン結合や配位結合や物理吸着や物
理的な閉じ込め（籠効果）などによって、シリコンポリ
マー分解物に取り込まれる場合、 ９．分解雰囲気に共存しているシリコンポリマー以外の
分子あるいは分子の一部が、上記１〜７の変化を誘発す
る場合、 １０．分解雰囲気に共存しているシリコンポリマー以外
の分子あるいは分子の一部が、上記１〜７の変化を誘発
し、かつ、その分子あるいは分子の一部が、共有結合や
イオン結合や配位結合や物理吸着や物理的な閉じ込め
（籠効果）などによって、シリコンポリマー分解物に取
り込まれる場合、 などの変化が少なくとも一種類以上起こる場合のことを
言う。シリコンポリマーの分解は、上記変化を起こしう
る反応である限り特に限定されないが、例えば熱分解、
熱分解、赤外線加熱による分解、マイクロウェーブ加熱
による分解、紫外線による光分解、グロー放電による分
解、イオン化ガスによる分解、塩化水素などのプロトン
酸や三フッ化ホウ素や三塩化アルミなどのルイス酸によ
る酸分解で行うことができる。これらの方法は異なった
二種類以上の方法を併用することも可能である。赤外線
加熱による分解の場合、赤外線の放射源として赤外線ラ
ンプやネサ半導体やセラミックスやレーザーなどを利用
することができ、照射する赤外線の波長は０．７５μｍ
〜２００μｍ、好ましくは０．７５μｍ〜１００μｍで
ある。マイクロウェーブ加熱による分解の場合、電子レ
ンジのようにオーブン内でマイクロウェーブを照射する
こともできるし、導波管でマイクロウェーブを分解する
物まで誘導して照射することもできる。使用する波長は
１ｍｍ〜１ｍ、好ましくは１ｃｍ〜１ｍである。紫外線
による光分解の場合、光源として水銀灯、炭素アーク
灯、火花放電、水素または希ガスの放電管、電子シンク
ロトロンなどを用いることができ、照射する波長は１ｎ
ｍ〜３８０ｎｍ、好ましくは１０ｎｍ〜３８０ｎｍであ
る。グロー放電による分解の場合、放電を起こさせる電
力としては、直流、ラジオ周波数、高周波、マイクロ波
などの電源を用いることができる。イオン化ガスによる
分解の場合、イオン化ガス源としては、窒素、アルゴン
などを用いることができる。また、イオン化させるエネ
ルギー源には、直流、ラジオ周波数、高周波、マイクロ
波などの電源を用いることができる。塩化水素などのプ
ロトン酸や三フッ化ホウ素や三塩化アルミなどのルイス
酸による酸分解の場合は、分解する雰囲気に気体状の酸
を存在させてもよいし、液体状の酸あるいは酸の溶液に
分解する物を浸して行っても良い。分解に際しては、シ
リコンポリマーをそのまま分解することもできるし、粉
末状や繊維状やペレット状に成形したり、キャストした
膜を分解することもできる。また、蒸着やＣＶＤやスパ
ッタリングなどの技法を用いることもできる。キャスト
する場合は、適当な基板上に、シリコンポリマーを溶媒
に溶かしてキャストしてもよいし、シリコンポリマーが
液体のときはそのままキャストしてもよい。蒸着やＣＶ
Ｄやスパッタリングなどの技法を用いる場合は、適当な
基板の上にシリコンポリマー分解物を堆積させる。この
場合の基板としては、結晶シリコン、炭素、導電性金
属、導電性金属酸化物、導電性金属または導電性金属酸
化物で表面を処理したガラス、石英、セラミック、プラ
スチックなどの材質が使用される。導電性金属として
は、例えば、金、白金、銀、銅、アルミニウム、チタニ
ウム、モリブデン、タングステン、クロム、ニッケル、
鉄などを用いることができる。また、これらの合金を用
いることもできる。導電性金属酸化物としては、例え
ば、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウムスズなどが挙
げられる。プラスチックとしては、例えば、ポリイミ
ド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタ
レート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエ
ーテルケトンなどが挙げられる。基板の形状は、板状、
箔状、シート状、棒状、円柱状、円筒状など任意である
が、光起電力素子としての用途を考えると、板状、箔
状、シート状が好ましい。分解を行う雰囲気は、１０^-5
