JPH08171407A - 加工工具移動式加工装置及び加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被加工物に回転振れがあっても、これに追尾
したバイトで精度よく加工できるようにする。 【解決手段】 回転主軸（１）に設けられた保持部材
（２）で保持される被加工物（３）の回転位置を検出す
る回転位置検出センサ（９）と、前記被加工物の加工基
準面の振れ量を検出する振れ検出センサ（１０，１０
ａ，１０ｂ）と、振れ検出センサの出力信号波形をサイ
ンカーブに近似した波形に整形する波形整形手段（１
４）と、波形整形手段の出力信号に基づき前記被加工物
の加工点における加工工具（４，４ａ，４ｂ）の位置補
正量を回転主軸の回転に同期して算出する演算手段（１
２）と、演算手段の出力信号に基づき前記位置補正量を
前記回転位置および前記加工点ごとに出力する出力手段
（１３）と、出力手段の出力信号に基づき加工工具を微
動させる微動調整機構（１５）と、微動調整機構を搭載
して二次元的に移動して前記被加工物の加工を行うＮＣ
テーブル（５）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バイト、フライス
工具、研磨工具などの加工工具を搭載したＮＣテーブル
を二次元的に移動させて切削、フライス、研磨等の加工
を行う加工工具移動式加工装置及び加工方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＮＣテーブルを備えたバイト移動
式切削装置が、ビデオテープレコーダ用ヘッドシリンダ
などの高精度部品の切削加工に広く用いられている。図
５に示す従来のバイト移動式切削装置は、矢印Ａの方向
に回転する回転主軸１の軸上にチャック２を有し、チャ
ック２によって被加工物３が把持される。図示した被加
工物３はビデオテープレコーダ用のヘッドシリンダで、
その中心軸部にセンタ穴３ａがある。一方、被加工物３
の外周面を切削するバイト４を搭載してなるＮＣテーブ
ル５は、制御回路６に組み込まれたプログラムに基づ
き、矢印ＢおよびＣで示す方向に二次元的に移動する。
切削加工を終えた被加工物３たるヘッドシリンダのセン
タ穴３ａには、図６に示すようにヘッドシリンダとは異
質のシャフト７が、焼き填めまたは圧入等の方法で結合
される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで問題となるの
は、被加工物３の外周面をいかに高い精度で切削加工し
ても、センタ穴３ａに結合されたシャフト７が、図６に
示すように被加工物３の外周面に対して傾きやすいとい
うことである。この傾きによる回転振れ量は高だか数ミ
クロンのオーダであっても、最終製品としてのビデオテ
ープレコーダにおいては大きな障害となる。なぜなら、
磁気テープはヘッドシリンダの外周面を基準にして走行
するのに対し、磁気ヘッドはシャフト７を基準にして回
転するので、磁気ヘッドが磁気テープを正しくトレース
できず、再生画像の画質が損なわれるからである。

【０００４】このような課題は、センタ穴３ａにまずシ
ャフト７を結合しておき、シャフト７を基準にしてヘッ
ドシリンダの外周面を削工すれば解決する。しかし、従
来の切削装置を用いてこれを実現しようとすると、傾い
て結合されたシャフト７が回転主軸１に同軸となるよう
に、被加工物３をチャック２に装着する際に微細な調整
を要し、この調整は手作業に頼らざるを得ないので量産
に適しない。

【０００５】かかる課題は、ヘッドシリンダの切削加工
に限らず起こる。例えば図７に示すように、棒状の被加
工物８の外周面を全長にわたり切削加工する場合を考え
る。

【０００６】この場合、棒状の被加工物８の一方の端部
８ａをチャック２で把持して他方の端部８ｂを切削加工
する。次いで、端部８ｂをチャック２で把持し直して端
部８ａを切削加工することになるが、チャック２で端部
８ｂを把持し直すときに回転主軸１と端部８ｂとの同軸
性が狂うと、端部８ａに回転振れが生じる。

【０００７】端部８ａは回転主軸１の回転中心を基準に
して削工されるので、回転振れが生じると被加工物８を
その全長にわたり高い精度で切削加工することができな
くなる。この場合も上述したヘッドシリンダにおけると
同様に、チャック２で把持される端部８ａの長さよりも
十分に長い範囲にわたって端部８ｂを切削加工してお
き、切削を終えた端部８ｂをチャック２で把持し直せば
よいのであるが、この場合も人手に頼ることになるので
量産には適しない。

