JPH08184643A - Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法 - Google Patents
Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法Info
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- JPH08184643A JPH08184643A JP6338914A JP33891494A JPH08184643A JP H08184643 A JPH08184643 A JP H08184643A JP 6338914 A JP6338914 A JP 6338914A JP 33891494 A JP33891494 A JP 33891494A JP H08184643 A JPH08184643 A JP H08184643A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣテスタ用ハンドラを用いたＩＣテスト
で、初回のテストで複数のカテゴリに分類されるＤＵＴ
１５の内で、再テストと指定される複数のカテゴリのＤ
ＵＴを一括して再検査カテゴリに収納して再検査を行う
方法を提供する。 【構成】 この発明は再検査モードの有効／無効と再検
査ソートモードの有効／無効との再検査設定を行い、初
回のテストが終了すると、再検査ソートモードが有効で
かつ初回測定でかつ再検査するカテゴリか？が判断さ
れ、ＹＥＳの場合にはそれらのＤＵＴを一括収納して再
検査を行い、２回目のテスト終了後に全てのＤＵＴをソ
ーティングする再検査方法である。
で、初回のテストで複数のカテゴリに分類されるＤＵＴ
１５の内で、再テストと指定される複数のカテゴリのＤ
ＵＴを一括して再検査カテゴリに収納して再検査を行う
方法を提供する。 【構成】 この発明は再検査モードの有効／無効と再検
査ソートモードの有効／無効との再検査設定を行い、初
回のテストが終了すると、再検査ソートモードが有効で
かつ初回測定でかつ再検査するカテゴリか？が判断さ
れ、ＹＥＳの場合にはそれらのＤＵＴを一括収納して再
検査を行い、２回目のテスト終了後に全てのＤＵＴをソ
ーティングする再検査方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ハンドラを用いて半
導体ＩＣを試験するテストにおいて、不良品と判定され
たデバイスの再検査方法に関する。
導体ＩＣを試験するテストにおいて、不良品と判定され
たデバイスの再検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣのテストにおいては、ＩＣテ
スタと一体になってハンドラが被測定ＩＣ（以下「ＤＵ
Ｔ」という）を載置したトレイ及びＤＵＴを搬送及びハ
ンドリングしてＤＵＴをローディングし、テスティング
し、最後にテスト結果の試験データに基づくカテゴリ毎
に分類（ソート）してアンローディングを行っている。
スタと一体になってハンドラが被測定ＩＣ（以下「ＤＵ
Ｔ」という）を載置したトレイ及びＤＵＴを搬送及びハ
ンドリングしてＤＵＴをローディングし、テスティング
し、最後にテスト結果の試験データに基づくカテゴリ毎
に分類（ソート）してアンローディングを行っている。
【０００３】図３を用いて、恒温槽３５を有する一例の
ハンドラ２１でのカストマトレイ１６、テストトレイ１
７及びＤＵＴ１５の搬送経路及びテスト方法の概要を説
明する。ハンドラ２１内部のローダ部２２においてカス
トマトレイ１６に載置されているＤＵＴ１５をハンドラ
２１内の高／低温に耐える別のテストトレイ１７に転送
載置し直す。このＤＵＴ１５が転送載置されたテストト
レイ１７は、一定の経路を搬送循環されてテスト領域３
７でＤＵＴ１５がテストされる。つまり、恒温槽３５に
送り込まれ、ソークチェンバ３６で加熱あるいは冷却さ
れ、一定温度に達するとテスト領域３７で一定温度のも
とでＤＵＴ１５の電気的特性が測定され、その後ＥＸＩ
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻される。
ハンドラ２１でのカストマトレイ１６、テストトレイ１
７及びＤＵＴ１５の搬送経路及びテスト方法の概要を説
明する。ハンドラ２１内部のローダ部２２においてカス
トマトレイ１６に載置されているＤＵＴ１５をハンドラ
