JPH08180623A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
- Publication number
- JPH08180623A JPH08180623A JP31986494A JP31986494A JPH08180623A JP H08180623 A JPH08180623 A JP H08180623A JP 31986494 A JP31986494 A JP 31986494A JP 31986494 A JP31986494 A JP 31986494A JP H08180623 A JPH08180623 A JP H08180623A
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- JP
- Japan
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- slider
- magnetic disk
- head
- load arm
- disk device
- Prior art date
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ディスク装置におけるヘッドの位置決め
精度を飛躍的に向上させ、高密度記録を達成すること。 【構成】 スライダ２を支持し、トラック方向に高剛性
を有するロードアーム３の先端部に、スライダ２の回転
運動を支持する回転ばね１４と、スライダ２をロードア
ーム３に対して相対的にトラック方向へ移動させる微動
駆動手段１５を搭載し、ヘッドを高精度に位置決めす
る。微動駆動手段１５はくし歯状の静電アクチュエータ
を構成している。 【効果】 本発明によれば、磁気ディスク装置の高密度
記録を達成できる効果がある。
精度を飛躍的に向上させ、高密度記録を達成すること。 【構成】 スライダ２を支持し、トラック方向に高剛性
を有するロードアーム３の先端部に、スライダ２の回転
運動を支持する回転ばね１４と、スライダ２をロードア
ーム３に対して相対的にトラック方向へ移動させる微動
駆動手段１５を搭載し、ヘッドを高精度に位置決めす
る。微動駆動手段１５はくし歯状の静電アクチュエータ
を構成している。 【効果】 本発明によれば、磁気ディスク装置の高密度
記録を達成できる効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に係
り、特に、スライダをディスクの半径方向へ高精度に位
置決めするのに好適な磁気ディスク装置に関する。
り、特に、スライダをディスクの半径方向へ高精度に位
置決めするのに好適な磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気ディスク装置は、データを
記憶する記録面をもつ複数枚の磁気ディスクを備えてお
り、これらのディスクに対して、情報の書き込みおよび
読み出しを行う複数個の磁気ヘッド（電磁変換素子）、
およびこれらヘッドを位置決めするためのボイスコイル
モータ等を備えている。
記憶する記録面をもつ複数枚の磁気ディスクを備えてお
り、これらのディスクに対して、情報の書き込みおよび
読み出しを行う複数個の磁気ヘッド（電磁変換素子）、
およびこれらヘッドを位置決めするためのボイスコイル
モータ等を備えている。
【０００３】複数個の磁気ヘッドは、それぞれロードア
ームを介してキャリッジに取り付けられ、ボイスコイル
モータにより一体と成って駆動される。キャリッジは、
玉軸受を介して回転可能にベースへ取り付けられ、ボイ
スコイルモータにより回転駆動される。
ームを介してキャリッジに取り付けられ、ボイスコイル
モータにより一体と成って駆動される。キャリッジは、
玉軸受を介して回転可能にベースへ取り付けられ、ボイ
スコイルモータにより回転駆動される。
【０００４】この場合のヘッド位置決めは、ディスクの
記録面に間欠的に位置決め情報を記憶させ、この位置決
め情報の間にデータ情報を記憶させている。ヘッドから
間欠的に得られる位置情報に基づきヘッドを位置決めす
る、いわゆるデータ面サーボ方式が一般的である。
記録面に間欠的に位置決め情報を記憶させ、この位置決
め情報の間にデータ情報を記憶させている。ヘッドから
間欠的に得られる位置情報に基づきヘッドを位置決めす
る、いわゆるデータ面サーボ方式が一般的である。
【０００５】ところが、玉軸受の持つころがり摩擦のた
めに、キャリッジは０．００００１ｒａｄ程度より小さ
い回転角を制御できず、ヘッドの微小位置決めを妨げる
要因になっている。特に、近年、記録密度の増大にとも
なって、情報トラックの間隔が狭くなるとともに、玉軸
受のころがり摩擦の対策は重要な課題になってきてい
る。
めに、キャリッジは０．００００１ｒａｄ程度より小さ
い回転角を制御できず、ヘッドの微小位置決めを妨げる
要因になっている。特に、近年、記録密度の増大にとも
なって、情報トラックの間隔が狭くなるとともに、玉軸
受のころがり摩擦の対策は重要な課題になってきてい
る。
【０００６】この課題の対策手段として、複数個の磁気
ヘッドを一体で長ストローク移動させるボイスコイルモ
ータに加えて、個々のヘッドを独立に微小位置決めする
ためのアクチュエータ（圧電素子）をキャリッジに搭載
し、ロードアームをキャリッジに対して相対的に微小移
動させてヘッドを微小変位させる方法や、ヘッドをスラ
イダに対して相対的に移動させるアクチュエータ（圧電
素子）をスライダに組み込む方式が提案されている。上
記従来技術は、例えば、特開平３−１８３０７０号、お
よび特開昭６２−２５０５７０号に開示されている。
ヘッドを一体で長ストローク移動させるボイスコイルモ
ータに加えて、個々のヘッドを独立に微小位置決めする
ためのアクチュエータ（圧電素子）をキャリッジに搭載
し、ロードアームをキャリッジに対して相対的に微小移
動させてヘッドを微小変位させる方法や、ヘッドをスラ
イダに対して相対的に移動させるアクチュエータ（圧電
素子）をスライダに組み込む方式が提案されている。上
記従来技術は、例えば、特開平３−１８３０７０号、お
よび特開昭６２−２５０５７０号に開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気デ
ィスク装置において、ヘッド位置決めを従来以上に高精
度に行う場合、ヘッドを微小駆動する圧電素子は、駆動
電圧に対する出力変位がヒステリシスをもつ非線形素子
であり、この非線形特性がヘッド位置決めの高精度化を
制約し、ヘッド位置決めに要するアクセス時間の高速化
を妨げるという点に考慮がなされていなかった。また、
圧電素子の歪は極めて小さいため、拡大機構を介してヘ
ッドを位置決めする必要があり、複雑な構造になってい
た。
ィスク装置において、ヘッド位置決めを従来以上に高精
度に行う場合、ヘッドを微小駆動する圧電素子は、駆動
電圧に対する出力変位がヒステリシスをもつ非線形素子
であり、この非線形特性がヘッド位置決めの高精度化を
制約し、ヘッド位置決めに要するアクセス時間の高速化
を妨げるという点に考慮がなされていなかった。また、
圧電素子の歪は極めて小さいため、拡大機構を介してヘ
ッドを位置決めする必要があり、複雑な構造になってい
た。
【０００８】本発明の目的は、ヘッドの微小駆動を行う
機能を有し、高密度記録におけるヘッド位置決めを可能
にする、高精度な位置決め性能を有する機構により、よ
り実用的な磁気ディスク装置を提供することである。
機能を有し、高密度記録におけるヘッド位置決めを可能
にする、高精度な位置決め性能を有する機構により、よ
り実用的な磁気ディスク装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的は、スライダを
