JPH08178855A - 透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法 - Google Patents
透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法Info
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- JPH08178855A JPH08178855A JP6317025A JP31702594A JPH08178855A JP H08178855 A JPH08178855 A JP H08178855A JP 6317025 A JP6317025 A JP 6317025A JP 31702594 A JP31702594 A JP 31702594A JP H08178855 A JPH08178855 A JP H08178855A
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- light source
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】異常部の検出において、簡単な構成で容易に信
頼性の高い評価を可能とする。 【構成】光源１からの光で被検査物２を透過または反射
させ、その透過光または反射光を受光して被検査物２の
光学的異常部分３を検査する方法であって、前記光源１
として幾何学的に既知の輝度変化をもった散乱光源を用
いる。
頼性の高い評価を可能とする。 【構成】光源１からの光で被検査物２を透過または反射
させ、その透過光または反射光を受光して被検査物２の
光学的異常部分３を検査する方法であって、前記光源１
として幾何学的に既知の輝度変化をもった散乱光源を用
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透光性物体あるいは鏡
面性物体を光学的に検査あるいは測定するための検査方
法に関するものである。
面性物体を光学的に検査あるいは測定するための検査方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラスなどの検査において、表面
形状の異常等の外観異常や内部の屈折率異常等の光学的
特性異常等の検査を行う場合、検査員の官能検査により
異常部分の異常程度を評価判断したり、あるいは格子模
様等を用いてこれを被検査物を介して受光しその変形量
を異常部分の評価指標として用いていた。また、被検査
物の表面のキズ等の検査においては、被検査物に光を照
射しこの反射光を受光してその光量変化によりキズの強
さ等の評価を行っていた。
形状の異常等の外観異常や内部の屈折率異常等の光学的
特性異常等の検査を行う場合、検査員の官能検査により
異常部分の異常程度を評価判断したり、あるいは格子模
様等を用いてこれを被検査物を介して受光しその変形量
を異常部分の評価指標として用いていた。また、被検査
物の表面のキズ等の検査においては、被検査物に光を照
射しこの反射光を受光してその光量変化によりキズの強
さ等の評価を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検査員
による官能検査は外観上の欠点の強さとの相関をもちつ
つ短時間で検査が可能であるが、欠点を評価判断する場
合の個人差があり客観的な評価指標を求めることは困難
であった。
による官能検査は外観上の欠点の強さとの相関をもちつ
つ短時間で検査が可能であるが、欠点を評価判断する場
合の個人差があり客観的な評価指標を求めることは困難
であった。
【０００４】また、格子模様の変形量を用いる検査方法
においては、客観的な判断の評価指標は得られるが、測
定値から評価指標への変換が容易でなく、高速で簡易な
検査ができなかった。また、格子模様のエッジ部分にお
いて検出信号の歪みや乱れが起こる場合があり、場所的
に均一な変化とならないため局部的に検査の感度が異な
るという問題があった。
においては、客観的な判断の評価指標は得られるが、測
定値から評価指標への変換が容易でなく、高速で簡易な
検査ができなかった。また、格子模様のエッジ部分にお
いて検出信号の歪みや乱れが起こる場合があり、場所的
に均一な変化とならないため局部的に検査の感度が異な
るという問題があった。
【０００５】また、キズ等の検査を行う場合の反射光量
を判断指標として用いる検査方法においては、比較的簡
易な判断指標が得られるが、被検査物の配置場所により
受光装置等の配置に合致した位置のキズの異常程度が大
きいと評価されることがあり、実際のキズの外観上の目
立ち具合等の真の欠点の度合いとの相関はほとんどない
場合があり、検査評価の信頼性が低かった。
を判断指標として用いる検査方法においては、比較的簡
易な判断指標が得られるが、被検査物の配置場所により
受光装置等の配置に合致した位置のキズの異常程度が大
きいと評価されることがあり、実際のキズの外観上の目
立ち具合等の真の欠点の度合いとの相関はほとんどない
場合があり、検査評価の信頼性が低かった。
【０００６】本発明は上記従来技術の問題点に鑑みなさ
