JPH08170976A - 半導体試験装置用ハンドラ機構 - Google Patents
半導体試験装置用ハンドラ機構Info
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- JPH08170976A JPH08170976A JP29781794A JP29781794A JPH08170976A JP H08170976 A JPH08170976 A JP H08170976A JP 29781794 A JP29781794 A JP 29781794A JP 29781794 A JP29781794 A JP 29781794A JP H08170976 A JPH08170976 A JP H08170976A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 34
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 235000007688 Lycopersicon esculentum Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000004443 Ricinus communis Nutrition 0.000 claims description 2
- 240000003768 Solanum lycopersicum Species 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
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- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体試験装置用のハンドラ機構において、
各ピック＆プレースヘッド部の動作が中断して遊休する
ことを最小限として、搬出、分類、収納の効率を上げ、
当該半導体試験装置の稼働率を向上させ得るハンドラ機
構を提供する。 【構成】 複数のデバイス搬送機構部８、９、12の間を
つなぐバッファステージ10とバッファトレイ11を設け、
かつバッファステージ10のレール上をバッファトレイ11
を行き来させ、ピック＆プレースヘッド部３によって、
デバイス搬送専用治具４、５上の被測定対象デバイス１
の測定結果に基づき、搬出、分類、収納するハンドラの
機構。
各ピック＆プレースヘッド部の動作が中断して遊休する
ことを最小限として、搬出、分類、収納の効率を上げ、
当該半導体試験装置の稼働率を向上させ得るハンドラ機
構を提供する。 【構成】 複数のデバイス搬送機構部８、９、12の間を
つなぐバッファステージ10とバッファトレイ11を設け、
かつバッファステージ10のレール上をバッファトレイ11
を行き来させ、ピック＆プレースヘッド部３によって、
デバイス搬送専用治具４、５上の被測定対象デバイス１
の測定結果に基づき、搬出、分類、収納するハンドラの
機構。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体試験装置に用い
られるハンドラの機構に関する。
られるハンドラの機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に示すように、半導体試験装置のハ
ンドラ機構では、デバイス搬送専用治具４、５上に被測
定対象デバイス１を搬入したり又は、特性測定が終了し
た当該デバイス１を搬出し、測定データに基づくカテゴ
リー別に分類しながら、収納カストマトレイ６・７上に
収納する。その場合に、従来技術においては、デバイス
搬送機構部８、９が複数で構成されていても、ＸＹテー
ブル２上で作動するピック＆プレースヘッド部３が複数
個同時に当該デバイス１を搬入したり、搬出できるの
は、それぞれの当該搬送機構部８、９内にあるデバイス
搬送専用治具４、５或いは収納カストマトレイ６、７に
対してだけであった。
ンドラ機構では、デバイス搬送専用治具４、５上に被測
定対象デバイス１を搬入したり又は、特性測定が終了し
た当該デバイス１を搬出し、測定データに基づくカテゴ
リー別に分類しながら、収納カストマトレイ６・７上に
収納する。その場合に、従来技術においては、デバイス
搬送機構部８、９が複数で構成されていても、ＸＹテー
ブル２上で作動するピック＆プレースヘッド部３が複数
個同時に当該デバイス１を搬入したり、搬出できるの
は、それぞれの当該搬送機構部８、９内にあるデバイス
搬送専用治具４、５或いは収納カストマトレイ６、７に
対してだけであった。
【０００３】デバイス搬送専用治具はハンドラに固有の
もので、当該試験装置の測定部と当該デバイスの端子部
とで測定するためにコンタクトをとることが可能な構造
となっているものである。なお、デバイス搬送専用治具
４、５は、数珠繋ぎになっており、エンドレスで一定方
向に、例えば図２に示すように右から左へ１ステップづ
つ移動していく。そのために（１）デバイス搬送機構部
Ａ８に移動してきたデバイス搬送専用治具Ａ４上のデバ
イス１を隣接のデバイス搬送機構部Ｂ９上の収納カスト
マトレイＢ７に搬出し収納することはできず、また同様
にして、デバイス搬送専用治具Ｂ５から収納カストマト
レイＡ６へも搬出、収納することもできない。それ故、
（２）例えば、各デバイス搬送機構部上の各デバイス搬