〜１０⁴Pa、好ましくは１０^-3〜１０³Paの真空下、窒素
やアルゴンなどの不活性ガス雰囲気下、水素等の還元性
ガスまたは係る還元性ガスと前記不活性ガスの混合ガス
などの還元性雰囲気下で行うことができる。この際、還
元性ガスと不活性ガスの混合ガスを用いる場合の混合比
は通常還元性ガスが0.01〜100vol%未満、好ましくは1〜
50vol%が望ましい。ガス雰囲気下の場合、その圧力は１
０⁰Pa〜１０⁸Pa、好ましくは１０¹Pa〜１０⁷Paである。
分解温度は０〜１４００℃、好ましくは２０〜１０００
℃である。分解に要する時間は、０．００１秒〜１００
時間、好ましくは０．０１秒〜１０時間である。

【００４０】本発明の光起電力素子は、有機置換基を有
するシリコンポリマーの分解物を半導体層に用いること
が特徴であるが、該有機置換基を有するシリコンポリマ
ーの分解物は通常半導体的物質であり、Ｐ型、Ｉ型、Ｎ
型のいずれも製造可能であるが、Ｉ型になる場合が多
い。本発明における有機置換基を有するシリコンポリマ
ーの分解物を用いた光起電力素子では、ドナーまたはア
クセプターとなる化合物で処理することによって、Ｎ型
またはＰ型の分解物を製造することができる。ドナー化
合物としては、例えば、ＡｓＨ₃、ＡｓＦ₃、ＡｓＣ
ｌ₃、ＡｓＢｒ₃、ＡｓＩ₃、などで例示される砒素の水
素化物またはハロゲン化物や、ＣＨ₃ＡｓＢｒ₂、ＣＨ₃
ＡｓＩ₂、ＣＨ₃ＡｓＨ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＡｓＢｒ₂、Ｃ₂Ｈ₅Ａｓ
Ｃｌ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＡｓＨ₂、(ＣＨ₃)₂ＡｓＢｒ、(ＣＨ₃)₂Ａ
ｓＣｌ、(ＣＨ₃)₂ＡｓＩ、(ＣＨ₃)₂ＡｓＨ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂
ＡｓＢｒ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＡｓＣｌ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＡｓＩ、(Ｃ₂
Ｈ₅)₂ＡｓＨ、t-Ｃ₄Ｈ₉ＡｓＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＡｓＨ₂、(Ｃ
₆Ｈ₅)₂ＡｓＨ、(ＣＨ₃)₂ＡｓＣｌ₃、(ＣＨ₃)₃ＡｓＣ
ｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＡｓＣｌ₄、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＡｓＣｌ₃、(Ｃ₆Ｈ₅)
₃ＡｓＣｌ₂、(t-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ａｓ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃ＡｓＩ₂、
(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＡｓＣＨ₃、(Ｃ₆Ｈ₅)₃Ａｓ、(cyclohexyl)₃Ａ
ｓ、(o-tolyl)₃Ａｓ、(p-tolyl)₃Ａｓ、(Ｃ₆Ｈ₅)₅Ａｓ
などで例示される有機砒素化合物、ＳｂＦ₃、ＳｂＦ₅、
ＳｂＣｌ₃、ＳｂＢｒ₃、ＳｂＩ₃などののようなアンチ
モンのハロゲン化物や、ＣＨ₃ＳｂＣｌ₂、ＣＨ₃Ｓｂ
Ｉ₂、ＣＨ₃ＳｂＨ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＳｂＩ₂、(ＣＨ₃)₂ＳｂＢ
ｒ、(ＣＨ₃)₂ＳｂＩ、(ＣＨ₃)₂ＳｂＨ、(ＣＨ₃)₃ＳｂＢ
ｒ₂、(ＣＨ₃)₃ＳｂＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＳｂＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅Ｓ
ｂＩ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＳｂＨ₂、(Ｃ₂Ｈ₅)₃Ｓｂ、ＣＨ₃Ｃ₂Ｈ₅Ｃ
