JPH08189883A - サンプル包埋体作製装置及びその方法 - Google Patents
サンプル包埋体作製装置及びその方法Info
- Publication number
- JPH08189883A JPH08189883A JP7001929A JP192995A JPH08189883A JP H08189883 A JPH08189883 A JP H08189883A JP 7001929 A JP7001929 A JP 7001929A JP 192995 A JP192995 A JP 192995A JP H08189883 A JPH08189883 A JP H08189883A
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- JP
- Japan
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- sample
- resin
- concave portion
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- Pending
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】サンプルの反りや傾きがなく、観察に好適なサ
ンプル包埋体を効率良く作製出来る技術を提供する。 【構成】サンプル包埋用の樹脂が充填される凹部２が形
成された下型１と、前記凹部に対応する位置に平坦な端
面を有し、凹部の深さより低い高さの凸部４が形成され
た上型３とを具備してなり、下型と上型とを組み合わせ
た際に、凸部の作用で、凹部内の樹脂面上に載置された
サンプルが平坦化されるよう構成してなるサンプル包埋
体作製装置。
ンプル包埋体を効率良く作製出来る技術を提供する。 【構成】サンプル包埋用の樹脂が充填される凹部２が形
成された下型１と、前記凹部に対応する位置に平坦な端
面を有し、凹部の深さより低い高さの凸部４が形成され
た上型３とを具備してなり、下型と上型とを組み合わせ
た際に、凸部の作用で、凹部内の樹脂面上に載置された
サンプルが平坦化されるよう構成してなるサンプル包埋
体作製装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば透過型電子顕微
鏡での検査に用いるサンプル包埋体の作製技術に関す
る。
鏡での検査に用いるサンプル包埋体の作製技術に関す
る。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の一部をカットしたサンプ
ルを樹脂で包埋し、この包埋体の切断面を透過型電子顕
微鏡（以下、ＴＥＭ）で観察する品質検査がある。この
サンプル包埋体の作製にあたっては、次の点が問題とな
っている。即ち、サンプルである磁性フィルムは、通
常、カールしている為、樹脂で包埋したものについても
サンプルが反ったままの状態であることが多い。又、樹
脂を型の凹部内に充填してサンプルを載置する基層部分
を形成する際に、基層部分の表面が平坦となるよう樹脂
を充填するのが難しく、この基層上に載置されるサンプ
ルも傾斜した状態で樹脂に包埋されてしまうことが多
い。
ルを樹脂で包埋し、この包埋体の切断面を透過型電子顕
微鏡（以下、ＴＥＭ）で観察する品質検査がある。この
サンプル包埋体の作製にあたっては、次の点が問題とな
っている。即ち、サンプルである磁性フィルムは、通
常、カールしている為、樹脂で包埋したものについても
サンプルが反ったままの状態であることが多い。又、樹
脂を型の凹部内に充填してサンプルを載置する基層部分
を形成する際に、基層部分の表面が平坦となるよう樹脂
を充填するのが難しく、この基層上に載置されるサンプ
ルも傾斜した状態で樹脂に包埋されてしまうことが多
い。
【０００３】こうした反りが有る包埋体はＴＥＭでの観
察に適さないので、適切な包埋体の作製は非常に難し
く、非常に効率が悪い。
察に適さないので、適切な包埋体の作製は非常に難し
く、非常に効率が悪い。
【０００４】
【発明の開示】本発明の目的は、サンプルの反りや傾き
がなく、観察に好適なサンプル包埋体を効率良く作製出
来る技術を提供することである。この本発明の目的は、
サンプル包埋用の樹脂が充填される凹部が形成された下
型と、前記凹部に対応する位置に平坦な端面を有し、凹
