JPH08181067A - 露光用光源および露光装置 - Google Patents
露光用光源および露光装置Info
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- JPH08181067A JPH08181067A JP7219462A JP21946295A JPH08181067A JP H08181067 A JPH08181067 A JP H08181067A JP 7219462 A JP7219462 A JP 7219462A JP 21946295 A JP21946295 A JP 21946295A JP H08181067 A JPH08181067 A JP H08181067A
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- JP
- Japan
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- exposure
- light source
- temperature
- lighting
- lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 過渡応答性の劣化等を防止し、もって安定し
た光量が得られるようにする。 【解決手段】 時間的に電力供給が一様ではない露光用
光源において、露光時と非露光時とで温度を略一定に維
持する。
た光量が得られるようにする。 【解決手段】 時間的に電力供給が一様ではない露光用
光源において、露光時と非露光時とで温度を略一定に維
持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は強制冷却装置を備え
た露光用光源およびこれが適用されるステッパ等のマス
クアライナなどの露光装置に関する。
た露光用光源およびこれが適用されるステッパ等のマス
クアライナなどの露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体テバイスはＩＣからＬＳ
Ｉ、そして超ＬＳＩへとパタ―ンの微細化と高集積化が
めざましく、半導体焼付露光装置の分野でもこれに答え
る為に各種方式のステッパ―が開発されている。ステッ
パ―では毎ショットの焼付画面のサイズが小さく、ウエ
ハ全面の焼付には画面をステップ移動させながら数十シ
ョットの露光をくり返すのでスル―プットが低いという
欠点があり、この為、毎ショットの露光時間の短縮を計
る努力がなされている。
Ｉ、そして超ＬＳＩへとパタ―ンの微細化と高集積化が
めざましく、半導体焼付露光装置の分野でもこれに答え
る為に各種方式のステッパ―が開発されている。ステッ
パ―では毎ショットの焼付画面のサイズが小さく、ウエ
ハ全面の焼付には画面をステップ移動させながら数十シ
ョットの露光をくり返すのでスル―プットが低いという
欠点があり、この為、毎ショットの露光時間の短縮を計
る努力がなされている。
【０００３】露光時間を短縮する手段として光源である
水銀ランプのワッテ―ジを大きくする事が考えられる
が、単純に水銀ランプのワッテ―ジを大きくしただけで
はランプの発熱量も対応して増大し、ステッパ―全体と
しての熱バランスが変化する等の理由から、最近では、
照明系の露光用シャッタ―と同期させて毎ショットのウ
エハの露光時に限り通常点灯時の約２倍近くの電力を水
銀ランプに投入することにより露光時に大光量を得るフ
ラッシュ型水銀ランプが採用されている。以下、フラッ
シュ型水銀ランプにおいて、通常点灯をアイドル点灯、
露光時の大電力投入点灯の事をフラッシュアップ点灯と
いう。
水銀ランプのワッテ―ジを大きくする事が考えられる
が、単純に水銀ランプのワッテ―ジを大きくしただけで
はランプの発熱量も対応して増大し、ステッパ―全体と
しての熱バランスが変化する等の理由から、最近では、
照明系の露光用シャッタ―と同期させて毎ショットのウ
エハの露光時に限り通常点灯時の約２倍近くの電力を水
銀ランプに投入することにより露光時に大光量を得るフ
ラッシュ型水銀ランプが採用されている。以下、フラッ
シュ型水銀ランプにおいて、通常点灯をアイドル点灯、
露光時の大電力投入点灯の事をフラッシュアップ点灯と
いう。
【０００４】一般的に水銀ランプの点灯において、発光
ア―ク周辺のガラス管球部はある一定の温度条件を満た
していなければならず、温度が低過ぎると管球部内部に
封入されている水銀の蒸気圧が下がってしまい、光量の
低下あるいは発光ア―クが不安定になり、チラツキ等の
原因となる。また逆に温度が高過ぎると水銀の蒸気圧が
異常に高くなる為、管球部のパンク等の原因となり、こ
のため、ガラス管球部に強制空冷を実施している。
ア―ク周辺のガラス管球部はある一定の温度条件を満た
していなければならず、温度が低過ぎると管球部内部に
封入されている水銀の蒸気圧が下がってしまい、光量の
低下あるいは発光ア―クが不安定になり、チラツキ等の
原因となる。また逆に温度が高過ぎると水銀の蒸気圧が
異常に高くなる為、管球部のパンク等の原因となり、こ
のため、ガラス管球部に強制空冷を実施している。
【０００５】従来のフラッシュ型水銀ランプの点灯で