トラック方向に駆動する微小変位アクチュエータを、ヘ
ッドを取り付けたスライダを弾性支持する個々のロード
アームに搭載することにより達成される。この微小変位
アクチュエータを静電形アクチュエータで構成すること
により、ロードアームの先端部分の狭い範囲にヘッドを
微動させる駆動手段が形成される。
トラック方向に駆動する微小変位アクチュエータを、ヘ
ッドを取り付けたスライダを弾性支持する個々のロード
アームに搭載することにより達成される。この微小変位
アクチュエータを静電形アクチュエータで構成すること
により、ロードアームの先端部分の狭い範囲にヘッドを
微動させる駆動手段が形成される。
【００１０】すなわち、本発明は、ヘッドを搭載するス
ライダと、前記スライダを支持するロードアームとを有
し、前記ヘッドによりディスクに情報を書き込みまたは
読み出しする磁気ディスク装置において、前記ロードア
ームに対する前記スライダの相対的移動を制御する微動
駆動手段を設けたことを特徴とするものである。
ライダと、前記スライダを支持するロードアームとを有
し、前記ヘッドによりディスクに情報を書き込みまたは
読み出しする磁気ディスク装置において、前記ロードア
ームに対する前記スライダの相対的移動を制御する微動
駆動手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】また、ヘッドを搭載するスライダと、前記
スライダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッド
によりディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁
気ディスク装置において、前記ロードアームに、前記ス
ライダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動する手段が
設けられていることを特徴とするものである。
スライダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッド
によりディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁
気ディスク装置において、前記ロードアームに、前記ス
ライダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動する手段が
設けられていることを特徴とするものである。
【００１２】また、回転支持される記録面を持つディス
クと、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読
み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記デ
ィスク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、
前記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変
動に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持す
るロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて
前記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めする
ための駆動手段を有する磁気ディスク装置において、前
記ロードアームに対する前記スライダの相対的移動を制
御する微動駆動手段を設けたことを特徴とするものであ
る。
クと、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読
み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記デ
ィスク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、
前記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変
動に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持す
るロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて
前記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めする
ための駆動手段を有する磁気ディスク装置において、前
記ロードアームに対する前記スライダの相対的移動を制
御する微動駆動手段を設けたことを特徴とするものであ
る。
【００１３】また、回転支持されたディスクの記録面上
で、情報を書き込みまたは読み出しを行うためのヘッド
を取り付けたスライダを弾性支持するロードアームを有
し、前記ヘッドを情報トラックに位置決めするための駆
動手段を搭載した磁気ディスク装置において、前記ロー
ドアームをシリコン板で製作し、前記ロードアームに、
前記スライダを弾性支持する梁を形成し、かつ前記ロー
ドアームに対する前記スライダの相対的移動を制御する
微動駆動手段を固着させて形成したことを特徴とするも
のである。
で、情報を書き込みまたは読み出しを行うためのヘッド
を取り付けたスライダを弾性支持するロードアームを有
し、前記ヘッドを情報トラックに位置決めするための駆
動手段を搭載した磁気ディスク装置において、前記ロー
ドアームをシリコン板で製作し、前記ロードアームに、
前記スライダを弾性支持する梁を形成し、かつ前記ロー
ドアームに対する前記スライダの相対的移動を制御する
微動駆動手段を固着させて形成したことを特徴とするも
のである。
【００１４】また、上記目的を、回転支持される記録面
を持つディスクと、前記ディスクの記録面に情報を書き
込みまたは読み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを
取付け前記ディスク上のヘッド姿勢を安定に保つための
スライダと、前記スライダの微小回転運動と、前記ディ
スクの面外変動に追従するためのスライダの運動とを平
行に配設した梁で弾性的に支持するロードアームと、前
記ロードアームを揺動回転させて前記ヘッドを前記記録
面の情報トラックに位置決めするための駆動手段を有
し、前記ヘッドを所定のトラックに位置決めして追従さ
せる位置決め手段を備えた磁気ディスク用ヘッド位置決
め装置において、前記位置決め手段は、前記ロードアー
ムに設けられ、前記スライダを前記ディスクの半径方向
へ微小駆動する手段であることを特徴とする磁気ディス
ク用ヘッド位置決め装置によっても達成することができ
る。
を持つディスクと、前記ディスクの記録面に情報を書き
込みまたは読み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを
取付け前記ディスク上のヘッド姿勢を安定に保つための
スライダと、前記スライダの微小回転運動と、前記ディ
スクの面外変動に追従するためのスライダの運動とを平
行に配設した梁で弾性的に支持するロードアームと、前
記ロードアームを揺動回転させて前記ヘッドを前記記録
面の情報トラックに位置決めするための駆動手段を有
し、前記ヘッドを所定のトラックに位置決めして追従さ
せる位置決め手段を備えた磁気ディスク用ヘッド位置決
め装置において、前記位置決め手段は、前記ロードアー
ムに設けられ、前記スライダを前記ディスクの半径方向
へ微小駆動する手段であることを特徴とする磁気ディス
ク用ヘッド位置決め装置によっても達成することができ
