JPH08178532A - バッチ式熱処理炉 - Google Patents
バッチ式熱処理炉Info
- Publication number
- JPH08178532A JPH08178532A JP32760894A JP32760894A JPH08178532A JP H08178532 A JPH08178532 A JP H08178532A JP 32760894 A JP32760894 A JP 32760894A JP 32760894 A JP32760894 A JP 32760894A JP H08178532 A JPH08178532 A JP H08178532A
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- JP
- Japan
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- furnace
- heater
- type heat
- temperature
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 12
- 238000002791 soaking Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
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- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンパクトで、処理材を昇温、均熱、降温時
にわたって均一に加熱することができるバッチ式熱処理
炉を提供する。 【構成】 側壁、天井、炉床よりなる炉壁のうち、少な
くとも側壁５にヒータ６を設けたバッチ式熱処理炉にお
いて、炉内に処理材Ｗの支持部材７を鉛直方向に所定間
隔をもって配設するとともに、前記処理材を挟んで冷却
管８と補助ヒータ９とを設けたバッチ式熱処理炉。
にわたって均一に加熱することができるバッチ式熱処理
炉を提供する。 【構成】 側壁、天井、炉床よりなる炉壁のうち、少な
くとも側壁５にヒータ６を設けたバッチ式熱処理炉にお
いて、炉内に処理材Ｗの支持部材７を鉛直方向に所定間
隔をもって配設するとともに、前記処理材を挟んで冷却
管８と補助ヒータ９とを設けたバッチ式熱処理炉。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、側壁、天井、炉床より
なる炉壁のうち、少なくとも側壁にヒータを設けたバッ
チ式熱処理炉に関するものである。
なる炉壁のうち、少なくとも側壁にヒータを設けたバッ
チ式熱処理炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、処
理材をバッチ式熱処理炉により熱処理する場合、一般
に、処理材の昇温後の均熱性のみが重要視されているた
め、図５に示すように、トレイ１０に載置した処理材Ｗ
を支持部材７に載置して、炉本体１の側壁５に設けたヒ
ータ６のみで熱処理していた。ところが、近年、太陽電
池に使用するガラス基板など処理材Ｗによっては、昇温
後の均熱性だけでなく昇温、降温域においても処理材Ｗ
の温度分布の均一性が求められることが多くなってき
た。しかしながら、前述のバッチ式熱処理炉において、
昇温が開始されヒータ６が作動すると、ヒータ６と対向
する部分が他の部分より早く昇温する一方、降温時にヒ
ータ６を停止すると、炉殻からの放熱のため炉壁に対向
する部分は他の部分より早く冷却し、処理材温度分布を
均一にすることができなかった。
理材をバッチ式熱処理炉により熱処理する場合、一般
に、処理材の昇温後の均熱性のみが重要視されているた
め、図５に示すように、トレイ１０に載置した処理材Ｗ
を支持部材７に載置して、炉本体１の側壁５に設けたヒ
ータ６のみで熱処理していた。ところが、近年、太陽電
池に使用するガラス基板など処理材Ｗによっては、昇温
後の均熱性だけでなく昇温、降温域においても処理材Ｗ
の温度分布の均一性が求められることが多くなってき
た。しかしながら、前述のバッチ式熱処理炉において、
昇温が開始されヒータ６が作動すると、ヒータ６と対向
する部分が他の部分より早く昇温する一方、降温時にヒ
ータ６を停止すると、炉殻からの放熱のため炉壁に対向
する部分は他の部分より早く冷却し、処理材温度分布を
均一にすることができなかった。
【０００３】これを防止するには、ヒータ６（側壁５）
と処理材Ｗとの間隔を大きくすることが考えられるが、
このようにすると、炉が大型化するとともにヒータ６自
体も側壁５からの放熱損失をカバーするため大容量のも
のを使用しなければならず高価になるという課題を有し
ていた。本発明は、簡単な機構を付加することにより前
記課題を解決することのできるバッチ式熱処理炉を提供
することを目的とする。
と処理材Ｗとの間隔を大きくすることが考えられるが、
このようにすると、炉が大型化するとともにヒータ６自
体も側壁５からの放熱損失をカバーするため大容量のも
のを使用しなければならず高価になるという課題を有し
ていた。本発明は、簡単な機構を付加することにより前
記課題を解決することのできるバッチ式熱処理炉を提供
することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、側壁、天井、炉床よりなる炉壁のうち、
少なくとも側壁にヒータを設けたバッチ式熱処理炉にお
いて、炉内に処理材の支持部材を鉛直方向に所定間隔を
もって配設するとともに、前記処理材を挟んで冷却器と
補助ヒータとを設けたものである。
成するために、側壁、天井、炉床よりなる炉壁のうち、
少なくとも側壁にヒータを設けたバッチ式熱処理炉にお
いて、炉内に処理材の支持部材を鉛直方向に所定間隔を
もって配設するとともに、前記処理材を挟んで冷却器と
補助ヒータとを設けたものである。