は、アイドル点灯時と露光時におけるフラッシュアップ
点灯時とのランプ投入電力が２倍近くの幅で変動してお
り、これに伴って、ア―ク周辺のガラス管球部の温度も
変動していると考えられるが、温度条件を一定にすべき
強制空冷系が、その冷却能力を変えることなく一定条件
で空冷している為、次のような問題点があった。すなわ
ち、アイドル点灯時の投入電力でガラス管球部の温度条
件が最適になる様に強制空冷系をセットした場合には、
フラッシュアップ点灯時ではガラス管球部の温度が上り
過ぎてしまい、管球部のパンクの原因となり得る。ま
た、フラッュアップ点灯時の投入電力でガラス管球部の
温度条件が最適になる様に強制空冷系をセットした場合
は、逆にアイドル点灯時になるとガラス管球部が過冷却
となり、ランプのチラツキの発生や、あるいは封入され
ている水銀の蒸気圧が下り過ぎている為にアイドル点灯
からフラッシュアップ点灯に切換える時にランプ投入電
力の上昇に対して光量増加の追従時間の遅れ、すなわち
過渡応答性の劣化等が生じ、結果として安定した光量が
得られないという欠点があった。
は、アイドル点灯時と露光時におけるフラッシュアップ
点灯時とのランプ投入電力が２倍近くの幅で変動してお
り、これに伴って、ア―ク周辺のガラス管球部の温度も
変動していると考えられるが、温度条件を一定にすべき
強制空冷系が、その冷却能力を変えることなく一定条件
で空冷している為、次のような問題点があった。すなわ
ち、アイドル点灯時の投入電力でガラス管球部の温度条
件が最適になる様に強制空冷系をセットした場合には、
フラッシュアップ点灯時ではガラス管球部の温度が上り
過ぎてしまい、管球部のパンクの原因となり得る。ま
た、フラッュアップ点灯時の投入電力でガラス管球部の
温度条件が最適になる様に強制空冷系をセットした場合
は、逆にアイドル点灯時になるとガラス管球部が過冷却
となり、ランプのチラツキの発生や、あるいは封入され
ている水銀の蒸気圧が下り過ぎている為にアイドル点灯
からフラッシュアップ点灯に切換える時にランプ投入電
力の上昇に対して光量増加の追従時間の遅れ、すなわち
過渡応答性の劣化等が生じ、結果として安定した光量が
得られないという欠点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
ような従来技術の問題点に鑑み、露光用光源および露光
装置において、前記過渡応答性の劣化等を防止し、もっ
て安定した光量が得られるようにすることにある。
ような従来技術の問題点に鑑み、露光用光源および露光
装置において、前記過渡応答性の劣化等を防止し、もっ
て安定した光量が得られるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明では、時間的に電力供給が一様ではない露光
用光源において、露光時と非露光時とで温度を略一定に
維持することを特徴とする。また本発明の露光装置は、
時間的に電力供給が一様ではない露光用光源と、露光時
と非露光時とで前記露光用光源の温度を略一定に維持す
る温度制御手段とを有することを特徴とする。
め、本発明では、時間的に電力供給が一様ではない露光
用光源において、露光時と非露光時とで温度を略一定に
維持することを特徴とする。また本発明の露光装置は、
時間的に電力供給が一様ではない露光用光源と、露光時
と非露光時とで前記露光用光源の温度を略一定に維持す
る温度制御手段とを有することを特徴とする。
【０００８】前記露光用光源は、例えば水銀ランプであ
ってよく、特別な場合は前述したようなフラッシュ型水
銀ランプであってもよい。また温度を略一定に維持する
温度制御手段としては、露光用光源を空冷するためのフ
ァン、或いはクリ―ンエア吹付けノズルなどを用いて、
制御手段によりファンの回転数或いはノズルのエア吹出
量などを制御するものが使用できる。
ってよく、特別な場合は前述したようなフラッシュ型水
銀ランプであってもよい。また温度を略一定に維持する
温度制御手段としては、露光用光源を空冷するためのフ
ァン、或いはクリ―ンエア吹付けノズルなどを用いて、
制御手段によりファンの回転数或いはノズルのエア吹出
量などを制御するものが使用できる。
【０００９】
【作用】この構成において、時間的に供給電力が一様で
はないために、露光時と非露光時とで露光用光源の温度
が変動しようとしても、温度制御手段がこの変動を規制
し、露光用光源の温度を露光時と非露光時とで略一定に
維持する。したがって、フラッシュ型水銀ランプ等のよ
うにアイドル点灯とフラッシュアップ点灯とを繰り返す
ような場合でも、露光用光源の温度条件が露光時と非露
光時とで常に一様に保たれ、それにより例えば光源用水
銀ランプの破裂や発光のちらつきが防止され、フラッシ
ュアップ点灯時の過渡応答性の劣化が防止される。さら
に、露光用光源の温度条件が常に一様に保たれるため、
光源の寿命が延長される。またステッパに適用される場
合、照明光学系からの発熱量が安定するので、温度の変
動による焼き付け性能の劣化が防止される。
はないために、露光時と非露光時とで露光用光源の温度
が変動しようとしても、温度制御手段がこの変動を規制
し、露光用光源の温度を露光時と非露光時とで略一定に
維持する。したがって、フラッシュ型水銀ランプ等のよ