₆Ｈ₅Ｓｂ、(t-Ｃ₄Ｈ₉)₂ＳｂＣｌ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ｓｂ、
(Ｃ₂Ｈ₅)₅Ｓｂ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＳｂＣｌ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂Ｓｂ
Ｈ、(cyclohexyl)₂ＳｂＨ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｓｂ、(t-Ｃ₄Ｈ
₉)₃Ｓｂ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＣＨ₃Ｓｂ、(cyclopentadienyl)₃Ｓ
ｂ、(Ｃ₆Ｈ₅)₃ＳｂＢｒ₂、(Ｃ₆Ｈ₅)₃ＳｂＣｌ₂、(Ｃ₆Ｈ
₅)₃Ｓｂ、(cyclohexyl)₃ＳｂＣｌ₂、(cyclohexyl)₃Ｓ
ｂ、(Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂)₃Ｓｂ、(Ｃ₆Ｈ₅)₄ＳｂＢｒ、(Ｃ
₆Ｈ₅)₅Ｓｂなどで例示される有機アンチモン化合物、Ｐ
Ｈ₃、ＰＣｌ₃、ＰＢｒ₃、ＰＩ₃、Ｐ₂Ｉ₄、ＰＦ₅、ＰＣ
ｌ₅、ＰＢｒ₅、ＰＯＣｌ₃、ＰＯＢｒ₃、ＰＯＩ₃などの
ようなリンの水素化物、ハロゲン化物や、ＣＨ₃ＰＣ
ｌ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＰＣｌ₂、t-Ｃ₄Ｈ₉ＰＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＰＣ
ｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂ＰＣｌ₂、(ＣＨ₃)₂ＰＣｌ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂
ＰＣｌ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＰＣｌ、ＣＨ₃ＰＢｒ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＰＢ
ｒ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＰＢｒ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂ＰＢｒ₂、(ＣＨ₃)₂Ｐ
Ｂｒ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＰＢｒ、t-Ｃ₄Ｈ₉ＰＢｒ₂、(Ｃ₆Ｈ₅)₂
ＰＢｒ、ＣＨ₃ＰＩ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＰＩ₂、t-Ｃ₄Ｈ₉ＰＩ₂、Ｃ
₆Ｈ₅ＰＩ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂ＰＩ₂、(ＣＨ₃)₂ＰＩ、(Ｃ
₂Ｈ₅)₂ＰＩ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＰＩ、ＣＨ₃ＰＨ₂、Ｃ₂Ｈ₅Ｐ
Ｈ₂、t-Ｃ₄Ｈ₉ＰＨ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＰＨ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂Ｐ
Ｈ₂、(ＣＨ₃)₂ＰＨ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＰＨ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＰＨ、
(ＣＨ₃)₃Ｐ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｐ、(Ｃ₆Ｈ₅)₃Ｐ、(Ｃ₂Ｈ₅)
(Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂)(Ｃ₆Ｈ₅)Ｐ、(Ｃ₂Ｈ₅)(Ｃ₆Ｈ₅ＣＨ₂)(Ｃ₄
