JPH0818205B2 - 工作機械 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高精度の平坦面加工、
正確な凹面及び凸面を要求される硬質及び軟質の金属、
硝子、合成樹脂、半導体等のワークに超精密加工を施す
もので、カップホイール型砥石で粗研削加工を施した後
に仕上加工にカップホイール型カッターを用いる工作機
械に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】現今における弛まざる技術革新は目覚ま
しいものがあり、その先端技術の開発によって、優れた
様々な商品群が多数送出されている。

【０００３】特に、コンピュータ、マイコン等の電子関
連機器の開発は実に日進月歩の感があり、又、これ等の
機器を搭載した装置、或いは、光学機器、医療機器等は
更に高度な応用技術の開発に鎬を削っている実状にあ
る。

【０００４】

【従来技術とその問題点】然し乍、これ等の先端技術に
よる優秀な商品のパーツには高精度な平坦面加工、或い
は、高精度な球面加工、非球面加工の凹凸面加工等が要
求されてきており、加えて、小型化に伴う極薄化、生産
性の観点からの拡径化が求められているが、現在はそれ
等の加工を旋盤、研削盤、ラップ盤、ポリシング盤等で
行っている現状であり、その加工速度及び加工精度に限
界があるものである。

【０００５】つまり、従来の旋盤ではカッターを固定さ
せてワークを回動させて旋削していたが、ワークが回動
するため周速度の関係から加工精度にむらができてお
り、特に、回動の中心点の近傍では周速度がゼロと成り
加工することは殆ど無理であるために突起が残留し、こ
の突起を取るために追加の加工工程が必要と成り、加工
精度が相違するために問題点を有していた。

【０００６】又、研削盤ではカップ状基台へダイヤモン
ド或いはジルコニア等の硬質の砥粒を結合剤で結合させ
た砥石によって研削していたが、夫々の砥粒がランダム
な方向で結合されていて、見掛上は平坦面を呈していて
も拡大視すると加工面に大小様々なランダムな傷が付い
ており、更に、軟質ワークの加工は困難であり、精度面
で問題があった。

【０００７】又、ラップ盤、ポリッシュ盤では研磨加工
であり、加工速度が遅く、時間がかかり作業性に問題点
を有していた。

【０００８】その為に、ワークに対する押圧力を上げる
と摩擦抵抗が高くなり、極薄化、拡径化を求められるワ
ークの損傷や、破損する原因ともなっており、加えて、
摩擦抵抗の摩擦熱によってワーク或いは周辺部材が熱膨
張して精度か落ちるばかりか、ワークに摩擦熱により表
面から内部へ変質層(ダメージ)が入り、加工後のソリや
ヒズミの大きな原因となっており、見掛上は平坦面を呈
していても拡大視すると、複数の歪面状の箇所が随所に
見られ、この為、鏡面仕上げの精度の向上を著しく阻害
し精度上、能率性の難点等が生じていた。

【０００９】

【発明の目的】本発明は上記の問題点に鑑みて、鋭意研
鑚の結果、カップホイール型砥石で粗研削加工を施し、
粗研削加工の後の仕上加工は、グライディング、ラッピ
ング、ポリシング等の技術を卓越した、現状での限界を
打破する旋削でも研削でも研磨でもない従来にないカッ
プホイール型カッターを用いた加工機械にに創達し、こ
れを用いた工作機械を提供する目的である。

【００１０】

【発明の構成】本発明の請求項１の構成は、ワークと、
送出側カセットと、送出側移送機構と、仮置台と、送出
側移送アームと、チャック機構と、ロータリーテーブル
と、格納側移送アームと、洗浄乾燥機構と、格納側移送
機構と、格納側カセットと、少なくとも二軸のスピンド
ルと、基軸と、基軸とから成る工作機械であって、基台
と基軸とへ摺動機構を設け、スピンドルの内少なくとも
一軸へはカップホイール型砥石を装着すると共に、他の
スピンドルへはカップ状基台の環状頂面へ複数のカッタ
ーを突出させて固定し、カッターの刃先は半径が相違す
る位置に配設すると共に内側へ位置する刃先が外側に位
置する刃先より突出して配設されたカップホイール型カ
ッターを装着した構成であり、請求項２の構成は、ワー
クと、送出側カセットと、送出側移送機構と、仮置台
と、送出側移送アームと、チャック機構と、ロータリー
テーブルと、格納側移送アームと、洗浄乾燥機構と、格
納側移送機構と、格納側カセットと、少なくとも二軸の
スピンドルと、基軸と、基軸とから成る工作機械であっ
て、基台と基軸とへ摺動機構を設け、スピンドルの内少
なくとも一軸へはカップホイール型砥石を装着すると共
に、他のスピンドルへはカップ状基台の環状頂面へ複数
のカッターを突出させて固定し、少なくとも一対宛のカ
ッターの刃先は半径が同一位置に配設し、他の刃先は半
径が相違する位置に配設すると共に内側へ位置する刃先
が外側に位置する刃先より突出して配設された構成であ
る。

