JPH0817082A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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Publication number
JPH0817082A
JPH0817082A JP12718595A JP12718595A JPH0817082A JP H0817082 A JPH0817082 A JP H0817082A JP 12718595 A JP12718595 A JP 12718595A JP 12718595 A JP12718595 A JP 12718595A JP H0817082 A JPH0817082 A JP H0817082A
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JP
Japan
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magneto
layer
optical recording
thin film
recording medium
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Application number
JP12718595A
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English (en)
Inventor
Satoru Onuki
悟 大貫
Norio Ota
憲雄 太田
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁界感度が高く、高密度記録及び高速記録が
可能な光磁気記録媒体を提供する。 【構成】 透明基板上に、第1誘電体層3、光磁気記録
層4、第2誘電体層6、反射層7を積層してなる光磁気
記録媒体であり、光磁気記録層4の下層、上層もしくは
その両層に1〜30Aの厚さのFe,Co,FeCo合
金またはCoNi合金のいずれかの磁性層5を光磁気記
録層4に接触して設けてある。磁性層5として1〜50
0Aの厚さのNi層5を光磁気記録層に接触して設けて
もよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスク等の光
磁気記録媒体に関し、特に、磁界変調方式で記録に好適
な光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、情報化技術の発達及び情報量の増
大に伴って、大容量の情報を記録できる光メモリが使用
されている。光メモリのうち、記録した情報を書換え可
能な光磁気記録媒体の開発が盛んに行われている。かか
る光磁気記録媒体に情報を記録する方式として光変調方
式と磁界変調方式が知られている。磁界変調方式では、
光磁気膜に、直流レーザ光を照射しながら、コード化デ
ータに応じてパルス化された変調磁界を印加することに
よってデータが記録される(例えば、特開昭51−10
7121号参照)。この方法では、ビットデータの”
0””1”に応じて記録媒体の磁化の方向を直接反転し
てデータを記録することができるので、以前に記録した
データが存在する状態で直接データを書き込むオーバー
ライトが可能となる。この方式は2.5インチ径光磁気
ディスクに採用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁界変
調方式で光磁気ディスクを記録する場合、記録密度及び
デ−タ転送速度の向上を図ろうとすると、記録磁界の変
調周波数を上げなければならず、記録磁界の変調周波数
が上がると磁気ヘッドが発生可能な磁界強度は低下して
しまう。このため、低磁界でも確実に記録が可能な光磁
気記録媒体、すなわち磁界感度(記録感度)が高い光磁
気記録媒体が要求されている。
【0004】この要求に応える技術として、例えば、特
開平4−134740号公報には、光磁気記録媒体の透
明基板側から見て光磁気記録層の背面に補助磁性層を設
けて光磁気記録層と補助磁性層の磁気交換結合により記
録に必要な磁界を低下させることができる技術が開示さ
れている。この光磁気記録媒体では、補助磁性層として
Pt,Al,Ag,Au,Cu,Rh元素群から選択さ
れた1種類の元素とFe,Co,Ni元素群から選択さ