【０００８】そこで本出願人は、被加工物の加工基準面
が回転主軸の回転に伴い回転振れを起こしても、高い精
度で切削加工ができるバイト移動式切削装置を提案して
きた（特願平４−３２３９２５号）。しかし、この既提
案の切削装置は、加工基準面が理想的な条件のもとで測
定されることを前提にしているので、測定時の条件次第
で加工基準面の振れ測定に誤差を生じる。この誤差の発
生原因には以下の２点がある。その一つは、加工基準面
の精度が低いことによる誤差である。バイトは加工基準
面の回転振れに追従して移動するので、加工基準面に傷
や汚れがあったり、真円度や平面度などが低かったりす
ると測定誤差を生じ、加工精度に低下をきたす。いま一
つは、加工基準面の回転振れ測定方式にかかわる誤差で
ある。接触式・静電容量式の距離センサやレーザ変位計
などは、加工基準面に付着している切削油やごみなどに
よって測定誤差を生じる。また、渦電流式ギャップセン
サでは、残留磁気によって測定誤差を生じる。

【０００９】したがって本発明の目的は、被加工物の回
転振れを高い精度で検出でき、回転振れに追尾した加工
工具で加工ができる加工工具移動式加工装置及び加工方
法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願の第１発明による
と、上述した目的を達成するために、回転主軸に設けら
れた保持部材で保持される被加工物の回転位置を検出す
る回転位置検出センサと、前記被加工物の加工基準面の
振れ量を検出する振れ検出センサと、振れ検出センサの
出力信号波形をサインカーブに近似した波形に整形する
波形整形手段と、波形整形手段の出力信号に基づき前記
被加工物の加工点における加工工具の位置補正量を回転
主軸の回転に同期して算出する演算手段と、演算手段の
出力信号に基づき前記位置補正量を前記回転位置および
前記加工点ごとに出力する出力手段と、出力手段の出力
信号に基づき加工工具を微動させる微動調整機構と、微
動調整機構を搭載して二次元的に移動して前記被加工物
の加工を行うＮＣテーブルとを備えてなることを特徴と
する加工工具移動式加工装置が提供される。

【００１１】本願の第２発明によると、上述した目的を
達成するために、被加工物を回転させ、前記被加工物の
回転位置を検出し、前記被加工物の加工基準面の振れ量
を検出し、前記振れ量の信号をサインカーブに近似した
波形に整形し、前記近似された波形の信号に基づき前記
被加工物の加工点における加工工具の位置補正量を回転
主軸の回転に同期して算出し、前記位置補正量の信号に
基づき前記位置補正量を前記回転位置および前記加工点
ごとに出力し、微動調整機構によって前記出力された位
置補正量の信号に基づき加工工具を微動させ、微動調整
機構を二次元的に移動させて前記被加工物の加工を行う
ようにしたことを特徴とする加工工具移動式加工方法が
提供される。

【００１２】本発明は上述のように構成されるので、被
加工物の加工面全域に対する必要な補正量を加工前に演
算しておくことができる。とくに、保持部材により保持
された被加工物の加工基準面の回転振れ量を、被加工物
の回転位置に対応させて検出する一方、検出された回転
振れ量の信号波形を理論上の曲線たるサインカーブに近
似させるので、測定誤差の低減された補正量を演算によ
って得ることができる。

【００１３】また、加工中は、被加工物の加工点（加工
工具と被加工物の接触点）と、被加工物の回転位置とに
対応する補正量が出力回路から出力され、この出力信号
に基づいて駆動される微動調整機構が加工工具を微動さ
せるので、加工工具と加工基準面とは相対的に振れのな
い状態に維持される。したがって、回転主軸の回転に同
期して移動する加工工具で加工をすると、加工面は加工
基準面に対して回転振れのない面となり、加工基準面が
回転振れを起こす被加工物であっても、見かけ上、回転
振れのない状態で加工を施すことが可能となる。

【００１４】さらに、加工基準面の回転振れ量の測定結
果がサインカーブに近似したものとなるので、加工基準
面の面精度や測定方式にかかわる誤差を低減でき、結果
的に被加工物に対する加工精度を向上させることができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の一実施形態を図
面を参照しながら説明する。図１に示すバイト移動式切
削装置は、回転主軸１に設けられたチャック２、バイト
４、ＮＣテーブル５および制御回路６等を有し、チャッ
ク２に被加工物３が把持されている。