Ｈ₉)Ｐ、(Ｃ₂Ｈ₅)(Ｃ₆Ｈ₅)ＰＯ、(Ｃ₆Ｈ₅)ＰＯＣｌ₂な
どで例示される有機リン化合物などを挙げることができ
る。これらの各ドナー化合物は、２種以上を組み合わせ
て使用することが可能である。

【００４１】アクセプター化合物としては、ＢＨ₃、Ｂ₂
Ｈ₆、ＢＦ₃、ＢＣｌ₃、ＢＢｒ₃、ＢＩ₃などのようなホ
ウ素の水素化物又はハロゲン化物、ＣＨ₃ＢＢｒ₂、ＣＨ
₃ＢＣｌ₂、ＣＨ₃ＢＦ₂、ＣＨ₃ＢＩ₂、ＣＨ₃ＢＨ₂、Ｃ₂
Ｈ₅ＢＢｒ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＢＣｌ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＢＦ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＢＩ
₂、(ＣＨ₃)₂ＢＢｒ、(ＣＨ3)2ＢＣｌ、(ＣＨ3)2ＢＦ、
(ＣＨ3)2ＢＩ、(ＣＨ3)2ＢＨ、Ｃ₂Ｈ₅ＢＨ₂、(ＣＨ₃)₃
Ｂ、n-Ｃ₄Ｈ₉ＢＣｌ₂、n-Ｃ₄Ｈ₉ＢＦ₂、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＢＢ
ｒ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＢＣｌ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＢＨ、(ＣＨ₃)₂Ｃ₂Ｈ₅
Ｂ、(cyclopentyl)ＢＨ₂、(1,2-dimetylpropyl)ＢＨ₂、
Ｃ₆Ｈ₅ＢＢｒ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＢＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＢＦ₂、Ｃ₆Ｈ₅
ＢＩ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＢＨ₂、(cyclohexyl)ＢＨ₂、(n-hexyl)Ｂ
Ｂｒ₂、(n-hexyl)ＢＦ₂、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₂ＢＣｌ、(1,1,2-t
rimetylpropyl)ＢＨ₂、(Ｃ₂Ｈ₅)₃Ｂ、(Ｎ(ＣＨ₃)₂)
₃Ｂ、2-norbornylＢＨ₂、9-ＢＢＮ、(i-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ｂ、(n
-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ｂ、(cyclopentyl)₂ＢＢｒ、(cyclopentyl)₂
ＢＣｌ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＢＢｒ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＢＣｌ、(cyclohe
xyl)₂ＢＣｌ、(cyclohexyl)₂ＢＨ、(1,1,2-trimetylpro
pyl)₂ＢＨ、(t-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｂ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｂ、(sec-Ｃ₄
Ｈ₉)₃Ｂ、(cyclopentyl)₃Ｂ、(1,2-dimetylpropyl)
₃Ｂ、(cyclohexyl)₃Ｂなどで例示される有機ホウ素化合
物や、これらホウ素化合物と、エーテル、アミン、アル
コール、フェノールなどとの錯化合物、ＡｌＣｌ₃、Ａ
ｌＢｒ₃、などのアルミニウムハロゲン化物、t-Ｃ₄Ｈ₉
ＡｌＣｌ₂、i-Ｃ₄Ｈ₉ＡｌＣｌ₂、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＡｌＦ、(Ｃ
₂Ｈ₅)₂ＡｌＣｌ、Ｃ₂Ｈ₅ＡｌＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＡｌＢｒ₂、