送専用治具から各収納カストマトレイにデバイスを収納
する場合、収納処理時間の長いどちらか一方に律速され
てしまい、他方のピック＆プレースヘッド部が遊休して
しまうので搬出、収納の効率が上がらず、従って半導体
試験装置の稼働率が向上しないという欠点を有してい
た。
もので、当該試験装置の測定部と当該デバイスの端子部
とで測定するためにコンタクトをとることが可能な構造
となっているものである。なお、デバイス搬送専用治具
４、５は、数珠繋ぎになっており、エンドレスで一定方
向に、例えば図２に示すように右から左へ１ステップづ
つ移動していく。そのために（１）デバイス搬送機構部
Ａ８に移動してきたデバイス搬送専用治具Ａ４上のデバ
イス１を隣接のデバイス搬送機構部Ｂ９上の収納カスト
マトレイＢ７に搬出し収納することはできず、また同様
にして、デバイス搬送専用治具Ｂ５から収納カストマト
レイＡ６へも搬出、収納することもできない。それ故、
（２）例えば、各デバイス搬送機構部上の各デバイス搬
送専用治具から各収納カストマトレイにデバイスを収納
する場合、収納処理時間の長いどちらか一方に律速され
てしまい、他方のピック＆プレースヘッド部が遊休して
しまうので搬出、収納の効率が上がらず、従って半導体
試験装置の稼働率が向上しないという欠点を有してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、デバイス搬送機構部が複数あっても、各デ
バイス搬送専用治具及び各収納カストマトレイの間で相
互に、どこへでもデバイスを搬出し収納することができ
るようにすることで、各ピック＆プレースヘッド部の動
作が遊休するのを最小限とし搬送効率を上げ、それによ
って半導体試験装置としての稼働率を向上させることが
できるハンドラ機構を得ることにある。
する課題は、デバイス搬送機構部が複数あっても、各デ
バイス搬送専用治具及び各収納カストマトレイの間で相
互に、どこへでもデバイスを搬出し収納することができ
るようにすることで、各ピック＆プレースヘッド部の動
作が遊休するのを最小限とし搬送効率を上げ、それによ
って半導体試験装置としての稼働率を向上させることが
できるハンドラ機構を得ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、複数のデバイス搬送機構部の間
をつなぐバッファステージを設けたことで、各デバイス
搬送機構部との連携動作を可能とした。そして、バッフ
ァステージ内には、１ヶ又は複数のバッファトレイを設
け、各デバイス搬送機構部に設けたバッファステージを
つなぐレール上を行き来して移動ができるようにした。
バッファトレイは、他のデバイス搬送専用治具及び収納
カストマトレイと同様にデバイスを複数個収納すること
ができるものである。またデバイス搬送専用治具上に収
納された各デバイスの測定結果に基づき、カテゴリー別
の分類先である収納カストマトレイ番号を選択したり、
一時的にデバイスを収納してバッファとなる役割を当該
バッファトレイは果たす。
に、本発明においては、複数のデバイス搬送機構部の間
をつなぐバッファステージを設けたことで、各デバイス
搬送機構部との連携動作を可能とした。そして、バッフ
ァステージ内には、１ヶ又は複数のバッファトレイを設
け、各デバイス搬送機構部に設けたバッファステージを
つなぐレール上を行き来して移動ができるようにした。
バッファトレイは、他のデバイス搬送専用治具及び収納
カストマトレイと同様にデバイスを複数個収納すること
ができるものである。またデバイス搬送専用治具上に収
納された各デバイスの測定結果に基づき、カテゴリー別
の分類先である収納カストマトレイ番号を選択したり、
一時的にデバイスを収納してバッファとなる役割を当該
バッファトレイは果たす。
【０００６】
(1)例えば、測定終了のものをデバイス搬送専用治具上
から搬出し、分類し、収納する処理を行うときには、同
一のデバイス搬送機構部内にある当該専用治具と収納カ
ストマトレイとの間でしかできなかった。本発明によれ
ば、バッファステージ及びバッファトレイを設けたこと
により、同一でないデバイス搬送機構部内にある収納カ
ストマトレイへの収納が容易に可能となった。 (2)バッファトレイは、一時的にデバイス収納しておく
バッファの役目をする他に、デバイスを収納したまま或
いは空であっても他のデバイス搬送機構部内にバッファ
ステージによって移動することができる。この役割と動
作ができることで、測定結果によって分布したカテゴリ
ー別の数の異なり、即ち、カテゴリー別に必要な処理の
数の異なりによる処理時間のアンバランスを吸収して、
搬送効率を上げることが可能となった。従来技術のハン
ドラ機構で一方通行でありシリアルに処理していくしか
なかった。
から搬出し、分類し、収納する処理を行うときには、同
一のデバイス搬送機構部内にある当該専用治具と収納カ
ストマトレイとの間でしかできなかった。本発明によれ
ば、バッファステージ及びバッファトレイを設けたこと
により、同一でないデバイス搬送機構部内にある収納カ
ストマトレイへの収納が容易に可能となった。 (2)バッファトレイは、一時的にデバイス収納しておく
バッファの役目をする他に、デバイスを収納したまま或
いは空であっても他のデバイス搬送機構部内にバッファ
ステージによって移動することができる。この役割と動
作ができることで、測定結果によって分布したカテゴリ