２１内の高／低温に耐える別のテストトレイ１７に転送
載置し直す。このＤＵＴ１５が転送載置されたテストト
レイ１７は、一定の経路を搬送循環されてテスト領域３
７でＤＵＴ１５がテストされる。つまり、恒温槽３５に
送り込まれ、ソークチェンバ３６で加熱あるいは冷却さ
れ、一定温度に達するとテスト領域３７で一定温度のも
とでＤＵＴ１５の電気的特性が測定され、その後ＥＸＩ
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻される。
【０００４】高／低温時でのテストが実施され、ＥＸＩ
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻された当該ＤＵＴ１５
は、テストトレイ１７に載置されたままアンローダ部２
３に送られ、ここでテストトレイ１７からカストマトレ
イ１６に、テスト結果のカテゴリ毎にソート（分類）さ
れて転送載置される。カストマトレイ１６とテストトレ
イ１７との間のＤＵＴ１５転送には真空ポンプを使用し
た吸引搬送手段が用いられ、ＤＵＴ１５を１〜数個吸引
吸着して他方のカストマトレイ１６に転送し、ここにお
いて解放することにより一方から他方への転送を終了す
る。
Ｔチェンバ３８で外部温度に戻された当該ＤＵＴ１５
は、テストトレイ１７に載置されたままアンローダ部２
３に送られ、ここでテストトレイ１７からカストマトレ
イ１６に、テスト結果のカテゴリ毎にソート（分類）さ
れて転送載置される。カストマトレイ１６とテストトレ
イ１７との間のＤＵＴ１５転送には真空ポンプを使用し
た吸引搬送手段が用いられ、ＤＵＴ１５を１〜数個吸引
吸着して他方のカストマトレイ１６に転送し、ここにお
いて解放することにより一方から他方への転送を終了す
る。
【０００５】次ぎにカスとマトレイ１６がトレイ収納部
２５からローダ部２２まで搬送される様子の一例を図４
を用いて説明する。ローダ部２２及びアンローダ部２３
はトレイ収容部２５と、トレイ収容部２５に収容される
カストマトレイ１６をの如くポジションＣのレベル迄
押し上げるエレベータ２６とより成るレーンを複数本例
えば１０レーン具備している。ローダ部２２のトレイ収
容部２５内においては、試験すべきＤＵＴ１５が載置さ
れたカストマトレイ１６が積層されている。全レーンは
それ自体互いに同一であって、ローダ用レーンとアンロ
ーダ用レーンとの間の区別はなされておらず、単に複数
のレーン例えば１０レーンが具備されているに過ぎな
い。これらのレーンを必要に応じて適宜にローダ用或い
はアンローダ用として割り当て指定して使用する。
２５からローダ部２２まで搬送される様子の一例を図４
を用いて説明する。ローダ部２２及びアンローダ部２３
はトレイ収容部２５と、トレイ収容部２５に収容される
カストマトレイ１６をの如くポジションＣのレベル迄
押し上げるエレベータ２６とより成るレーンを複数本例
えば１０レーン具備している。ローダ部２２のトレイ収
容部２５内においては、試験すべきＤＵＴ１５が載置さ
れたカストマトレイ１６が積層されている。全レーンは
それ自体互いに同一であって、ローダ用レーンとアンロ
ーダ用レーンとの間の区別はなされておらず、単に複数
のレーン例えば１０レーンが具備されているに過ぎな
い。これらのレーンを必要に応じて適宜にローダ用或い
はアンローダ用として割り当て指定して使用する。
【０００６】例えばレーン１をこれから試験測定しよう
とするＤＵＴ１５を装填するローダ部２２として割り当
て、レーン２からレーン９の８レーンを試験測定の終了
したＤＵＴ１５を試験結果のカテゴリ毎に収容するアン
ローダ部２３として割り当てる。レーン１０をローダ済
みのカストマトレイ１６を収容する空トレイ収容部２４
に割り当て、これらレーン数は必要に応じて相対的に増
減する。２７はトレイ搬送装置であり、フック２８によ
りカストマトレイ１６を把持してこれを搬送する。カス
トマトレイ１６にはトレイ搬送装置２７のフック２８が
係合する係合孔２９が設けられている。
とするＤＵＴ１５を装填するローダ部２２として割り当
て、レーン２からレーン９の８レーンを試験測定の終了
したＤＵＴ１５を試験結果のカテゴリ毎に収容するアン
ローダ部２３として割り当てる。レーン１０をローダ済
みのカストマトレイ１６を収容する空トレイ収容部２４
に割り当て、これらレーン数は必要に応じて相対的に増
減する。２７はトレイ搬送装置であり、フック２８によ