る。
【００１５】
【作用】上記構成によれば、ヘッドを搭載したスライダ
を、ロードアームに対して微小移動させることができる
ので、ディスク面の所定位置に、ヘッドを高精度に位置
決めし、追従させることができる。例えば、スライダを
弾性支持するロードアームは、ロードアームの先端部分
に設けた梁構造で、さらにスライダを支持しており、梁
を撓ませることにより微動駆動手段である微小変位アク
チュエータの可動部分を、スライダと一体的にトラック
方向へ微動させ、ヘッドを高精度に位置決めすることが
できる。
を、ロードアームに対して微小移動させることができる
ので、ディスク面の所定位置に、ヘッドを高精度に位置
決めし、追従させることができる。例えば、スライダを
弾性支持するロードアームは、ロードアームの先端部分
に設けた梁構造で、さらにスライダを支持しており、梁
を撓ませることにより微動駆動手段である微小変位アク
チュエータの可動部分を、スライダと一体的にトラック
方向へ微動させ、ヘッドを高精度に位置決めすることが
できる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して説
明する。図１は、磁気ディスク装置の全体構成を示す図
である。ディスク６は磁気記録のためのディスク、スピ
ンドルモータ９９は、ディスク６を高速回転させるモー
タである。ヘッド７は、情報の書き込みおよび読み取り
を行う。微動駆動手段１５は、ヘッド７をディスク６の
半径方向へ、１〜１５μｍ程度、微小変位させる微動駆
動手段であり、静電アクチュエータを構成している。
明する。図１は、磁気ディスク装置の全体構成を示す図
である。ディスク６は磁気記録のためのディスク、スピ
ンドルモータ９９は、ディスク６を高速回転させるモー
タである。ヘッド７は、情報の書き込みおよび読み取り
を行う。微動駆動手段１５は、ヘッド７をディスク６の
半径方向へ、１〜１５μｍ程度、微小変位させる微動駆
動手段であり、静電アクチュエータを構成している。
【００１７】これら、ヘッド７、微動駆動手段１５は、
ロードアーム３に支持され、ピボット軸８回わりに、複
数のロードアーム３が、一体的に回転する構造であり、
ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１３は、ヘッド７を高速
に長ストローク回転移動させる。
ロードアーム３に支持され、ピボット軸８回わりに、複
数のロードアーム３が、一体的に回転する構造であり、
ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１３は、ヘッド７を高速
に長ストローク回転移動させる。
【００１８】また、制御回路１０１は、ボイスコイルモ
ータ１３を制御するＶＣＭ制御回路、制御回路１０３
は、微動駆動手段１５を制御する静電アクチュエータ制
御回路、増幅器５６は、静電アクチュエータ制御回路１
０３の出力を増幅する増幅器、スイッチ１０５は、ヘッ
ド選択信号１１２に応じて駆動すべき微動駆動手段１５
を選択する静電アクチュエータ選択スイッチ、スイッチ
１０６は、ヘッド７からの入出力信号を選択するヘッド
切換スイッチであり、そのほか、信号処理回路１０４、
メインコントローラ１００を備える。
ータ１３を制御するＶＣＭ制御回路、制御回路１０３
は、微動駆動手段１５を制御する静電アクチュエータ制
御回路、増幅器５６は、静電アクチュエータ制御回路１
０３の出力を増幅する増幅器、スイッチ１０５は、ヘッ
ド選択信号１１２に応じて駆動すべき微動駆動手段１５
を選択する静電アクチュエータ選択スイッチ、スイッチ
１０６は、ヘッド７からの入出力信号を選択するヘッド
切換スイッチであり、そのほか、信号処理回路１０４、
メインコントローラ１００を備える。
【００１９】磁気ディスク装置の動作中、ＶＣＭ制御回
路１０１は、メインコントローラ１００から与えられた
移動指令値１１０に基づき、情報位置にアクセスするシ
ークモードと、トラックに追従するフォローイングモー
ドを切り換え、さらに、ヘッド７からのヘッド位置情報
のフィードバックにより、ボイスコイルモータ１３およ
び微動駆動手段１５を駆動する。
路１０１は、メインコントローラ１００から与えられた
移動指令値１１０に基づき、情報位置にアクセスするシ
ークモードと、トラックに追従するフォローイングモー
ドを切り換え、さらに、ヘッド７からのヘッド位置情報
のフィードバックにより、ボイスコイルモータ１３およ
び微動駆動手段１５を駆動する。
【００２０】シーク動作では、ヘッド選択信号１１２で
選択されたヘッド７が、ロードアーム３に対して振動し
ないように、微動駆動手段１５を電気的にロック状態に
し、ボイスコイルモータ１３でヘッド７を移動させる。
また、フォローイング動作では、このロックを解除し、
ボイスコイルモータ１３と微動駆動手段１５とが協動し
てヘッド位置決めを行う。
選択されたヘッド７が、ロードアーム３に対して振動し
ないように、微動駆動手段１５を電気的にロック状態に
し、ボイスコイルモータ１３でヘッド７を移動させる。
また、フォローイング動作では、このロックを解除し、
ボイスコイルモータ１３と微動駆動手段１５とが協動し
てヘッド位置決めを行う。
【００２１】通常、磁気ディスク装置は、複数枚のディ
スクおよび多数のヘッドを備えているため、各ヘッドを
微小変位させる微動駆動手段１５を独立に駆動する増幅
器を、それぞれ設けることは価格上好ましくない。そこ
で、本実施例では、静電アクチュエータ選択スイッチ１
０５、およびヘッド切換スイッチ１０６を設けることに
より、単一増幅器５６で多数の微動駆動手段１５を駆動
し、コスト低減を図っている。
スクおよび多数のヘッドを備えているため、各ヘッドを
微小変位させる微動駆動手段１５を独立に駆動する増幅
器を、それぞれ設けることは価格上好ましくない。そこ
で、本実施例では、静電アクチュエータ選択スイッチ１
０５、およびヘッド切換スイッチ１０６を設けることに
より、単一増幅器５６で多数の微動駆動手段１５を駆動
し、コスト低減を図っている。
【００２２】また、メインコントローラ１００からの移
動指令値１１０が、微動駆動手段１５のストローク以下
の移動の場合は、微動駆動手段１５だけでシークさせる
ことが可能となり、非常に高速なシーク動作が実現でき
る。さらに、この場合、フォローイング動作を微動駆動
手段１５のみで実現することが可能である。
動指令値１１０が、微動駆動手段１５のストローク以下
の移動の場合は、微動駆動手段１５だけでシークさせる
ことが可能となり、非常に高速なシーク動作が実現でき
る。さらに、この場合、フォローイング動作を微動駆動
手段１５のみで実現することが可能である。
【００２３】つぎに、本発明の主要部分であるヘッド位
置決め手段１について、図面を用いて説明する。図２
は、図１におけるヘッド位置決め手段１と、ディスク６
の一部分を示す部分拡大図、また、図３は、図２のＢ−
Ｂ断面図である。
置決め手段１について、図面を用いて説明する。図２
は、図１におけるヘッド位置決め手段１と、ディスク６
の一部分を示す部分拡大図、また、図３は、図２のＢ−
Ｂ断面図である。
【００２４】図２および図３に示すように、記録面をも
つディスク６で、情報の書き込みまたは読み出しを行う
ヘッド７を取り付けたスライダ２は、ロードアーム３に
搭載されており、回転するディスク６上の記録面上を微
小空隙を保って浮上するようにロードアーム３で支持さ
れている。
つディスク６で、情報の書き込みまたは読み出しを行う
ヘッド７を取り付けたスライダ２は、ロードアーム３に
搭載されており、回転するディスク６上の記録面上を微
小空隙を保って浮上するようにロードアーム３で支持さ
れている。
【００２５】ヘッド位置決め手段１は、スライダ２、ロ
