JPH0817059B2 - 低温焼結磁器材料 - Google Patents

低温焼結磁器材料

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JPH0817059B2
JPH0817059B2 JP19003689A JP19003689A JPH0817059B2 JP H0817059 B2 JPH0817059 B2 JP H0817059B2 JP 19003689 A JP19003689 A JP 19003689A JP 19003689 A JP19003689 A JP 19003689A JP H0817059 B2 JPH0817059 B2 JP H0817059B2
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博史 森井
健 安積
康信 米田
行雄 坂部
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は低温焼結磁器材料に関し、特に1000℃以下
の低温で焼成可能で、たとえば、低容量のEMIフィルタ
用の誘電体材料あるいは磁性体と誘電体とを一体焼結し
たLC複合チップEMIフィルタ用の誘電体材料として使用
するのに好適な低温焼結磁器材料に関する。
(従来技術) 従来、1000℃以下で焼成が可能である低温焼結磁器材
料としては、Pb系複合ペロブスカイト材料に代表される
が、Pb系材料は、誘電率εが1000以上と大きいうえに、
誘電率εの温度変化率も−25℃〜+85℃で±50%と大き
い。したがって、Pb系材料では、数10pFの低容量を取得
しにくい。
さらに、低温焼結磁器材料としては、TC系材料(NP=
0)もある。TC系材料においては、ZrO2−Al2O3−SiO2
(ガラス成分)系材料が約1000℃で焼成可能であるが、
誘電率εが10前後と小さい。
そこで、誘電率εが100前後の低温焼結磁器材料とし
て、特公昭62-57042号にTiO2−CuO−Mu系材料が、特開
昭60-106120号にTiO2−NiO−CuO−Mn系材料がそれぞれ
開示され、それらの材料が、LC複合チップ用の誘電体材
料として用いられている。
(発明が解決しようとする課題) 誘電体となる材料と磁性体となる材料とを貼り合わせ
一体焼結することによってLC複合チップが得られるが、
その誘電体としてBT系材料を用いれば、1200〜1300℃の
高い焼成温度が必要となる。ところが、電極材料のコス
トおよびエネルギ的コストなどの観点から、焼成温度は
低い方が望ましい。
そこで、誘電体としてPb系複合ペロブスカイト材料を
用い、磁性体としてNi−Zn−Cuフェライトを用いれば、
約1000℃で一体焼結させることによってLC複合チップが
得られるが、磁性体から誘電体へのFeなどの元素の拡散
によりコンデンサ部の諸特性が劣化し実用に供せないも
のとなる場合もある。
また、Pb系材料を用いてコンデンサ部の諸特性を満足
させても、その誘電率εが1000以上と大きいため、数10
pFの小容量を取得するのは困難である。そのPb系材料と
してPb(Ni1 3Nb2 )O3−PbTiO3−Pb(Zn1 2W1
)O3系材料が挙げられるが、誘電率εの温度変化が大
き過ぎて、それをEMIフィルタの材料として用いた場
合、挿入損失の周波数特性が変化し、カット・オフ周波
数がシフトしてしまう。これは、一般に、Pb系材料の誘
電率εの温度変化率が大きいからである。
それゆえに、この発明の主たる目的は、1000℃以下で
焼結でき、しかも、17〜80の誘電率εを有し、かつ、誘
電率εの温度変化率の小さい、低温焼結磁器材料を提供
することである。
(課題を解決するための手段) この発明は、ZrO2を44.0〜99.5モル%、TiO2を0〜4
4.775モル%、およびCuOを0.5〜15モル%含み、それら
の合計が100モル%となる、低温焼結磁器材料である。
(発明の効果) この発明によれば、1000℃以下で焼結でき、しかも、
17〜80の誘電率εを有し、かつ、誘電率εの温度変化率
の小さい、低温焼結磁器材料が得られる。
したがって、この発明にかかる低温焼結磁器材料は、
それをたとえばLC複合チップEMIフィルタの誘電体材料
として使用できるほか、それを単独の誘電体材料として
用いることもできる。
また、この発明にかかる低温焼結磁器材料は、たとえ
ば低温焼結基板と一体焼成することも可能である。
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
(実施例) まず、原料として、ZrO2,TiO2およびCuOを別表に示す
組成となるように秤量し調合し、それにイオン交換水お
よび酢酸ビニル系バインダを5重量%加え、直径5mmの
ジルコニアボールを玉石としてポットミルで24時間混
合,粉砕した。
そして、それを蒸発乾燥,整粒の工程を経て、2.5t/c
m2で乾式プレス成形を行って、直径10mm,厚さ0.8mmの成
形体ユニットを得た。
それから、その成形体ユニットを空気中,1000℃で2
時間焼成して、磁器を形成した。そして、その磁器の両
主面に電極を形成して、試料1〜37を得た。