うにアイドル点灯とフラッシュアップ点灯とを繰り返す
ような場合でも、露光用光源の温度条件が露光時と非露
光時とで常に一様に保たれ、それにより例えば光源用水
銀ランプの破裂や発光のちらつきが防止され、フラッシ
ュアップ点灯時の過渡応答性の劣化が防止される。さら
に、露光用光源の温度条件が常に一様に保たれるため、
光源の寿命が延長される。またステッパに適用される場
合、照明光学系からの発熱量が安定するので、温度の変
動による焼き付け性能の劣化が防止される。
【００１０】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。露光用光源と
してのフラッシュ型水銀ランプ１は、投影光学系中に設
けられたシャッタ 6と同期してアイドル点灯およびフラ
ッシュアップ点灯の互いに異なる投入電力に切替可能な
点灯装置２によって電力供給を受けて点灯する。水銀ラ
ンプ１の上方には空冷ファン４が配置され、コントロ―
ルユニット５によって制御された送風量で水銀ランプ１
を強制空冷するようになっている。水銀ランプ１には温
度センサ３が取付けられ、ランプ管球部の温度が検出さ
れてコントロ―ルユニット５へ制御情報として与えられ
ている。
してのフラッシュ型水銀ランプ１は、投影光学系中に設
けられたシャッタ 6と同期してアイドル点灯およびフラ
ッシュアップ点灯の互いに異なる投入電力に切替可能な
点灯装置２によって電力供給を受けて点灯する。水銀ラ
ンプ１の上方には空冷ファン４が配置され、コントロ―
ルユニット５によって制御された送風量で水銀ランプ１
を強制空冷するようになっている。水銀ランプ１には温
度センサ３が取付けられ、ランプ管球部の温度が検出さ
れてコントロ―ルユニット５へ制御情報として与えられ
ている。
【００１１】上記構成において、点灯装置２より電力を
供給されてフラッシュ型水銀ランプ１は通常アイドルモ
―ドで点灯する。次にウエハを焼く為に、シャッタ６は
ウエハ１枚当り数十ショットに渡り露光の為の開閉をく
り返す。このシャッタ６の開閉により同期信号を受けた
点灯装置２は、シャッタ６が開の時はフラッシュアップ
の為大電力をランプ１に供給し、シャッタ６が閉の時は
アイドル点灯時の電力に戻す動作をくり返す。
供給されてフラッシュ型水銀ランプ１は通常アイドルモ
―ドで点灯する。次にウエハを焼く為に、シャッタ６は
ウエハ１枚当り数十ショットに渡り露光の為の開閉をく
り返す。このシャッタ６の開閉により同期信号を受けた
点灯装置２は、シャッタ６が開の時はフラッシュアップ
の為大電力をランプ１に供給し、シャッタ６が閉の時は
アイドル点灯時の電力に戻す動作をくり返す。
【００１２】フラッシュ型水銀ランプ１は、点灯装置２
から供給される電力の切換によって発光光量の切換が行
なわれるが、これに伴って、ランプ管球部の温度は、ア
イドル点灯時とフラッシュアップ点灯時の電力の差、デ
ュ―ティタイムの差、露光回数等により複雑に変動す
る。
から供給される電力の切換によって発光光量の切換が行
なわれるが、これに伴って、ランプ管球部の温度は、ア
イドル点灯時とフラッシュアップ点灯時の電力の差、デ
ュ―ティタイムの差、露光回数等により複雑に変動す
る。
【００１３】送風ファン４は、外気をランプ周辺に流す
事によってフラッシユ型水銀ランプ１を冷却している。
温度センサ３によりランプの温度をモニタして得た温度
信号がコントロ―ルユニット５に入力されると、コント
ロ―ルユニット５は、送風ファン４の回転数を制御して
フラッシュ型水銀ランプの冷却の為の送風流量を最適化
する。従ってランプ１に供給される電力が、アイドル点
灯、フラッシュ点灯と、急激に切替を繰り返しても、ラ
ンプの温度は常に一定に保つ事が出来、安定した光量を
得る事が可能になる。
事によってフラッシユ型水銀ランプ１を冷却している。
温度センサ３によりランプの温度をモニタして得た温度
信号がコントロ―ルユニット５に入力されると、コント
ロ―ルユニット５は、送風ファン４の回転数を制御して
フラッシュ型水銀ランプの冷却の為の送風流量を最適化
する。従ってランプ１に供給される電力が、アイドル点
灯、フラッシュ点灯と、急激に切替を繰り返しても、ラ
ンプの温度は常に一定に保つ事が出来、安定した光量を
得る事が可能になる。
【００１４】前記実施例の送風ファン４をノズルに変更
し、クリ―ンエアをノズルから吹き付けてランプ１を冷
却しても同様の効果がある。
し、クリ―ンエアをノズルから吹き付けてランプ１を冷
却しても同様の効果がある。
【００１５】図２はこの場合の実施例を示し、クリ―ン
エア吹出しノズル７からはクリ―ンエア９が流量調整弁
８によって調整された流量で吹出すようになっている。
エア吹出しノズル７からはクリ―ンエア９が流量調整弁
８によって調整された流量で吹出すようになっている。
【００１６】この構成において、温度センサ３よりラン
プ温度の信号をコントロ―ルユニット５に取り込み、コ
ントロ―ルユニット５で流量調整弁８を制御し、供給さ
れたクリ―ンエア９を吹出しノズル７よりランプの冷却
に最適化された流量で吹付けてランプ温度を一定に保
つ。
プ温度の信号をコントロ―ルユニット５に取り込み、コ
ントロ―ルユニット５で流量調整弁８を制御し、供給さ
れたクリ―ンエア９を吹出しノズル７よりランプの冷却