ードアーム３、ロードアーム３と一体的に運動するピボ
ット軸８、ピボット軸８を回転支持する玉軸受９、ピボ
ット軸８に対してロードアーム３の反対側に設けたコイ
ル１０を取り付けたスペーサ５から構成されており、ピ
ボット軸８は玉軸受９を介してベース４に固定されてい
る。
ードアーム３、ロードアーム３と一体的に運動するピボ
ット軸８、ピボット軸８を回転支持する玉軸受９、ピボ
ット軸８に対してロードアーム３の反対側に設けたコイ
ル１０を取り付けたスペーサ５から構成されており、ピ
ボット軸８は玉軸受９を介してベース４に固定されてい
る。
【００２６】また、コイル１０は、ベース４に固定され
たヨーク１１と磁石１２とでボイスコイルモータ１３を
成している。ロードアーム３は図２の紙面の垂直方向
に、ばね作用を有する押圧ばね３ａをもち、スライダ２
をディスク６に押圧し、スライダ２を浮上させている空
気膜圧とバランスさせることにより、ヘッド浮上量を安
定化している。
たヨーク１１と磁石１２とでボイスコイルモータ１３を
成している。ロードアーム３は図２の紙面の垂直方向
に、ばね作用を有する押圧ばね３ａをもち、スライダ２
をディスク６に押圧し、スライダ２を浮上させている空
気膜圧とバランスさせることにより、ヘッド浮上量を安
定化している。
【００２７】また、ロードアーム３の先端部（Ａ部）に
は梁構造が設けられており、スライダ２の微小回転運動
を支持する回転ばね１４と、スライダ２をロードアーム
３に対して相対的に移動させる微動駆動手段１５を成し
ている。
は梁構造が設けられており、スライダ２の微小回転運動
を支持する回転ばね１４と、スライダ２をロードアーム
３に対して相対的に移動させる微動駆動手段１５を成し
ている。
【００２８】図４は、図２のＡ部の拡大図、図５および
図６は、図４のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図であ
る。図５と図６は、Ａ部の断面構造を明らかにするため
に、断面された部分の形状のみを示している。
図６は、図４のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図であ
る。図５と図６は、Ａ部の断面構造を明らかにするため
に、断面された部分の形状のみを示している。
【００２９】回転するディスク６上を安定浮上するスラ
イダ２は、ディスク６の面外振動に追従するために、デ
ィスク６の面外方向へ運動する自由度と、ピッチング運
動とローリング運動という回転自由度を持っている。図
４のＤ−Ｄ断面を示す一点鎖線方向の軸回りのスライダ
２の微小回転運動をピッチング運動と呼び、図４のＣ−
Ｃ断面を示す一点鎖線方向の軸回りの微小回転運動をロ
ーリング運動と呼ぶことにする。
イダ２は、ディスク６の面外振動に追従するために、デ
ィスク６の面外方向へ運動する自由度と、ピッチング運
動とローリング運動という回転自由度を持っている。図
４のＤ−Ｄ断面を示す一点鎖線方向の軸回りのスライダ
２の微小回転運動をピッチング運動と呼び、図４のＣ−
Ｃ断面を示す一点鎖線方向の軸回りの微小回転運動をロ
ーリング運動と呼ぶことにする。
【００３０】回転ばね１４にはスライダ２が取り付けら
れ、その反対側の面には微動駆動手段１５が形成されて
いる。回転ばね１４は、図８に示すように、スライダ２
を接着して取り付ける姿勢板１９、姿勢板１９を支持す
るピッチングばね１６、ピッチングばね１６を支える矩
形状の回転板１８、回転板１８を支持するローリングば
ね１７から構成されており、ローリングばね１７はロー
ドアーム３に支えられている。
れ、その反対側の面には微動駆動手段１５が形成されて
いる。回転ばね１４は、図８に示すように、スライダ２
を接着して取り付ける姿勢板１９、姿勢板１９を支持す
るピッチングばね１６、ピッチングばね１６を支える矩
形状の回転板１８、回転板１８を支持するローリングば
ね１７から構成されており、ローリングばね１７はロー
ドアーム３に支えられている。
【００３１】図６に示すように、ピッチングばね１６を
斜めに変形させ、姿勢板１９を回転板１８（回転板１８
はロードアーム３と同一平面上にある）より下方に配設
して、姿勢板１９にスライダ２を取り付けている。ロー
ドアーム３はステンレスＳＵＳ３０４等の板材からでき
ており、図８に示す回転ばね１４の形状は、ロードアー
ム３をエッチング加工して梁構造を形成する。
斜めに変形させ、姿勢板１９を回転板１８（回転板１８
はロードアーム３と同一平面上にある）より下方に配設
して、姿勢板１９にスライダ２を取り付けている。ロー
ドアーム３はステンレスＳＵＳ３０４等の板材からでき
ており、図８に示す回転ばね１４の形状は、ロードアー
ム３をエッチング加工して梁構造を形成する。
【００３２】ピッチングばね１６はプレス加工して変形
させる。ロードアーム３は、回転するディスク６の面外
変動に追従させるために、スライダ２の浮上方向運動を
押圧ばね３ａで弾性支持し、ディスク６の記録面に対し
てスライダ２の姿勢をコントロールするために、スライ
ダ２の微小回転運動を、回転ばね１４で弾性支持するも
のであり、ディスク６の半径方向（トラック方向）に対
しては剛な構造をしている。また、スライダ２のピッチ
ング運動は、ピッチングばね１６が弾性的にねじれ、ス
ライダ２のローリング運動はローリングばね１７が弾性
的にねじれる。
させる。ロードアーム３は、回転するディスク６の面外
変動に追従させるために、スライダ２の浮上方向運動を
押圧ばね３ａで弾性支持し、ディスク６の記録面に対し
てスライダ２の姿勢をコントロールするために、スライ
ダ２の微小回転運動を、回転ばね１４で弾性支持するも
のであり、ディスク６の半径方向（トラック方向）に対
しては剛な構造をしている。また、スライダ２のピッチ
ング運動は、ピッチングばね１６が弾性的にねじれ、ス
ライダ２のローリング運動はローリングばね１７が弾性
的にねじれる。
【００３３】微動駆動手段１５は、図４のハッチングで
示すように、可動電極２０と固定電極２１から成り、可
動電極２０は回転板１８およびローリングばね１７上に
形成しており、固定電極２１はロードアーム３に形成し
ている。可動電極２０の上端と下端に設けたくし歯２２
は、図７に示すように、固定電極２１に設けたくし歯２
３とギャップｇを保って噛み合っており、図７は、その
噛み合い状態の一部分の拡大図である。
示すように、可動電極２０と固定電極２１から成り、可
動電極２０は回転板１８およびローリングばね１７上に
形成しており、固定電極２１はロードアーム３に形成し
ている。可動電極２０の上端と下端に設けたくし歯２２
は、図７に示すように、固定電極２１に設けたくし歯２
３とギャップｇを保って噛み合っており、図７は、その
噛み合い状態の一部分の拡大図である。
【００３４】この微動駆動手段１５は、くし歯２２、２
３の噛み合い部分で静電力Ｆｅを発生する静電式のアク
チュエータであり、静電力は、Ｆｅ＝ｎεｈｖ2／（２
ｇ）で表わされる。ここに、ｎはくし歯の数、εは誘電
率、ｈはくし歯の厚さ、ｖは印加電圧、ｇは可動電極２
０と固定電極２１とのギャップ（図７参照）である。
３の噛み合い部分で静電力Ｆｅを発生する静電式のアク
チュエータであり、静電力は、Ｆｅ＝ｎεｈｖ2／（２
ｇ）で表わされる。ここに、ｎはくし歯の数、εは誘電
率、ｈはくし歯の厚さ、ｖは印加電圧、ｇは可動電極２
０と固定電極２１とのギャップ（図７参照）である。
【００３５】可動電極２０および固定電極２１は、ステ
ンレスの板材から成るロードアーム３にコーティングし
た絶縁膜２４の上に形成し、さらに、その表面を絶縁膜
２５でおおった積層構造をしている（図５、図６参
照）。可動電極２０および固定電極２１は銅メッキでメ