それらの試料1〜37について、誘電体率ε,誘電体損
D.F(%)および比抵抗ρ(Ω・cm)などを測定した。
その測定結果を別表に示す。
この発明にかかる低温焼結磁器材料の組成範囲を限定
した理由は次の通りである。
CuOの添加量が15モル%を超えると絶縁抵抗が著しく
低下する。また、CuOの添加量が0.5モル%未満では、極
めて焼結性が悪い。なお、CuOの添加量が0.5モル%で
は、必ずしも焼結性がよいとは言えないが、ZrO2および
CuOの微粉末化および混合度を強めるなど粉末特性を改
善することによって、焼結性の向上が図られているの
で、CuOの添加量が0.5モル%のものも、この発明の範囲
内とした。
ZrO2:TiO2のモル比が55:45である場合を基準にしたと
き、その基準を超えるようにTiO2が増加すると、CuOの
添加量に対する絶縁抵抗の低下が著しく、焼成温度およ
びCuOの添加量の管理幅が狭くなる傾向にある。それに
対して、この発明にかかる低温焼結磁器材料の範囲は、
ZrO2:TiO2のモル比が55:45〜100:0の範囲にあり、誘電
体特性が焼成温度およびCuOの添加量の影響に対して安
定な領域である。
これらの関係の一例を、第1図ないし第4図に基づい
て説明する。
第1図は、この発明の実施例としてZrO2:TiO2のモル
比を8:2とした場合のCuOの添加量(モル%)と誘電率ε
および誘電体損D.F(%)との関係を示すグラフであ
り、第2図はその場合のCuOの添加量(モル%)と比抵
抗ρの対数値Logρとの関係を示すグラフである。
一方、第3図は、比較例としてZrO2:TiO2のモル比を
2:8とした場合のCuOの添加量(モル%)と誘電率εおよ
び誘電体損D.F(%)との関係を示すグラフであり、第
4図はその場合のCuOの添加量(モル%)と比抵抗ρの
対数値Logρとの関係を示すグラフである。
第1図ないし第4図に示すグラフから明らかなよう
に、ZrO2:TiO2のモル比を2:8とした比較例では、極めて
限られた範囲の組成でないと誘電体として使用すること
ができない。すなわち、誘電体特性として焼成温度およ
びCuOの添加量の依存が強いのである。それに対して、Z
rO2:TiO2のモル比を8:2とした実施例では、焼成温度お
よびCuOの添加量に対して広い範囲で誘電体として使用
することができる。
また、第5図および第6図に誘電率の温度変化率を示
した。この場合、第5図には試料番号22のもの、第6図
には試料番号33のものを示した。第5図および第6図か
ら明らかなように、この発明にかかる低温焼結磁器材料
によれば、誘電率の温度変化率の小さいものが得られ
る。
なお、この発明にかかる低温焼結磁器材料には、MnO
をMnO3に換算して5.0重量%以下添加してもよい。この
ようにMnOを添加すれば、比抵抗が増し、絶縁抵抗が改
善される。特に磁性体と一体焼結した場合、磁性体の成
分であるFeが誘電体中に拡散する傾向があり、誘電体の
絶縁抵抗が低下するが、MnOを添加することにより絶縁
抵抗の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例としてZrO2:TiO2のモル比
を8:2とした場合におけるCuOの添加量(モル%)と誘電
率εおよび誘電体損D.F(%)との関係を示すグラフで
あり、第2図はその場合におけるCuOの添加量(モル
%)と比抵抗ρの対数値Logρとの関係を示すグラフで
ある。 第3図は比較例としてZrO2:TiO2のモル比を2:8とした場
合におけるCuOの添加量(モル%)と誘電率εおよび誘
電体損D.F(%)との関係を示すグラフであり、第4図
はその場合におけるCuOの添加量(モル%)と比抵抗ρ
の対数値Logρとの関係を示すグラフである。 第5図および第6図は、それぞれ、この発明の実施例に
かかる誘電率の温度変化率を示すグラフである。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ZrO2を44.0〜99.5モル%、 TiO2を0〜44.775モル%、および CuOを0.5〜15モル%含み、 それらの合計が100モル%となる、低温焼結磁器材料。
  2. 【請求項2】さらに、MnをMnCO3に換算して5.0重量%以
    下含む、特許請求の範囲第1項記載の低温焼結磁器材
    料。
JP19003689A 1989-07-21 1989-07-21 低温焼結磁器材料 Expired - Fee Related JPH0817059B2 (ja)

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NL1012911C2 (nl) * 1999-08-26 2001-02-27 Stichting Tech Wetenschapp Werkwijze voor het vervaardigen van een keramisch materiaal met lage wrijvingscoÙfficiÙnt en samenstel uit keramisch materiaal.

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