【００１１】

【発明の実施例】斯る目的を達成した本発明の工作機械
を実施例の図面によって説明する。

【００１２】図１は本発明の工作機械の概要平面図であ
り、図２は本発明の工作機械の概要側面図であり、図３
はカップホイール型カッターの一実施例の底面図であ
り、図４はカップホイール型カッターの次実施例の底面
図であり、図５は加工状態を示す説明図であり、図６は
カッターの刃先の側面図と平面図である。

【００１３】本発明は、高精度の平坦面加工、正確な凹
面及び凸面を要求される硬質及び軟質の金属、硝子、合
成樹脂、半導体等のワークＷに超精密加工を施すもの
で、カップホイール型砥石４で粗研削加工を施した後に
仕上加工にカップホイール型カッター５を用いる工作機
械１に関するものであり、特許請求項１は、ワークＷ
と、加工前の複数枚のワークＷを集積収納した送出側カ
セット８と、該送出側カセット８からワークＷを仮置台
９に移送する送出側移送機構１０と、該送出側移送機構
１０で移送されワークＷの洗浄及び位置合わせする仮置
台９と、該仮置台９からチャック機構２の上面へ移送す
る送出側移送アーム１１と、ワークＷをバキューム吸着
すると共に回転する複数組のチャック機構２と、該チャ
ック機構２を当間隔で配設すると共に間歇的に回動停止
を繰り返すロータリーテーブル１２と、加工後のワーク
Ｗをチャック機構２から洗浄乾燥機構１３へ移送する格
納側移送アーム１４と、該格納側移送アーム１４で移送
されワークＷの洗浄及び乾燥させる洗浄乾燥機構１３
と、該洗浄乾燥機構１３のワークＷを格納側カセット１
５へ移送する格納側移送機構１６と、該格納側移送機構
１６で複数枚のワークＷを集積格納する格納側カセット
１５と、任意の前記チャック機構２の上方に夫々配設し
た少なくとも二軸のスピンドル３と、該夫々のスピンド
ル３を担持する夫々の基軸１７と、該夫々の基軸１７を
立設させる基台１８とから成る工作機械で１あって、前
記基台１８と夫々の基軸１７とへスピンドル３を水平方
向に摺動可能とする摺動機構１９を設け、前記スピンド
ル３の内少なくとも一軸の下端へはカップホイール型砥
石４を装着すると共に、他のスピンドル３の下端へはカ
ップ状基台６の環状頂面６ａへ複数のカッター７を突出
させて固定し、該夫々のカッター７の刃先７ａは前記カ
ップ状基台６の中心６ｂよりの半径が夫々相違する位置
に配設すると共に内側へ位置する刃先７ａが外側に位置
する刃先７ａより突出して配設されたカップホイール型
カッター５を装着したものであり、特許請求項２は、ワ
ークＷと、加工前の複数枚のワークＷを集積収納した送
出側カセット８と、該送出側カセット８からワークＷを
仮置台９に移送する送出側移送機構１０と、該送出側移
送機構１０で移送されワークＷの洗浄及び位置合わせす
る仮置台９と、該仮置台９からチャック機構２の上面へ
移送する送出側移送アーム１１と、ワークＷをバキュー
ム吸着すると共に回転する複数組のチャック機構２と、
該チャック機構２を当間隔で配設すると共に間歇的に回
動停止を繰り返すロータリーテーブル１２と、加工後の
ワークＷをチャック機構２から洗浄乾燥機構１３へ移送
する格納側移送アーム１４と、該格納側移送アーム１４
で移送されワークＷの洗浄及び乾燥させる洗浄乾燥機構
１３と、該洗浄乾燥機構１３のワークＷを格納側カセッ
ト１５へ移送する格納側移送機構１６と、該格納側移送
機構１６で複数枚のワークＷを集積格納する格納側カセ
ット１５と、任意の前記チャック機構２の上方に夫々配
設した少なくとも二軸のスピンドル３と、該夫々のスピ
ンドル３を担持する夫々の基軸１７と、該夫々の基軸１
７を立設させる基台１８とから成る工作機械１であっ
て、前記基台１８と夫々の基軸１７とへスピンドル３を
水平方向に摺動可能とする摺動機構１９を設け、前記ス
ピンドル３の内少なくとも一軸の下端へはカップホイー
ル型砥石４を装着すると共に、他のスピンドル３の下端
へはカップ状基台６の環状頂面６ａへ複数のカッター７
を突出させて固定し、少なくとも一対宛のカッター７の
夫々の刃先７ａは前記カップ状基台６の中心６ｂよりの
半径が同一位置に配設し、他の刃先７ａは前記カップ状
基台６の中心６ｂよりの半径が相違する位置に配設する
と共に内側へ位置する刃先７ａが外側に位置する刃先７
ａより突出して配設されたカップホイール型カッター５
を装着したものである。

