JPH08169116A - 液体噴射ヘッド、ヘッドカートリッジ、液体噴射装置、液体吐出方法およびインク注入方法 - Google Patents
液体噴射ヘッド、ヘッドカートリッジ、液体噴射装置、液体吐出方法およびインク注入方法Info
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- Ink Jet (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 １つの液流路内に複数の電気熱変換体を持つ
インクジェットヘッドにおいて、安定的に所望のインク
吐出量を得る、高階調性を高いエネルギー効率で達成す
る。 【解決手段】 １つの液流路内に配された複数の電気熱
変換体の夫々によるインク吐出量の比より、電気熱変換
体の面積比を小とする。
インクジェットヘッドにおいて、安定的に所望のインク
吐出量を得る、高階調性を高いエネルギー効率で達成す
る。 【解決手段】 １つの液流路内に配された複数の電気熱
変換体の夫々によるインク吐出量の比より、電気熱変換
体の面積比を小とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複写機、ファクシ
ミリ、ワープロ、ホストコンピュータの出力用端末とし
てのプリンタ、ビデオプリンタ等に用いられるインクジ
ェット記録ヘッドおよび装置に関し、特に記録のための
エネルギーとして利用される熱エネルギーを発生する電
気熱変換素子を形成した素子基体を有するインクジェッ
ト記録ヘッドおよび装置に関する。なお、ここで、記録
とは、布、糸、紙、シート材等のインク付与を受けるイ
ンク支持体全てへのインク付与等（プリント）を含むも
ので、記録装置は、各種情報処理装置全てあるいはその
出力器としてのプリンタを含むものであり、本発明はこ
れらへの用途が可能なものである。
ミリ、ワープロ、ホストコンピュータの出力用端末とし
てのプリンタ、ビデオプリンタ等に用いられるインクジ
ェット記録ヘッドおよび装置に関し、特に記録のための
エネルギーとして利用される熱エネルギーを発生する電
気熱変換素子を形成した素子基体を有するインクジェッ
ト記録ヘッドおよび装置に関する。なお、ここで、記録
とは、布、糸、紙、シート材等のインク付与を受けるイ
ンク支持体全てへのインク付与等（プリント）を含むも
ので、記録装置は、各種情報処理装置全てあるいはその
出力器としてのプリンタを含むものであり、本発明はこ
れらへの用途が可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は小型
化、低価格化のみならずカラー記録、高画質記録の要求
が高まってきている。これに対し、従来、高画質を実現
するためには記録ヘッドの精密かつ複雑な構成と制御を
必要としていたため、きわめて高価で、装置自体も大き
いものであった。
化、低価格化のみならずカラー記録、高画質記録の要求
が高まってきている。これに対し、従来、高画質を実現
するためには記録ヘッドの精密かつ複雑な構成と制御を
必要としていたため、きわめて高価で、装置自体も大き
いものであった。
【０００３】一方、特開昭５５−１３２２５９号公報に
は、１ノズル内に２つの電気熱変換素子（大小も含む）
を設けることで非常にシンプルな構成でドットサイズを
変調し、高階調、高画質を実現するものが提案されてい
る。この発明は、多値記録を行う上で重要な発明であ
る。
は、１ノズル内に２つの電気熱変換素子（大小も含む）
を設けることで非常にシンプルな構成でドットサイズを
変調し、高階調、高画質を実現するものが提案されてい
る。この発明は、多値記録を行う上で重要な発明であ
る。
【０００４】１ノズル内に１つの電気熱変換素子が配さ
れるタイプのヘッドで、所望の吐出量を得るために行わ
れる設計は、特に電気熱変換素子の発熱領域の面積とノ
ズル形状（特に吐出口面積、ノズル長さや断面積）に着
目して通常成されている。
れるタイプのヘッドで、所望の吐出量を得るために行わ
れる設計は、特に電気熱変換素子の発熱領域の面積とノ
ズル形状（特に吐出口面積、ノズル長さや断面積）に着
目して通常成されている。
【０００５】そして、インクの吐出量と電気熱変換素子
の発熱領域の面積は、ほぼ比例関係にあることが知られ
ており、電気熱変換素子は、他の配線と同様に素子基板
に作り込まれており、ノズルの作成に比べ改良を加える
ことが困難であることが知られている。このため、１ノ
ズル内に１つの電気熱変換素子が配されたタイプのヘッ
ドの設計においては、まず、電気熱変換素子の発熱領域
の面積で大体の吐出量の狙いをつけ、より正確に吐出量
を調整する場合に、加工調整し易い吐出口面積を微妙に
変えて調整を行うという設計を行っていた。
の発熱領域の面積は、ほぼ比例関係にあることが知られ
ており、電気熱変換素子は、他の配線と同様に素子基板
に作り込まれており、ノズルの作成に比べ改良を加える
ことが困難であることが知られている。このため、１ノ
ズル内に１つの電気熱変換素子が配されたタイプのヘッ
ドの設計においては、まず、電気熱変換素子の発熱領域
の面積で大体の吐出量の狙いをつけ、より正確に吐出量
を調整する場合に、加工調整し易い吐出口面積を微妙に
変えて調整を行うという設計を行っていた。
【０００６】
【背景技術】１ノズル内に配された複数の電気熱変換素
子を用いて吐出量変調を行うヘッドにおいては、夫々の
電気熱変換素子の発熱領域の重心から吐出口が設けられ
た位置までの距離（吐出口面までの距離）がほぼ同じな
らば、この距離の違いに伴う、夫々の電気熱変換素子ご
との吐出量の差は考慮しなくてよい。
子を用いて吐出量変調を行うヘッドにおいては、夫々の
電気熱変換素子の発熱領域の重心から吐出口が設けられ
た位置までの距離（吐出口面までの距離）がほぼ同じな
らば、この距離の違いに伴う、夫々の電気熱変換素子ご
との吐出量の差は考慮しなくてよい。
【０００７】このため、１ノズル内に複数の電気熱変換
素子を持つ形態のヘッドの設計においても、その吐出量
を決定する場合１ノズルに１つの電気熱変換素子を持つ
ヘッドの、吐出量と電気熱変換素子の発熱領域面積の比