ッキ層を積層して厚さ２０〜６０μｍの膜を形成する。
あるいは、これらの電極２０、２１をニッケル材の電鋳
（エレクトロフォーミング）で形成し、表面に電気抵抗
の小さい材料（例えば、銅または金）をコーティングし
て電極を形成しても目的の機能を達成できる。
ンレスの板材から成るロードアーム３にコーティングし
た絶縁膜２４の上に形成し、さらに、その表面を絶縁膜
２５でおおった積層構造をしている（図５、図６参
照）。可動電極２０および固定電極２１は銅メッキでメ
ッキ層を積層して厚さ２０〜６０μｍの膜を形成する。
あるいは、これらの電極２０、２１をニッケル材の電鋳
（エレクトロフォーミング）で形成し、表面に電気抵抗
の小さい材料（例えば、銅または金）をコーティングし
て電極を形成しても目的の機能を達成できる。
【００３６】つぎに、ヘッド位置決め手段１の動作につ
いて、図２および図９を用いて説明する。ここで、図９
は、図１における制御回路と対応しており、さらに詳細
に説明するために、フォローイング動作に関係する部分
を表している。
いて、図２および図９を用いて説明する。ここで、図９
は、図１における制御回路と対応しており、さらに詳細
に説明するために、フォローイング動作に関係する部分
を表している。
【００３７】ディスク６の記録面同心円状に形成される
トラック５０は、トラック５０毎に、間欠的に書き込ま
れている位置情報（サーボ領域）５１と、サーボ領域５
１の間にデータ情報を記録するデータ領域５２を有して
いる。ヘッド７から得られる間欠的な位置情報に基づい
てヘッド位置決めを行う、いわゆる、データ面サーボ方
式を採っている。
トラック５０は、トラック５０毎に、間欠的に書き込ま
れている位置情報（サーボ領域）５１と、サーボ領域５
１の間にデータ情報を記録するデータ領域５２を有して
いる。ヘッド７から得られる間欠的な位置情報に基づい
てヘッド位置決めを行う、いわゆる、データ面サーボ方
式を採っている。
【００３８】図２に示すヘッド位置決め機構１は、図８
に示す２ステージサーボ系により駆動され、このサーボ
系の構成をブロック図で表わしている。図２の微動駆動
手段１５およびボイスコイルモータ１３は、それぞれ図
８のブロック５７および６０に対応する。
に示す２ステージサーボ系により駆動され、このサーボ
系の構成をブロック図で表わしている。図２の微動駆動
手段１５およびボイスコイルモータ１３は、それぞれ図
８のブロック５７および６０に対応する。
【００３９】図８で、ボイスコイルモータ６０（１３）
と微動駆動手段５７（１５）によって生成された変位６
８、７３は、加算的に合成されてヘッド位置７５とな
る。これから、ディスク６の偏心等の影響によるトラッ
ク振れが差し引かれてオフトラック量が定まり、位置検
出部６１で電気信号に変換され、ヘッド位置決め誤差信
号７４となる。ヘッド位置決め誤差信号７４は目標トラ
ック量６２（通常０）にポジション感度５３を乗じた値
６３と比較され、偏差６４が微動駆動手段５７とボイス
コイルモータ６０各々の補償回路５４、５８に入力され
る。
と微動駆動手段５７（１５）によって生成された変位６
８、７３は、加算的に合成されてヘッド位置７５とな
る。これから、ディスク６の偏心等の影響によるトラッ
ク振れが差し引かれてオフトラック量が定まり、位置検
出部６１で電気信号に変換され、ヘッド位置決め誤差信
号７４となる。ヘッド位置決め誤差信号７４は目標トラ
ック量６２（通常０）にポジション感度５３を乗じた値
６３と比較され、偏差６４が微動駆動手段５７とボイス
コイルモータ６０各々の補償回路５４、５８に入力され
る。
【００４０】微動駆動手段５７の補償回路５４では偏差
６４に積分演算を行い、微動駆動手段５７の操作信号６
５を算出する。操作信号６５は乗算器５５で２乗操作信
号６６に変換され、増幅器５６で増幅されて微動駆動手
段５７に印加され、微動駆動手段５７の変位６８が生じ
る。この２乗操作信号６６と微動駆動手段５７の変位６
８とは比例関係にある。
６４に積分演算を行い、微動駆動手段５７の操作信号６
５を算出する。操作信号６５は乗算器５５で２乗操作信
号６６に変換され、増幅器５６で増幅されて微動駆動手
段５７に印加され、微動駆動手段５７の変位６８が生じ
る。この２乗操作信号６６と微動駆動手段５７の変位６
８とは比例関係にある。
【００４１】一方、ボイスコイルモータ６０の補償回路
５８では、微動駆動手段５７の２乗操作信号６６に、増
幅器５５と微動駆動手段５６のゲイン５７を乗じた微動
駆動手段５７の推定変位信号６９を偏差６４に加算した
信号７０を入力し、ボイスコイルモータ６０の操作信号
７１を算出する。操作信号７１は、増幅器５９で増幅さ
れてボイスコイルモータ６０に印加され、ボイスコイル
モータ６０の変位７３が生じる。
５８では、微動駆動手段５７の２乗操作信号６６に、増
幅器５５と微動駆動手段５６のゲイン５７を乗じた微動
駆動手段５７の推定変位信号６９を偏差６４に加算した
信号７０を入力し、ボイスコイルモータ６０の操作信号
７１を算出する。操作信号７１は、増幅器５９で増幅さ
れてボイスコイルモータ６０に印加され、ボイスコイル
モータ６０の変位７３が生じる。
【００４２】ヘッド７をディスク６の目標トラックに追
従させるフォローイング動作は、大きな移動をボイスコ
イルモータ１３で駆動し、目標トラックにヘッドを追従
させるような微小位置決めを微動駆動手段１５で制御す
ることにより行う。ボイスコイルモータ１３による駆動
は、コイル１０に操作電流７２を供給することにより推
力を発生させ、ヘッド７をピボット軸８回りの回転によ
り移動させる。
従させるフォローイング動作は、大きな移動をボイスコ
イルモータ１３で駆動し、目標トラックにヘッドを追従
させるような微小位置決めを微動駆動手段１５で制御す
ることにより行う。ボイスコイルモータ１３による駆動
は、コイル１０に操作電流７２を供給することにより推
力を発生させ、ヘッド７をピボット軸８回りの回転によ
り移動させる。
【００４３】一方、微動駆動手段１５は、可動電極２０
と固定電極２１との間に、駆動電圧ｖ2（図９の符号６
７）を印加することにより、くし歯２２、２３の部分に
静電力Ｆｅを発生させ、可動電極２０と回転板１８と姿
勢板１９とスライダ２を一体的にトラック方向（図４の
上方向または下方向）へ移動させる。
と固定電極２１との間に、駆動電圧ｖ2（図９の符号６
７）を印加することにより、くし歯２２、２３の部分に
静電力Ｆｅを発生させ、可動電極２０と回転板１８と姿
勢板１９とスライダ２を一体的にトラック方向（図４の
上方向または下方向）へ移動させる。
【００４４】上述したように、ヘッド７はスライダ２に
取り付けられており、スライダ２と一体となって移動す
る。このとき、ピッチングばね１６はトラック方向に対
して剛であり、ローリングばね１７はトラック方向に対
して柔であるため、ローリングばね１７がたわむ。
取り付けられており、スライダ２と一体となって移動す
る。このとき、ピッチングばね１６はトラック方向に対
して剛であり、ローリングばね１７はトラック方向に対
して柔であるため、ローリングばね１７がたわむ。
【００４５】また、印加する駆動電圧６６の大きさと極
性を変えることにより、静電力の大きさと方向をコント
ロールでき、スライダ２のトラック方向運動を制御す
る。このように、微動駆動手段１５は、固定電極２１を
形成したロードアーム３に対して、相対的にスライダ２
をトラック方向へ移動させ、ヘッド７の微小位置決めを
可能にしている。
性を変えることにより、静電力の大きさと方向をコント
ロールでき、スライダ２のトラック方向運動を制御す
る。このように、微動駆動手段１５は、固定電極２１を
形成したロードアーム３に対して、相対的にスライダ２
をトラック方向へ移動させ、ヘッド７の微小位置決めを