ー別の数の異なり、即ち、カテゴリー別に必要な処理の
数の異なりによる処理時間のアンバランスを吸収して、
搬送効率を上げることが可能となった。従来技術のハン
ドラ機構で一方通行でありシリアルに処理していくしか
なかった。
【０００７】（3）なお基本的には、次の様な状況の時
バッファトレイが特に有効となる。 (イ)各々のデバイス搬送機構部のどちらか一方にしかデ
バイスが収納されたデバイス搬送専用治具が来ていない
場合。 (ロ)各々のデバイス搬送専用治具上からお互いにデバイ
ス搬送機構部の異なる収納カストマトレイ上に、デバイ
スを搬出、分類、収納したい場合。 (ハ)各々のデバイス搬送機構部の双方に、又はどちらか
一方において収納カストマトレイがない場合。
バッファトレイが特に有効となる。 (イ)各々のデバイス搬送機構部のどちらか一方にしかデ
バイスが収納されたデバイス搬送専用治具が来ていない
場合。 (ロ)各々のデバイス搬送専用治具上からお互いにデバイ
ス搬送機構部の異なる収納カストマトレイ上に、デバイ
スを搬出、分類、収納したい場合。 (ハ)各々のデバイス搬送機構部の双方に、又はどちらか
一方において収納カストマトレイがない場合。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の実施例の概念を示す平面図
である。 (1)図１に示すように、各デバイス搬送機構部８、９の
各デバイス搬送専用治具４、５と各収納カストマトレイ
６、７との間に、本発明のバッファステージ10及びバッ
ファトレイ11を設けた。バッファステージ10のレールに
よって、それぞれのデバイス搬送機構部８、９は接続さ
れ、そのレールに倣ってバッファトレイ11は左右に移動
できる。移動指令は制御シーケンサにより行われる。 (2)バッファステージ10及びバッファトレイ11を設けた
ことで、ピック＆プレースヘッド３の２つが最も効率的
に動作するようシーケンサをプログラム制御する。即
ち、２つのピック＆プレースヘッド３が常に遊休するこ
となく絶えず動作しているようにコントロールする。
である。 (1)図１に示すように、各デバイス搬送機構部８、９の
各デバイス搬送専用治具４、５と各収納カストマトレイ
６、７との間に、本発明のバッファステージ10及びバッ
ファトレイ11を設けた。バッファステージ10のレールに
よって、それぞれのデバイス搬送機構部８、９は接続さ
れ、そのレールに倣ってバッファトレイ11は左右に移動
できる。移動指令は制御シーケンサにより行われる。 (2)バッファステージ10及びバッファトレイ11を設けた
ことで、ピック＆プレースヘッド３の２つが最も効率的
に動作するようシーケンサをプログラム制御する。即
ち、２つのピック＆プレースヘッド３が常に遊休するこ
となく絶えず動作しているようにコントロールする。
【０００９】(3)バッファステージ10及びバッファトレ
イ11を設けたことで、ピック＆プレースヘッド３は、一
度に複数個、例えば、４個をピックアップするとき、マ
トリックス状に同一ピッチで並んでいるデバイス搬送専
用治具４、５のデバイスを、特性で区別されたカテゴリ
ーにこだわらずに４個分同時にピックアップしてしてし
まう。そして、それを分類して収納するためにプレース
メントするときには、先ず、バッファトレイ11上に一方
のカテゴリーのものををマトリックス順に収納し、もう
一方のカテゴリーのものを収納カストマトレイ上に同じ
くマトリックス順に収納することができる。このため
に、デバイス搬送専用治具４、５上のデバイスの搬出処
理時間が少なくて済むので効率が上がり、かつほぼ一定
のサイクルで搬出処理が完了するので、当該専用治具
４、５の流れがスムーズとなり、半導体試験装置への搬
入もスムーズとなる。
イ11を設けたことで、ピック＆プレースヘッド３は、一
度に複数個、例えば、４個をピックアップするとき、マ
トリックス状に同一ピッチで並んでいるデバイス搬送専
用治具４、５のデバイスを、特性で区別されたカテゴリ
ーにこだわらずに４個分同時にピックアップしてしてし
まう。そして、それを分類して収納するためにプレース
メントするときには、先ず、バッファトレイ11上に一方
のカテゴリーのものををマトリックス順に収納し、もう
一方のカテゴリーのものを収納カストマトレイ上に同じ
くマトリックス順に収納することができる。このため
に、デバイス搬送専用治具４、５上のデバイスの搬出処
理時間が少なくて済むので効率が上がり、かつほぼ一定
のサイクルで搬出処理が完了するので、当該専用治具
４、５の流れがスムーズとなり、半導体試験装置への搬
入もスムーズとなる。
【００１０】また、本発明のバッファステージ10とバッ
ファトレイ11を設けたハンドラ機構は、以下に記載する
ような組み合わせと構成が可能である。即ち、３ヶ以
上のデバイス搬送機構部８、９、12の間をつなぐバッフ
ァステージ10と１ヶ又は２ヶ以上のバッファトレイ11を
設けた機構。、記載のものに加えて、バッファステ
ージ10を２ヶ所以上設けた機構。デバイス搬送機構部
が２ヶ以上のものでバッファステージ10を設け、それら
を組として１部でダブらせたり、複数組で組み合わせた
もの、或いは、及び記載のものを加えた機構。バ
ッファステージ10の機構を、複数のバッファトレイ11を
収納できるエレベータとしたもの、或いは、、又は
記載のものを加えた機構。バッファトレイ11にユー