例関係を利用して、複数の電気熱変換素子における所望
の吐出量の比を電気熱変換素子の発熱領域の面積比と同
じとし、大体の吐出量の狙いをつけて、電気熱変換体の
発熱領域の面積比を決定し、次にオリフィス面積を微妙
に変えた試作によって、より正確に吐出量を調整する設
計を発明者らは行ってみた。ところが、この設計方針に
基づいて記録ヘッドを設計した際、ある程度所望の吐出
量が得られるが、最近の高画質化、高階調性、高精細、
小吐出量化、高エネルギー効率の要求に対応するため、
夫々の電気熱変換体に対応する吐出量をより正確に調整
しようとした場合、要求どおりの階調性を持つインクの
吐出量を得ることが難しいことがわかった。これは、１
ノズル内に設けた複数の電気熱変換素子の発熱領域の面
積比が必ずしも吐出量の比と一致せず、他の要素が複合
的にからむためと考えられる。
素子を持つ形態のヘッドの設計においても、その吐出量
を決定する場合１ノズルに１つの電気熱変換素子を持つ
ヘッドの、吐出量と電気熱変換素子の発熱領域面積の比
例関係を利用して、複数の電気熱変換素子における所望
の吐出量の比を電気熱変換素子の発熱領域の面積比と同
じとし、大体の吐出量の狙いをつけて、電気熱変換体の
発熱領域の面積比を決定し、次にオリフィス面積を微妙
に変えた試作によって、より正確に吐出量を調整する設
計を発明者らは行ってみた。ところが、この設計方針に
基づいて記録ヘッドを設計した際、ある程度所望の吐出
量が得られるが、最近の高画質化、高階調性、高精細、
小吐出量化、高エネルギー効率の要求に対応するため、
夫々の電気熱変換体に対応する吐出量をより正確に調整
しようとした場合、要求どおりの階調性を持つインクの
吐出量を得ることが難しいことがわかった。これは、１
ノズル内に設けた複数の電気熱変換素子の発熱領域の面
積比が必ずしも吐出量の比と一致せず、他の要素が複合
的にからむためと考えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、１ノズ
ル内に複数の電気熱変換体を有するヘッドでは、高精
度、階調性を得るための吐出量の比を得るまでに段階を
おった試作を何度も繰り返すことになり、時間的作業的
にロスが多くなる虞れがある。このため、良好な階調性
を達成できる記録ヘッドの提供を行うことを本発明の課
題とする。
ル内に複数の電気熱変換体を有するヘッドでは、高精
度、階調性を得るための吐出量の比を得るまでに段階を
おった試作を何度も繰り返すことになり、時間的作業的
にロスが多くなる虞れがある。このため、良好な階調性
を達成できる記録ヘッドの提供を行うことを本発明の課
題とする。
【０００９】又、さらに本発明者達は、それぞれ吐出量
を異ならせるために設けられた複数の電気熱変換素子に
要求される吐出安定条件を追求したところ、上述のよう
なヘッド設計を行う上で要求される吐出量の比を、電気
熱変換素子の発熱領域の面積比（好ましくは電気熱変換
素子のサイズと形状）とある関係に置くことで高い階調
性や高エネルギー効率を達成することができることがわ
かった。従ってこの関係を規定することによって良好な
階調性を高いエネルギー効率で得ることをも本発明の課
題である。
を異ならせるために設けられた複数の電気熱変換素子に
要求される吐出安定条件を追求したところ、上述のよう
なヘッド設計を行う上で要求される吐出量の比を、電気
熱変換素子の発熱領域の面積比（好ましくは電気熱変換
素子のサイズと形状）とある関係に置くことで高い階調
性や高エネルギー効率を達成することができることがわ
かった。従ってこの関係を規定することによって良好な
階調性を高いエネルギー効率で得ることをも本発明の課
題である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の夫々の電
気熱変換素子で所望の階調性を持った吐出量を安定的に
得るものである。
気熱変換素子で所望の階調性を持った吐出量を安定的に
得るものである。
【００１１】電気熱変換素子には、実際の吐出エネルギ
ーに寄与する（液体の発砲に寄与する）発熱領域と直接
的には吐出エネルギーとして利用されない（液体の発砲
に寄与しない）発熱領域が存在することがわかった。こ
れは、加熱時に電気熱変換素子の発熱領域に温度分布が
生ずるためで、発熱領域周囲部は中心部より温度が低い
ためインクを加熱発泡する温度には達しない非発泡領域
となり吐出エネルギーとして直接には寄与しない。逆
に、発熱領域のインクを発泡する領域を発泡領域という
ことにする。従って、この考え方に基づいて次なる方法
により複数の電気熱変換素子の設計をすることで安定的
に所望の吐出量を得ることができた。
ーに寄与する（液体の発砲に寄与する）発熱領域と直接
的には吐出エネルギーとして利用されない（液体の発砲
に寄与しない）発熱領域が存在することがわかった。こ
れは、加熱時に電気熱変換素子の発熱領域に温度分布が
生ずるためで、発熱領域周囲部は中心部より温度が低い
ためインクを加熱発泡する温度には達しない非発泡領域
となり吐出エネルギーとして直接には寄与しない。逆
に、発熱領域のインクを発泡する領域を発泡領域という
ことにする。従って、この考え方に基づいて次なる方法
により複数の電気熱変換素子の設計をすることで安定的
に所望の吐出量を得ることができた。
【００１２】第一に、夫々の電気熱変換素子による吐出
量の比をある値に設定しようとした際、電気熱変換素子
の発熱領域の面積をその比よりやや小さい比に設計する
ことが有効である。
量の比をある値に設定しようとした際、電気熱変換素子
の発熱領域の面積をその比よりやや小さい比に設計する
ことが有効である。
【００１３】第二に、より好ましくは、設定しようとす
る夫々の電気熱変換素子による吐出量の比に対し、夫々
の電気熱変換素子の発熱領域の幅の比を、夫々０．１〜
１０μｍの長さを引いたものと同じになるよう設計す
る。
る夫々の電気熱変換素子による吐出量の比に対し、夫々
の電気熱変換素子の発熱領域の幅の比を、夫々０．１〜
１０μｍの長さを引いたものと同じになるよう設計す
る。
【００１４】第三に、更に好ましくは、夫々の電気熱変
換素子による吐出量の比と夫々の電気熱変換素子の有効
