JPH0817851A - ペレットボンディング装置のペレット位置検出方法 - Google Patents
ペレットボンディング装置のペレット位置検出方法Info
- Publication number
- JPH0817851A JPH0817851A JP6171590A JP17159094A JPH0817851A JP H0817851 A JPH0817851 A JP H0817851A JP 6171590 A JP6171590 A JP 6171590A JP 17159094 A JP17159094 A JP 17159094A JP H0817851 A JPH0817851 A JP H0817851A
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- JP
- Japan
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- pellet
- corner portion
- rotary table
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- bonding apparatus
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の複雑化を招くことなく、ペレット位置
の検出精度を向上させるようにしたこと。 【構成】カメラによりペレット１３の一コーナ部Ａの画
像情報を取り込んだ後、回転テーブル２４を回転させペ
レットの他のコーナＢ部をカメラの認識領域２８内に位
置付けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込み、両コ
ーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情報とに基づい
て、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ状態を検出す
るものである。
の検出精度を向上させるようにしたこと。 【構成】カメラによりペレット１３の一コーナ部Ａの画
像情報を取り込んだ後、回転テーブル２４を回転させペ
レットの他のコーナＢ部をカメラの認識領域２８内に位
置付けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込み、両コ
ーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情報とに基づい
て、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ状態を検出す
るものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンディング
装置のペレット位置検出方法に関する。
装置のペレット位置検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つに、ペレットボ
ンディング装置を用いたペレットボンディング工程があ
る。この工程では、まずペレット取出機構を構成するペ
レットトランスファの吸着ノズルにより、ウェハステー
ジに設置されたウェハからペレットが取り出され、この
取り出されたペレットがペレット位置修正機構の回転テ
ーブルに載置される。次に、このペレットのＸ、Ｙ、θ
それぞれの方向における基準位置からの位置ずれ状態
が、カメラを用いて検出される。そして、ペレットのθ
方向の位置ずれ状態が回転テーブルの回転により修正さ
れた後、このペレットは、ボンディング機構を構成する
ボンディングヘッドの吸着ノズル（通称コレット）によ
りピックアップされ、リードフレ−ムの所定位置まで搬
送されてボンディングされる。尚、ボンディングヘッド
の吸着ノズルによる実際のピックアップ位置は、ピック
アップ基準位置に対してペレットのＸ、Ｙ方向における
位置ずれ状態に応じて位置補正（Ｘ、Ｙ方向の位置修
正）され、これにより同方向に位置ずれを生じたペレッ
トであっても、その中央位置が吸着ノズルにてピックア
ップされるようになっている。
ンディング装置を用いたペレットボンディング工程があ
る。この工程では、まずペレット取出機構を構成するペ
レットトランスファの吸着ノズルにより、ウェハステー
ジに設置されたウェハからペレットが取り出され、この
取り出されたペレットがペレット位置修正機構の回転テ
ーブルに載置される。次に、このペレットのＸ、Ｙ、θ
それぞれの方向における基準位置からの位置ずれ状態
が、カメラを用いて検出される。そして、ペレットのθ
方向の位置ずれ状態が回転テーブルの回転により修正さ
れた後、このペレットは、ボンディング機構を構成する
ボンディングヘッドの吸着ノズル（通称コレット）によ
りピックアップされ、リードフレ−ムの所定位置まで搬
送されてボンディングされる。尚、ボンディングヘッド
の吸着ノズルによる実際のピックアップ位置は、ピック