Ｃ₆Ｈ₅ＡｌＣｌ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＡｌＩ₂、Ｃ₆Ｈ₅ＡｌＨ₂、(i-
Ｃ₃Ｈ₇)₂ＡｌＣｌ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₂ＡｌＣｌ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₂
ＡｌＨ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₂ＡｌＣｌ、(t-Ｃ₄Ｈ₉)₂ＡｌＣｌ、
(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＡｌＢｒ、(Ｃ₆Ｈ₅)₂ＡｌＨ、(cyclohexyl)₂
ＡｌＨ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₂ＡｌＨ、(ＣＨ₃)₃Ａｌ、(Ｃ₂Ｈ₅)₃
Ａｌ、(i-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ａｌ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ａｌ、(Ｃ₆Ｈ₅Ｃ₂
Ｈ₅)₂Ａｌ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ａｌ、(t-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ａｌ、(i-Ｃ
₄Ｈ₉)₃Ａｌなどで例示される有機アルミニウム化合物、
ＧａＣｌ₃、ＧａＢｒ₃、ＧａＩ₃などのガリウムハロゲ
ン化物や、ＣＨ₃ＧａＨ₂、Ｃ₂Ｈ₅ＧａＣｌ₂、(ＣＨ₃)₂
ＧａＣｌ、n-Ｃ₃Ｈ₇ＧａＣｌ₂、(ＣＨ₃)₃Ｇａ、(Ｃ
₂Ｈ₅)₂ＧａＣｌ、(Ｃ₂Ｈ₅)₂ＧａＨ、cyclohexylＧａＣ
ｌ₂、(Ｃ₂Ｈ₅)₃Ｇａ、n-HeptylＧａＣｌ₂、(i-Ｃ₃Ｈ₇)₃
Ｇａ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₃Ｇａ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｇａ、(t-Ｃ₄Ｈ₉)
₃Ｇａ、(sec-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｇａ、(i-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｇａ、(Ｃ
₆Ｈ₅)₃ Ｇａなどで例示される有機ガリウム化合物、Ｉ
ｎＣｌ₃、ＩｎＢｒ₃などのインジウムハロゲン化合物
や、(ＣＨ₃)₂ＩｎＢｒ、(ＣＨ₃)₃Ｉｎ、(Ｃ₂Ｈ₅)₃Ｉｎ
Ｃｌ、(Ｃ₃Ｈ₅)₃ＩｎＦ、(Ｃ₃Ｈ₅)₃Ｉｎ、(n-Ｃ₃Ｈ₇)₃
Ｉｎ、(n-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｉｎ、(i-Ｃ₄Ｈ₉)₃Ｉｎ、(Ｃ₆Ｈ₅)₃
Ｉｎなどで例示される有機インジウム化合物などを挙げ
ることができる。これらの各アクセプター化合物も、２
種以上を組み合わせて使用することができる。

【００４２】これらのドナーまたはアクセプターとなる
化合物による処理の方法としては、特に限定されない
が、シリコンポリマーを製造する際にそのポリマーを誘
導するところ原料（即ち原料モノマー）に混合または共
存してもよいし、分解前にシリコンポリマーに混ぜても
よいし、シリコンポリマーを分解する時に気体状、液体
状、あるいは固体状で共存させてもよいし、分解物を製
造した後で気体状、液体状、あるいは固体状の上記ドナ
ーまたはアクセプター化合物で処理してもよい。また、
これら処理の方法は２種類以上を組み合わせて行うこと
もできる。シリコンポリマーを合成する際に原料モノマ
ーにドナーまたはアクセプターとなる化合物を混合する
場合の混合比は、原料モノマー1モルに対してドナーま
たはアクセプター化合物を1x10^-10モル〜100モル、好ま
しくは1x10^-10モル〜1モルである。混合の方法は、原料
モノマーとドナーまたはアクセプター化合物を別々に反
応器に仕込んで反応器内で混合しても良いし、反応器に
仕込む前にあらかじめ原料モノマーに混合しておいても