発泡面積の比がほぼ一致することである。
換素子による吐出量の比と夫々の電気熱変換素子の有効
発泡面積の比がほぼ一致することである。
【００１５】第四に、第三における有効発泡面積は電気
熱変換素子の面積の周囲から１〜１０μｍの面積を除い
たものである。
熱変換素子の面積の周囲から１〜１０μｍの面積を除い
たものである。
【００１６】以上述べた点は、吐出口が配された位置と
電気熱変換素子の発熱領域の重心位置との距離が１ノズ
ル内の複数の電気熱変換素子間でほぼ同じ（製造ばらつ
き程度３μｍ以内）であり、電気熱変換素子の材質、膜
厚、印加パルス等の駆動条件が実質的に一致している場
合において、特に望ましい条件である。逆に、この方法
によりノズル、電気熱変換素子の設計をすることで、駆
動条件等で夫々の電気熱変換素子の吐出量を微妙に制御
する必要がなく、所望の吐出量を得られる。
電気熱変換素子の発熱領域の重心位置との距離が１ノズ
ル内の複数の電気熱変換素子間でほぼ同じ（製造ばらつ
き程度３μｍ以内）であり、電気熱変換素子の材質、膜
厚、印加パルス等の駆動条件が実質的に一致している場
合において、特に望ましい条件である。逆に、この方法
によりノズル、電気熱変換素子の設計をすることで、駆
動条件等で夫々の電気熱変換素子の吐出量を微妙に制御
する必要がなく、所望の吐出量を得られる。
【００１７】また、吐出量の比を上述のように簡単な方
法で規定できるということは、画像を階調表現する際、
より高い階調特性を得ることができるため、極めて重要
である。
法で規定できるということは、画像を階調表現する際、
より高い階調特性を得ることができるため、極めて重要
である。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明のイン
クジェットヘッドの説明を行う。
クジェットヘッドの説明を行う。
【００１９】なお、以下の実施例で取り扱う液体とは、
記録に用いるインク等の記録液体に限らず、本発明のヘ
ッドを適用可能な液体であれば、どのような液体でもよ
い。
記録に用いるインク等の記録液体に限らず、本発明のヘ
ッドを適用可能な液体であれば、どのような液体でもよ
い。
【００２０】《実施例１》図１は、本発明の液体噴射ヘ
ッドの液流路および電気熱変換素子の構成を示すための
模式図であり、液流路を電気熱変換素子の対向する側か
ら見た断面図である。
ッドの液流路および電気熱変換素子の構成を示すための
模式図であり、液流路を電気熱変換素子の対向する側か
ら見た断面図である。
【００２１】液流路１は液室２と連通しており、液流路
（ノズル）内には毛管力によってオリフィス（吐出口）
付近にメニスカス３を形成する。ノズル内には２つ以上
の電気熱変換素子を配せばよいが、本図では２つの電気
熱変換素子の場合について説明する。
（ノズル）内には毛管力によってオリフィス（吐出口）
付近にメニスカス３を形成する。ノズル内には２つ以上
の電気熱変換素子を配せばよいが、本図では２つの電気
熱変換素子の場合について説明する。
【００２２】２つの電気熱変換素子４，６はそれぞれ発
熱抵抗層上に選択電極としての配線電極８，９と共通電
極１０の層とを形成しており、これらの配線電極間が発
熱領域となる。選択電極８，９に選択的に電気信号（駆
動信号）を印加することによって、それぞれの電気熱変
換素子の発熱領域を独立又は同時に発熱させることがで
きる。
熱抵抗層上に選択電極としての配線電極８，９と共通電
極１０の層とを形成しており、これらの配線電極間が発
熱領域となる。選択電極８，９に選択的に電気信号（駆
動信号）を印加することによって、それぞれの電気熱変
換素子の発熱領域を独立又は同時に発熱させることがで
きる。
【００２３】本発明においては、吐出口からそれぞれの
電気熱変換素子の発熱領域の重心（ＣA，ＣB）までの距
離をほぼ等しくしている。
電気熱変換素子の発熱領域の重心（ＣA，ＣB）までの距
離をほぼ等しくしている。
【００２４】本発明が成り立つ２つの電気熱変換素子の
発熱領域の重心と吐出口の距離のずれは３ｎｍ以下であ
る。これ以上のずれになると、両者の発熱領域と吐出口
との距離の違いによる吐出量の違いを考慮する必要が生
じる。又、本実施例においては、発熱面積が異なる２つ
の電気熱変換体を１つの流路（ノズル）内に配してい
る。この２つの電気熱変換素子の内、面積の小さい方の
電気熱変換素子４はＳｈＡの面積の発熱領域を有し、大
きい方の電気熱変換素子６はＳｈＢの面積の発熱領域を
有する。いま夫々の電気熱変換素子４、６には夫々選択
配線電極８と９が接続されており反対側の端子には共通
配線電極１０が接続されている。配線電極８、９の先に
はトランジスタ等のスイッチング手段が接続され、電気
熱変換素子４、６を選択的に駆動しノズル内のインクを
吐出することができる。
発熱領域の重心と吐出口の距離のずれは３ｎｍ以下であ
る。これ以上のずれになると、両者の発熱領域と吐出口
との距離の違いによる吐出量の違いを考慮する必要が生
じる。又、本実施例においては、発熱面積が異なる２つ
の電気熱変換体を１つの流路（ノズル）内に配してい
る。この２つの電気熱変換素子の内、面積の小さい方の
電気熱変換素子４はＳｈＡの面積の発熱領域を有し、大
きい方の電気熱変換素子６はＳｈＢの面積の発熱領域を
有する。いま夫々の電気熱変換素子４、６には夫々選択
配線電極８と９が接続されており反対側の端子には共通
配線電極１０が接続されている。配線電極８、９の先に
はトランジスタ等のスイッチング手段が接続され、電気
熱変換素子４、６を選択的に駆動しノズル内のインクを
吐出することができる。
【００２５】本実施例においては、夫々の電気熱変換素
子４、６の面積ＳｈＡ、ＳｈＢを夫々１４４５μｍ、２
２１０μｍとし、電気熱変換素子４、６による吐出量を
夫々ＶｄＡ＝１５ｎｇ、ＶｄＢ＝３０ｎｇとした。そし
て夫々の比率はＶｄＢ／ＶｄＡ＝２．０、ＳｈＢ／Ｓｈ
Ａ＝１．５３でありＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡを
満足するよう作成した。
子４、６の面積ＳｈＡ、ＳｈＢを夫々１４４５μｍ、２
２１０μｍとし、電気熱変換素子４、６による吐出量を