れたものであって、簡単な構成で容易に信頼性の高い異
常部の評価ができる光学的検査方法の提供を目的とす
る。
れたものであって、簡単な構成で容易に信頼性の高い異
常部の評価ができる光学的検査方法の提供を目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、光源より光を発し、この光が透光性の
被検査物中を透過した透過光を受光装置で受光し、ある
いは鏡面性の被検査物で反射した反射光を受光装置で受
光することにより上記被検査物の光学的異常部分を検査
あるいは測定する方法であって、前記光源として幾何学
的に既知の輝度変化をもった散乱光源を用いることを特
徴とする透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法を提
供する。
め、本発明では、光源より光を発し、この光が透光性の
被検査物中を透過した透過光を受光装置で受光し、ある
いは鏡面性の被検査物で反射した反射光を受光装置で受
光することにより上記被検査物の光学的異常部分を検査
あるいは測定する方法であって、前記光源として幾何学
的に既知の輝度変化をもった散乱光源を用いることを特
徴とする透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法を提
供する。
【０００８】好ましい実施例においては、前記幾何学的
に既知の輝度変化をもった散乱光源として、平面的な光
源であって、平面上の一定方向に沿って明るさが増加ま
たは減少する面光源を用いたことを特徴としている。
に既知の輝度変化をもった散乱光源として、平面的な光
源であって、平面上の一定方向に沿って明るさが増加ま
たは減少する面光源を用いたことを特徴としている。
【０００９】さらに好ましい実施例においては、前記透
過光あるいは反射光の受光装置による光量の変化量を、
検査あるいは測定における異常部分の強さの指標として
用いることを特徴としている。
過光あるいは反射光の受光装置による光量の変化量を、
検査あるいは測定における異常部分の強さの指標として
用いることを特徴としている。
【００１０】さらに別の好ましい実施例においては、前
記強さの指標に加え、異常部分の大きさ等の幾何学的情
報をこの異常部分の評価指標として用いることを特徴と
している。
記強さの指標に加え、異常部分の大きさ等の幾何学的情
報をこの異常部分の評価指標として用いることを特徴と
している。
【００１１】さらに本発明においては、光源より光を発
し、この光が透光性の被検査物中を透過した透過光を受
光装置で受光し、あるいは鏡面性の被検査物で反射した
反射光を受光装置で受光することにより上記被検査物の
光学的異常部分を検査あるいは測定する方法であって、
前記光源として明暗２段階の明るさのエッジを有する面
光源を用いたことを特徴とする透光性物体あるいは鏡面
性物体の検査方法を提供する。
し、この光が透光性の被検査物中を透過した透過光を受
光装置で受光し、あるいは鏡面性の被検査物で反射した
反射光を受光装置で受光することにより上記被検査物の
光学的異常部分を検査あるいは測定する方法であって、
前記光源として明暗２段階の明るさのエッジを有する面
光源を用いたことを特徴とする透光性物体あるいは鏡面
性物体の検査方法を提供する。
【００１２】
【作用】透光性あるいは反射性物体の光学的異常な部分
の検査を行う際、光源として幾何学的に輝度が一様に変
化する散乱光源を用い、被検査物中を透過した透過光あ
るいは被検査物で反射した反射光を受光装置で受光して
その光量の変化量を強さの指標とし、異常部分の大きさ
などの幾何学的情報を考慮してこの異常部分の外観的悪
さの評価指標としている。このため、簡易に変換できる
指標により、光学的異常の官能検査との相関がある検査
が可能となる。また、光源の幾何学的輝度が一様に変化
しているので、前述の格子模様等を用いる場合と異な
り、光源のどこに相当する部分でも同様の感度をもたせ
ることが可能である。
の検査を行う際、光源として幾何学的に輝度が一様に変
化する散乱光源を用い、被検査物中を透過した透過光あ
るいは被検査物で反射した反射光を受光装置で受光して
その光量の変化量を強さの指標とし、異常部分の大きさ
などの幾何学的情報を考慮してこの異常部分の外観的悪
さの評価指標としている。このため、簡易に変換できる
指標により、光学的異常の官能検査との相関がある検査
が可能となる。また、光源の幾何学的輝度が一様に変化
しているので、前述の格子模様等を用いる場合と異な
り、光源のどこに相当する部分でも同様の感度をもたせ
ることが可能である。
【００１３】さらに、受光装置の焦点ズレを利用するこ
とにより、比較的容易に入手することができる明暗２段
階のエッジ光源や段階的に輝度が変化する光源などを用
いて、連続的に輝度が変化する光源を用いた場合と同様
の作用効果をもたらして簡易に異常部分の検査が可能に
なる。
とにより、比較的容易に入手することができる明暗２段
階のエッジ光源や段階的に輝度が変化する光源などを用
いて、連続的に輝度が変化する光源を用いた場合と同様
の作用効果をもたらして簡易に異常部分の検査が可能に
なる。
【００１４】