【００１４】即ち、通常この種の工作機械１は図１及び
図２に図示の如く、複数の加工前のワークＷは単品毎に
桟体で仕切られた送出側カセット８へ集積格納されてお
り、該送出側カセット８はエレベータ台８ａの上に載置
されており、該エレベータ台８ａの昇降及び送出側カセ
ット８の前面開口の下辺に設けられた送出側移送機構１
０で仮置台９へ移送されるものであり、実施例では搬送
用ベルトによって順次送出され、これを反転機構と先端
へバキュームパットとを備えた送出側反転アーム等によ
って仮置台９へ移送されるものであるが、該送出側移送
機構１０は他にも種々考えられ仮置台９に載置されるも
のであればこれに限定するものではない。

【００１５】次いで、ワークＷは仮置台９の噴流によっ
て下面を洗浄すると共に立設リブ（図示しない）等の位
置合わせ機構によって仮置台９の所定の位置に位置合わ
せするものであり、該ワークＷを送出側移送アーム１１
の先端に設けたバキュームパット１１ａで吸着し、水平
方向への正確な旋回軌道によりチャック機構２の上面へ
案内し、バキュームパット１１ａのバキュームを開放す
るものである。

【００１６】前記チャック機構２は上面をポーラスセラ
ミック等の通気性部材で形成し、真空ポンプ等へ連通さ
せたバキューム吸着機構によってワークＷを確りと上面
へ吸着するものであり、加えて、モーターＭ等の駆動力
を得て一定方向に回転するものであり、加工時にワーク
Ｗの載置台と成るものである。

【００１７】そして、円盤状のロータリーテーブル１２
は複数組の前記チャック機構２を当間隔に配設したもの
で、実施例の図面では四組のチャック機構２を当間隔に
配設しており、該ロータリーテーブル１２は自動的に１
／４回転宛の回動と停止とを繰り返すものであり、つま
り、チャック機構２は仮置台９から搬送される載置用チ
ャック位置２１よりロータリーテーブル１２の回動によ
って粗加工用チャック位置２２へ移送され粗加工が施さ
れるものであり、次いで、仕上加工用チャック位置２３
へ移送され仕上加工を施され、その後、取外用チャック
位置２４へ移送されバキューム吸着を開放されて格納側
移送アーム１４のバキュームパット１４ａで吸着し取り
外すものであるが、チャック機構２の組数は六組等のも
のもありこの場合ロータリーテーブル１２は１／６回転
宛の回動と停止とを繰り返すものであり、特にチャック
機構２の組数も限定しないものである。

【００１８】加工後のワークＷは取外用チャック位置２
４から格納側カセット１５へ単品毎に集積格納されるも
のであるが、送出側と逆の作動する格納側移送アーム１
４及び格納側移送機構１６によって格納されるもので、
つまり、取外用チャック位置２４のチャック機構２から
格納側移送アーム１４のバキュームパット１４ａによっ
て吸着され洗浄乾燥機構１３へ移送され、更に、格納側
反転アーム及び格納側搬送ベルト等の格納側移送機構１
４によって桟体で仕切られた格納側カセット１５へ単品
毎に集積格納されるものである。

【００１９】本発明に用いる工作機械１はこの様に構成
されており、前述の工程が規則的に繰り返され、自動的
に送出側カセット８から送出された夫々のワークＷは、
順次可動の夫々のチャック位置２１．２２．２３．２４
へ案内され、加工され、洗浄され、格納側カセット１５
へ単品毎に集積格納される仕組と成るものである。