可能にしている。
【００４６】本実施例によれば、比較的簡単な構造でヘ
ッド７のトラック方向の微小位置決めが可能になり、ヘ
ッドを狭小トラックに追従させることができるため、高
密度記録が実現できる効果がある。本実施例の応用とし
て、上述した静電式微動駆動手段１５は、例えば、電気
歪式や形状記憶材料を用いた熱式でも容易に実現できる
ことがわかる。
ッド７のトラック方向の微小位置決めが可能になり、ヘ
ッドを狭小トラックに追従させることができるため、高
密度記録が実現できる効果がある。本実施例の応用とし
て、上述した静電式微動駆動手段１５は、例えば、電気
歪式や形状記憶材料を用いた熱式でも容易に実現できる
ことがわかる。
【００４７】つぎに、図２のロードアーム３に負圧発生
形のスライダ２’を取り付けた場合について説明する。
負圧スライダ２’のディスク６と対向する面の形状を図
１０に、図１０のＨ−Ｈ断面を図１１に示す。
形のスライダ２’を取り付けた場合について説明する。
負圧スライダ２’のディスク６と対向する面の形状を図
１０に、図１０のＨ−Ｈ断面を図１１に示す。
【００４８】ディスク６は、図１０の左から右方向へ回
転し、傾斜面３４で圧力を発生し、ポケット３３で負圧
を発生する。ディスク６が停止しているとき、スライダ
２’はディスク６面から僅かに離れており、ディスク６
が回転すると負圧の発生により、スライダ２’はディス
ク６面に近づき、安定浮上量（例えば、９０ｎｍ）にな
る。
転し、傾斜面３４で圧力を発生し、ポケット３３で負圧
を発生する。ディスク６が停止しているとき、スライダ
２’はディスク６面から僅かに離れており、ディスク６
が回転すると負圧の発生により、スライダ２’はディス
ク６面に近づき、安定浮上量（例えば、９０ｎｍ）にな
る。
【００４９】このように、ディスク６の停止時にスライ
ダ２’がディスク６面から離れていることは、ディスク
６の回転開始時に生じるディスク６とスライダ２’との
摩擦力や粘着力を低減でき、スライダ２’を支持してい
る回転ばね１４の、ディスク６回転開始時における破損
を防止する効果がある。
ダ２’がディスク６面から離れていることは、ディスク
６の回転開始時に生じるディスク６とスライダ２’との
摩擦力や粘着力を低減でき、スライダ２’を支持してい
る回転ばね１４の、ディスク６回転開始時における破損
を防止する効果がある。
【００５０】つぎに、本発明の第２の実施例を図１２に
より説明する。図１２は、上記実施例の図４に相当する
図であり、図４と異なるのは、微動駆動手段１５の可動
電極２０の支持方法である。可動電極２０を平行に配置
した４本のビーム２６で支持し、トラック方向の支持剛
性を上記実施例より小さく設計し、スライダ２をより小
さい静電力で制御できる構造である。
より説明する。図１２は、上記実施例の図４に相当する
図であり、図４と異なるのは、微動駆動手段１５の可動
電極２０の支持方法である。可動電極２０を平行に配置
した４本のビーム２６で支持し、トラック方向の支持剛
性を上記実施例より小さく設計し、スライダ２をより小
さい静電力で制御できる構造である。
【００５１】これらビーム２６はスライダ２のローリン
グ運動を支持している。また、平行な４本のビーム２６
で支持したことにより、スライダ２をトラック方向へ駆
動したとき生ずる傾きや上下振動を抑制する構造になっ
ている。このことは、くし歯２２と２３の安定な噛み合
いを維持し、安定な静電力の発生をもたらし、ヘッド位
置決めの制御を安定化する効果がある。
グ運動を支持している。また、平行な４本のビーム２６
で支持したことにより、スライダ２をトラック方向へ駆
動したとき生ずる傾きや上下振動を抑制する構造になっ
ている。このことは、くし歯２２と２３の安定な噛み合
いを維持し、安定な静電力の発生をもたらし、ヘッド位
置決めの制御を安定化する効果がある。
【００５２】つぎに、本発明の第３の実施例を説明す
る。図１３、図１４を用いて、スライダ２を「コ」の字
形をした４本の梁（コ梁２８、２９）で支持し、これら
コ梁にくし歯形状をもつ静電アクチュエータを形成し
て、スライダ２をトラック方向へ運動させるロードアー
ム３の実施例について説明する。
る。図１３、図１４を用いて、スライダ２を「コ」の字
形をした４本の梁（コ梁２８、２９）で支持し、これら
コ梁にくし歯形状をもつ静電アクチュエータを形成し
て、スライダ２をトラック方向へ運動させるロードアー
ム３の実施例について説明する。
【００５３】ロードアーム３はシリコン（Ｓｉ）基板か
ら成り、その先端部にエッチングで形成した姿勢板１９
と、姿勢板１９を支持する４本のコ梁２８、２９を設け
ている（図１４）。コ梁２８、２９の厚さはロードアー
ム３より薄く、ハーフエッチングで約半分に形成してい
る。コ梁２８、２９は、スライダ２のピッチング運動と
ローリング運動を支持するばかりでなく、ディスク６と
対抗するスライダ２の面のあらゆる回転方向に対して追
従する機能を有している。
ら成り、その先端部にエッチングで形成した姿勢板１９
と、姿勢板１９を支持する４本のコ梁２８、２９を設け
ている（図１４）。コ梁２８、２９の厚さはロードアー
ム３より薄く、ハーフエッチングで約半分に形成してい
る。コ梁２８、２９は、スライダ２のピッチング運動と
ローリング運動を支持するばかりでなく、ディスク６と
対抗するスライダ２の面のあらゆる回転方向に対して追
従する機能を有している。
【００５４】図１３は、姿勢板１９の下面にスライダ２
を接着し、コ梁２８、２９を形成した部分に駆動手段４
０を設けたロードアーム３の先端部分を示す。駆動手段
４０は、可動電極３０をコ梁２８と姿勢板１９の上面に
形成し、固定電極３１をロードアーム３の上面に形成し
た、くし歯形の静電アクチュエータである。可動電極３
０のくし歯３２ａおよび固定電極３１のくし歯３２ｂ
は、図１１に示す部分に設け、その噛み合い状態は図７
と同じである。
を接着し、コ梁２８、２９を形成した部分に駆動手段４
０を設けたロードアーム３の先端部分を示す。駆動手段
４０は、可動電極３０をコ梁２８と姿勢板１９の上面に
形成し、固定電極３１をロードアーム３の上面に形成し
た、くし歯形の静電アクチュエータである。可動電極３
０のくし歯３２ａおよび固定電極３１のくし歯３２ｂ
は、図１１に示す部分に設け、その噛み合い状態は図７
と同じである。
【００５５】これらの可動電極３０と固定電極３１の製
作方法は、Ｓｉ基板のロードアーム３の上面を熱酸化に
より酸化膜を形成し、その上にイオンエッチングでそれ
ぞれの電極３０、３１のパターンを形成し、さらにＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法）でポリシリコン膜を堆積させ、酸化
膜をマスクにして可動電極３０と固定電極３１を形成す
る。くし歯３２を形成した部分の酸化膜をフッ酸溶液で
除去する。このようにして形成した電極３０、３１パタ
ーンに導電性膜を付ける。
作方法は、Ｓｉ基板のロードアーム３の上面を熱酸化に
より酸化膜を形成し、その上にイオンエッチングでそれ
ぞれの電極３０、３１のパターンを形成し、さらにＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法）でポリシリコン膜を堆積させ、酸化
膜をマスクにして可動電極３０と固定電極３１を形成す
る。くし歯３２を形成した部分の酸化膜をフッ酸溶液で
除去する。このようにして形成した電極３０、３１パタ
ーンに導電性膜を付ける。
【００５６】この静電アクチュエータの動作は、最初に
説明した実施例と同じであるので、ここでは省略する。
本実施例は、上述したように、半導体プロセスを応用し
た製作法でロードアーム３を製作できることから、精度