夫々ＶｄＡ＝１５ｎｇ、ＶｄＢ＝３０ｎｇとした。そし
て夫々の比率はＶｄＢ／ＶｄＡ＝２．０、ＳｈＢ／Ｓｈ
Ａ＝１．５３でありＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡを
満足するよう作成した。
【００２６】
【表１】
【００２７】これは前述したように電気熱変換素子の発
熱領域にはインクを発泡する発泡領域（点線内）５、７
と、熱分布の関係でインクを発泡させる温度に達しない
非発泡領域が存在することを考慮した設計を行ったため
である。このような比率にすることで、必要とする異な
る液量の吐出を安定的に行わせることができる。
熱領域にはインクを発泡する発泡領域（点線内）５、７
と、熱分布の関係でインクを発泡させる温度に達しない
非発泡領域が存在することを考慮した設計を行ったため
である。このような比率にすることで、必要とする異な
る液量の吐出を安定的に行わせることができる。
【００２８】電気熱変換素子に存在する発泡領域につい
て、図２を用いて簡単に説明する。本発明で用いた電気
熱変換素子の膜の構成は、厚さ約５００〜６００μｍの
シリコン基板１０６上にＳｉＯ2等の絶縁体の蓄熱層１
０５を成膜し、その上に抵抗層１０１を成膜パターニン
グする。その上に、ＳｉＯ2やＳｉＮ等の絶縁体を用い
た保護層１０３と発泡／消泡の衝撃波を吸収する耐キャ
ビテーション層１２０を成膜する。抵抗層１０１には配
線電極１０２Ａ、１０２Ｂにより電圧を印加し電流を流
し加熱する。抵抗層で発生した熱は、電気熱変換素子中
央部では膜の重なり方向へ逃げるが、端部では膜の拡が
り方向にも逃げる。このために、電気熱変換素子の表面
のインクに接する面においては、電気熱変換素子中央部
より端部の方が比較的温度が低い。この時、前記電気熱
変換素子の表面温度分布をＡ−Ａライン上で見ると図３
の温度分布ＴｅｍｐＡの様な状態になり、電気熱変換素
子中央部では主に熱が膜の重なり方向に逃げるために均
一な温度分布となり、端部に近づくにつれて膜の拡がり
方向に逃げるため温度が低くなって行くことがわかる。
ここで、ΔＴ１は電気熱変換素子上のインクが発泡する
下限温度であり、ΔＴ２は電気熱変換素子が高温になり
すぎて熱ストレス等でダメージを受けて寿命が極端に短
くなる温度である。従って、電気熱変換素子の温度を寿
命を損なわずに安定的にインク発泡温度に制御しようと
すると、図３のように必ず電気熱変換素子端部にインク
を発泡させる温度に到達しない非発泡領域が存在するこ
とになる。
て、図２を用いて簡単に説明する。本発明で用いた電気
熱変換素子の膜の構成は、厚さ約５００〜６００μｍの
シリコン基板１０６上にＳｉＯ2等の絶縁体の蓄熱層１
０５を成膜し、その上に抵抗層１０１を成膜パターニン
グする。その上に、ＳｉＯ2やＳｉＮ等の絶縁体を用い
た保護層１０３と発泡／消泡の衝撃波を吸収する耐キャ
ビテーション層１２０を成膜する。抵抗層１０１には配
線電極１０２Ａ、１０２Ｂにより電圧を印加し電流を流
し加熱する。抵抗層で発生した熱は、電気熱変換素子中
央部では膜の重なり方向へ逃げるが、端部では膜の拡が
り方向にも逃げる。このために、電気熱変換素子の表面
のインクに接する面においては、電気熱変換素子中央部
より端部の方が比較的温度が低い。この時、前記電気熱
変換素子の表面温度分布をＡ−Ａライン上で見ると図３
の温度分布ＴｅｍｐＡの様な状態になり、電気熱変換素
子中央部では主に熱が膜の重なり方向に逃げるために均
一な温度分布となり、端部に近づくにつれて膜の拡がり
方向に逃げるため温度が低くなって行くことがわかる。
ここで、ΔＴ１は電気熱変換素子上のインクが発泡する
下限温度であり、ΔＴ２は電気熱変換素子が高温になり
すぎて熱ストレス等でダメージを受けて寿命が極端に短
くなる温度である。従って、電気熱変換素子の温度を寿
命を損なわずに安定的にインク発泡温度に制御しようと
すると、図３のように必ず電気熱変換素子端部にインク
を発泡させる温度に到達しない非発泡領域が存在するこ
とになる。
【００２９】特に、本発明のように、１つの液路内に複
数の電気熱変換体を配す場合のように、電気熱変換体の
面積に対して、周の長さが大きくなる場合には、上述の
ような非発泡領域を考慮した設計を成すことが必要であ
り、本発明はこのような非発泡領域を考慮して成したも
のである。
数の電気熱変換体を配す場合のように、電気熱変換体の
面積に対して、周の長さが大きくなる場合には、上述の
ような非発泡領域を考慮した設計を成すことが必要であ
り、本発明はこのような非発泡領域を考慮して成したも
のである。
【００３０】《実施例２》先の実施例１の場合のヘッド
の構成とほぼ同様の構成とし、本実施例は、電気熱変換
素子４、６の発熱領域の面積を夫々ＳｈＡ＝２５２０μ
ｍ2、ＳｈＢ＝５８８０μｍ2とし、夫々の電気熱変換素
子４、６による吐出量を夫々ＶｄＡ＝４０ｎｇ、ＶｄＢ
＝１２０ｎｇとした。
の構成とほぼ同様の構成とし、本実施例は、電気熱変換
素子４、６の発熱領域の面積を夫々ＳｈＡ＝２５２０μ
ｍ2、ＳｈＢ＝５８８０μｍ2とし、夫々の電気熱変換素
子４、６による吐出量を夫々ＶｄＡ＝４０ｎｇ、ＶｄＢ
＝１２０ｎｇとした。
【００３１】本実施例による電気熱変換素子ごとの吐出
量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝
３．０、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝２．３であり、本発明のＶｄ
Ｂ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡの関係を満たすようなされ
ている。本実施例のヘッドによっても所望の量の液体の
吐出を安定的に得ることができる。
量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝
３．０、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝２．３であり、本発明のＶｄ
Ｂ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡの関係を満たすようなされ