アップ基準位置に対してペレットのＸ、Ｙ方向における
位置ずれ状態に応じて位置補正（Ｘ、Ｙ方向の位置修
正）され、これにより同方向に位置ずれを生じたペレッ
トであっても、その中央位置が吸着ノズルにてピックア
ップされるようになっている。
【０００３】ところで、上記カメラによるペレットの位
置検出は、図３（Ａ）に示すように、回転テーブル２に
載置されたペレット１の一コーナ部ａをカメラの認識領
域３内に位置付け、この領域から取り込んだ画像情報よ
りコーナ部ａの基準位置からのずれ量、並びにペレット
１のエッジライン４を求め、これらのデータに基づいて
コーナ部のａの位置座標と回転角を検出することで行な
っている。（第１従来例）。
置検出は、図３（Ａ）に示すように、回転テーブル２に
載置されたペレット１の一コーナ部ａをカメラの認識領
域３内に位置付け、この領域から取り込んだ画像情報よ
りコーナ部ａの基準位置からのずれ量、並びにペレット
１のエッジライン４を求め、これらのデータに基づいて
コーナ部のａの位置座標と回転角を検出することで行な
っている。（第１従来例）。
【０００４】また、他のペレット位置検出方法として、
図３（Ｂ）に示すように、回転テーブル２をＸ−Ｙテー
ブル５に設置させ、このＸ−Ｙテーブル５を移動させる
ことで、ペレット１の一コーナ部ａと他のコーナ部ｂを
固定配置されたカメラの認識領域３内に順次位置付けて
それぞれの画像情報を取り込み、両コーナ部ａ、ｂの画
像情報と各基準画像情報とに基づいて、ペレット１の位
置を検出するものがある。（第２従来例）。
図３（Ｂ）に示すように、回転テーブル２をＸ−Ｙテー
ブル５に設置させ、このＸ−Ｙテーブル５を移動させる
ことで、ペレット１の一コーナ部ａと他のコーナ部ｂを
固定配置されたカメラの認識領域３内に順次位置付けて
それぞれの画像情報を取り込み、両コーナ部ａ、ｂの画
像情報と各基準画像情報とに基づいて、ペレット１の位
置を検出するものがある。（第２従来例）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記第１従
来例のペレット位置検出方法では、カメラの認識領域３
が限られた領域であるため、この認識領域３におけるエ
ッジライン４の回転角の検出は精度が低く、この結果、
ペレット１の検出精度も低下してしまう。また、第２従
来例のペレット位置検出方法では、回転テーブル２がＸ
−Ｙテーブル５に設置されているため、ペレットボンデ
ィング装置の構造が複雑化してしまう。
来例のペレット位置検出方法では、カメラの認識領域３
が限られた領域であるため、この認識領域３におけるエ
ッジライン４の回転角の検出は精度が低く、この結果、
ペレット１の検出精度も低下してしまう。また、第２従
来例のペレット位置検出方法では、回転テーブル２がＸ
−Ｙテーブル５に設置されているため、ペレットボンデ
ィング装置の構造が複雑化してしまう。
【０００６】本発明は、上述の事情を考慮してなされた
ものであり、装置の複雑化を招くことなく、ペレット位
置の検出精度を向上させることができるペレットボンデ
ィング装置のペレット位置検出方法を提供することを目
的とする。
ものであり、装置の複雑化を招くことなく、ペレット位
置の検出精度を向上させることができるペレットボンデ
ィング装置のペレット位置検出方法を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ペレット位置
修正機構の回転テーブルに載置されたペレットの位置
を、回転テーブルの上方に配置された認識装置により検
出するペレットボンディング装置のペレット位置検出方
法において、上記認識装置により上記ペレットの一コー
ナ部の画像情報を取り込んだ後、上記回転テーブルを回
転させペレットの他のコーナ部を上記認識装置の認識領
域内に位置付けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込
み、上記両コーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情
報とに基づいて、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ
状態を検出することを特徴とするものである。
修正機構の回転テーブルに載置されたペレットの位置
を、回転テーブルの上方に配置された認識装置により検
出するペレットボンディング装置のペレット位置検出方
法において、上記認識装置により上記ペレットの一コー
ナ部の画像情報を取り込んだ後、上記回転テーブルを回
転させペレットの他のコーナ部を上記認識装置の認識領
域内に位置付けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込
み、上記両コーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情