【実施例】以下図面に基づいて本発明の実施例について
説明する。
説明する。
【００１５】図１は本発明方法を実施するための検査装
置の概略構成の説明図である。１は幾何学的に輝度が一
様に変化する散乱光源である。この実施例は例えばガラ
スの筋状の欠点を評価するような場合を想定しているの
で、ある１方向に対して連続的に光量が減っていくよう
な光源を用いているが、評価対象の欠点の形状によって
は、例えば放射状に光量が変化するような光源を用いて
ももちろん本発明方法を実現できる。なお、図におい
て、光源１として段階的に（右から左に）明るさが減っ
ている光源を描いているが、連続的に無段階で明るさが
一様に変化する光源が望ましい。
置の概略構成の説明図である。１は幾何学的に輝度が一
様に変化する散乱光源である。この実施例は例えばガラ
スの筋状の欠点を評価するような場合を想定しているの
で、ある１方向に対して連続的に光量が減っていくよう
な光源を用いているが、評価対象の欠点の形状によって
は、例えば放射状に光量が変化するような光源を用いて
ももちろん本発明方法を実現できる。なお、図におい
て、光源１として段階的に（右から左に）明るさが減っ
ている光源を描いているが、連続的に無段階で明るさが
一様に変化する光源が望ましい。
【００１６】２は評価対象の例えばガラスであり、３は
例えば筋状欠点である。４はＣＣＤカメラ等の受光（撮
像）装置であり、５は受光装置４より得られた画像信号
を処理、演算する演算処理装置である。
例えば筋状欠点である。４はＣＣＤカメラ等の受光（撮
像）装置であり、５は受光装置４より得られた画像信号
を処理、演算する演算処理装置である。
【００１７】光源１は、面散乱光源よりの光を透過率が
連続的に変化するフィルターを透過させることにより実
現できる。このようなフィルターを透過させる光源を用
いる代りに、輝度の異なる多数の発光素子を順番に連続
的に配置したり、あるいは白から黒へ連続的に変化する
面を均一に照明したり、あるいはこれらを組合せること
によっても、幾何学的に輝度変化が一様に変化する光源
を得ることができる。
連続的に変化するフィルターを透過させることにより実
現できる。このようなフィルターを透過させる光源を用
いる代りに、輝度の異なる多数の発光素子を順番に連続
的に配置したり、あるいは白から黒へ連続的に変化する
面を均一に照明したり、あるいはこれらを組合せること
によっても、幾何学的に輝度変化が一様に変化する光源
を得ることができる。
【００１８】なお、無段階で連続的に輝度が変化する光
源に代えて、受光装置の撮像範囲や解像度等に対応し
て、適当な間隔でステップ状に明るさが変化する光源を
用いてもよい。
源に代えて、受光装置の撮像範囲や解像度等に対応し
て、適当な間隔でステップ状に明るさが変化する光源を
用いてもよい。
【００１９】図２は、図１の検査装置の作用説明図であ
り、光源１よりの光線が筋状欠点３によりどのような挙
動をするかを示す。図は、ガラス２の欠点３を含むある
断面、例えば図１のＡ−Ａ’断面を示している。この図
は、撮像素子で検出される光線を上方の平行な線で表
し、その光線が光源１のどの部分から発しているかを示
している。欠点３の部分では、光線は曲げられて本来あ
るべき輝度とは違う輝度が検出される。即ち、欠点３が
なければ既知の変化率で順番に明るさが変化する検出信
号が得られるが、欠点３の位置で順番が逆転し一様な変
化とならなくなる。これにより、欠点３を検出すること
ができる。
り、光源１よりの光線が筋状欠点３によりどのような挙
動をするかを示す。図は、ガラス２の欠点３を含むある
断面、例えば図１のＡ−Ａ’断面を示している。この図
は、撮像素子で検出される光線を上方の平行な線で表
し、その光線が光源１のどの部分から発しているかを示
している。欠点３の部分では、光線は曲げられて本来あ
るべき輝度とは違う輝度が検出される。即ち、欠点３が
なければ既知の変化率で順番に明るさが変化する検出信
号が得られるが、欠点３の位置で順番が逆転し一様な変
化とならなくなる。これにより、欠点３を検出すること
ができる。
【００２０】なお、受光装置４の撮像視野内が検査範囲
となるため、これを越える範囲については受光装置４
（あるいはガラス２）を移動して検査面全面を走査す
る。この場合、ラインセンサーを用いた受光装置であれ
ば、ラインに直角方向に走査してガラス全面を検査する
ことができる。
となるため、これを越える範囲については受光装置４
（あるいはガラス２）を移動して検査面全面を走査す
る。この場合、ラインセンサーを用いた受光装置であれ
ば、ラインに直角方向に走査してガラス全面を検査する
ことができる。
【００２１】図３は本発明の別の実施例の構成図であ
り、図４はその作用説明図である。この実施例は、前記
実施例のように連続的に（または多数の段階的に）光量
が変化する光源を用いる代りに、明暗２段階に光量が変
化するエッジをもつ散乱光源６を用いたものである。こ
のようなエッジ（明暗の境界部）をもつ光源６を、受光
装置４の焦点位置からズレた位置に設置し、焦点位置に
ガラス２を設置する。これにより、光源６からの光が受
光装置にぼけて受光されるので、簡易に連続的に光量が