の高いロードアーム３を容易に作ることができる。
説明した実施例と同じであるので、ここでは省略する。
本実施例は、上述したように、半導体プロセスを応用し
た製作法でロードアーム３を製作できることから、精度
の高いロードアーム３を容易に作ることができる。
【００５７】図１５は、本発明の第４の実施例を示す部
分拡大図である。第１の実施例で示した微動駆動手段１
５の構成は、図４に示すように、ヘッド７を上下方向へ
直線的に変位させるものである。図１５に示す微動駆動
手段１５は、図４のものに極めて似ているが、図４の右
側の可動電極２０を除いた構成であり、ヘッド７を回転
させて微小位置決めをする構造である。
分拡大図である。第１の実施例で示した微動駆動手段１
５の構成は、図４に示すように、ヘッド７を上下方向へ
直線的に変位させるものである。図１５に示す微動駆動
手段１５は、図４のものに極めて似ているが、図４の右
側の可動電極２０を除いた構成であり、ヘッド７を回転
させて微小位置決めをする構造である。
【００５８】微動駆動手段１５の発生する静電力によ
り、スライダ２に搭載されたヘッド７は、ロータリばね
１７と一体的に構成された可動電極２０部分を回転中心
として微小回転する。この微小回転により、ヘッド７の
精密位置決めを実現するものである。
り、スライダ２に搭載されたヘッド７は、ロータリばね
１７と一体的に構成された可動電極２０部分を回転中心
として微小回転する。この微小回転により、ヘッド７の
精密位置決めを実現するものである。
【００５９】このような回転駆動手段は、図４に示した
直線駆動手段より、ヘッド７の変位方向の支持剛性を小
さくでき、より小さい静電力でヘッド７の位置決めを可
能にする。これは、微動駆動手段１５に加える印加電圧
を下げられることから、書き込みおよび読み出し時の消
費電力を低減する効果がある。
直線駆動手段より、ヘッド７の変位方向の支持剛性を小
さくでき、より小さい静電力でヘッド７の位置決めを可
能にする。これは、微動駆動手段１５に加える印加電圧
を下げられることから、書き込みおよび読み出し時の消
費電力を低減する効果がある。
【００６０】
【発明の効果】本発明によれば、実用的レベルの簡単な
構造で、ヘッドを高精度に位置決めすることができるの
で、高密度記録が実現できる効果がある。
構造で、ヘッドを高精度に位置決めすることができるの
で、高密度記録が実現できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の全
体構成図である。
体構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の主
要部分の平面図である。
要部分の平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図２のＡ部の拡大図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。
【図６】図４のＤ−Ｄ断面図である。
【図７】図４のＦ部の拡大図である。
【図８】回転ばね１４の形状を示す図である。
【図９】図１における制御回路と対応する詳細回路図で
ある。
ある。
【図１０】負圧スライダの形状を示す図である。
【図１１】図１０のＨ−Ｈ断面図である。
【図１２】本発明の第２の実施例を示す部分拡大図であ
る。
る。
【図１３】本発明の第３の実施例を示す部分拡大図であ
る。
る。
【図１４】図１３のコ梁２８、２９形状を現わす部分拡
大図である。
大図である。
【図１５】本発明の第４の実施例を示す部分拡大図であ
る。
る。
１ ヘッド位置決め手段 ２ スライダ ２’ 負圧スライダ ３ ロードアーム ３ａ 押圧ばね ４ ベース ５ スペーサ ６ ディスク ７ ヘッド ８ ピボット軸 ９ 玉軸受 １０ コイル １１ ヨーク １２ 磁石 １３ ボイスコイルモータ １４ 回転ばね １５ 微動駆動手段 １６ ピッチングばね １７ ローリングばね １８ 回転板 １９ 姿勢板 ２０ 可動電極 ２１ 固定電極 ２２ くし歯 ２３ くし歯 ２４ 絶縁膜 ２５ 絶縁膜 ２６ ビーム ２８、２９ コ梁 ３０ 可動電極 ３１ 固定電極 ３２、３２ａ、３２ｂ くし歯 ３３ ポケット ３４ 傾斜面 ４０ 駆動手段 ５０ トラック ５１ 位置情報（サーボ領域） ５２ データ領域 ５３ ポジション感度 ５４ 補償回路 ５５ 乗算器 ５６ 増幅器 ５７ 微動駆動手段 ５８ 補償回路 ５９ 増幅器 ６０ ボイスコイルモータ ６１ 位置検出部 ６２ 目標トラック量 ６３ ポジション感度を乗じた値 ６４ 偏差 ６５ 操作信号 ６６ 操作信号 ６７ 駆動電圧 ６８ 変位 ６９ 推定変位信号 ７０ 信号 ７１ 操作信号 ７２ 操作電流 ７３ 変位 ７４ ヘッド位置決め誤差信号 ７５ ヘッド位置 ９９ スピンドルモータ １００ メインコントローラ １０１ ＶＣＭ制御回路 １０３ 静電アクチュエータ制御回路 １０４ 信号処理回路 １０５ 静電アクチュエータ選択スイッチ １０６ ヘッド切換スイッチ １１０ 移動指令値 １１２ ヘッド選択信号 ｇ ギャップ Ｆｅ 静電力
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河野 敬 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 吉田 忍 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 原田 武 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内
Claims (19)
- 【請求項１】 ヘッドを搭載するスライダと、前記スラ
イダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッドによ
りディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁気デ
ィスク装置において、前記ロードアームに対する前記ス
ライダの相対的移動を制御する微動駆動手段を設けたこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項２】 ヘッドを搭載するスライダと、前記スラ
イダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッドによ
りディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁気デ
ィスク装置において、前記ロードアームに、前記スライ
ダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動する手段が設け
られていることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項３】 回転支持される記録面を持つディスク
と、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読み
出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記ディ
スク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、前
記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変動
に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持する
ロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて前