報とに基づいて、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ
状態を検出することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】従って、本発明に係るペレットボンディング装
置のペレット位置検出方法によれば、ペレットの位置検
出が、ペレットの一コーナ部及び他のコーナ部の画像情
報を用いて行なわれるので、単一のコーナ部を位置検出
してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレットの位
置検出精度を向上させることができる。
置のペレット位置検出方法によれば、ペレットの位置検
出が、ペレットの一コーナ部及び他のコーナ部の画像情
報を用いて行なわれるので、単一のコーナ部を位置検出
してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレットの位
置検出精度を向上させることができる。
【０００９】更に、認識装置を移動させず、また回転テ
ーブルもＸ、Ｙ方向にスライドさせず、回転テーブルを
回転させることによってペレットの位置検出を実施する
ので、ペレットボンディング装置の構造の複雑化を招く
ことがない。
ーブルもＸ、Ｙ方向にスライドさせず、回転テーブルを
回転させることによってペレットの位置検出を実施する
ので、ペレットボンディング装置の構造の複雑化を招く
ことがない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明に係るペレットボンディング装置
のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディン
グ装置を示す斜視図である。図２は、図１の回転テーブ
ルを示す平面図である。
する。図１は、本発明に係るペレットボンディング装置
のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディン
グ装置を示す斜視図である。図２は、図１の回転テーブ
ルを示す平面図である。
【００１１】図１に示すペレットボンディング装置１０
は、ウエハ１２がダイシングされて分離された多数の半
導体ペレット（以下、単に「ペレット」と称する。）１
３を１つずつ取り出して、リードフレーム１６のアイラ
ンド部１７にボンディングするものであり、ペレット取
出機構１８、ペレット位置修正機構１９及びボンディン
グ機構２０を有して構成される。
は、ウエハ１２がダイシングされて分離された多数の半
導体ペレット（以下、単に「ペレット」と称する。）１
３を１つずつ取り出して、リードフレーム１６のアイラ
ンド部１７にボンディングするものであり、ペレット取
出機構１８、ペレット位置修正機構１９及びボンディン
グ機構２０を有して構成される。
【００１２】ここで、ウエハ１２は、粘着シート１４を
介して円環状のウエハリング１５に支持されており、ウ
エハリングユニット１１としてペレット取出機構１８の
ウエハステージ２１に設置される。また、ウエハ１２に
は、ウエハ１２の方向を確認するための切欠２２が形成
されている。
介して円環状のウエハリング１５に支持されており、ウ
エハリングユニット１１としてペレット取出機構１８の
ウエハステージ２１に設置される。また、ウエハ１２に
は、ウエハ１２の方向を確認するための切欠２２が形成
されている。
【００１３】ペレット取出機構１８は、ウエハリングユ
ニット１１を設置するウエハステージ２１と、ペレット
１３を取り出すペレットトランスファ２３と、を備えて
なる。ウエハステージ２１は、ウエハリングユニット１
１を設置するとともに、このウエハリングユニット１１
の粘着シート１４を引き延して、ペレット１３間の隙間
を拡大させ、ペレットトランスファ２３によるペレット
１３の取り出しを容易化している。ペレットトランスフ
ァ２３は先端に吸着ノズルを有し、必要に応じて不図示
の突き上げピンにて下方より突き上げられたペレット１
３を吸着し、このペレット１３をペレット位置修正機構
１９の回転テーブル２４に載置させる。
ニット１１を設置するウエハステージ２１と、ペレット
１３を取り出すペレットトランスファ２３と、を備えて
なる。ウエハステージ２１は、ウエハリングユニット１
１を設置するとともに、このウエハリングユニット１１
の粘着シート１４を引き延して、ペレット１３間の隙間
を拡大させ、ペレットトランスファ２３によるペレット
１３の取り出しを容易化している。ペレットトランスフ
ァ２３は先端に吸着ノズルを有し、必要に応じて不図示
の突き上げピンにて下方より突き上げられたペレット１
３を吸着し、このペレット１３をペレット位置修正機構
１９の回転テーブル２４に載置させる。
【００１４】ペレット位置修正機構１９は、図１に示す
ように、ペレットトランスファ２３にて取り出されたペ
レット１３を載置する回転テーブル２４と、この回転テ
ーブル２４上のペレット１３の位置を検出する検出カメ
ラ２５と、を備えてなる。ペレット位置修正機構１９