ザのカスタムメイドである収納カストマトレイ６、７を
使用したもの、或いは、、又は記載のものを加
えたり、組み合わせた機構などである。
ファトレイ11を設けたハンドラ機構は、以下に記載する
ような組み合わせと構成が可能である。即ち、３ヶ以
上のデバイス搬送機構部８、９、12の間をつなぐバッフ
ァステージ10と１ヶ又は２ヶ以上のバッファトレイ11を
設けた機構。、記載のものに加えて、バッファステ
ージ10を２ヶ所以上設けた機構。デバイス搬送機構部
が２ヶ以上のものでバッファステージ10を設け、それら
を組として１部でダブらせたり、複数組で組み合わせた
もの、或いは、及び記載のものを加えた機構。バ
ッファステージ10の機構を、複数のバッファトレイ11を
収納できるエレベータとしたもの、或いは、、又は
記載のものを加えた機構。バッファトレイ11にユー
ザのカスタムメイドである収納カストマトレイ６、７を
使用したもの、或いは、、又は記載のものを加
えたり、組み合わせた機構などである。
【００１１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明のバッファステージ及びバッファトレイを設
けたことで、各々のデバイス搬送専用治具及び各々の収
納カストマトレイの間で、相互にどこへでもデバイスを
搬出し、収納することができるようになった。それ故、
測定結果による当該専用治具上のデバイスの分類カテゴ
リー別の分布率の差異を吸収して各々のピック＆プレー
スヘッド部の動作が遊休するのが防止できた。従って、
デバイスの搬出、分類・収納の効率が高まり、当該専用
治具の流れがスムーズに一定間隔となったので、半導体
試験装置の稼働率を格段に向上させることができた。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明のバッファステージ及びバッファトレイを設
けたことで、各々のデバイス搬送専用治具及び各々の収
納カストマトレイの間で、相互にどこへでもデバイスを
搬出し、収納することができるようになった。それ故、
測定結果による当該専用治具上のデバイスの分類カテゴ
リー別の分布率の差異を吸収して各々のピック＆プレー
スヘッド部の動作が遊休するのが防止できた。従って、
デバイスの搬出、分類・収納の効率が高まり、当該専用
治具の流れがスムーズに一定間隔となったので、半導体
試験装置の稼働率を格段に向上させることができた。
【００１２】また（2）本発明のバッファステージ及び
バッファトレイを設けたことで、ピック＆プレースヘッ
ド部では、例えば一度に４ヶづつピックアップする方式
であれば、毎回４ヶづつピックアップしフルに能力を発
揮させられるので、当該専用治具上からの搬出効率が向
上した。このことは、バッファステージ及びバッファト
レイを複数設ける場合に、更にその特長が発揮され効果
が増大する。
バッファトレイを設けたことで、ピック＆プレースヘッ
ド部では、例えば一度に４ヶづつピックアップする方式
であれば、毎回４ヶづつピックアップしフルに能力を発
揮させられるので、当該専用治具上からの搬出効率が向
上した。このことは、バッファステージ及びバッファト
レイを複数設ける場合に、更にその特長が発揮され効果
が増大する。
【図１】本発明の実施例のハンドラ機構の概念を示す平
面図である。
面図である。
【図２】従来技術のハンドラ機構の概念を示す平面図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ 被測定対象デバイス ２ ＸＹテーブル ３ ピック＆プレースヘッド部 ４ デバイス搬送専用治具Ａ ５ デバイス搬送専用治具Ｂ ６ 収納カストマトレイＡ ７ 収納カストマトレイＢ ８ デバイス搬送機構部Ａ ９ デバイス搬送機構部Ｂ 10 バッファステージ 11 バッファトレイ 12 デバイス搬送機構部Ｎ
Claims (7)
- 【請求項１】 被測定対象デバイス（１）と、ＸＹテー
ブル（２）上で作動するピック＆プレースヘッド部
（３）によって、デバイス搬送専用治具Ａ・Ｂ（４、
５）上に搬入又は搬出し、かつ、特性測定が終了した被
測定対象デバイス（１）を測定データに基づくカテゴリ
ー別に分類しながら、収納カストマトレイＡ・Ｂ（６、
７）上に収納する機能を有し、独立した制御シーケンス
による動作を行うデバイス搬送機構部Ａ・Ｂ（８、９）
からなるハンドラ構成において、 当該デバイス搬送機構部Ａ・Ｂ（８、９）の間をつなぎ
連携動作を可能とするバッファステージ（10）とバッフ
ァトレイ（11）を設けた、以上の構成を具備することを
特徴とする、半導体試験装置用ハンドラ機構。 - 【請求項２】 ３ヶ以上のデバイス搬送機構部Ａ・Ｂ・
Ｎ（８、９、12）の間をつなぐ１ヶのバッファステージ
（10）と１ヶのバッファトレイ（11）を設けた請求項１
記載の半導体試験装置用ハンドラ機構。 - 【請求項３】 ３ヶ以上のデバイス搬送機構部Ａ・Ｂ・
Ｎ（８、９、12）と２ヶ以上のバッファトレイ（11）を
設けた請求項１記載の半導体試験装置用ハンドラ機構。 - 【請求項４】 バッファステージ（10）を２ヶ所以上設
けた請求項１、２又は３記載の半導体試験装置用ハンド
ラ機構。 - 【請求項５】 デバイス搬送機構部Ａ・Ｂ・Ｎ（８、
９、12）が２ヶ所以上のものでバッファステージ（10）
を設け、それらを１部ダブらせたり複数組を組み合わせ
たものからなる請求項１、２、３又は４記載の半導体試