ている。本実施例のヘッドによっても所望の量の液体の
吐出を安定的に得ることができる。
【００３２】《比較例》先の実施例１の場合のヘッドの
構成とほぼ同様の構成とし、本実施例では、電気熱変換
素子４、６の発熱領域面積を、夫々ＳｈＡ＝４０×６０
＝２４００μｍ2、ＳｈＢ＝２０×２００＝４０００μ
ｍ2とし、夫々の吐出量をＶｄＡ＝４２ｎｇ、ＶｄＢ＝
５８ｎｇとした。
構成とほぼ同様の構成とし、本実施例では、電気熱変換
素子４、６の発熱領域面積を、夫々ＳｈＡ＝４０×６０
＝２４００μｍ2、ＳｈＢ＝２０×２００＝４０００μ
ｍ2とし、夫々の吐出量をＶｄＡ＝４２ｎｇ、ＶｄＢ＝
５８ｎｇとした。
【００３３】本比較例による電気熱変換素子ごとの吐出
量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝
１．３８、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝１．６６、つまりＶｄＢ／
ＶｄＡ＜ＳｈＢ／ＳｈＡとなり、本発明の条件は満たさ
ない。
量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝
１．３８、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝１．６６、つまりＶｄＢ／
ＶｄＡ＜ＳｈＢ／ＳｈＡとなり、本発明の条件は満たさ
ない。
【００３４】このような場合、駆動電圧は駆動パルス幅
を一定とすると約１０Ｖ、約３３Ｖが適正電圧であり、
駆動上エネルギー効率上不利であると共に、夫々の電気
熱変換体による所望の吐出量を安定的に得ることが困難
である。
を一定とすると約１０Ｖ、約３３Ｖが適正電圧であり、
駆動上エネルギー効率上不利であると共に、夫々の電気
熱変換体による所望の吐出量を安定的に得ることが困難
である。
【００３５】図４は、上述の各実施例（実施例１；Ａ
１、実施例２；Ａ２）および比較例Ｂを、夫々の電気熱
変換体の発熱領域の面積の比（横軸）に対する、吐出量
の比（縦軸）のグラフに示したものである。
１、実施例２；Ａ２）および比較例Ｂを、夫々の電気熱
変換体の発熱領域の面積の比（横軸）に対する、吐出量
の比（縦軸）のグラフに示したものである。
【００３６】点線は、面積の比と吐出量の比とが同じ場
合であり、本発明の領域は斜線で示される部分である。
先の実施例１（Ａ１）および実施例２（Ａ２）は、本発
明の領域に入っており、夫々の電気熱変換素子で所望の
液量の吐出を安定的に行うことができ、又駆動上、エネ
ルギー効率上有利である。
合であり、本発明の領域は斜線で示される部分である。
先の実施例１（Ａ１）および実施例２（Ａ２）は、本発
明の領域に入っており、夫々の電気熱変換素子で所望の
液量の吐出を安定的に行うことができ、又駆動上、エネ
ルギー効率上有利である。
【００３７】一方、比較例である（Ｂ）は、本発明の領
域から除れており、前述のように、所望の液量の吐出を
安定的に得ることが困難であり、又、駆動上、エネルギ
ー効率上不利である。
域から除れており、前述のように、所望の液量の吐出を
安定的に得ることが困難であり、又、駆動上、エネルギ
ー効率上不利である。
【００３８】なお、以上の本発明の条件は、ノズルに対
する夫々の電気熱変換素子の重心位置すなわち図１の電
気熱変換素子４、５の重心ＣＡ、ＣＢのオリフィス面か
らの距離ＯＣＡ、ＯＣＢがほぼ同じ（誤差は製造ばらつ
き程度３μｍ以内）特に効果がある。又、電気熱変換素
子の材質、膜厚、駆動条件が実質的に一致している場合
がより望ましい。
する夫々の電気熱変換素子の重心位置すなわち図１の電
気熱変換素子４、５の重心ＣＡ、ＣＢのオリフィス面か
らの距離ＯＣＡ、ＯＣＢがほぼ同じ（誤差は製造ばらつ
き程度３μｍ以内）特に効果がある。又、電気熱変換素
子の材質、膜厚、駆動条件が実質的に一致している場合
がより望ましい。
【００３９】前述した電気熱変換体の非発泡領域の幅Ｗ
Ａ（ｄ）は本発明の場合、３〜５μｍ程度であったが、
これは膜の構成や材料、駆動条件によって異なり、条件
に応じて０．１μｍ〜１０μｍ程度を考慮する必要があ
る。これらの条件を考慮し、ＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／
ＳｈＡの最適条件を求めると次の関係となる。夫々の電
気熱変換素子の幅と長さをＷｈＡ、ＬｈＡ、ＷｈＢ、Ｌ
ｈＢとすると、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（（ＷｈＢ−２ＷＡ）
×（ＬｈＢ−２ＷＡ））／（（ＷｈＡ−２ＷＡ）×（Ｌ
ｈＡ−２ＷＡ））が理論上成り立つ。また、電気熱変換
素子の幅と長さが明確でない場合は、電気熱変換素子
４、５の外周よりＷＡ／２内側の周長（図１点線の長
さ）を夫々ＬＡ、ＬＢとすればＶｄＢ／ＶｄＡ＝（Ｓｈ
Ｂ−ＬＢ×ＷＡ）／（ＳｈＡ−ＬＡ×ＷＡ）が理論上成
り立つ。この設計条件で夫々の電気熱変換素子を設計す
れば、容易に所望の吐出量の比を設定することができ
る。実際には、夫々の電気熱変換素子の長さは駆動条件
を同じにできるという理由から夫々ほぼ同じ長さに設計
されることが多いため、関係式から削除して簡単な関係
式ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（ＷｈＢ−２ＷＡ）／（ＷｈＡ−２
ＷＡ）を用いることが可能である。また、たとえ異なっ
た値でも、ＷＡに対し十分大きい値であり、誤差は小さ
い。
Ａ（ｄ）は本発明の場合、３〜５μｍ程度であったが、
これは膜の構成や材料、駆動条件によって異なり、条件
に応じて０．１μｍ〜１０μｍ程度を考慮する必要があ
る。これらの条件を考慮し、ＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／
ＳｈＡの最適条件を求めると次の関係となる。夫々の電
気熱変換素子の幅と長さをＷｈＡ、ＬｈＡ、ＷｈＢ、Ｌ
ｈＢとすると、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（（ＷｈＢ−２ＷＡ）