りカストマトレイ１６を把持してこれを搬送する。カス
トマトレイ１６にはトレイ搬送装置２７のフック２８が
係合する係合孔２９が設けられている。
【０００７】図５は、トレイ搬送装置２７がトレイ収容
部２５内において複数枚積層状態とされているカストマ
トレイ１６の内から、最上層の１枚だけをその係合孔２
９にフック２８を係合することにより分離搬送する様子
を極めて概念的に示す図である。このトレイ搬送装置２
７は、駆動装置により図４ののようにポジションＣの
レベル或いはポジションＢのレベルに駆動されると共
に、ポジションＢのレベルにおいてはの如く水平方向
に配列される全レーン１から１０に渡って水平駆動され
る。３０はトレイセットであり、搬送されたカストマト
レイ１６とテストトレイ１７との間のＤＵＴ１５の受け
渡しをここにおいて行う。トレイセット３０はの如く
駆動装置によりポジションＣのレベル或いはポジション
Ａのレベルに駆動される。
部２５内において複数枚積層状態とされているカストマ
トレイ１６の内から、最上層の１枚だけをその係合孔２
９にフック２８を係合することにより分離搬送する様子
を極めて概念的に示す図である。このトレイ搬送装置２
７は、駆動装置により図４ののようにポジションＣの
レベル或いはポジションＢのレベルに駆動されると共
に、ポジションＢのレベルにおいてはの如く水平方向
に配列される全レーン１から１０に渡って水平駆動され
る。３０はトレイセットであり、搬送されたカストマト
レイ１６とテストトレイ１７との間のＤＵＴ１５の受け
渡しをここにおいて行う。トレイセット３０はの如く
駆動装置によりポジションＣのレベル或いはポジション
Ａのレベルに駆動される。
【０００８】ここで試験測定されるべきＤＵＴ１５の載
置されたカストマトレイ１６がトレイ収容部２５からロ
ーダ部２２に搬送され、ＤＵＴ１５がカストマトレイ１
６からテストトレイ１７に転送載置されるまでの状態を
図４を用いて説明する。 （１）レーンＡのトレイ収容部２５1 に積層されるカス
トマトレイ１６をエレベータ２６1 により押圧すること
により最上層のカストマトレイ１６をポジションＣのレ
ベルまで駆動上昇させる。 （２）トレイ搬送装置２７をポジションＢのレベルにお
いて水平駆動してレーン１の真上に位置せしめる。 （３）トレイ搬送装置２７をポジションＣのレベルまで
駆動降下せしめる。 （４）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御してレー
ン１の最上層のカストマトレイ１６とその下のカストマ
トレイとの間に割って入れる。
置されたカストマトレイ１６がトレイ収容部２５からロ
ーダ部２２に搬送され、ＤＵＴ１５がカストマトレイ１
６からテストトレイ１７に転送載置されるまでの状態を
図４を用いて説明する。 （１）レーンＡのトレイ収容部２５1 に積層されるカス
トマトレイ１６をエレベータ２６1 により押圧すること
により最上層のカストマトレイ１６をポジションＣのレ
ベルまで駆動上昇させる。 （２）トレイ搬送装置２７をポジションＢのレベルにお
いて水平駆動してレーン１の真上に位置せしめる。 （３）トレイ搬送装置２７をポジションＣのレベルまで
駆動降下せしめる。 （４）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御してレー
ン１の最上層のカストマトレイ１６とその下のカストマ
トレイとの間に割って入れる。
【０００９】（５）最上層のカストマトレイ１６を把持
するトレイ搬送装置２７をポジションＣからポジション
Ｂのレベルに上昇せしめる。 （６）ポジションＢのレベルに上昇せしめられたカスト
マトレイ１６を把持するトレイ搬送装置２７をポジショ
ンＢのレベルにおいて水平駆動してレーン３に移動せし
める。 （７）ローダ部２２において、トレイセット３０はポジ
ションＣのレベルに位置決めされている。 （８）レーン３のポジションＢに位置しているトレイ搬
送装置２７をポジションＣのレベルに降下せしめる。 （９）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御して把持
するカストマトレイ１６をローダ部２２のトレイセット
３０上に解放、受け渡す。 （10）把持するカストマトレイ１６を解放してトレイ搬
送装置２７をポジションＣのレベルからポジションＢの
レベルに上昇し、次いで水平駆動してレーン１に復帰さ
せる。 （11）カストマトレイ１６を受け渡されたローダ部２２