【００１６】被加工物３はビデオテープレコーダ用のヘ
ッドシリンダで、そのセンタ穴３ａにシャフト７が焼き
填めまたは圧入等の方法であらかじめ結合されており、
シャフト７が被加工物３の加工基準面となる。シャフト
７は回転主軸１の回転に伴ってわずかながら回転振れを
起こすので、故意に傾けて図示している。

【００１７】従来の切削装置と異なるのは以下の点であ
る。すなわち、被加工物３の回転位置を検出するための
回転位置検出センサ９が、回転主軸１に設けられてい
る。また、被加工物３の回転に伴ってシャフト７に生じ
る回転振れを検出するための振れ検出センサ１０が、金
具１１によってＮＣテーブル５に固定されている。

【００１８】回転位置検出センサ９の検出出力は、演算
回路１２および出力回路１３に入力され、振れ検出セン
サ１０の検出出力は、波形整形回路１４を通じて演算回
路１２に入力される。そして、演算回路１２の出力信号
が出力回路１３に入力され、出力回路１３の出力信号に
基づき微動調整機構１５がバイト４を微動させる。

【００１９】波形整形回路１４は、振れ検出センサ１０
の検出出力をサインカーブに近似させるので、加工基準
面の測定誤差を低減させることができる。また、演算回
路１２は、回転位置検出センサ９および振れ検出センサ
１０の検出出力に基づいて、被加工物３の各加工点にお
ける補正量を被加工物３の回転位置ごとに演算する。

【００２０】出力回路１３は、被加工物３の回転位置に
同期して加工点ごとの補正量を微動調整機構１５に伝達
する。バイト４を搭載した微動調整機構１５は、ＮＣテ
ーブル５上に固定されている。

【００２１】微動調整機構１５は図２に示すように、バ
イト４をねじなどで固定した可動台１６を有し、可動台
１６は１対のばね部１６ａ、１６ａによって取付台１７
に固定されている。そして、可動台１６と取付台１７と
の間に圧電素子１８が設けられている。取付台１７はＮ
Ｃテーブル５に固定されている。

【００２２】このように構成されたバイト移動式切削装
置においては、回転主軸１の回転に伴い被加工物３は矢
印Ａの方向に回転し、その加工基準面となるシャフト７
は振れながら回転する。切削加工前に、回転位置検出セ
ンサ９は被加工物３の回転位置を検出し、振れ検出セン
サ１０はシャフト７の回転振れ量を検出する。一方、演
算回路１２は両センサ９、１０の検出出力に基づき、被
加工物３の加工面に対する必要な補正量を、回転位置と
対応させながら演算する。

【００２３】その詳細を図３の（ａ）および（ｂ）を用
いて説明する。ここでは、バイト４の位置が４ａ、４ｂ
で、振れ検出センサ１０の測定位置が１０ａ、１０ｂ
で、回転主軸１の回転中心が１ａで、シャフト７の位置
が７ａ、７ｂで、そして、加工を終えた被加工物が１９
ａ、１９ｂでそれぞれ示されている。図３の（ａ）はシ
ャフト７ａが振れ検出センサ１０に最も近づいた状態を
示し、図３の（ｂ）は図３の（ａ）に示した状態から回
転主軸が１８０度回転した状態（シャフト７ｂが振れ検
出センサ１０から遠ざかった状態）を示している。
（ａ）、（ｂ）で示した２つの状態は、振れ検出センサ
１０に例えば静電容量式の距離センサを用いると、その
距離の最大位置および最小位置から容易に特定できる。
一方、被加工物３の回転位置は、回転主軸１に設けた回
転位置検出センサ９で検出できる。

【００２４】シャフト７ａとバイト４ａとの間隔が、シ
ャフト７ｂとバイト４ｂとの間隔に等しくなるように、
検出した回転振れデータから、回転主軸の回転中心１ａ
に対するシャフト７の位置を算出する。そして、シャフ
ト７ａに平行な面を削工するとき、加工点におけるシャ
フト７の振れに同期してバイト４が微動するので、相対
的に振れのない状態が実現する。

【００２５】バイト４が加工基準面たるシャフト７と相
対的に振れのない状態を維持して被加工物３の外周面を
削工することは、削工された外周面がシャフト７を基準
に加工されることを意味する。なお、前記演算および演
算結果の保存は、市販の一般的なパーソナルコンピュー
タを用いて容易に実現できる。