×（ＬｈＢ−２ＷＡ））／（（ＷｈＡ−２ＷＡ）×（Ｌ
ｈＡ−２ＷＡ））が理論上成り立つ。また、電気熱変換
素子の幅と長さが明確でない場合は、電気熱変換素子
４、５の外周よりＷＡ／２内側の周長（図１点線の長
さ）を夫々ＬＡ、ＬＢとすればＶｄＢ／ＶｄＡ＝（Ｓｈ
Ｂ−ＬＢ×ＷＡ）／（ＳｈＡ−ＬＡ×ＷＡ）が理論上成
り立つ。この設計条件で夫々の電気熱変換素子を設計す
れば、容易に所望の吐出量の比を設定することができ
る。実際には、夫々の電気熱変換素子の長さは駆動条件
を同じにできるという理由から夫々ほぼ同じ長さに設計
されることが多いため、関係式から削除して簡単な関係
式ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（ＷｈＢ−２ＷＡ）／（ＷｈＡ−２
ＷＡ）を用いることが可能である。また、たとえ異なっ
た値でも、ＷＡに対し十分大きい値であり、誤差は小さ
い。
【００４０】以上説明した様な手法で夫々の電気熱変換
素子の吐出量の比さえ設定すれば、全体の吐出量の調整
などは前述したようにオリフィス面積やノズルに対する
電気熱変換素子の位置などの後の行程で行えば良く、設
計上、製造上容易である。
素子の吐出量の比さえ設定すれば、全体の吐出量の調整
などは前述したようにオリフィス面積やノズルに対する
電気熱変換素子の位置などの後の行程で行えば良く、設
計上、製造上容易である。
【００４１】次に、このヘッドを用いた階調制御の説明
を簡単に行う。
を簡単に行う。
【００４２】図５（ａ）に示すように、ノズル壁１０９
で挟まれた吐出ノズル１０４にはインクが満たされてお
り、電気熱変換素子４および６に駆動信号を加えインク
を加熱発泡させると発泡圧力によりオリフィス４０より
インクが吐出される。（ｂ）は小サイズ電気熱変換素子
４が加熱発泡され、小発泡１１９により小ドロップ１１
４が吐出された状態を示す。この時の吐出量を約３０ｎ
ｇとする。次に、（ｃ）は大サイズ電気熱変換素子６が
加熱発泡され、大発泡１１２により大ドロップ１１５が
吐出された状態を示す。大サイズ電気熱変換素子６は小
サイズ電気熱変換素子４の有効発泡面積の２倍で設計す
れば、吐出量は有効発泡面積に比例するため、約６０ｎ
ｇの吐出量になる。（ｄ）は両方の電気熱変換素子を共
に加熱発泡した状態を示す。この場合、吐出量は夫々の
電気熱変換素子での吐出量の合計の９０ｎｇとなる。こ
のような吐出量で画像を形成した場合を、反射濃度で示
したものが図６である。濃度はインクの吐出量に比例す
るため、３種の濃度を得ることになる。すなわち、大小
２つの電気熱変換素子で４値の階調制御を実現してい
る。前述した吐出量の比率の重要性もこのことから明ら
かであり、このバランスが崩れると階調制御のリニアリ
ティが損なわれる。
で挟まれた吐出ノズル１０４にはインクが満たされてお
り、電気熱変換素子４および６に駆動信号を加えインク
を加熱発泡させると発泡圧力によりオリフィス４０より
インクが吐出される。（ｂ）は小サイズ電気熱変換素子
４が加熱発泡され、小発泡１１９により小ドロップ１１
４が吐出された状態を示す。この時の吐出量を約３０ｎ
ｇとする。次に、（ｃ）は大サイズ電気熱変換素子６が
加熱発泡され、大発泡１１２により大ドロップ１１５が
吐出された状態を示す。大サイズ電気熱変換素子６は小
サイズ電気熱変換素子４の有効発泡面積の２倍で設計す
れば、吐出量は有効発泡面積に比例するため、約６０ｎ
ｇの吐出量になる。（ｄ）は両方の電気熱変換素子を共
に加熱発泡した状態を示す。この場合、吐出量は夫々の
電気熱変換素子での吐出量の合計の９０ｎｇとなる。こ
のような吐出量で画像を形成した場合を、反射濃度で示
したものが図６である。濃度はインクの吐出量に比例す
るため、３種の濃度を得ることになる。すなわち、大小
２つの電気熱変換素子で４値の階調制御を実現してい
る。前述した吐出量の比率の重要性もこのことから明ら
かであり、このバランスが崩れると階調制御のリニアリ
ティが損なわれる。
【００４３】次に、以上説明したヘッドの構成を具体的
に説明する。ノズルまわりの構成は図７および図８で示
す。両者は、夫々エッジシュータタイプとサイドシュー
タタイプと呼ばれる構成であり、吐出ノズル１０４内の
インクを電気熱変換素子３および６で加熱発泡して、側
方あるいは上方に解放されたオリフィス４０から吐出さ
せるものである。素子基板２３はベースプレート４１に
接着されており、ノズル壁１０９は天板４２に設けられ
ている。
に説明する。ノズルまわりの構成は図７および図８で示
す。両者は、夫々エッジシュータタイプとサイドシュー
タタイプと呼ばれる構成であり、吐出ノズル１０４内の
インクを電気熱変換素子３および６で加熱発泡して、側
方あるいは上方に解放されたオリフィス４０から吐出さ
せるものである。素子基板２３はベースプレート４１に
接着されており、ノズル壁１０９は天板４２に設けられ
ている。
【００４４】図９は本発明のインクジェットヘッド（液
体噴射ヘッド）と、このインクジェットヘッドに供給す
るためのインクを保持したインク容器とを分離可能に接
続したインクジェットヘッドカートリッジである。
体噴射ヘッド）と、このインクジェットヘッドに供給す
るためのインクを保持したインク容器とを分離可能に接
続したインクジェットヘッドカートリッジである。
【００４５】尚、このインクジェットヘッドカートリッ
ジを構成するインク容器へのインクの注入は、次のよう
に行えばよい。
ジを構成するインク容器へのインクの注入は、次のよう
に行えばよい。
【００４６】インク容器にインク供給パイプ等を接続す
ることでインクを導入するインク導入路を形成し、この
インク導入路を介してインク容器にインクを注入すれば
よい。インク容器側のインク供給口としては、インクジ
ェットヘッド側への供給口、大気連通口や、インク容器
の壁面にあけた穴等を用いればよい。
ることでインクを導入するインク導入路を形成し、この
インク導入路を介してインク容器にインクを注入すれば
よい。インク容器側のインク供給口としては、インクジ
ェットヘッド側への供給口、大気連通口や、インク容器
の壁面にあけた穴等を用いればよい。
【００４７】図１０は、以上のように構成されるインク