記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めするた
めの駆動手段を有する磁気ディスク装置において、前記
ロードアームに対する前記スライダの相対的移動を制御
する微動駆動手段を設けたことを特徴とする磁気ディス
ク装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の磁気ディスク装置にお
いて、前記微動駆動手段を、前記ロードアームに形成し
たことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項５】 請求項１、２または３に記載の磁気ディ
スク装置において、前記微動駆動手段を、前記ロードア
ームの前記スライダを弾性支持する梁に形成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項６】 請求項１、２または３に記載の磁気ディ
スク装置において、前記スライダの微小回転運動を弾性
支持する梁構造を前記ロードアームの先端部に設け、前
記梁により前記微動駆動手段の可動部を支持したことを
特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項７】 請求項１、２または３に記載の磁気ディ
スク装置において、前記微動駆動手段は、静電方式、圧
電素子方式、あるいは形状記憶合金による熱式のいずれ
かの構造であることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項８】 請求項３に記載の磁気ディスク装置にお
いて、前記微動駆動手段は、前記スライダの微小回転運
動を支持する梁を有するロードアームに対して、前記ス
ライダを前記ディスクの半径方向へ相対的に微小移動さ
せるものであることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項９】 請求項１、２または３に記載の磁気ディ
スク装置において、前記微動駆動手段を、静電アクチュ
エータで構成したことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１０】 請求項１、２または３に記載の磁気デ
ィスク装置において、前記スライダを負圧発生形スライ
ダにしたことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１１】 回転支持されたディスクの記録面上
で、情報を書き込みまたは読み出しを行うためのヘッド
を取り付けたスライダを弾性支持するロードアームを有
し、前記ヘッドを情報トラックに位置決めするための駆
動手段を搭載した磁気ディスク装置において、前記ロー
ドアームをシリコン板で製作し、前記ロードアームに、
前記スライダを弾性支持する梁を形成し、かつ前記ロー
ドアームに対する前記スライダの相対的移動を制御する
微動駆動手段を固着させて形成したことを特徴とする磁
気ディスク装置。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載の磁気ディスク装置
において、前記微動駆動手段を静電アクチュエータで構
成したことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の磁気ディスク装置
において、前記微動駆動手段は、くし歯形状の可動電極
と、くし歯形状の固定電極とからなり、前記可動電極を
前記スライダを支持する梁に形成し、前記固定電極を前
記ロードアームに形成したことを特徴とする磁気ディス
ク装置。 - 【請求項１４】 請求項１１に記載の磁気ディスク装置
において、前記微動駆動手段を、半導体プロセスを用い
て形成したことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１５】 回転支持される記録面を持つディスク
と、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読み
出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記ディ
スク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、前
記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変動
に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持する
ロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて前
記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めするた
めの駆動手段を有し、前記ヘッドを所定のトラックに位
置決めして追従させる位置決め手段を備えた磁気ディス
ク装置において、前記ロードアームは前記スライダの運
動を弾性的に支持する平行に配設した梁を有し、前記梁
に前記スライダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動す
る手段を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１６】 請求項１５に記載の磁気ディスク装置
において、前記微動駆動手段は、可動電極と固定電極と
がくし歯形状を有し、それぞれのくし歯が噛み合った構
造であり、前記ロードアームのスライダ支持部に平行に
配設した梁により、前記可動電極を支持した静電アクチ
ュエータからなることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１７】 請求項１６に記載の磁気ディスク装置
において、前記静電アクチュエータの可動電極を、前記
スライダの微小回転運動を支持する梁に形成し、固定電
極を前記ロードアームに形成したことを特徴とする磁気
ディスク装置。 - 【請求項１８】 請求項１６に記載の磁気ディスク装置
において、前記可動電極を、前記スライダの微小回転運
動を支持する梁と一体的に形成したことを特徴とする磁
気ディスク装置。 - 【請求項１９】 請求項１５に記載の磁気ディスク装置
において、前記微動駆動手段を、メッキ加工あるいは電
鋳（エレクトロフォーミング）を用いて形成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31986494A JPH08180623A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31986494A JPH08180623A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08180623A true JPH08180623A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18115091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31986494A Pending JPH08180623A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 磁気ディスク装置 |
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| JP (1) | JPH08180623A (ja) |
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