【００２６】振れ検出センサ１０による測定の結果は、
加工基準面の精度に大きく左右される。したがって、加
工基準面の傷や、センサの電気的ノイズをそのままにし
てバイト４に対する補正量を算出すると、加工面の真円
度や平面度などの精度を低下させる。これを防ぐため
に、理論式に見合うサインカーブに近似した波形に整形
して、バイト４の位置の補正量を算出するのであり、サ
インカーブに近似させる理由を図４を用いて説明する。

【００２７】図４の（ａ）はバイト４、被加工物３、シ
ャフト７、回転位置検出センサ９および振れ検出センサ
１０の相対関係を示している。旋盤の回転主軸１を回転
させたときのシャフト７の軌跡は、双円錐曲面またはそ
の一部分の曲面となるが、これを曲面２０とし、回転主
軸１の回転中心１ａに対して垂直な平面を平面２１とす
る。また、振れ検出センサ１０の測定位置１０ａ、１０
ｂおよびバイト４の位置における回転中心１ａに垂直な
平面をそれぞれ平面２１ａ、２１ｂ、２１ｃとする。曲
面２０と平面２１との交線は円となる。この円をそれぞ
れ円２２ａ、２２ｂ、２２ｃとする。したがって、振れ
検出センサ１０の測定位置１０ａ、１０ｂからみたシャ
フト７は円軌道を描いて回ることになり、これを測定す
ると、その測定波形はサインカーブとなる。

【００２８】次に近似の方法について説明する。回転位
置検出センサ９で１回転の時間を計測し、振れ検出セン
サ１０で振れを測定すると、その波形はサインカーブの
１周期相当分となる。図４の（ｂ）、（ｃ）は、振れ検
出センサ１０の測定位置１０ａ、１０ｂにおける測定波
形を示している。これらの図に示すように、測定波形は
理想的なサインカーブを描くとは限らず、加工基準面た
るシャフト７の真円度や、振れ検出センサ１０の測定方
式による誤差を含んでいる。このため、かかる測定波形
の信号に基づきバイト４の各位置における補正量を演算
回路１２で演算すると、図４の（ｄ）に示すような波形
となる。そして、このような波形の信号に基づいてバイ
ト４を微動させると、加工精度に悪影響を与える。

【００２９】そこで、図４の（ｂ）、（ｃ）に示した測
定波形を、波形整形回路１４で最小自乗法を適用して振
幅・位相を求め、サインカーブに近似した波形の信号を
得る。整形後の近似波形を図４の（ｅ）、（ｆ）に示
す。この近似波形の信号に基づきバイト４の各位置にお
ける補正量を演算回路１２で演算すると、図４の（ｇ）
のようになる。この波形に基づいてバイト４を微動させ
ると、加工基準面たるシャフト７の測定誤差による加工
精度の低下を抑えることができる。なお、回転振れの測
定データは１回転分だけでなく、任意の回転数分を記録
しておき、近似波形の演算に利用するのが望ましい。

【００３０】出力回路１３は、バイト４で被加工物３を
実際に切削加工するとき、バイト４のシャフト７の軸方
向の位置に対応する演算結果を、回転主軸１の回転位置
に同期して圧電素子１８に出力する。このため、バイト
４のシャフト７の軸方向の位置は、バイト４を有する微
動調整機構１５が固定されたＮＣテーブル５の位置とし
て制御回路６から入力すればよい。被加工物３の回転位
置は、回転主軸１に設けた回転位置検出センサ９の回転
位置を入力すればよい。以上のことを明確にしておけ
ば、この２つの信号に対する演算結果を同期して出力さ
せるのは、周知の制御技術で容易に実現できる。すなわ
ち、回転主軸１の回転角度を回転位置検出センサ９で常
時検出し、回転主軸１が一定角度回転する都度、ＮＣテ
ーブル５が移動して加工点が変わる都度、バイト４の位
置の補正量を計算して微動調整機構１５に出力させる。