良い。分解前にシリコンポリマーに混ぜる場合の混合比
は、原料ポリマー１ｇに対してドナーまたはアクセプタ
ー化合物を１×１０^-10 〜１０００ｇ、好ましくは１×
１０^-10〜１００ｇである。混合の方法は、ポリマーと
ドナーまたはアクセプター化合物をそのままで混合して
もよいし、どちらかを溶液にして混合してもよいし、両
方とも溶液にして混合してもよい。シリコンポリマーを
分解する時に気体状、液体状、あるいは固体状で共存さ
せる場合は、分解雰囲気に気体状のドナーまたはアクセ
プター化合物を０．１ｖｏｌ．ｐｐｂ〜１００ｖｏｌ
％、好ましくは１ｖｏｌｐｐｂ〜１００ｖｏｌ％の濃度
で共存させるか、分解する物の表面に液体状あるいは濃
度０．１ｖｏｌｐｐｂ以上のドナーまたはアクセプター
化合物の溶液を塗るか、分解する物を液体状あるいは濃
度０．１ｖｏｌｐｐｂ以上のドナーまたはアクセプター
化合物の溶液に浸した後で分解するか、分解する物の表
面に固体状のドナーまたはアクセプター化合物をまぶす
などして分解することができる。分解物を製造した後で
気体状、液体状、あるいは固体状の上記ドナーまたはア
クセプター化合物で処理する場合は、気体状のドナーま
たはアクセプター化合物が０．１ｖｏｌ．ｐｐｂ〜１０
０ｖｏｌ％、好ましくは１ｖｏｌｐｐｂ〜１００ｖｏｌ
％の濃度で存在している雰囲気中に分解物を置くか、分
解物の表面に液体状あるいは濃度０．１ｖｏｌｐｐｂ以
上、好ましくは１ｖｏｌｐｐｂ以上のドナーまたはアク
セプター化合物の溶液を塗るか、分解物を液体状あるい
は濃度０．１ｖｏｌｐｐｂ以上のドナーまたはアクセプ
ター化合物の溶液に浸すか、分解物の表面に固体状のド
ナーまたはアクセプター化合物をまぶすなどして処理す
ることができる。この場合、処理温度は−２００〜２０
００℃、好ましくは０〜１４００℃であり、処理時間は
１秒〜１００時間、好ましくは１秒〜１０時間である。
かくして得られる該シリコンポリマー分解物の外見は黄
色〜焦げ茶色、あるいは光沢のある銀鏡状の物質であ
る。膜状の場合、膜厚は通常０．０１μｍ〜５００μ
ｍ、好ましくは０．１μｍ〜５０μｍである。光学的バ
ンドギャップ（Ｅｏ）の値は通常０．１〜４．０ｅＶ、
好ましくは０．５〜２．５ｅＶである。

【００４３】本発明の光起電力素子は、前述のシリコン
ポリマーの分解物を半導体層に用いることが特徴である
が、その素子の接合形態としては、ＰＮ接合、ＰＩＮ接
合、ショットキー接合などを用いることが好ましい。Ｐ
Ｎ接合の場合は、Ｐ型（またはＮ型）のシリコンポリマ
ー分解物の表面にＮ型（またはＰ型）のシリコンポリマ
ー分解物を形成してもよいし、別々に形成したＰ型およ
びＮ型のシリコンポリマー分解物を貼り合わせてもよ
い。ＰＩＮ接合の場合は、Ｐ型（またはＮ型）のシリコ
ンポリマー分解物の表面にＩ型のシリコンポリマー分解
物を形成して、さらにその表面にＮ型（またはＰ型）の
シリコンポリマー分解物を形成してもよいし、別々に形
成したＰ型、Ｉ型、およびＮ型のシリコンポリマー分解
物を貼り合わせてもよい。あるいは、Ｐ型（またはＮ
型）のシリコンポリマー分解物の表面にＩ型のシリコン
ポリマー分解物を形成して、さらにその表面に別に形成
したＮ型（またはＰ型）のシリコンポリマー分解物を貼
り合わせてもよい。ショットキー接合の場合は、シリコ
ンポリマー分解物の表面に金属層を形成するか、金属層
の表面にシリコンポリマーの分解物を形成させる。ある
いはシリコンポリマー分解物と金属層を貼り合わせても
よい。この場合、金属には、アルミニウム、クロム、白
金、銅、金などを用いることができる。金属層とシリコ
ンポリマー分解物層との間には、酸化ケイ素膜のような
絶縁層を設けることも可能である。接合形成条件は接合
形態および接合方法によって異なるが、シリコンポリマ
ー分解物の表面にさらにシリコンポリマー分解物を形成
していく場合は、シリコンポリマーの分解またはドナー
あるいはアクセプター化合物での処理を行うと同時に接
合が形成されるので、接合形成条件はシリコンポリマー
の分解条件またはドナーあるいはアクセプター化合物で
の処理条件に準ずる。別々に形成したシリコンポリマー
分解物を貼り合わせる場合、その形成温度は−２００℃