【０００５】
【実施例】つぎに、本発明の実施例を図にしたがって説
明する。図１，図２は、本発明の第１実施例を示し、１
は炉本体、２は断熱材、３は開閉装置４に連設した扉で
ある。そして、炉本体１の天井および炉床を除く側壁５
内面にヒータ６を配設している。また、扉３に隣接する
側壁５ａ，５ｂには、梁からなる複数の支持部材７を対
向する側壁５ｂ，５ａに向かって延設し、かつ鉛直方向
に所定間隔を保って交互に配設している。
明する。図１，図２は、本発明の第１実施例を示し、１
は炉本体、２は断熱材、３は開閉装置４に連設した扉で
ある。そして、炉本体１の天井および炉床を除く側壁５
内面にヒータ６を配設している。また、扉３に隣接する
側壁５ａ，５ｂには、梁からなる複数の支持部材７を対
向する側壁５ｂ，５ａに向かって延設し、かつ鉛直方向
に所定間隔を保って交互に配設している。
【０００６】前記各段の支持部材７間と、最上段の支持
部材７の上方の側壁５ａ，５ｂには、冷却管８および複
数の補助ヒータ９をそれぞれ前記支持部材７と同様、一
方の側壁５ａ，５ｂから他方の側壁５ｂ，５ａに向かっ
て配設している。なお、前記ヒータ６と補助ヒータ９と
は独立して温度制御可能となっている。
部材７の上方の側壁５ａ，５ｂには、冷却管８および複
数の補助ヒータ９をそれぞれ前記支持部材７と同様、一
方の側壁５ａ，５ｂから他方の側壁５ｂ，５ａに向かっ
て配設している。なお、前記ヒータ６と補助ヒータ９と
は独立して温度制御可能となっている。
【０００７】つぎに、前記構成からなるバッチ式熱処理
炉の操業方法を説明する。まず、扉３を開閉して、トレ
イ１０に載置した処理材Ｗを前記各段の支持部材７上に
載置する。
炉の操業方法を説明する。まず、扉３を開閉して、トレ
イ１０に載置した処理材Ｗを前記各段の支持部材７上に
載置する。
【０００８】そして、昇温にあたっては、ヒータ６と補
助ヒータ９とにより処理材Ｗを加熱するが、ヒータ６か
らの供給熱量が大きければ、ヒータ６に対向する処理材
Ｗの端部が過加熱されるため、ヒータ６は炉壁からの放
熱を補給する程度に制御し、主として補助ヒータ９によ
り昇温して処理材Ｗの温度分布を均一にする。その後、
炉内は所定温度（焼成温度）まで昇温するが、炉壁から
の放熱、支持部材７からの伝導損失があるため、この熱
損失を補うようヒータ６と補助ヒータ９を制御して処理
材Ｗの温度分布を均一に保つ。
助ヒータ９とにより処理材Ｗを加熱するが、ヒータ６か
らの供給熱量が大きければ、ヒータ６に対向する処理材
Ｗの端部が過加熱されるため、ヒータ６は炉壁からの放
熱を補給する程度に制御し、主として補助ヒータ９によ
り昇温して処理材Ｗの温度分布を均一にする。その後、
炉内は所定温度（焼成温度）まで昇温するが、炉壁から
の放熱、支持部材７からの伝導損失があるため、この熱
損失を補うようヒータ６と補助ヒータ９を制御して処理
材Ｗの温度分布を均一に保つ。
【０００９】つぎに、降温時には、前記冷却管８に冷却
用流体、たとえば冷却空気を供給して処理材Ｗを降温す
るが、昇温時と同様、炉壁からの放熱により処理材Ｗの
対向面が他の部分に比べて過冷却されることがある。し
たがって、処理材Ｗに温度分布の差が生じないようヒー
タ６にて微加熱しながら降温する。また、冷却管８によ
る冷却速度が早過ぎる場合には、補助ヒータ９により微
加熱を行なうか、あるいは冷却流体の流量調整を行なっ
て冷却速度を抑制しながら降温してもよい。
用流体、たとえば冷却空気を供給して処理材Ｗを降温す
るが、昇温時と同様、炉壁からの放熱により処理材Ｗの
対向面が他の部分に比べて過冷却されることがある。し
たがって、処理材Ｗに温度分布の差が生じないようヒー
タ６にて微加熱しながら降温する。また、冷却管８によ
る冷却速度が早過ぎる場合には、補助ヒータ９により微
加熱を行なうか、あるいは冷却流体の流量調整を行なっ
て冷却速度を抑制しながら降温してもよい。
【００１０】なお、前記処理材Ｗの温度分布に対する許
容範囲がより厳格な場合には、たとえば、処理材Ｗを上
段、中段、下段にグループ分けするとともに、それに対
応してヒータ６、補助ヒータ９もグループ分けして、各
々を別制御するようにすればよい。また、前述した温度
制御は、側壁５あるいは支持部材７近傍に図示しない温
度センサを設け、この温度センサによりヒータ６、補助
ヒータ９を制御するものである。
容範囲がより厳格な場合には、たとえば、処理材Ｗを上
段、中段、下段にグループ分けするとともに、それに対
応してヒータ６、補助ヒータ９もグループ分けして、各
々を別制御するようにすればよい。また、前述した温度
制御は、側壁５あるいは支持部材７近傍に図示しない温
度センサを設け、この温度センサによりヒータ６、補助
ヒータ９を制御するものである。
【００１１】図３，図４は本発明の第２実施例を示し、
前記支持部材７を箱体で構成し、この支持部材７内部に
冷却管８と補助ヒータ９を内蔵させて一体構成としたも
のである。ただし、炉上方の冷却管８、補助ヒータ９も
支持部材７と一体に構成したものを使用している。操業
については第１実施例と同様のため説明を省略する。
前記支持部材７を箱体で構成し、この支持部材７内部に
冷却管８と補助ヒータ９を内蔵させて一体構成としたも
のである。ただし、炉上方の冷却管８、補助ヒータ９も
支持部材７と一体に構成したものを使用している。操業
については第１実施例と同様のため説明を省略する。
【００１２】前記第１，第２実施例とも、対向する側壁
から交互に支持部材７、冷却管８、補助ヒータ９を炉内
に突出するように配設したが、同一側壁（たとえば５ａ
側）からすべてを炉内に突出させるように配設してもよ
い。
から交互に支持部材７、冷却管８、補助ヒータ９を炉内
に突出するように配設したが、同一側壁（たとえば５ａ
側）からすべてを炉内に突出させるように配設してもよ
い。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、炉壁のうち少なくとも側壁に設けたヒータの他