験用ハンドラ機構。 - 【請求項６】 バッファステージ（10）が複数のバッフ
ァトレイ（11）を収納できるエレベータとした請求項
１、２、３、４又は５記載の半導体試験装置用ハンドラ
機構。 - 【請求項７】 バッファトレイ（11）にユーザのカスタ
ムメイドである収納カストマトレイＡ・Ｂ（６・７）を
使用した請求項１、２、３、４、５又は６記載の半導体
試験用ハンドラ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29781794A JPH08170976A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 半導体試験装置用ハンドラ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29781794A JPH08170976A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 半導体試験装置用ハンドラ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08170976A true JPH08170976A (ja) | 1996-07-02 |
Family
ID=17851552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29781794A Withdrawn JPH08170976A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | 半導体試験装置用ハンドラ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08170976A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100349942B1 (ko) * | 1999-12-06 | 2002-08-24 | 삼성전자 주식회사 | 램버스 핸들러 |
| KR100700705B1 (ko) * | 2005-06-09 | 2007-03-27 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 쏘팅시스템 및 쏘팅방법 |
| KR100722644B1 (ko) * | 1998-04-02 | 2007-05-28 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 집적회로 시험장치 |
| KR100792727B1 (ko) * | 2006-04-28 | 2008-01-11 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치 |
| KR100800312B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2008-02-04 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법 |
| KR100806375B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2008-02-27 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러의 챔버구조 및 트레이 이송방법 |
| KR100815131B1 (ko) | 2006-10-02 | 2008-03-20 | 세크론 주식회사 | 트레이 로딩/언로딩장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러 |
| WO2009107231A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品移載装置およびそれを備えた電子部品試験装置 |
-
1994
- 1994-09-06 JP JP29781794A patent/JPH08170976A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100722644B1 (ko) * | 1998-04-02 | 2007-05-28 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 집적회로 시험장치 |
| KR100349942B1 (ko) * | 1999-12-06 | 2002-08-24 | 삼성전자 주식회사 | 램버스 핸들러 |
| KR100700705B1 (ko) * | 2005-06-09 | 2007-03-27 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 쏘팅시스템 및 쏘팅방법 |
| KR100800312B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2008-02-04 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법 |
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