れた少なくとも1種類の元素との合金薄膜を使用してい
る。
【0005】本発明の目的は、磁界感度の高い新規な光
磁気記録媒体を提供するにある。さらに、本発明の目的
は、高密度記録及び高速度記録が可能な光磁気記録媒体
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
【0007】本発明者は、強磁性金属膜として知られて
いるFe,Co,FeCo合金またはCoNi合金磁性
薄膜の膜厚を極めて薄くすることで、2次元化の効果や
表面異方性の寄与等により磁気特性が変化し、光磁気記
録媒体の磁界感度を高める働きをすること見出した。特
に、磁性薄膜の膜厚を1〜30オングストローム(本明
細書においてAで表す)の範囲内に限定すると、磁界感
度が著しく向上することを見出した。
【0008】本発明に従えば、透明基板上に光磁気記録
層を含む薄膜を形成してなる光磁気記録媒体において、
前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
に、1〜30Aの厚さのFe,Co,FeCo合金及び
CoNi合金のいずれかから構成された磁性薄膜層を光
磁気記録層と接触するように設けたことを特徴とする光
磁気記録媒体が提供される。
【0009】上記磁性薄膜層の厚さは、1〜20Aが好
ましく、一層好ましくは、1〜10Aであり、特に2〜
5Aの厚さが好ましい。
【0010】上記の光磁気記録媒体では、所定の記録条
件下で、必要最小記録磁界を60(Oe)以下にするこ
とができる。
【0011】また、本発明に従えば、透明基板上に光磁
気記録層を含む薄膜を形成してなる光磁気記録媒体にお
いて、前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいず
れかに、1〜500Aの厚さのNi薄膜層を光磁気記録
層と接触するように設けたことを特徴とする光磁気記録
媒体が提供される。
【0012】上記Ni薄膜層の厚さは、1〜300Aが
好ましく、1〜100Aが一層好ましく、特に好ましく
は1〜30Aである。
【0013】上記Ni薄膜層を含む光磁気記録媒体は、
所定の記録条件下で必要最小記録磁界を50(Oe)以
下にすることができる。
【0014】上記本発明の光磁気記録媒体において、光
磁気記録層は、再生信号出力に比例するカー効果が大き
いという理由から希土類−遷移金属系の非晶質垂直磁化
膜であることが好ましい。希土類−遷移金属系の非晶質
垂直磁化膜として、例えば、TbFeCo、DyFeC
o、GdFeCo、TbGdCo、DyGdFeCo、
TbDyFeCo等を使用することができる。光磁気記
録層の膜厚は、一般に100〜500Aである。
【0015】本発明の光磁気記録媒体において光磁気記
録層を含む薄膜が、第1誘電体層、光磁気記録層、第2
誘電体層及び金属反射層が順次積層されてなる薄膜であ
ることが好ましい。
【0016】本発明の光磁気記録媒体は、特に、印加磁
界の極性が高速で変化する磁界変調方式で記録・再生さ
れる光磁気記録媒体に好適である。
【0017】本発明の実施例に従えば、透明基板上に第
1誘電体層、光磁気記録層、強磁性薄膜層、第2誘電体
層及び金属反射層が順次積層されてなる、磁界変調方式
で記録される光磁気ディスクであって、上記強磁性薄膜
層が、1〜30Aの厚さのFe,Co,FeCo合金,
CoNi合金からなる群から選ばれた一種から構成され
ていることを特徴とする上記光磁気ディスクが提供され
る。
【0018】本発明の別の実施例に従えば、透明基板上
に第1誘電体層、光磁気記録層、強磁性薄膜層、第2誘
電体層及び金属反射層が順次積層されてなる、磁界変調
方式で記録される光磁気ディスクであって、上記強磁性
薄膜層が、1〜500Aの厚さのNi層から構成されて
いることを特徴とする上記光磁気ディスクが提供され
る。
【0019】
【作用】本発明の光磁気記録媒体では、Fe,Co,N
i,FeCo合金またはCoNi合金磁性膜を極めて薄
い膜厚で光磁気記録層に接触させて用いることにより、
磁界変調方式で記録する際に極めて高い磁界感度で記録
することができる。この作用は次のように考えられる。
Fe,Co,Ni,FeCo合金またはCoNi合金磁
性層の磁気モ−メントは、それらの磁性層の膜厚を非常
に薄くすると、膜面に垂直な方向の外部磁界に対する応
答性が良くなり、比較的小さな外部磁界で容易に磁界印
加方向に傾く。この磁気モ−メントと光磁気記録層の磁