【００３１】微動調整機構１５は、出力回路１３から出
力された信号に基づきバイト４を、図２のＤ方向に所定
量だけ微動させる。このため、出力回路１３からの信号
に対応して変位を発生させる駆動源として圧電素子１８
を用いる。この圧電素子１８は一端が十分な剛性を有す
る取付台１７に固定され、他端がばね部１６ａを有する
可動台１６に固定されているので、圧電素子１８に出力
回路１３の信号が入力されると、圧電素子１８が伸縮し
てばね部１６ａを変形させるので、可動台１６が微動す
る。圧電素子１８の駆動電圧は一般に数百ボルトであ
り、ヒステリシス特性を有するので、出力回路１３の信
号を増幅回路で増幅し、また可動台１６の変位量を変位
計で計測しつつ所定の変位量となるようフィードバック
制御するのがよい。

【００３２】上述した実施形態においては、被加工物３
の外周面をシャフト７を基準にして切削する場合につい
て述べたが、基本的には、シャフト７の振れ量と振れの
中心が回転主軸１の回転位置と対応して振れ検出センサ
１０の信号から演算できるので、被加工物３の任意の方
向での補正量も演算できる。このため、被加工物３の端
面部の補正量を同様に演算し、この方向へ微動できる微
動調整機構およびバイト４をＮＣテーブル５上に設けて
おけば、この面の軸基準加工も可能となることは言うま
でもない。逆に、加工基準面が被削物のシャフト７でな
くても、旋盤の回転主軸１を回転させて、図示しない振
れセンサで加工基準面を測定すれば、その波形が理想的
にはサインカーブとなる場合、測定波形のサインカーブ
による近似で加工精度を上げることが可能である。ま
た、従来例の説明で用いた図７に示す棒状の被加工物を
加工する場合でも容易に適用できることは明確である。

【００３３】なお、本実施形態で用いた振れ検出センサ
１０は、非接触式の静電容量式の距離センサであった
が、接触式のセンサを用いてもよい。また、回転主軸１
に回転位置検出センサ９を設けたが、ＮＣ切削装置自体
に回転主軸１の回転位置検出センサが内蔵されている場
合は、これを兼用させてもよい。また、被加工物３やシ
ャフト７の回転位置を直接的に測定してもよい。さら
に、本実施形態では演算結果をいったん記録し、その後
必要な補正量を同期して出力する構成としたが、バイト
４の位置と回転主軸１の位置をもとに補正量を瞬時に計
算して、出力させてもよい。

【００３４】以下に、本発明の第２の実施形態について
述べる。

【００３５】本発明の第２の実施形態では、前記回転主
軸の軸中心の変化の量を検出するとともに、前記変化の
量を前記振れ量から除いてバイト４により被加工物３を
より正確に加工するようにしている。

【００３６】すなわち、一般に、前記振れ検出センサ１
０と前記微動調整機構１５との間には応答速度に差があ
る。よって、検出時の回転主軸１の回転数は加工時の回
転数とは異なっている。そして、図８に示すように回転
主軸１の回転数によって回転主軸１の軸中心は通常の旋
盤では物理的に変化する。１０００ｒｐｍ、２０００ｒ
ｐｍ、３０００ｒｐｍの回転数によって軸中心がＸＹ座
標において変化することは図８から明らかである。これ
は、加工時の被加工物３の基準加工面と加工時の基準加
工面とでは異なることを意味する。従って、回転主軸１
の軸中心の変化が大きくなればなるほど、加工精度は悪
くなる。

【００３７】このような加工精度の悪化を防止するた
め、図９の（Ｂ）に示すように検出及び加工動作前に回
転主軸１の軸中心の変化を予め振れ検出センサ１０によ
って検出し、図９の（Ｂ）の軸中心変化の検出量を、基
準加工面の各検出毎にオフセットとして、振れ検出セン
サ１０によって検出された基準加工面の図９の（Ａ）の
振れ量から演算回路１２によって除去して、図９の
（Ｃ）に示されたように補正量をより精度良く演算す
る。従って、回転主軸１の軸中心の変化に対応して加工
精度を向上させることができる。回転主軸１のバランス
修正を行わない限り、軸中心の変化を再測定する必要は
ない。

【００３８】なお、振れ検出センサ１０は前記実施形態
では単一のセンサにより構成されたが、異なる検出位置
１０ａ、１０ｂに単一のセンサ１０を移動させることな
く、２つの振れ検出センサ１０、１０をその測定位置１
０ａ、１０ｂに配置することもできる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明によると、加工基準
面が振れを有していても、これに同期して加工工具を微
動させつつ加工を施すことができる。また、加工基準面
の形状精度が低かったり、測定方式によって誤差が生じ
る場合でも、加工精度の高い加工工具移動式切削装置及
び加工方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態のバイト移動式切削装置の
概略平面図。