のトレイセット３０をポジションＣのレベルからポジシ
ョンＡのレベルに上昇せしめ、ローダ部２２におけるカ
ストマトレイ１６のセットは完了する。
するトレイ搬送装置２７をポジションＣからポジション
Ｂのレベルに上昇せしめる。 （６）ポジションＢのレベルに上昇せしめられたカスト
マトレイ１６を把持するトレイ搬送装置２７をポジショ
ンＢのレベルにおいて水平駆動してレーン３に移動せし
める。 （７）ローダ部２２において、トレイセット３０はポジ
ションＣのレベルに位置決めされている。 （８）レーン３のポジションＢに位置しているトレイ搬
送装置２７をポジションＣのレベルに降下せしめる。 （９）トレイ搬送装置２７のフック２８を制御して把持
するカストマトレイ１６をローダ部２２のトレイセット
３０上に解放、受け渡す。 （10）把持するカストマトレイ１６を解放してトレイ搬
送装置２７をポジションＣのレベルからポジションＢの
レベルに上昇し、次いで水平駆動してレーン１に復帰さ
せる。 （11）カストマトレイ１６を受け渡されたローダ部２２
のトレイセット３０をポジションＣのレベルからポジシ
ョンＡのレベルに上昇せしめ、ローダ部２２におけるカ
ストマトレイ１６のセットは完了する。
【００１０】次ぎに、カストマトレイ１６に載置されて
いるＤＵＴ１５を真空ポンプを使用した吸引搬送装置に
よりハンドラ２１内の高／低温に耐えるテストトレイ１
７に転送載置し、このＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５に送り込まれて試験測定が行わ
れる。試験測定されたＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５からアンローダ部２３に送出さ
れる。アンローダ部２３では前述したカストマトレイ１
６からテストトレイ１７への転送載置に準じた手順で、
テストトレイ１７からカストマトレイ１６に転送載置さ
れるが、このときＤＵＴ１５の試験データに基ずき、Ｄ
ＵＴ１５は２〜８種類にソーティング（分類）される。
分類は各ＩＣ製造業者等の測定者が目的に応じて自由に
設定できる。
いるＤＵＴ１５を真空ポンプを使用した吸引搬送装置に
よりハンドラ２１内の高／低温に耐えるテストトレイ１
７に転送載置し、このＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５に送り込まれて試験測定が行わ
れる。試験測定されたＤＵＴ１５が載置されたテストト
レイ１７は、恒温槽３５からアンローダ部２３に送出さ
れる。アンローダ部２３では前述したカストマトレイ１
６からテストトレイ１７への転送載置に準じた手順で、
テストトレイ１７からカストマトレイ１６に転送載置さ
れるが、このときＤＵＴ１５の試験データに基ずき、Ｄ
ＵＴ１５は２〜８種類にソーティング（分類）される。
分類は各ＩＣ製造業者等の測定者が目的に応じて自由に
設定できる。
【００１１】２分類とは良品と不良品との区分である
が、通常は４分類以上の種類に分類される。例えば、Ｄ
ＵＴ１５の性能仕様に対して試験データが最良のものを
カテゴリ０とし、良品をカテゴリ１とし、性能仕様にぎ
りぎりのものをカテゴリ２とし、不良品をカテゴリ３と
分類し、カテゴリ０及び１を無条件良品とし、カテゴリ
２及び３を不良品或いは再検査品とすることもできる。
８分類の場合は性能仕様を８つに区分して分類するもの
である。従って、このソーティングにかなりの時間を要
している。
が、通常は４分類以上の種類に分類される。例えば、Ｄ
ＵＴ１５の性能仕様に対して試験データが最良のものを
カテゴリ０とし、良品をカテゴリ１とし、性能仕様にぎ
りぎりのものをカテゴリ２とし、不良品をカテゴリ３と
分類し、カテゴリ０及び１を無条件良品とし、カテゴリ
２及び３を不良品或いは再検査品とすることもできる。
８分類の場合は性能仕様を８つに区分して分類するもの
である。従って、このソーティングにかなりの時間を要
している。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ＩＣテ
スタ用ハンドラを用いたＩＣテストは、多数のＩＣを載
置したカストマトレイをローダ部にローディングするだ
けで自動的に高／低温時の試験測定を行い、テストが終
了すると予め設定していた分類に従ってソーティングす
るので非常に便利であるが、高価な商品である。従って
テスト時間を少しでも短くして効率を向上させる必要が