変化するように幾何学的に既知の輝度変化を有する光源
を得ることができる。
り、図４はその作用説明図である。この実施例は、前記
実施例のように連続的に（または多数の段階的に）光量
が変化する光源を用いる代りに、明暗２段階に光量が変
化するエッジをもつ散乱光源６を用いたものである。こ
のようなエッジ（明暗の境界部）をもつ光源６を、受光
装置４の焦点位置からズレた位置に設置し、焦点位置に
ガラス２を設置する。これにより、光源６からの光が受
光装置にぼけて受光されるので、簡易に連続的に光量が
変化するように幾何学的に既知の輝度変化を有する光源
を得ることができる。
【００２２】こうして、図４に示すように、光源面の位
置における視野範囲である錯乱円１０内の光量の積分の
変化を見ることができる。即ち、撮像装置４の各画素位
置に対応した錯乱円１０からの光量（図の白い部分に対
応）の積分が検出信号として得られるため、図４（ａ）
のように欠点がないときには、撮像装置の視野範囲内で
連続的に光量が変化する検出信号が得られる。一方、撮
像装置の視野範囲内の１つの画素の位置に欠点３がある
場合には、図４（ｂ）に示すように、その画素部分の光
線が曲げられるため視野範囲内の錯乱円１０から得られ
る光量の積分データは連続的な一様変化とならない。な
お、９は撮像系が焦点を結んでいる位置を表している。
置における視野範囲である錯乱円１０内の光量の積分の
変化を見ることができる。即ち、撮像装置４の各画素位
置に対応した錯乱円１０からの光量（図の白い部分に対
応）の積分が検出信号として得られるため、図４（ａ）
のように欠点がないときには、撮像装置の視野範囲内で
連続的に光量が変化する検出信号が得られる。一方、撮
像装置の視野範囲内の１つの画素の位置に欠点３がある
場合には、図４（ｂ）に示すように、その画素部分の光
線が曲げられるため視野範囲内の錯乱円１０から得られ
る光量の積分データは連続的な一様変化とならない。な
お、９は撮像系が焦点を結んでいる位置を表している。
【００２３】このように、焦点ズレを利用しても、錯乱
円内の光源部（白い部分）の面積が変化することによ
り、撮像装置で得られる像の背景が連続的に変化するた
め、前述の実施例のように連続的に輝度が一様変化する
光源を用いた場合と同じ原理で検出評価が可能になる。
また連続的に変化するパターン等と焦点ズレの機構を組
合せて実施することもできる。
円内の光源部（白い部分）の面積が変化することによ
り、撮像装置で得られる像の背景が連続的に変化するた
め、前述の実施例のように連続的に輝度が一様変化する
光源を用いた場合と同じ原理で検出評価が可能になる。
また連続的に変化するパターン等と焦点ズレの機構を組
合せて実施することもできる。
【００２４】図５は、例えば図１のＡ−Ａ’断面に沿っ
て欠点がない場合の光量の検出信号例を示し、（ａ）図
はＡ−Ａ’断面に沿って得られる光量を表したグラフで
あり、光量は場所にかかわらず一様に変化し右上がりの
直線（右側ほど光量が多い）となっている。（ｂ）図は
（ａ）図の光量データを微分処理してその変化量をグラ
フにしたものである。これは場所によらず一定になる。
て欠点がない場合の光量の検出信号例を示し、（ａ）図
はＡ−Ａ’断面に沿って得られる光量を表したグラフで
あり、光量は場所にかかわらず一様に変化し右上がりの
直線（右側ほど光量が多い）となっている。（ｂ）図は
（ａ）図の光量データを微分処理してその変化量をグラ
フにしたものである。これは場所によらず一定になる。
【００２５】一方、同じＡ−Ａ’断面上に図２のような
凸状の欠点３あるいはこれと同様な効果を起こす屈折率
等の異常がある場合は、得られる光量の信号は図６のよ
うになる。（ａ）図は検出光量を表す。この（ａ）図に
おいて、１３は欠点部分である。この光量の変化量を
（ｂ）図に示す。（ｂ）図において、１４は欠点部分で
ある。欠点部分１４の高さは光量変化の急変度に対応す
る。これにより欠点３の異常度合いの評価ができる。図
６の凸状欠点３（図２参照）の検出データにおいては、
（ａ）図に示すように、欠点部分１３において、先に白
い部分が検出されその後黒い部分が検出されるため、グ
ラフ上で急激な凸から凹への変化が検出される。
凸状の欠点３あるいはこれと同様な効果を起こす屈折率
等の異常がある場合は、得られる光量の信号は図６のよ
うになる。（ａ）図は検出光量を表す。この（ａ）図に
おいて、１３は欠点部分である。この光量の変化量を
（ｂ）図に示す。（ｂ）図において、１４は欠点部分で
ある。欠点部分１４の高さは光量変化の急変度に対応す
る。これにより欠点３の異常度合いの評価ができる。図
６の凸状欠点３（図２参照）の検出データにおいては、
（ａ）図に示すように、欠点部分１３において、先に白
い部分が検出されその後黒い部分が検出されるため、グ
ラフ上で急激な凸から凹への変化が検出される。
【００２６】図７は凹状の欠点がある場合の図６と同様
のグラフである。この場合には、欠点部分１３において
光源からの光線が上記凸状欠点とは逆の方向に曲げられ
るため、（ａ）図に示すように、先に黒い部分が検出さ
れその後白い部分が検出されるため、グラフ上で急激な
凹から凸への変化が検出される。