に、処理材を挟んで補助ヒータと冷却器とを配設し、ヒ
ータで炉壁からの放熱熱量に見合う熱量を補給しつつ、
補助ヒータあるいは冷却器で処理材を加熱あるいは冷却
し、処理材端部における過加熱あるいは過冷却を防止す
るため、熱処理の全工程において、処理材の温度分布を
均一に保つことができる。また、側壁に配設するヒータ
は、前述のように、炉壁からの放熱熱量に見合う熱量を
補給するものであって処理材を直接加熱するものでない
ため、このヒータで処理材端部が過加熱することはな
い。そのため、炉側壁を処理材端部に近接することがで
き、それだけ炉自体を小型化でき省エネルギーと設備の
低コスト化を実現することができる。
よれば、炉壁のうち少なくとも側壁に設けたヒータの他
に、処理材を挟んで補助ヒータと冷却器とを配設し、ヒ
ータで炉壁からの放熱熱量に見合う熱量を補給しつつ、
補助ヒータあるいは冷却器で処理材を加熱あるいは冷却
し、処理材端部における過加熱あるいは過冷却を防止す
るため、熱処理の全工程において、処理材の温度分布を
均一に保つことができる。また、側壁に配設するヒータ
は、前述のように、炉壁からの放熱熱量に見合う熱量を
補給するものであって処理材を直接加熱するものでない
ため、このヒータで処理材端部が過加熱することはな
い。そのため、炉側壁を処理材端部に近接することがで
き、それだけ炉自体を小型化でき省エネルギーと設備の
低コスト化を実現することができる。
【図１】 本発明にかかるバッチ式熱処理炉の第１実施
例を示す断面図。
例を示す断面図。
【図２】 図１のII−II線断面図。
【図３】 第２実施例の断面図。
【図４】 図３のIV−IV線断面図。
【図５】 従来のバッチ式加熱処理炉の断面図。
１…炉本体、５（５ａ，５ｂ）…側壁、６…ヒータ、７
…支持部材、８…冷却管、９…補助ヒータ、１０…トレ
イ、Ｗ…処理材。
…支持部材、８…冷却管、９…補助ヒータ、１０…トレ
イ、Ｗ…処理材。
Claims (1)
- 【請求項１】 側壁、天井、炉床よりなる炉壁のうち、
少なくとも側壁にヒータを設けたバッチ式熱処理炉にお
いて、炉内に処理材の支持部材を鉛直方向に所定間隔を
もって配設するとともに、前記処理材を挟んで冷却器と
補助ヒータとを設けたことを特徴とするバッチ式熱処理
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6327608A JP2795400B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ガラス基板のバッチ式熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6327608A JP2795400B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ガラス基板のバッチ式熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178532A true JPH08178532A (ja) | 1996-07-12 |
| JP2795400B2 JP2795400B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=18200964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6327608A Expired - Lifetime JP2795400B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ガラス基板のバッチ式熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2795400B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015069669A (ja) * | 2013-09-29 | 2015-04-13 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02302580A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Murata Mfg Co Ltd | 焼成炉 |
| JPH03125896A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-29 | Murata Mfg Co Ltd | 焼成炉 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP6327608A patent/JP2795400B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02302580A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Murata Mfg Co Ltd | 焼成炉 |
| JPH03125896A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-29 | Murata Mfg Co Ltd | 焼成炉 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015069669A (ja) * | 2013-09-29 | 2015-04-13 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2795400B2 (ja) | 1998-09-10 |
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