ある。
スタ用ハンドラを用いたＩＣテストは、多数のＩＣを載
置したカストマトレイをローダ部にローディングするだ
けで自動的に高／低温時の試験測定を行い、テストが終
了すると予め設定していた分類に従ってソーティングす
るので非常に便利であるが、高価な商品である。従って
テスト時間を少しでも短くして効率を向上させる必要が
ある。
【００１３】現在の測定方法では、良品と判定されたＤ
ＵＴはそのまま出荷されるが、１回目のテストで不良品
と判定されたＤＵＴは全てリテスト、つまり２回目の再
テストを行うのが通常である。これは試験項目を替えた
り、分類カテゴリを替えたり、或いは１回目の測定条件
でもって、最終の不良品を検出するためである。そのた
めに１回目のテストで不良品と判定されるカテゴリの全
てをまとめて再テストを行っている。例えば、前述の４
分類のカテゴリ区分の場合では、カテゴリ２及び３のＤ
ＵＴをまとめて再テストしている。
ＵＴはそのまま出荷されるが、１回目のテストで不良品
と判定されたＤＵＴは全てリテスト、つまり２回目の再
テストを行うのが通常である。これは試験項目を替えた
り、分類カテゴリを替えたり、或いは１回目の測定条件
でもって、最終の不良品を検出するためである。そのた
めに１回目のテストで不良品と判定されるカテゴリの全
てをまとめて再テストを行っている。例えば、前述の４
分類のカテゴリ区分の場合では、カテゴリ２及び３のＤ
ＵＴをまとめて再テストしている。
【００１４】しかしながら、１回目のテスト時で不良品
を複数のカテゴリ別にソーティングするのは時間の無駄
であり、テスト費用の上昇につながる。この発明は、こ
のような無駄を省くためにハンドラの操作者の判断によ
り、１回目のテスト時に不良品の複数のカテゴリ別のソ
ーティングを止めさせて不良品のカテゴリ１つのみにし
たり、或いは従来のように不良品でも複数個のカテゴリ
に分類することを選択でき、再テスト必要時のテスト時
間を短縮するハンドラを提供するものである。
を複数のカテゴリ別にソーティングするのは時間の無駄
であり、テスト費用の上昇につながる。この発明は、こ
のような無駄を省くためにハンドラの操作者の判断によ
り、１回目のテスト時に不良品の複数のカテゴリ別のソ
ーティングを止めさせて不良品のカテゴリ１つのみにし
たり、或いは従来のように不良品でも複数個のカテゴリ
に分類することを選択でき、再テスト必要時のテスト時
間を短縮するハンドラを提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明はハンドラの動作シーケンスを変更し、再
検査モードの設定に加え、再検査ソートモードを追加し
た。再検査モードの設定には再検査を行わないを「無
効」とし、行うを「有効」とし、有効をマニュアルとオ
ートの２通りにした。このマニュアルとオートと２つの
有効モードしたのは、ハンドラによってはアンローダ部
からローダ部へＤＵＴの搬送が自動的にできるのとでき
ないものがあるからである。本明細書の従来技術の一例
ではトレイ搬送装置があるのでオートが有利である。
に、この発明はハンドラの動作シーケンスを変更し、再
検査モードの設定に加え、再検査ソートモードを追加し
た。再検査モードの設定には再検査を行わないを「無
効」とし、行うを「有効」とし、有効をマニュアルとオ
ートの２通りにした。このマニュアルとオートと２つの
有効モードしたのは、ハンドラによってはアンローダ部
からローダ部へＤＵＴの搬送が自動的にできるのとでき
ないものがあるからである。本明細書の従来技術の一例
ではトレイ搬送装置があるのでオートが有利である。
【００１６】これに加え、再検査ソートモードの無効／
有効を追加した。再検査ソートモードの有効とは、複数
の再検査のカテゴリに分類されたＤＵＴを全て一括して
再検査カテゴリＲとみなして一括収納するモードであ
る。一方、無効とはそのような判断はしなくて、指定さ
れたカテゴリ毎にソーティングされるものである。
有効を追加した。再検査ソートモードの有効とは、複数
の再検査のカテゴリに分類されたＤＵＴを全て一括して
再検査カテゴリＲとみなして一括収納するモードであ
る。一方、無効とはそのような判断はしなくて、指定さ
れたカテゴリ毎にソーティングされるものである。
【００１７】従って、再検査ソートモードを有効と設定
すると、ソーティング時間が短縮され、その分機械であ
るハンドラのハンドリング機構の摩耗も少なくなる。以
下、実施例について説明する。