のグラフである。この場合には、欠点部分１３において
光源からの光線が上記凸状欠点とは逆の方向に曲げられ
るため、（ａ）図に示すように、先に黒い部分が検出さ
れその後白い部分が検出されるため、グラフ上で急激な
凹から凸への変化が検出される。
【００２７】このような検出方法において、強い欠点を
光線を大きく曲げる欠点とすれば、強い欠点ほど本来あ
るべき場所から遠いところから出ている光線を検出する
ことになる。つまり、強い欠点ほど変化量の信号は大き
くなり、欠点の強さの定量評価が可能になる。
光線を大きく曲げる欠点とすれば、強い欠点ほど本来あ
るべき場所から遠いところから出ている光線を検出する
ことになる。つまり、強い欠点ほど変化量の信号は大き
くなり、欠点の強さの定量評価が可能になる。
【００２８】本発明方法の具体的な実施例として、エッ
ジをもった拡散光源を用いて被測定物に焦点を合わせ、
光源から被測定物までを１００ｍｍとして焦点ズレの位
置とし、焦点距離５５ｍｍ、Ｆ値４という光学系を用い
て、ガラスのスクラッチと呼ばれるキズ状欠点の評価を
行ったところ、前述の一様変化をみるための微分（また
は差分）フィルターを用いて求めた光量の変化量と目視
検査における強弱の評価との相関があることを確認し
た。さらに光量の変化量に欠点部の長さあるいは大きさ
をかけるなどした指標により、欠点の悪さの定量評価が
可能になる。
ジをもった拡散光源を用いて被測定物に焦点を合わせ、
光源から被測定物までを１００ｍｍとして焦点ズレの位
置とし、焦点距離５５ｍｍ、Ｆ値４という光学系を用い
て、ガラスのスクラッチと呼ばれるキズ状欠点の評価を
行ったところ、前述の一様変化をみるための微分（また
は差分）フィルターを用いて求めた光量の変化量と目視
検査における強弱の評価との相関があることを確認し
た。さらに光量の変化量に欠点部の長さあるいは大きさ
をかけるなどした指標により、欠点の悪さの定量評価が
可能になる。
【００２９】図８は本発明方法のさらに別の実施例を示
す構成図である。この実施例は、前述の透過型の被検査
物に代えて、反射型の被検査物に対し本発明を適用した
ものである。前述と同じ輝度が一様に変化する光源１か
らの光を被測定物２の表面で反射させその反射光を撮像
装置４で検出する。これにより、前記実施例と同様にし
て、被検査物２の欠点３を評価することができる。
す構成図である。この実施例は、前述の透過型の被検査
物に代えて、反射型の被検査物に対し本発明を適用した
ものである。前述と同じ輝度が一様に変化する光源１か
らの光を被測定物２の表面で反射させその反射光を撮像
装置４で検出する。これにより、前記実施例と同様にし
て、被検査物２の欠点３を評価することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、予め分かっている輝度変化を有する光源を用いて被
検査物からの透過光あるいは反射光を検出しその光量変
化により異常部分の検出測定を行っているため、短時間
で簡易に人間の感性に近い指標を用いて定量的に光学的
異常部分の測定や評価が可能となり、大量の被検査物の
評価や複雑な工程内での信頼性の高い検査が容易に効率
よく達成される。
は、予め分かっている輝度変化を有する光源を用いて被
検査物からの透過光あるいは反射光を検出しその光量変
化により異常部分の検出測定を行っているため、短時間
で簡易に人間の感性に近い指標を用いて定量的に光学的
異常部分の測定や評価が可能となり、大量の被検査物の
評価や複雑な工程内での信頼性の高い検査が容易に効率
よく達成される。
【図１】本発明の実施例に係る光学的検査装置の構成説
明図である。
明図である。
【図２】図１の実施例の作用説明図である。
【図３】本発明の別の実施例の構成説明図である。
【図４】図３の実施例の作用説明図である。
【図５】正常な被検査物の検出データのグラフである。
【図６】凸状欠点がある被検査物の検出データのグラフ
である。
である。
【図７】凹状欠点がある被検査物の検出データのグラフ
である。
である。
【図８】本発明のさらに別の実施例の構成説明図であ
る。
る。
１：幾何学的に輝度が一様に変化する散乱光源 ２：被検査物 ３：筋状欠点 ４：撮像（受光）装置 ５：信号を演算処理するための演算処理装置 ６：明暗２段階のエッジを有する光源 ９：撮像素子の焦点位置 １０：撮像素子の光源面における視野を示す錯乱円
Claims (5)
- 【請求項１】光源より光を発し、この光が透光性の被検
査物中を透過した透過光を受光装置で受光し、あるいは
鏡面性の被検査物で反射した反射光を受光装置で受光す
ることにより上記被検査物の光学的異常部分を検査ある
いは測定する方法であって、前記光源として幾何学的に
既知の輝度変化をもった散乱光源を用いることを特徴と
する透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法。 - 【請求項２】前記幾何学的に既知の輝度変化をもった散
乱光源として、平面的な光源であって、平面上の一定方
向に沿って明るさが増加または減少する面光源を用いた
ことを特徴とする請求項１に記載の透光性物体あるいは
鏡面性物体の検査方法。 - 【請求項３】前記受光装置による光量の変化量を、検査