【００２０】一方、任意のチャック機構２の上方に配設
されたスピンドル３は工作機械１の基台１８へ夫々立設
させた夫々の基軸１７に担持されモーターＭ等と機械的
に接続され上下動及び回転可能に組設されて、スピンド
ル３の軸心はチャック機構２の軸心とずらして配設お
り、ワークＷの上面全体をむら無く加工するものであ
り、チャック機構２の回転方向と同一方向に回転又は逆
方向に回転するものであり、前記基台１８と基軸１７と
へはレールとレール受け部材を設け螺子等で駆動するス
ピンドル３の水平方向への摺動を可能とした摺動機構を
設けたものである。

【００２１】そして、ロータリーテーブル１２は一定の
低速で回転と停止とを繰り返し、夫々のチャック機構２
へ夫々ワークＷをバキュームチャックして加工するもの
であるが、本発明は、工作機械１の複数のスピンドル３
の内少なくとも一軸は下端へはダイヤモンド又はジルコ
ニア等の硬質の砥粒を用いたカップホイール型砥石４を
装着し、他の任意数のスピンドル３の下端へはカップホ
イール型カッター５を装着したものであり、スピンドル
３とカップ状基台６とは公知の適宜手段によって装着し
ているものである。

【００２２】前記ワークＷを吸着したチャック機構２、
及び、スピンドル３は相互に回転しており、スピンドル
３を降下させると共に基軸１７を摺動させることによっ
てワークＷの上面に加工を施されるものであって、カッ
プ状基台６の軸心とワークＷを載置したチャック機構２
の軸心とはずらせて配設されており、カップホイール型
砥石４又はカップホイール型カッター５は絶えずカップ
状基台６の前進方向の円弧状で加工を施すものであり、
砥石４ａ及びカッター７の加工刃の外周位置は少なくと
もチャック機構２つまりワークＷの中心点を越えて移動
するものであり、前記チャック機構２とスピンドル３は
共に回転し且つ軸心をずらせて加工するために周速度が
ゼロと成るところは無く万遍なく加工を施されるもので
ある。

【００２３】そして、カップホイール型カッター５はカ
ップ状基台６の環状頂面６ａへ複数のカッター７を突出
させて固定するものであるが、夫々のカッター７の先端
の刃先７ａはカップ状基台６の中心６ｂよりの半径が夫
々相違する位置へ配設したものであり、加えて、夫々の
刃先７ａは内側に位置する刃先７ａが外側に位置する刃
先７ａよりも突出しているものである。

【００２４】つまり、図３及び図５へ図示の如く、実施
例では四本のカッター７を夫々半径の相違する位置へ且
つ対称する位置へ配設すると共に、内側に位置する刃先
７ａが突出させているものであり、最も外側へ位置する
カッター７１で第一段階の加工をし、次のカッター７２
とその内側のカッター７３とで第二段階、第三段階の加
工をし、最も内側に位置するカッター７４で第四段階の
加工を施すものであり、一度の加工で数段階の加工を施
すものであり、更に、夫々のカッター７１．７２．７
３．７４の間隔も自在であるが、超高精度加工の場合で
は最も外側に位置するカッター７１の刃先７ａと最も内
側に位置するカッター７４の刃先７ａとは８ミクロンメ
ートル程度に設定できるものであり、切り込み量も５乃
至１０ミクロンメートル程度に設定できるものである。

【００２５】又、請求項２では複数のカッター７１．７
１．７２．７２．７３．７３．７４．７４の内、少なく
とも一対宛のカッター７１．７１はカップ状基台６の中
心６ｂからの半径を同一位置（図４参照）へ配設し、他
のカッター７２．７２．７３．７３．７４．７４は半径
の相違する位置へ配設したものであるが、図示のものは
夫々四本としているがそのカッター７の数及び列の数は
特に限定するものではなく、対称する位置への配設も単
にカップ状基台６の回転時のバランスを考慮したもので
特に限定するものではない。

【００２６】そして、本発明のカップホイール型カッタ
ー５のカッター７は断面矩形状の刃基７ｂを形成したも
ので、該刃基７ｂへは前記カップ状基台６の環状頂面６
ａへ突出させて固定させるため、カップ状基台６の環状
頂面６ａの外周側面又は内周側面へ上下方向に凹陥部を
形成し、該凹陥部の中へ上下方向に角部を形成し、該角
部へ利して固定具を介し鋲螺等でワークＷに対して直角
に固定するように小孔を穿設したものであり、該カップ
状基台６の環状頂面６ａの周側面に形成した凹陥部へは
前記鋲螺等を螺合させる螺孔を形成しているものである
が、カップ状基台６とカッター７の固定手段は他にも多
手段考えられ特に限定するものではない。