ジェット記録ヘッドが搭載されるインクジェット記録装
置の一例の外観図を示す。このインクジェット記録装置
ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に連動し
て駆動力伝達ギア２０２０、２０３０を介して回転する
リードスクリュウ２０４０を有する。インクジェット記
録ヘッドとインクタンクとが一体化されたインクジェッ
トカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣは、
キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュウ２０４０
に支持され、リードスクリュウ２０４０の羅線溝２０４
１に対して係合するピン（不図示）を有しており、リー
ドスクリュウ２０４０の回転にともなって、矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キ
ャリッジ移動方向にわたって紙Ｐを被記録媒体を搬送す
る搬送手段を構成するプラテンローラ２０７０に対し押
圧する。２０８０および２０９０はフォトカプラで、こ
れらは、キャリッジＨＣに設けられたレバー２１００の
この域での存在を確認してモータ２０１０の回転方向切
り換え等を行うためのホームポジション検知手段として
動作する。２１１０は記録ヘッドの全面をキャップする
部材であり、支持部材２１２０により支持されている。
２１３０はこのキャップ内を吸収する吸収手段であり、
キャップ内開口を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。
記録ヘッドの端面をクリーニングするクリーニングブレ
ード２１４０は、前後方向に移動可能に部材２１５０に
設けられており、これらは本体支持板２１６０に支持さ
れている。ブレード２１４０はこの形態に限定されず、
周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは
いうまでもない。また、２１７０は吸引回復の吸引を回
復するためのレバーであり、キャリッジＨＣと係合する
カム２１８０の移動にともなって移動するようになって
おり、これにより駆動モータ２０１０からの駆動力がク
ラッチ切り換え等の周知の伝達手段で移動制御される。
ジェット記録ヘッドが搭載されるインクジェット記録装
置の一例の外観図を示す。このインクジェット記録装置
ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に連動し
て駆動力伝達ギア２０２０、２０３０を介して回転する
リードスクリュウ２０４０を有する。インクジェット記
録ヘッドとインクタンクとが一体化されたインクジェッ
トカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣは、
キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュウ２０４０
に支持され、リードスクリュウ２０４０の羅線溝２０４
１に対して係合するピン（不図示）を有しており、リー
ドスクリュウ２０４０の回転にともなって、矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キ
ャリッジ移動方向にわたって紙Ｐを被記録媒体を搬送す
る搬送手段を構成するプラテンローラ２０７０に対し押
圧する。２０８０および２０９０はフォトカプラで、こ
れらは、キャリッジＨＣに設けられたレバー２１００の
この域での存在を確認してモータ２０１０の回転方向切
り換え等を行うためのホームポジション検知手段として
動作する。２１１０は記録ヘッドの全面をキャップする
部材であり、支持部材２１２０により支持されている。
２１３０はこのキャップ内を吸収する吸収手段であり、
キャップ内開口を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。
記録ヘッドの端面をクリーニングするクリーニングブレ
ード２１４０は、前後方向に移動可能に部材２１５０に
設けられており、これらは本体支持板２１６０に支持さ
れている。ブレード２１４０はこの形態に限定されず、
周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは
いうまでもない。また、２１７０は吸引回復の吸引を回
復するためのレバーであり、キャリッジＨＣと係合する
カム２１８０の移動にともなって移動するようになって
おり、これにより駆動モータ２０１０からの駆動力がク
ラッチ切り換え等の周知の伝達手段で移動制御される。
【００４８】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復はキャリッジＨＣがホームポジション側領域にき
たときにリードスクリュウ２０４０の作用によってそれ
らの対応位置で所望の処理が行えるように構成されてい
るが、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれ
ば、本例には何れも適応できる。
引回復はキャリッジＨＣがホームポジション側領域にき
たときにリードスクリュウ２０４０の作用によってそれ
らの対応位置で所望の処理が行えるように構成されてい
るが、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれ
ば、本例には何れも適応できる。
【００４９】又、本発明のインクジェット装置は、本発
明のインクジェットヘッドの発熱抵抗体を駆動するため
の信号を、ヘッドに与える駆動信号供給手段を有してい
る。
明のインクジェットヘッドの発熱抵抗体を駆動するため
の信号を、ヘッドに与える駆動信号供給手段を有してい
る。
【００５０】以上、本実施例では２つの電気熱変換素子
の場合で説明を行ったが、１ノズル内に３つ以上の電気
熱変換素子がある場合においても、それらの何れかの電
気熱変換素子による吐出量比と面積比との関係が、前述
した関係式が成り立つことはいうまでもない。
の場合で説明を行ったが、１ノズル内に３つ以上の電気