は、リードフレーム１６搬送用のリードフレーム搬送レ
ール２６とウエハステージ２１との間に設置され、この
鉛直上方に検出カメラ２５が配置される。ペレット位置
修正機構１９が、後に詳説するように、ペレット１３の
位置を検出し、適正に修正する。
ように、ペレットトランスファ２３にて取り出されたペ
レット１３を載置する回転テーブル２４と、この回転テ
ーブル２４上のペレット１３の位置を検出する検出カメ
ラ２５と、を備えてなる。ペレット位置修正機構１９
は、リードフレーム１６搬送用のリードフレーム搬送レ
ール２６とウエハステージ２１との間に設置され、この
鉛直上方に検出カメラ２５が配置される。ペレット位置
修正機構１９が、後に詳説するように、ペレット１３の
位置を検出し、適正に修正する。
【００１５】ボンディング機構２０はボンディングヘッ
ド２７を有し、このボンディングヘッド２７の先端に備
える吸着ノズル（通称コレット）にて、回転テーブル２
４上のペレット１３をピックアップし、リードフレーム
搬送レール２６上に設置されたリードフレーム１６のア
イランド部１７に接着剤等を用いて固着する。
ド２７を有し、このボンディングヘッド２７の先端に備
える吸着ノズル（通称コレット）にて、回転テーブル２
４上のペレット１３をピックアップし、リードフレーム
搬送レール２６上に設置されたリードフレーム１６のア
イランド部１７に接着剤等を用いて固着する。
【００１６】さて、回転テーブル２４は、図１に示すよ
うに正逆方向に回転可能に構成される。また、検出カメ
ラ２５による認識領域２８は、図２に示すように、回転
テーブル２４に載置されたペレット１３の一コーナ部Ａ
を含み、この近傍領域である。この検出カメラ２５を用
いて、回転テーブル２４上に載置されたペレット１３の
位置を検出する方法を次に述べる。
うに正逆方向に回転可能に構成される。また、検出カメ
ラ２５による認識領域２８は、図２に示すように、回転
テーブル２４に載置されたペレット１３の一コーナ部Ａ
を含み、この近傍領域である。この検出カメラ２５を用
いて、回転テーブル２４上に載置されたペレット１３の
位置を検出する方法を次に述べる。
【００１７】先ず、図２（Ａ）に示すように、検出カメ
ラ２５にてその認識領域２８内に位置するペレット１３
の一コーナ部Ａの画像情報を取り込む。次に、図２
（Ｂ）に示すように、検出カメラ２５の位置は変更せず
に、回転テーブル２４を１８０度回転させ、検出カメラ
２５の認識領域２８内にペレット１３の他のコーナ部Ｂ
を位置付け、このコーナ部Ｂ画像情報を取り込む。この
他のコーナ部Ｂは、一コーナ部Ａに対し、対角位置にあ
るコーナ部である。上述のようにして取り込んだ２つの
コーナ部Ａ、Ｂの画像情報は画像処理部にてそれぞれ２
値化（または多値化）処理される。そして、画像処理さ
れた２値化（または多値化）画像の中より、予め設定さ
れた特徴画像（基準画像情報）をパターンマッチング法
等を用いて見つけ出し、これによりＸ、Ｙ、θ下記方向
における各コーナ部Ａ、Ｂの基準位置からのずれ量とず
れ方向等の位置ずれ状態が検出される。そして、特徴画
像の基準位置並びこの基準位置に対する各コーナ部Ａ、
Ｂの位置ずれ状態から各コーナ部Ａ、Ｂの位置座標が演
算により求められ、ペレット１３の位置が検出される。
尚、上記パターンマッチング法自体は公知であるので、
その詳細な説明は省略する。
ラ２５にてその認識領域２８内に位置するペレット１３
の一コーナ部Ａの画像情報を取り込む。次に、図２
（Ｂ）に示すように、検出カメラ２５の位置は変更せず
に、回転テーブル２４を１８０度回転させ、検出カメラ
２５の認識領域２８内にペレット１３の他のコーナ部Ｂ
を位置付け、このコーナ部Ｂ画像情報を取り込む。この
他のコーナ部Ｂは、一コーナ部Ａに対し、対角位置にあ
るコーナ部である。上述のようにして取り込んだ２つの
コーナ部Ａ、Ｂの画像情報は画像処理部にてそれぞれ２
値化（または多値化）処理される。そして、画像処理さ
れた２値化（または多値化）画像の中より、予め設定さ
れた特徴画像（基準画像情報）をパターンマッチング法
等を用いて見つけ出し、これによりＸ、Ｙ、θ下記方向
における各コーナ部Ａ、Ｂの基準位置からのずれ量とず
れ方向等の位置ずれ状態が検出される。そして、特徴画
像の基準位置並びこの基準位置に対する各コーナ部Ａ、
Ｂの位置ずれ状態から各コーナ部Ａ、Ｂの位置座標が演
算により求められ、ペレット１３の位置が検出される。
尚、上記パターンマッチング法自体は公知であるので、
その詳細な説明は省略する。
【００１８】このようにして、Ｘ、Ｙ、θの各方向にお
けるペレット１３の位置ずれ状態が検出された後は、従
来と同様に、ペレット１３のθ方向の位置ずれ状態は回
転テーブル２４の回転により修正され、Ｘ、Ｙ方向にお
ける位置ずれ状態は、ボンディングヘッド２７の吸着ノ
ズルによるピックアップ位置の位置補正により修正さ
れ、結果的にペレットの中央位置を吸着ノズルにてピッ
クアップされる状態でリードフレームの所定位置まで搬