〜２０００℃、好ましくは０〜１４００℃であり、形成
雰囲気は１０^-5〜１０⁴Pa、好ましくは１０^-3〜１０³Pa
の真空下、窒素やアルゴンなどの不活性ガス雰囲気下、
水素等の還元性ガスまたは係る還元性ガスと前記不活性
ガスの混合ガスなどの還元性雰囲気下で行うことができ
る。ガス雰囲気下の場合、その圧力は１０⁰Pa〜１０⁸P
a、好ましくは１０¹Pa〜１０⁷Paである。形成時間は1秒
〜100時間、好ましくは1秒〜10時間である。Ｐ型、Ｉ
型、Ｎ型のそれぞれの層の厚さは通常０．０１μｍ〜５
００μｍ、好ましくは０．１μｍ〜５０μｍである。前
述のとおり、本発明の光起電力素子は、シリコンポリマ
ーの分解物を半導体層に用いるが、起電力を取り出すた
めには、各種電極が配置される。即ち、本発明の光起電
力素子は、通常表面電極、半導体部分、対極（裏面電
極）を基本構成とする。起電力を取り出すための表面電
極には、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウムスズなど
の導電性金属酸化物や、金、白金、銀、銅、アルミニウ
ム、チタニウム、モリブデン、タングステン、クロム、
ニッケル、鉄などの導電性金属や、これら金属の合金を
用いることもできる。導電性金属の場合は、光が充分透
過できる厚さであることが必要で、一般には、５０〜５
００オングストローム程度であることが好ましい。裏面
電極には、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウムスズな
どの導電性金属酸化物や、金、白金、銀、銅、アルミニ
ウム、チタニウム、モリブデン、タングステン、クロ
ム、ニッケル、鉄などの導電性金属またはこれら金属の
合金や、炭素、結晶シリコンなどを用いることができ
る。両電極の形成方法は、ゾル・ゲル法、スプレー法な
どの金属化合物の塗布・分解法、ペースト塗布法などの
塗布による方法や、蒸着法やスパッタリングなどの気相
形成法など既知の方法で行うことができる。なお、電極
の形成方法は、例えば、高橋、浜川、後川編「太陽光発
電」（1980年、森北出版刊）、桑野著「太陽電池とその
応用」（1985年、パワー社刊）、浜川、桑野共編「太陽
エネルギー工学」（1994年、培風館刊）などに記載され
ている。また、本発明の起電力素子の形態としては、シ
リコンポリマーの分解物を半導体層に用いること以外は
特に限定されず、その形態は本発明の目的を損なわない
以外特に限定されなく、さらなる構成材を追加してもよ
い。例えば、強度等を維持するため表層に各種透光性の
基板を配しても良く、また支持体として実質的に不透明
な裏面等に基板を配しても良い。また、複数の素子を組
み合わせて用いても良い。

【００４４】

【実施例】以下実施例により本発明を説明するが、本発
明はこれら実施例に限定させるものではない。 実施例１ （１）シリコンポリマーの合成 1000mlオートクレーブに、1,2-ジメチルプロピルシラン
(11.96g、0.117mol)、シランガス(2kg/cm²、0.071mo
l)、ビスシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリド
(0.347g、1.19mmol)、トリストリメチルシリルシリルリ
チウム・テトラヒドロフラン錯体(1.124g、2.37mmol)、
および乾燥トルエン(15ml)を仕込み、200℃で5時間攪拌
した。反応混合物をトルエンで希釈してミリポアフィル
ター(0.2μm)で加圧ろ過した。ろ液を真空乾燥して、焦
げ茶色の固体(4.40g)を得た。この固体をトルエン(15m
l)に溶解して、トリフルオロ酢酸(5ml)を加え、80℃で1
時間攪拌した。この反応溶液をメタノール(200ml)に滴
下して固体を析出させ、ミリポアフィルター(0.2μm)で
固体成分を加圧ろ別し、室温で減圧乾燥した。その結
果、薄黄色のシリコンポリマー粉末(2.75g)を得た。GPC
分析より、薄黄色粉末のMwは6300であった(ポリスチレ
ン換算)。ESCA分析より、得られたシリコンポリマーの
炭素とケイ素の元素比は65:35であり、これより、1,2-
ジメチルプロピルシラン由来のユニットとシランガス由