すると、ソーティング時間が短縮され、その分機械であ
るハンドラのハンドリング機構の摩耗も少なくなる。以
下、実施例について説明する。
【００１８】
【実施例】図１に本発明の一実施例の流れ図を、図２に
ハンドラの操作部署でのディスプレイ画面の一例を示
す。図１において、先ず再検査設定１を行う。ここでは
再検査モードをオートに、再検査ソートモードを有効に
設定するとする。このときのディスプレイ画面の一例が
図２である。再検査モードが「オート」、再検査ソート
・モードが「有効」と表示されている。そしてカテゴリ
は０から９までとＲ（リテスト）が設定できるようにな
っているが、ここではカテゴリ０、１、２、５、及び８
が使用され処理はカテゴリ０と１が「再検査しない」と
設定表示され、カテゴリ２と５と８が「再検査する」と
設定表示されている。他のカテゴリであるカテゴリ３、
４、６、７、９とＲはここでは設定使用はされていな
い。
ハンドラの操作部署でのディスプレイ画面の一例を示
す。図１において、先ず再検査設定１を行う。ここでは
再検査モードをオートに、再検査ソートモードを有効に
設定するとする。このときのディスプレイ画面の一例が
図２である。再検査モードが「オート」、再検査ソート
・モードが「有効」と表示されている。そしてカテゴリ
は０から９までとＲ（リテスト）が設定できるようにな
っているが、ここではカテゴリ０、１、２、５、及び８
が使用され処理はカテゴリ０と１が「再検査しない」と
設定表示され、カテゴリ２と５と８が「再検査する」と
設定表示されている。他のカテゴリであるカテゴリ３、
４、６、７、９とＲはここでは設定使用はされていな
い。
【００１９】この条件で、図１に示す流れ図の測定動作
が開始される。再検査設定１がされると、ハンドラの動
作開始２となる。するとＤＵＴ（被測定ＩＣ）がカスト
マトレイからテストトレイにロード（転送載置）３さ
れ、恒温槽のテスト領域でテスト４され、アンローダ部
に送出される。アンローダ部で再検査モードが有効でか
つ初回測定でかつ再検査するカテゴリーか？５が判断さ
れる。現条件では、再検査モードは有効であって初回測
定であるが、カテゴリの処理設定に再検査しない場合と
する場合とがある。従って再検査しないカテゴリ０と１
の分類されたＩＣは「ＮＯ」であるので、カテゴリ毎に
分類・収納１２されて終了１３する。
が開始される。再検査設定１がされると、ハンドラの動
作開始２となる。するとＤＵＴ（被測定ＩＣ）がカスト
マトレイからテストトレイにロード（転送載置）３さ
れ、恒温槽のテスト領域でテスト４され、アンローダ部
に送出される。アンローダ部で再検査モードが有効でか
つ初回測定でかつ再検査するカテゴリーか？５が判断さ
れる。現条件では、再検査モードは有効であって初回測
定であるが、カテゴリの処理設定に再検査しない場合と
する場合とがある。従って再検査しないカテゴリ０と１
の分類されたＩＣは「ＮＯ」であるので、カテゴリ毎に
分類・収納１２されて終了１３する。
【００２０】再検査するとされたカテゴリ２と５と８に
分類されたＩＣは「ＹＥＳ」であるので、再検査カテゴ
リＲにのみ全て一括して収納６される。ここでオートモ
ードか？７が判断され、オートモードであるのでトレイ
搬送手段でロード部に転送される。マニュアルモードに
設定した場合は「ＮＯ」であるので、直ちにハンドラは
一時停止１０し、人手でトレイをロード部に移動１１さ
せる。
分類されたＩＣは「ＹＥＳ」であるので、再検査カテゴ
リＲにのみ全て一括して収納６される。ここでオートモ
ードか？７が判断され、オートモードであるのでトレイ
搬送手段でロード部に転送される。マニュアルモードに
設定した場合は「ＮＯ」であるので、直ちにハンドラは
一時停止１０し、人手でトレイをロード部に移動１１さ
せる。
【００２１】再検査の準備が完了すると、再びハンドラ
の動作が開始２され、被測定ＩＣはロード３され、テス
ト４され、アンローダ部で判断５されるが、今回は２度
目の測定であるので「ＮＯ」であり、全てカテゴリ毎に
分類・収納１２されて、終了１３する。
の動作が開始２され、被測定ＩＣはロード３され、テス
ト４され、アンローダ部で判断５されるが、今回は２度
目の測定であるので「ＮＯ」であり、全てカテゴリ毎に
分類・収納１２されて、終了１３する。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明
は、初回テストで再検査するカテゴリのＩＣの初回のソ