送され、ボンディングされる。
けるペレット１３の位置ずれ状態が検出された後は、従
来と同様に、ペレット１３のθ方向の位置ずれ状態は回
転テーブル２４の回転により修正され、Ｘ、Ｙ方向にお
ける位置ずれ状態は、ボンディングヘッド２７の吸着ノ
ズルによるピックアップ位置の位置補正により修正さ
れ、結果的にペレットの中央位置を吸着ノズルにてピッ
クアップされる状態でリードフレームの所定位置まで搬
送され、ボンディングされる。
【００１９】上記実施例によれば、ペレット１３の位置
検出が、ペレット１３の一コーナ部Ａ及び他のコーナ部
Ｂの位置を検出することによってなされるので、第１従
来例（図３（Ａ））のように、単一のコーナ部ａを位置
検出してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレット
１３の位置検出精度を向上させることができる。
検出が、ペレット１３の一コーナ部Ａ及び他のコーナ部
Ｂの位置を検出することによってなされるので、第１従
来例（図３（Ａ））のように、単一のコーナ部ａを位置
検出してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレット
１３の位置検出精度を向上させることができる。
【００２０】更に、認識装置２５を移動させず、また第
２従来例（図３（Ｂ））のように回転テーブルをＸ、Ｙ
方向にスライドさせることなく、回転テーブル２４を回
転させることによってペレット１３の位置検出を実施す
るので、ペレット位置修正機構１９の構造の複雑化を招
くことがない。
２従来例（図３（Ｂ））のように回転テーブルをＸ、Ｙ
方向にスライドさせることなく、回転テーブル２４を回
転させることによってペレット１３の位置検出を実施す
るので、ペレット位置修正機構１９の構造の複雑化を招
くことがない。
【００２１】上記ペレット検出方法の他の実施例とし
て、検出カメラ２５にてペレット１３の一コーナ部Ａを
検出した後、図２（Ｃ）に示すように、回転テーブル２
４をθ°回転させて、ペレット１３の他のコーナ部Ｃの
位置を検出するようにしても良い。この他のコーナ部Ｃ
は、ペレット１３の一コーナ部Ａに隣接したコーナ部で
あり、上記θは、これらのコーナ部ＡとＣ間の寸法を回
転テーブル２４の回転角で表示したものである。ペレッ
ト１３が正方形の場合には、上記θは、図２（Ｄ）に示
す如く、θ＝90°となる。
て、検出カメラ２５にてペレット１３の一コーナ部Ａを
検出した後、図２（Ｃ）に示すように、回転テーブル２
４をθ°回転させて、ペレット１３の他のコーナ部Ｃの
位置を検出するようにしても良い。この他のコーナ部Ｃ
は、ペレット１３の一コーナ部Ａに隣接したコーナ部で
あり、上記θは、これらのコーナ部ＡとＣ間の寸法を回
転テーブル２４の回転角で表示したものである。ペレッ
ト１３が正方形の場合には、上記θは、図２（Ｄ）に示
す如く、θ＝90°となる。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るペレットボ
ディング装置のペレット位置検出方法によれば、装置の
複雑化を招くことなく、ペレット位置の検出精度を向上
させることができる。
ディング装置のペレット位置検出方法によれば、装置の
複雑化を招くことなく、ペレット位置の検出精度を向上
させることができる。
【図１】図１は、本発明に係るペレットボンディング装
置のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディ
ング装置を示す斜視図である。
置のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディ
ング装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の回転テーブルを示す平面図であ
る。
る。
【図３】図３（Ａ）は、第１従来例のペレット位置検出
方法を実施するペレットボンディング装置の回転テーブ
ルを示す平面図であり、図３（Ｂ）は、第２従来例のペ
レット位置検出方法を実施するペレットボンディング装
置の回転テーブルを示す平面図である。
方法を実施するペレットボンディング装置の回転テーブ
ルを示す平面図であり、図３（Ｂ）は、第２従来例のペ
レット位置検出方法を実施するペレットボンディング装
置の回転テーブルを示す平面図である。
１０ ペレットボンディング装置 １３ 半導体ペレット １９ ペレット位置修正機構 ２４ 回転テーブル ２５ 検出カメラ ２８ 検出カメラの認識領域 Ａ ペレットの一コーナ部 Ｂ ペレットの他のコーナ部
Claims (3)
- 【請求項１】 ペレット位置修正機構の回転テーブルに
載置されたペレットの位置を、回転テーブルの上方に配
置された認識装置により検出するペレットボンディング
装置のペレット位置検出方法において、 上記認識装置により上記ペレットの一コーナ部の画像情
報を取り込んだ後、上記回転テーブルを回転させペレッ