【００２７】前記刃基７ｂから延設する刃先７ａはカッ
プ状基台６の周方向に沿って両側面へ対称して傾斜する
両側斜面７ｃ．７ｃを形成したものであり、前記両側斜
面７ｃ．７ｃの交じり合う先端へはアール部７ｄを形成
し、該先端のアール部７ｄへはカッター７が進行するつ
まり加工方向の前側と後側とへ夫々前側傾斜面７ｅと後
側傾斜面７ｆを形成し、夫々の前側傾斜面７ｅと後側傾
斜面７ｆとが交わる角部は鈍角とした刃先７ａを形成し
たものであり、前記前側傾斜面７ｅは前側側面７ｇに対
して４５度以内の角度に成るように形成し、後側傾斜面
７ｆは後側側面７ｈに対して４５度以上の角度に成るよ
うに形成したものであり、この角度は加工するワークＷ
の材質の硬度及び加工する切り込み量によって相違する
ものであり、刃先７ａは人工又は天然のダイヤモンド等
の硬質材料で形成したものである。

【００２８】本発明に用いるカッター７の刃先７ａはカ
ップ状基台６の周方向に沿って両側面へ対称して適宜に
傾斜する両側斜面７ｃ．７ｃを形成し、前記両側斜面７
ｃ．７ｃの交じり合う先端の頂部はアール部７ｄを形成
し、更に、該アール部７ｄへは加工する方向の前側と後
側とへ前側傾斜面７ｅと後側傾斜面７ｆとを夫々形成し
たものであり、前側傾斜面７ｅは前側側面７ｇに対して
４５度以内の角度に成るように形成し、後側傾斜面７ｆ
は後側側面７ｈに対して４５度以上の角度に成るように
形成したものであり、シリコンウエハの加工の場合は前
側傾斜面７ｅは前側側面７ｇに対して２５度程度、後側
傾斜面７ｆは後側側面７ｈに対して１．５度程度に形成
すると加工精度、加工速度ともに良好であり、前述の計
算から前側傾斜面７ｅと後側傾斜面７ｆとの交じり合う
刃先７ａの角度は必ず鈍角と成るものである。

【００２９】前述のような夫々の角度を形成した刃先７
ａを人工又は天然のダイヤモンド等の硬質材料で形成し
たことによって、鋭く切り込み摩擦抵抗を極減させた加
工を施せ、更に、カッター７を高速回転させながら切り
込んで加工するために高精度な加工が可能となり、然
も、複数工程の加工が同時に施せるため短時間で加工が
可能と成り作業工程の短縮化が計られるものである。

【００３０】又、本発明のカップホイール型砥石４及び
カップホイール型カッター５はカップ状基台６を傾斜さ
せて固定する、つまり、スピンドル３を傾斜させること
によって、凹面加工、凸面加工も可能とするものであ
り、凹面加工と凸面加工との間に平面加工を有するもの
である。

【００３１】

【発明の効果】以上の如く本発明の工作機械は、粗研削
加工は能率性の良いカップホイール型砥石で行い、仕上
加工は超精密な加工が施せるカップホイール型カッター
で行い能率的である上に、カッターの刃先の角度と突出
させる度合いと刃先の間隔を適宜に設定することによっ
て、硬質のものから軟質のものまでの加工が可能とし、
更に、摩擦抵抗を極減しているために連続的加工が行な
え、且つ、加工後のワークＷにダメージを残すこと無
く、従って、平坦精度にむらがなく、ミクロン単位の超
精密な加工も可能と成り、広範囲な利用が可能となるな
ど計り知れない有意義な効果を奏するものであり画期的
なものである。