あるいは測定における異常部分の強さの指標として用い
ることを特徴とする請求項１または２に記載の透光性物
体あるいは鏡面性物体の検査方法。 - 【請求項４】前記強さの指標に加え、異常部分の大きさ
等の幾何学的情報を異常部分の評価指標として用いるこ
とを特徴とする請求項３に記載の透光性物体あるいは鏡
面性物体の検査方法。 - 【請求項５】光源より光を発し、この光が透光性の被検
査物中を透過した透過光を受光装置で受光し、あるいは
鏡面性の被検査物で反射した反射光を受光装置で受光す
ることにより上記被検査物の光学的異常部分を検査ある
いは測定する方法であって、前記光源として明暗２段階
の明るさのエッジを有する面光源を用いたことを特徴と
する透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317025A JPH08178855A (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317025A JPH08178855A (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178855A true JPH08178855A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18083589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6317025A Pending JPH08178855A (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | 透光性物体あるいは鏡面性物体の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08178855A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001004553A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-01-12 | Emhart Glass Sa | 瓶の壁を検査する機械 |
| JP2001027616A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-01-30 | Emhart Glass Sa | 瓶の壁を検査する機械 |
| JP2001356097A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-12-26 | Krones Ag | 透明容器を光学的に検査するための方法および装置 |
| JP2002507742A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-03-12 | ラゾー ラザー ゾルター ゲーエムベーハー | 板ガラスの中の欠陥、特にドリップ、スレッド及び線を検出するための方法及び装置 |
| JP2002524718A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-08-06 | ラゾー アーゲー | 板ガラス及び他の透光性材料の光学的品質を測定し、欠陥を検出するための方法並びに装置 |
| WO2003005007A1 (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method and device for inspecting defect of sheet-shaped transparent body |
| CN103900795A (zh) * | 2014-02-20 | 2014-07-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种测试透明显示屏透明效果的设备及方法 |
| CN104165753A (zh) * | 2014-08-01 | 2014-11-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 透明显示屏的检测装置和检测方法 |
| WO2025043470A1 (zh) * | 2023-08-29 | 2025-03-06 | 杭州电子科技大学技术转移有限公司 | 一种基于激光测量的缺陷检测方法及应用 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04301548A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査用照明装置 |
| JPH05209734A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査装置 |
| JPH05223746A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Toyo Glass Co Ltd | 透明物体の欠陥検出方法とその装置 |