来のユニットの比率は、(1,2-ジメチルプロピルシラン
ユニット):(シランガスユニット)=37:63であることがわ
かった。また、1HNMR分析より、1,2-ジメチルプロピル
プロトンとSi-Hプロトンの積分比を求めたところ、(1,2
-ジメチルプロピルプロトン):(Si-Hプロトン)=11:1.7で
あり、これより、このシリコンポリマーは有機置換基を
有し、シリコンポリマーの構造は前記化式２の単位構造
が支配的である。 （２）光起電力素子の製造 上記で得られたシリコンポリマーをキシレンに溶かして
10mass%のキシレン溶液とし、モリブデン薄膜(100nm)を
コーティングした石英ガラス板(5cm角)上にスピンコー
トした(1600rpm、5秒間)。これを、水素気流下(2000ml/
分)600℃で3時間熱分解して、茶色透明のシリコンポリ
マー分解物の薄膜(0.202μm)を得た。この上に金を真空
蒸着(90オングストローム)した。基板を1cm角に切断し
た後、モリブデン薄膜層と金薄膜層にリード線を金ペー
ストで付けた。こうして作製した素子の金薄膜面側にソ
ーラーシミュレーター(AM1.5、100mW/cm²)で疑似太陽光
を照射したところ、開放電圧(Voc)2.8mV、短絡電流(Is
c)0.4μAが観測された。 実施例２ （１）シリコンポリマーの合成 1000ml三口フラスコに、金属ナトリウム(9.98g、434mmo
l)、12-クラウン-6(2.2g、12.5mmol)、乾燥トルエン(25
0ml)を入れて、窒素雰囲気下、リフラックス温度で激し
く攪拌した。ここへ、ベンジルトリクロロシラン(26.6
g、118mmol)を30分かけて滴下した。リフラックス攪拌
を3時間した後、室温まで冷却して、メタノール(400ml)
を10分かけて滴下した。反応混合物を分液漏斗に移し
て、ジエチルエーテル(600ml)を加え、水洗(200mlx4回)
した。ジエチルエーテル層を硫酸マグネシウムで乾燥し
た後、減圧濃縮して、黄色の粘い液体(10.7g)を得た。
この液体をトルエン(30ml)の溶かし、メタノール(300m
l)に滴下して、沈降精製した。沈殿を濾別して真空乾燥
し、薄黄色粉末状のシリコンポリマーを得た(2.30g)。G
PC分析より、薄黄色粉末のMwは1300であった(ポリスチ
レン換算)。 （２）光起電力素子の製造 上記で得られたシリコンポリマーをキシレンに溶かして
10mass%のキシレン溶液とし、酸化インジウムスズをコ
ーティングしたガラス板(コーニング製#7059、5cm角)上
にスピンコートした(1600rpm、4秒間)。これを、アルゴ
ン気流下(2000ml/分)400℃で3時間熱分解して、赤茶色
透明のシリコンポリマー分解物の薄膜(0.130μm)を得
た。この上に金を真空蒸着(1000オングストローム)し
た。基板を1cm角に切断した後、酸化インジウムスズ膜
層と金薄膜層にリード線を金ペーストで付けた。こうし
て作製した素子の基板ガラス面側にソーラーシミュレー
ター(AM1.5、100mW/cm²)で疑似太陽光を照射したとこ
ろ、開放電圧(Voc)9.0mV、短絡電流(Isc)0.03μAが観測
された。

【００４５】

【発明の効果】本発明の光起電力素子は、低コストかつ
無公害で、単一素子として比較的大面積が可能であり、
また製造も容易であり、量産に適するなど多くの特長を
有する。また、本発明の光起電力素子は太陽電池を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で作製した光起電力素子の構造を示す
説明図。

【符号の説明】

１ 金薄膜層 ２ シリコンポリマー分解物層 ３ モリブデン薄膜層 ４ 石英ガラス基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松野 光雄 神奈川県横浜市中区千鳥町８番地 日本石 油株式会社中央技術研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 有機置換基を有するシリコンポリマーを
   分解することにより得られる生成物を半導体層として用
   いることを特徴とする光起電力素子。