【００３２】

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の工作機械の概要平面図である。

【図２】図２は本発明の工作機械の概要側面図である。

【図３】図３はカップホイール型カッターの一実施例の
底面図である。

【図４】図４はカップホイール型カッターの次実施例の
底面図である。

【図５】図５は加工状態を示す説明図である。

【図６】図６はカッターの刃先の側面図と平面図であ
る。

【００３３】

【符号の説明】

Ｗ ワーク １ 工作機械 ２ チャック機構 ２１ 載置用チャック位置 ２２ 粗加工用チャック位置 ２３ 仕上加工用チャック位置 ２４ 取外用チャック位置 ３ スピンドル ４ カップホイール型砥石 ４ａ 砥石 ５ カップホイール型カッター ６ カップ状基台 ６ａ 環状頂面 ６ｂ 中心 ７ カッター ７ａ 刃先 ７ｂ 刃基 ７ｃ 両側斜面 ７ｄ アール部 ７ｅ 前側傾斜面 ７ｆ 後側傾斜面 ７ｇ 前側側面 ７ｈ 後側側面 ８ 送出側カセット ８ａ エレベータ台 ９ 仮置台 １０ 送出側移送機構 １１ 送出側移送アーム １１ａ バキュームパット １２ ロータリーテーブル １３ 洗浄乾燥機構 １４ 格納側移送アーム １４ａ バキュームパット １５ 格納側カセット １６ 格納側移送機構 １７ 基軸 １８ 基台 １９ 摺動機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークと、加工前の複数枚のワークを集積
   収納した送出側カセットと、該送出側カセットからワー
   クを仮置台に移送する送出側移送機構と、該送出側移送
   機構で移送されワークの洗浄及び位置合わせする仮置台
   と、該仮置台からチャック機構の上面へ移送する送出側
   移送アームと、ワークをバキューム吸着すると共に回転
   する複数組のチャック機構と、該複数組のチャック機構
   を当間隔で配設すると共に間歇的に回動停止を繰り返す
   ロータリーテーブルと、加工後のワークをチャック機構
   から洗浄乾燥機構へ移送する格納側移送アームと、該格
   納側移送アームで移送されワークの洗浄及び乾燥させる
   洗浄乾燥機構と、該洗浄乾燥機構のワークを格納側カセ
   ットへ移送する格納側移送機構と、該格納側移送機構で
   複数枚のワークを集積格納する格納側カセットと、任意
   の前記チャック機構の上方に夫々配設した少なくとも二
   軸のスピンドルと、該夫々のスピンドルを担持する夫々
   の基軸と、該夫々の基軸を立設させる基台とから成る工
   作機械であって、前記基台と夫々の基軸とへスピンドル
   を水平方向に摺動可能とする摺動機構を設け、前記スピ
   ンドルの内少なくとも一軸の下端へはカップホイール型
   砥石を装着すると共に、他のスピンドルの下端へはカッ
   プ状基台の環状頂面へ複数のカッターを突出させて固定
   し、該夫々のカッターの刃先は前記カップ状基台の中心
   よりの半径が夫々相違する位置に配設すると共に内側へ
   位置する刃先が外側に位置する刃先より突出して配設さ
   れたカップホイール型カッターを装着したことを特徴と
   する工作機械。
2. 【請求項２】ワークと、加工前の複数枚のワークを集積
   収納した送出側カセットと、該送出側カセットからワー
   クを仮置台に移送する送出側移送機構と、該送出側移送
   機構で移送されワークの洗浄及び位置合わせする仮置台
   と、該仮置台からチャック機構の上面へ移送する送出側
   移送アームと、ワークをバキューム吸着すると共に回転
   する複数組のチャック機構と、該複数組のチャック機構
   を当間隔で配設すると共に間歇的に回動停止を繰り返す
   ロータリーテーブルと、加工後のワークをチャック機構
   から洗浄乾燥機構へ移送する格納側移送アームと、該格
   納側移送アームで移送されワークの洗浄及び乾燥させる
   洗浄乾燥機構と、該洗浄乾燥機構のワークを格納側カセ
   ットへ移送する格納側移送機構と、該格納側移送機構で
   複数枚のワークを集積格納する格納側カセットと、任意
   の前記チャック機構の上方に夫々配設した少なくとも二
   軸のスピンドルと、該夫々のスピンドルを担持する夫々
   の基軸と、該夫々の基軸を立設させる基台とから成る工
   作機械であって、前記基台と夫々の基軸とへスピンドル
   を水平方向に摺動可能とする摺動機構を設け、前記スピ
   ンドルの内少なくとも一軸の下端へはカップホイール型
   砥石を装着すると共に、他のスピンドルの下端へはカッ
   プ状基台の環状頂面へ複数のカッターを突出させて固定
   し、少なくとも一対宛のカッターの夫々の刃先は前記カ
   ップ状基台の中心よりの半径が同一位置に配設し、他の
   刃先は前記カップ状基台の中心よりの半径が相違する位
   置に配設すると共に内側へ位置する刃先が外側に位置す
   る刃先より突出して配設されたカップホイール型カッタ
   ーを装着したことを特徴とする工作機械。