気モ−メントとが交換結合しているために、その交換結
合力が記録時における光磁気記録層の磁化反転を助け
る。これにより、光磁気記録層の磁化反転の外部磁界に
対する応答性、すなわち、光磁気記録層の磁界感度が向
上し、光磁気記録の際に低磁界でも確実な記録が可能と
なる。
【0020】
【実施例】図1に本発明に従う光磁気記録ディスクの一
実施例の要部断面図を示す。この光磁気ディスクは、透
明基板1の信号面2に、透明基板1よりも高い屈折率を
有する、第1誘電体層3と、光磁気記録層4と、強磁性
薄膜層5と、第2誘電体層6と、金属反射膜層7とが順
次積層されてなる。第1誘電体層3は、光磁気記録層4
と透明基板1との間で再生用光ビ−ムを多重干渉させて
見かけ上のカ−回転角を大きくするために設けられる層
であり、誘電体材料としてSiNを1000Aの膜厚で
用いた。光磁気記録層4として、Tb23Fe67Co10
300Aの膜厚で用いた。磁界感度を高めるための強磁
性薄膜層5としては、Fe,Co,FeCo合金または
CoNi合金を種々の膜厚で用いた。金属反射層7は、
光磁気記録層4及び強磁性薄膜層5を透過した再生用光
ビ−ムを反射させて透明基板1側に戻し、磁性層を透過
する際に受けるファラデ−効果によって見かけ上のカ−
回転角を増大させるための層である。反射層材料として
Al合金を800Aの膜厚で用いた。第2誘電体層6
は、光磁気記録層4及び強磁性薄膜5を透過した再生光
を金属反射層7と強磁性薄膜層5との間で多重干渉さ
せ、やはりカ−回転角を増加させるための層であり、誘
電体材料として第1誘電体層と同様にSiNを300A
の膜厚で用いた。第2誘電体層6と金属反射層7は、適
当な記録パワ−感度または記録パワ−・マ−ジンを得る
ための熱制御層としての役目と光磁気記録層を化学的衝
撃から保護する役目をも担っている。表1にこの実施例
で用いた光磁気ディスクにおける各層の材料及び膜厚を
示した(強磁性薄膜層を除く)。
【0021】
【表1】
【0022】上記光磁気ディスクを以下のような方法で
製造した。最初に、ポリカーボネート基板をスタンパを
用いて射出成形により作製した。この基板には、サーボ
信号等がピットとしてプリフォーマットされている。次
いで、複数のスパッタ成膜室を有する連続スパッタ装置
を用いて、基板上に各層を積層した。スパッタ雰囲気ガ
スとしてアルゴンガスまたはアルゴン/窒素混合ガスを
用いた。ポリカーボネート基板は、最初の成膜室での成
膜操作が終了した後に、専用のトレーで次の成膜室に搬
送される。第1、第2誘電体膜成膜室には、スパッタリ
ングターゲットとしてSiを用いた。光磁気記録膜成膜
室にはTbFeCo合金を、強磁性薄膜成膜室には、F
e,Co,Ni,FeCo合金またはCoNi合金のい
ずれかを、反射膜成膜室にはAlを、それぞれ、スパッ
タリングターゲットとして用いた。成膜条件として、A
r流量、N2 流量、ガス圧、投入電力を適宜調節して表
1に記載した膜厚の各層を有する光磁気ディスクを製造
した。各種の強磁性薄膜層の膜厚はスパッタリング条件
を変化させて種々の厚さに調整した。こうして磁性層と
してFe,Co,Ni,FeCo合金またはCoNi合
金のいずれかを磁性層5として有する図1に示した構造
の光磁気ディスクを得た。
【0023】比較例として、強磁性薄膜層を設けなかっ
た以外は、上記と同様にして光磁気ディスクを製造し
た。
【0024】上記実施例及び比較例で得られた光磁気デ
ィスクについて、磁界変調方式で種々の磁界の大きさの
下でサンプル信号を記録した。以下の条件で再生するこ
とにより、再生可能な(完全な記録マーク(記録磁区)
が形成される)磁界の大きさを調べた。また、再生信号
からCN比を測定した。図2に再生CN比の記録磁界依
存性を示す。再生CN比の測定は、マ−ク長0.8μm
のサンプル記録信号を、デュ−ティ−比50%、線速
7.5m/secで再生した。再生光として波長780
nmのレーザ光を用い、レーザパワ−を1.5mWとし
た。光ピックアップのレンズNAは0.55であった。
【0025】図2では、強磁性薄膜層として5Aの厚さ
の純粋なCo膜を付加した光磁気ディスクと、この層を
付加していない比較例の光磁気ディスクとを比較して示
す。図2より、完全な形状の記録マ−ク(記録磁区)が
形成され、再生CN比が飽和に達する記録磁界(図中に
矢印で示した必要最小記録磁界)が、純粋なCo層を光