に最適化された流量で吹付けてランプ温度を一定に保
つ。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、時
間的に電力供給が一様ではない露光用光源において、露
光時と非露光時とで温度を略一定に維持するようにした
ため、露光時へ移行する際の過渡応答性などが改善さ
れ、露光時へ移行する際には直ちに光源から安定した所
望の光量が得られると同時に、光源の温度が一定になる
為、光源ランプ寿命の延長にも効果がある。また、ステ
ッパに適用した場合、照明光学系からの発熱量が安定す
るので、熱の変動による焼付性能の影響を除去する効果
がある。
間的に電力供給が一様ではない露光用光源において、露
光時と非露光時とで温度を略一定に維持するようにした
ため、露光時へ移行する際の過渡応答性などが改善さ
れ、露光時へ移行する際には直ちに光源から安定した所
望の光量が得られると同時に、光源の温度が一定になる
為、光源ランプ寿命の延長にも効果がある。また、ステ
ッパに適用した場合、照明光学系からの発熱量が安定す
るので、熱の変動による焼付性能の影響を除去する効果
がある。
【図１】 本発明の実施例を示す概念図である。
【図２】 本発明の別の実施例を示す概念図である。
１：フラッシュ型水銀ランプ、２：点灯装置、３：温度
センサ、４：送風ファン、５：コントロ―ルユニット、
６：シャッタ、７：クリ―ンエア吹出しノズル、８：流
量調整弁、９：クリ―ンエアパイプ。
センサ、４：送風ファン、５：コントロ―ルユニット、
６：シャッタ、７：クリ―ンエア吹出しノズル、８：流
量調整弁、９：クリ―ンエアパイプ。
Claims (2)
- 【請求項１】 時間的に電力供給が一様ではない露光用
光源において、露光時と非露光時とで温度を略一定に維
持することを特徴とする露光用光源。 - 【請求項２】 時間的に電力供給が一様ではない露光用
光源と、露光時と非露光時とで前記露光用光源の温度を
略一定に維持する温度制御手段とを有することを特徴と
する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7219462A JPH08181067A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 露光用光源および露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7219462A JPH08181067A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 露光用光源および露光装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60175714A Division JPS6236819A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体焼付露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181067A true JPH08181067A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=16735815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7219462A Pending JPH08181067A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 露光用光源および露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08181067A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058899A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
| JP2008281934A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58200225A (ja) * | 1982-05-19 | 1983-11-21 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP7219462A patent/JPH08181067A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58200225A (ja) * | 1982-05-19 | 1983-11-21 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058899A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
| JP2008281934A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
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