ート（分類）時間を省略できるので、テスト時間の短縮
となり、テストコストの削減となりその効果は大であ
る。
は、初回テストで再検査するカテゴリのＩＣの初回のソ
ート（分類）時間を省略できるので、テスト時間の短縮
となり、テストコストの削減となりその効果は大であ
る。
【図１】本発明の一実施例の流れ図である。
【図２】図１の一実施例で操作部署でのディスプレイ画
面図である。
面図である。
【図３】本発明を実施したハンドラの平面図である。
【図４】本発明を実施したハンドラの動作説明図であ
る。
る。
【図５】複数枚積層されているトレイの最上層の１枚だ
けをトレイ搬送装置で分離搬送する説明図である。
けをトレイ搬送装置で分離搬送する説明図である。
１ 再検査設定 ２ ハンドラの動作開始 ３ 被測定ＩＣをロード ４ 被測定ＩＣのテスト ５ 再検査ソートモードが有効でかつ初回測定でかつ
再検査するカテゴリか？ ６ 再検査カテゴリに一括収納 ７ オートモードか？ ８ トレイ搬送装置でロード部に転送 ９ ハンドラ一時停止 １０ 人手でトレイをロード部に移動 １１ カテゴリ毎に分類・収納 １２ 終了 １５ ＤＵＴ（被測定ＩＣ） １６ カストマトレイ １７ テストトレイ ２１ ハンドラ ２２ ローダ部 ２３ アンローダ部 ２４ 空トレイ収容部 ２５ トレイ収容部 ２６ エレベータ ２７ トレイ搬送装置 ２８ フック ２９ 係合孔 ３０ トレイセット ３５ 恒温槽 ３６ ソークチェンバ ３７ テスト領域 ３８ ＥＸＩＴチェンバ
再検査するカテゴリか？ ６ 再検査カテゴリに一括収納 ７ オートモードか？ ８ トレイ搬送装置でロード部に転送 ９ ハンドラ一時停止 １０ 人手でトレイをロード部に移動 １１ カテゴリ毎に分類・収納 １２ 終了 １５ ＤＵＴ（被測定ＩＣ） １６ カストマトレイ １７ テストトレイ ２１ ハンドラ ２２ ローダ部 ２３ アンローダ部 ２４ 空トレイ収容部 ２５ トレイ収容部 ２６ エレベータ ２７ トレイ搬送装置 ２８ フック ２９ 係合孔 ３０ トレイセット ３５ 恒温槽 ３６ ソークチェンバ ３７ テスト領域 ３８ ＥＸＩＴチェンバ
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣテスタ用ハンドラとＩＣテスタを用
いたＤＵＴ（１５）のテストにおいて、 再検査モードの有効／無効と再検査ソートモードの有効
／無効との再検査設定（１）を行い、 ハンドラが動作開始（２）し、ＤＵＴ（１５）がロード
（３）され、テスト（４）され、 上記テスト（４）終了後に、再検査ソートモードが有効
でかつ初回測定でかつ再検査するカテゴリか？（５）が
判断され、 ＮＯの場合には、カテゴリ毎に分類・収納（１２）され
て終了（１３）し、 ＹＥＳの場合には、それらのＤＵＴ（１５）を再検査カ
テゴリに一括収納（６）され、 再検査モードがオートモードか？（７）が判断され、 ＮＯの場合には、ハンドラ（２１）を一時停止（１０）
して、人手でトレイ（１６）をローダ部（２２）に移動
（１１）させ、 ＹＥＳの場合には、トレイ搬送装置（２７）でローダ部
（２２）に転送（８）されて、 再び上記ハンドラ（２１）は動作開始（２）して２回目
のＤＵＴ（１５）テスト（４）を行ない、カテゴリ毎に
分類・収納（１２）してＤＵＴ（１５）のテストを終了
（１３）する、ことを特徴とするＩＣテスタ用ハンドラ
における再検査方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33891494A JP3492793B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法 |
| US08/648,060 US5788084A (en) | 1994-09-22 | 1995-09-04 | Automatic testing system and method for semiconductor devices |
| KR1019960702707A KR100206644B1 (ko) | 1994-09-22 | 1995-09-04 | 반도체 디바이스의 자동검사장치 및 방법 |
| PCT/JP1995/001751 WO1996009556A1 (en) | 1994-09-22 | 1995-09-04 | Method and apparatus for automatic inspection of semiconductor device |