磁気記録層に付加することにより著しく低減しているこ
とがわかる。上記実施例で得られた光磁気ディスクの強
磁性薄膜層の膜厚を変化させたときの必要最小記録磁界
の変化を図3及び図4に示す。図3には、強磁性薄膜層
として、Fe、Coを用いた場合、また図4には、Fe
Co合金、CoNi合金を用いた場合を示した。図3及
び図4から、いづれの材料の場合もその膜厚が30Aを
超えると必要最小磁界が急激に増加するが、膜厚が30
A以下であれば、必要最小記録磁界を、50〜60Oe
程度の極めて低い値に維持できることがわかる。
【0026】図5は、強磁性層薄膜としてNi層を用
い、その膜厚を変化させたときの必要最小記録磁界の変
化を示す。図3より、膜厚が500A以下であれば、最
小記録磁界を50Oe以下にすることができることがわ
かる。
【0027】以上の結果から、1〜30Aの厚さのF
e、Co、FeCo合金またはCoNi合金を光磁気記
録層の補助層として用いることにより、あるいは1〜5
00Aの厚さのNi層を光磁気記録層の補助層として用
いることにより、高い磁界感度を得ることができること
が明らかである。
【0028】本実施例では、Fe、Co、Ni、FeC
o合金またはCoNi合金強磁性薄膜層5を光磁気記録
層4と第2誘電体層6との界面に設けたが、光磁気記録
層4と第1誘電体層3との界面に設けた場合でも、また
は、その両方に設けた場合でも同様な結果が得られた。
【0029】上記実施例では、光磁気ディスクとして、
図1に示した構造のものを製造したが、図6(a)に示
すような基板1上に、第1誘電体層3、光磁気記録層
4、磁性薄膜層5及び金属反射層7または熱制御層を積
層した構造のものや、図6(b)に示すような基板1上
に、第1誘電体層3、光磁気記録層4、磁性薄膜層5及
び誘電体保護層8を積層した構造のものを採用してもよ
い。
【0030】また、光磁気記録層5を、図7(a)及び
(b)に示したような多層膜にして用いることもでき
る。この場合も、磁性薄膜は本発明で規定した範囲内の
膜厚であり且ついずれかの光磁気記録膜に接触している
必要がある。
【0031】
【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体は、極めて低磁
界での記録が可能である。本発明の光磁気記録媒体を用
いることにより高速で且つ高密度な磁界変調記録が可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例で製造した光磁気ディスクの部
分断面図である。
【図2】実施例及び比較例において製造された光磁気デ
ィスクに磁界変調記録した場合の再生CN比の記録磁界
依存性を示すグラフである。
【図3】本発明の光磁気ディスクにおいてCoまたはF
e磁性層を光磁気記録層に付加した場合の必要最小記録
磁界と磁性層の厚さとの関係を示すグラフである。
【図4】FeCo合金及びCoNi合金薄膜層を光磁気
記録層に付加した場合の必要最小記録磁界と磁性層の厚
さとの関係を示すグラフである。
【図5】本発明の光磁気ディスクにおいてNi層を光磁
気記録層に付加した場合の必要最小記録磁界と磁性層の
厚さとの関係を示すグラフである。
【図6】実施例の光磁気記録媒体とは異なる構造を有す
る本発明の光磁気ディスク示す断面図であり、(a)は
第2誘電体層がない構造を示し、(b)は反射層がない
構造を示す。
【図7】実施例の光磁気記録媒体とは異なり2層以上の
光磁気記録層を有する本発明の光磁気ディスクの部分断
面図であり、(a)は3層の光磁気記録膜を有し、
(b)は2層の光磁気記録層を有する。
【符号の説明】
1 透明基板 2 基板信号面 3 第1誘電体層 4 光磁気記録層 4’第2光磁気記録層 4”第3光磁気記録層 5 強磁性薄膜層 6 第2誘電体層 7 金属反射層

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板上に光磁気記録層を含む薄膜を
    形成してなる光磁気記録媒体において、 前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
    に、1〜30Aの厚さのFe磁性薄膜層を光磁気記録層
    と接触するように設けたことを特徴とする光磁気記録媒
    体。
  2. 【請求項2】 透明基板上に光磁気記録層を含む薄膜を