| JPH06242023A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フィッシュアイ検査装置 |
-
1994
- 1994-12-20 JP JP6317025A patent/JPH08178855A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04301548A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査用照明装置 |
| JPH05209734A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査装置 |
| JPH05223746A (ja) * | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Toyo Glass Co Ltd | 透明物体の欠陥検出方法とその装置 |
| JPH06242023A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | フィッシュアイ検査装置 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7781723B1 (en) | 1998-02-19 | 2010-08-24 | Emhart Glass S.A. | Container inspection machine using light source having spatially cyclically continuously varying intensity |
| JP2002507742A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-03-12 | ラゾー ラザー ゾルター ゲーエムベーハー | 板ガラスの中の欠陥、特にドリップ、スレッド及び線を検出するための方法及び装置 |
| JP2002524718A (ja) * | 1998-03-25 | 2002-08-06 | ラゾー アーゲー | 板ガラス及び他の透光性材料の光学的品質を測定し、欠陥を検出するための方法並びに装置 |
| JP2001004553A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-01-12 | Emhart Glass Sa | 瓶の壁を検査する機械 |
| JP2001027616A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-01-30 | Emhart Glass Sa | 瓶の壁を検査する機械 |
| JP2001356097A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-12-26 | Krones Ag | 透明容器を光学的に検査するための方法および装置 |
| US6930772B2 (en) | 2001-07-05 | 2005-08-16 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Method and device for inspecting defect of sheet-shaped transparent body |
| CN1293381C (zh) * | 2001-07-05 | 2007-01-03 | 日本板硝子株式会社 | 片状透明体缺陷的检查方法与装置 |
| WO2003005007A1 (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method and device for inspecting defect of sheet-shaped transparent body |
| CN103900795A (zh) * | 2014-02-20 | 2014-07-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种测试透明显示屏透明效果的设备及方法 |
| CN104165753A (zh) * | 2014-08-01 | 2014-11-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 透明显示屏的检测装置和检测方法 |
| US9341572B2 (en) | 2014-08-01 | 2016-05-17 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Detecting device and detecting method of a transparent display panel |
| WO2025043470A1 (zh) * | 2023-08-29 | 2025-03-06 | 杭州电子科技大学技术转移有限公司 | 一种基于激光测量的缺陷检测方法及应用 |
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