熱変換素子がある場合においても、それらの何れかの電
気熱変換素子による吐出量比と面積比との関係が、前述
した関係式が成り立つことはいうまでもない。
【００５１】又、本記録装置には、ヘッドの各電気熱変
換体を駆動するための駆動信号供給手段が設けられてい
る。
換体を駆動するための駆動信号供給手段が設けられてい
る。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、複数の電気熱変換
素子による吐出量の比と面積の比の関係を適正に設定す
ることで、所望の吐出量を得られ、よりリニアリティの
高い階調制御が可能になった。
素子による吐出量の比と面積の比の関係を適正に設定す
ることで、所望の吐出量を得られ、よりリニアリティの
高い階調制御が可能になった。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの液流路および
電気熱変換素子の構成を示すための模式図。
電気熱変換素子の構成を示すための模式図。
【図２】電気熱変換素子の発泡領域を説明するための
図。
図。
【図３】電気熱変換素子の表面温度分布を説明するため
の図。
の図。
【図４】電気熱変換素子の比に対する吐出体積の比を示
すための図。
すための図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドによるヘッドの
駆動状態を説明するための図。
駆動状態を説明するための図。
【図６】吐出量と反射濃度との関係を示すための図。
【図７】本発明のヘッドの構造を示す模式図。
【図８】本発明のヘッドの構造を示す模式図。
【図９】本発明のインクジェットヘッドを用いたインク
ジェットヘッドカートリッジの模式図。
ジェットヘッドカートリッジの模式図。
【図１０】本発明のインクジェット装置を説明するため
の図。
の図。
１ 液流路 ２ 液室 ４、６ 電気熱変換素子 ８、９ 配線電極 １０ 共通配線電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 肇 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 殿垣 雅彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 池田 雅実 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 斉藤 裕俊 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内
Claims (14)
- 【請求項１】 液体を吐出するための吐出口を有する液
流路と、一つの前記液流路ごとに対応して複数設けら
れ、それぞれ、吐出口からほぼ等しい位置に配された電
気熱変換素子とを、有し、 前記複数の電気熱変換素子の内、２つの電気熱変換素子
の面積をそれぞれＳｈ１、Ｓｈ２（Ｓｈ１＞Ｓｈ２）と
し、これらの電気熱変換素子によるインクの吐出量を夫
々Ｖｄ１、Ｖｄ２としたとき、それらの関係がＶｄ１／
Ｖｄ２＞Ｓｈ１／Ｓｈ２を満たしていることを特徴とし
た液体噴射ヘッド。 - 【請求項２】 前記２つの電気熱変換素子の長さがほぼ
等しく、夫々の幅をＷ１、Ｗ２とし、非発泡領域の幅ｄ
としたとき、 Ｖｄ１／Ｖｄ２は（Ｗ１−２ｄ）／（Ｗ２−２ｄ）と実
質的に等しい関係にある請求項１の液体噴射ヘッド。 - 【請求項３】 前記２つの電気熱変換素子の夫々の幅を
Ｗ１、Ｗ２とし、長さをＬ１、Ｌ２とし、非発泡領域の
幅ｄとしたとき、 Ｖｄ１／Ｖｄ２は（（Ｗ１−２ｄ）×（Ｌ１−２ｄ））
／（（Ｗ２−２ｄ）×（Ｌ２−２ｄ））と実質的に等し
い関係にある請求項１の液体噴射ヘッド。 - 【請求項４】 前記吐出口が配された位置と前記一つの
液流路に対応して設けられた複数の電気熱変換体との間
の距離の差は３μｍ以内である請求項１の液体噴射ヘッ
ド。 - 【請求項５】 前記１つの液流路に対応して設けられる
電気熱変換体の数は２つである請求項１の液体噴射ヘッ
ド。 - 【請求項６】 前記液体は、インクである請求項１の液
体噴射ヘッド。 - 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかの液体噴射
ヘッドと、 該液体噴射ヘッドに供給するための液体を保持する液体
容器とを有することを特徴とするヘッドカートリッジ。 - 【請求項８】 前記液体噴射ヘッドと容器とは着脱可能
である請求項７のヘッドカートリッジ。 - 【請求項９】 前記液体はインクである請求項７のヘッ
ドカートリッジ。 - 【請求項１０】 請求項１ないし６のいずれか１の液体
噴射ヘッドと、被記録媒体を搬送するための搬送手段を
有することを特徴とする液体噴射装置。 - 【請求項１１】 請求項１ないし６のいずれかの液体噴
射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを駆動するための駆動信
号供給手段とを有することを特徴とする液体噴射装置。 - 【請求項１２】 液体を吐出するための吐出口を有する
液流路と、一つの前記液流路ごとに対応して複数設けら
れた電気熱変換素子とを有し、前記電気熱変換素子はそ
れぞれ吐出口からほぼ等しい位置に配されると共に、前
記複数の電気熱変換素子の内、２つの電気熱変換素子の
面積がそれぞれＳｈ１、Ｓｈ２（Ｓｈ１＞Ｓｈ２）であ
るヘッドを用い、 駆動信号を前記電気熱変換素子に与えることで、 Ｖｄ１／Ｖｄ２＞Ｓｈ１／Ｓｈ２ Ｖｄ１：電気熱変換素子 Ｓｈ１で吐出された液体の量 Ｖｄ２：電気熱変換素子 Ｓｈ２で吐出された液体の量 を満たしていることを特徴とした液体吐出方法。 - 【請求項１３】 請求項７に記載のヘッドカートリッジ
を構成する液体容器に対して液体を導入する液体導入路
を形成するステップと、 該液体導入路を介して前記液体容器に液体を注入するス
テップとを有することを特徴とする液体容器への液体の
注入方法。 - 【請求項１４】 前記液体はインクである請求項１３の
液体容器への液体の注入方法。
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