| DE19581288T DE19581288T1 (de) | 1994-09-22 | 1995-09-04 | Automatisches Testsystem und -verfahren für Halbleitervorrichtungen |
| MYPI95002820A MY111843A (en) | 1994-09-22 | 1995-09-22 | Automatic testing system and method for semiconductor devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33891494A JP3492793B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08184643A true JPH08184643A (ja) | 1996-07-16 |
| JP3492793B2 JP3492793B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=18322529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33891494A Expired - Fee Related JP3492793B2 (ja) | 1994-09-22 | 1994-12-28 | Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3492793B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003167023A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Seiko Epson Corp | Ｉｃテストハンドラおよびその制御方法並びに吸着ハンドの制御方法 |
| US6681361B1 (en) | 1999-05-10 | 2004-01-20 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device inspection apparatus and semiconductor device inspection method |
| JP2011095002A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の検査装置、製造装置、検査方法および製造方法 |
| TWI498266B (ja) * | 2014-08-07 | 2015-09-01 | ||
| JP2017067591A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP33891494A patent/JP3492793B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6681361B1 (en) | 1999-05-10 | 2004-01-20 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device inspection apparatus and semiconductor device inspection method |
| JP2003167023A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-13 | Seiko Epson Corp | Ｉｃテストハンドラおよびその制御方法並びに吸着ハンドの制御方法 |
| JP2011095002A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の検査装置、製造装置、検査方法および製造方法 |
| TWI498266B (ja) * | 2014-08-07 | 2015-09-01 | ||
| JP2017067591A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3492793B2 (ja) | 2004-02-03 |
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