トの他のコーナ部を上記認識装置の認識領域内に位置付
けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込み、上記両コ
ーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情報とに基づい
て、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ状態を検出す
ることを特徴とするペレットボンディング装置のペレッ
ト位置検出方法。 - 【請求項２】 上記他のコーナ部は、上記一コーナ部の
対角位置にあるコーナ部である請求項１に記載のペレッ
トボンディング装置のペレット位置検出方法。 - 【請求項３】 上記他のコーナ部は、上記一コーナ部の
隣接位置にあるコーナ部である請求項１に記載のペレッ
トボンディング装置のペレット位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159094A JP3336123B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | ペレットボンディング装置のペレット位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159094A JP3336123B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | ペレットボンディング装置のペレット位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817851A true JPH0817851A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3336123B2 JP3336123B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=15925985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17159094A Expired - Lifetime JP3336123B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | ペレットボンディング装置のペレット位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3336123B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098789A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-04-05 | Shibaura Mechatronics Corp | ペレット検出方法、ペレット検出装置及びペレット取出装置 |
| JP2003031598A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Shibaura Mechatronics Corp | 矩形状部品の位置検出方法および位置検出装置、並びにそれらを用いた半導体チップボンディング方法および半導体チップボンディング装置 |
| JP2006128231A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Nidec Tosok Corp | ボンディング装置 |
-
1994
- 1994-07-01 JP JP17159094A patent/JP3336123B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098789A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-04-05 | Shibaura Mechatronics Corp | ペレット検出方法、ペレット検出装置及びペレット取出装置 |
| JP2003031598A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Shibaura Mechatronics Corp | 矩形状部品の位置検出方法および位置検出装置、並びにそれらを用いた半導体チップボンディング方法および半導体チップボンディング装置 |
| JP2006128231A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Nidec Tosok Corp | ボンディング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3336123B2 (ja) | 2002-10-21 |
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