【図２】本発明の一実施形態における微動調整機構の概
略側面図。

【図３】本発明の一実施形態におけるバイトの同期駆動
の説明図。

【図４】本発明の一実施形態における波形整形回路の動
作説明図。

【図５】従来のバイト移動式切削装置の概略平面図。

【図６】被加工物たるヘッドシリンダの完成図。

【図７】被加工物たる棒状体の平面図。

【図８】回転主軸の回転数による回転主軸の軸中心の変
化を示すグラフ。

【図９】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は振れ検出センサによ
って検出された被加工物の基準加工面の振れ、回転主軸
の軸中心の変化、図９の（Ａ）の振れ量から図９の
（Ｂ）の軸中心の変化量を除いた後の振れをそれぞれ示
す波形を示すグラフ。

【符号の説明】

１ 回転主軸 ２ チャック（保持部材） ３ 被加工物 ４ バイト（加工工具） ５ ＮＣテーブル ９ 回転位置検出センサ １０ 振れ検出センサ １２ 演算回路 １３ 出力回路 １４ 波形整形回路 １５ 微動調整機構

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転主軸に設けられた保持部材で保持さ
   れる被加工物の回転位置を検出する回転位置検出センサ
   と、 前記被加工物の加工基準面の振れ量を検出する振れ検出
   センサと、 振れ検出センサの出力信号波形をサインカーブに近似し
   た波形に整形する波形整形手段と、 波形整形手段の出力信号に基づき前記被加工物の加工点
   における加工工具の位置補正量を回転主軸の回転に同期
   して算出する演算手段と、 演算手段の出力信号に基づき前記位置補正量を前記回転
   位置および前記加工点ごとに出力する出力手段と、 出力手段の出力信号に基づき加工工具を微動させる微動
   調整機構と、 微動調整機構を搭載して二次元的に移動して前記被加工
   物の加工を行うＮＣテーブルとを備えてなることを特徴
   とする加工工具移動式加工装置。
2. 【請求項２】 前記波形整形手段は波形整形回路であ
   り、前記演算手段は演算回路であり、前記出力手段は出
   力回路である請求項１記載の加工工具移動式加工装置。
3. 【請求項３】 前記振れ検出センサは異なる検出位置間
   を移動しかつ該位置で固定されるようにした請求項１又
   は２記載の加工工具移動式加工装置。
4. 【請求項４】 前記振れ検出センサと同一の機能を備え
   る振れ検出センサをさらに備え、前記２つの振れ検出セ
   ンサを別々の検出位置に配置するようにした請求項１又
   は２記載の加工工具移動式加工装置。
5. 【請求項５】 前記加工工具はバイドである請求項１〜
   ４のいずれかに記載の加工工具移動式加工装置。
6. 【請求項６】 前記振れ検出センサは、前記回転主軸の
   軸中心の変化の量を検出するとともに、前記演算手段に
   よって、前記変化の量を、前記微動調整機構を微動させ
   る前に、前記振れ量から除くようにした請求項１〜６の
   いずれかに記載の加工工具移動式加工装置。
7. 【請求項７】 被加工物を回転させ、 前記被加工物の回転位置を検出し、 前記被加工物の加工基準面の振れ量を検出し、 前記振れ量の信号をサインカーブに近似した波形に整形
   し、 前記近似された波形の信号に基づき前記被加工物の加工
   点における加工工具の位置補正量を回転主軸の回転に同
   期して算出し、 前記位置補正量の信号に基づき前記位置補正量を前記回
   転位置および前記加工点ごとに出力し、 微動調整機構によって前記出力された位置補正量の信号
   に基づき加工工具を微動させ、 微動調整機構を二次元的に移動させて前記被加工物の加
   工を行うようにしたことを特徴とする加工工具移動式加
   工方法。
8. 【請求項８】 前記加工工具はバイトである請求項７記
   載の加工工具移動式加工方法。
9. 【請求項９】 さらに、前記被加工物が保持部材で保持
   される回転主軸の軸中心の変化の量を検出し、 前記変化の量を、前記微動調整機構を微動させる前に、
   前記振れ量から除くようにした請求項７又は８に記載の
   加工工具移動式加工方法。