    形成してなる光磁気記録媒体において、 前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
    に、1〜30Aの厚さのCo磁性薄膜層を光磁気記録層
    と接触するように設けたことを特徴とする光磁気記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 透明基板上に光磁気記録層を含む薄膜を
    形成してなる光磁気記録媒体において、 前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
    に、1〜30Aの厚さのFeCo合金磁性薄膜層を光磁
    気記録層と接触するように設けたことを特徴とする光磁
    気記録媒体。
  4. 【請求項4】 透明基板上に光磁気記録層を含む薄膜を
    形成してなる光磁気記録媒体において、 前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
    に、1〜30Aの厚さのCoNi合金磁性薄膜層を光磁
    気記録層と接触するように設けたことを特徴とする光磁
    気記録媒体。
  5. 【請求項5】 上記磁性薄膜層が、1〜20Aの厚さで
    あることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項の光
    磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】 上記磁性薄膜層が、1〜10Aの厚さで
    あることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項の光
    磁気記録媒体。
  7. 【請求項7】 上記磁性薄膜層が、2〜5Aの厚さであ
    ることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項の光磁
    気記録媒体。
  8. 【請求項8】 必要最小記録磁界が、60(Oe)以下
    である請求項1〜7のいずれか一項の光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 透明基板上に光磁気記録層を含む薄膜を
    形成してなる光磁気記録媒体において、 前記光磁気記録層の上層、下層及び上下層のいずれか
    に、1〜500Aの厚さのNi薄膜層を光磁気記録層と
    接触するように設けたことを特徴とする光磁気記録媒
    体。
  10. 【請求項10】 上記Ni薄膜層が、1〜300Aの厚
    さであることを特徴とする請求項9の光磁気記録媒体。
  11. 【請求項11】 上記Ni薄膜層が、1〜100Aの厚
    さであることを特徴とする請求項9または10の光磁気
    記録媒体。
  12. 【請求項12】 上記Ni薄膜層が、1〜30Aの厚さ
    であることを特徴とする請求項9〜11のいずれか一項
    の光磁気記録媒体。
  13. 【請求項13】 必要最小記録磁界が、50(Oe)以
    下である請求項9〜12のいずれか一項の光磁気記録媒
    体。
  14. 【請求項14】 前記光磁気記録層が、希土類−遷移金
    属系の非晶質垂直磁化膜であることを特徴とする請求項
    1〜13のいずれか一項の光磁気記録媒体。
  15. 【請求項15】 上記光磁気記録層を含む薄膜が、第1
    誘電体層、光磁気記録層、第2誘電体層及び金属反射層
    が順次積層されてなる薄膜であることを特徴とする請求
    項1〜14のいずれか一項の光磁気記録媒体。
  16. 【請求項16】 磁界変調方式で記録・再生される請求
    項1〜15の光磁気記録媒体。
  17. 【請求項17】 透明基板上に第1誘電体層、光磁気記
    録層、磁性薄膜層、第2誘電体層及び金属反射層が順次
    積層されてなる磁界変調方式で記録される光磁気ディス
    クであって、 上記磁性薄膜層が、1〜30Aの厚さのFe,Co,F
    eCo,CoNiからなる群から選ばれた一種から構成
    されていることを特徴とする上記光磁気ディスク。
JP12718595A 1994-04-28 1995-04-27 光磁気記録媒体 Pending JPH0817082A (ja)

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