部の深さより低い高さの凸部が形成された上型とを具備
してなり、前記下型と上型とを組み合わせた際に、前記
凸部の作用で、前記凹部内の樹脂面上に載置されたサン
プルが平坦化されるよう構成してなることを特徴とする
サンプル包埋体作製装置によって達成される。
がなく、観察に好適なサンプル包埋体を効率良く作製出
来る技術を提供することである。この本発明の目的は、
サンプル包埋用の樹脂が充填される凹部が形成された下
型と、前記凹部に対応する位置に平坦な端面を有し、凹
部の深さより低い高さの凸部が形成された上型とを具備
してなり、前記下型と上型とを組み合わせた際に、前記
凸部の作用で、前記凹部内の樹脂面上に載置されたサン
プルが平坦化されるよう構成してなることを特徴とする
サンプル包埋体作製装置によって達成される。
【０００５】又、下型の凹部内に所定の高さまでサンプ
ル包埋用の樹脂を充填する工程と、この充填された樹脂
面上にサンプルを載置する工程と、前記充填樹脂が硬化
する前に、平坦な端面を有する凸部が形成された上型を
前記下型と組み合わせ、樹脂面上に載置された前記サン
プルを平坦化する工程と、前記上型を取り外した後、前
記凹部内にサンプル包埋用の樹脂を充填する工程とを具
備することを特徴とするサンプル包埋体作製方法によっ
て達成される。
ル包埋用の樹脂を充填する工程と、この充填された樹脂
面上にサンプルを載置する工程と、前記充填樹脂が硬化
する前に、平坦な端面を有する凸部が形成された上型を
前記下型と組み合わせ、樹脂面上に載置された前記サン
プルを平坦化する工程と、前記上型を取り外した後、前
記凹部内にサンプル包埋用の樹脂を充填する工程とを具
備することを特徴とするサンプル包埋体作製方法によっ
て達成される。
【０００６】即ち、本発明では、凹部内に充填された樹
脂面上にサンプルを載置した後、一旦、上型と下型とを
組み合わせ、上型に形成された凸部でサンプルが載置さ
れた部分をサンプルと共に平坦化するものであるから、
サンプルに反りが発生していたり、充填された樹脂面が
傾斜していても、これに関係なくサンプルが平坦な状態
で樹脂に包埋されたサンプル包埋体を得ることが出来
る。従って、不良品の発生が皆無であり、サンプル包埋
体作製作業の高効率化が図れる。
脂面上にサンプルを載置した後、一旦、上型と下型とを
組み合わせ、上型に形成された凸部でサンプルが載置さ
れた部分をサンプルと共に平坦化するものであるから、
サンプルに反りが発生していたり、充填された樹脂面が
傾斜していても、これに関係なくサンプルが平坦な状態
で樹脂に包埋されたサンプル包埋体を得ることが出来
る。従って、不良品の発生が皆無であり、サンプル包埋
体作製作業の高効率化が図れる。
【０００７】尚、凸部の端面が略サンプル部分にのみ当
接するよう凹部より小さくしてなることが好ましく、こ
れによって上型と下型とを組み合わせた際に、余分な樹
脂は凸部の両側に押し出されるので、サンプルが載置さ
れる帯状部分はスムーズに平坦化される。
接するよう凹部より小さくしてなることが好ましく、こ
れによって上型と下型とを組み合わせた際に、余分な樹
脂は凸部の両側に押し出されるので、サンプルが載置さ
れる帯状部分はスムーズに平坦化される。
【０００８】
【実施例】図１〜図７は本発明の一実施例を示すもの
で、図１はサンプル包埋体作製装置の要部斜視図、図２
は下型の凹部内に樹脂を充填した状態を示す断面図、図
３は樹脂面にサンプルを載置した状態を示す断面図、図
４は上型が組み合わされた状態を示す断面図、図５は図
４のＸ−Ｘ線での断面図、図６は下型の凹部上限まで樹
脂が充填された状態を示す断面図、図７は型から取り出
されたサンプル包埋体の斜視図である。
で、図１はサンプル包埋体作製装置の要部斜視図、図２
は下型の凹部内に樹脂を充填した状態を示す断面図、図
３は樹脂面にサンプルを載置した状態を示す断面図、図
４は上型が組み合わされた状態を示す断面図、図５は図
４のＸ−Ｘ線での断面図、図６は下型の凹部上限まで樹
脂が充填された状態を示す断面図、図７は型から取り出
されたサンプル包埋体の斜視図である。
【０００９】各図中、１はシリコン樹脂等から構成され
た下型であり、その上面側には略六角形状の凹部２が並
んで形成されている。３は下型１と同じくシリコン樹脂
等から構成された上型であり、この上型３の底面には、
下型１と組み合わされた際に凹部２内に突出する矩形状
の凸部４が形成されている。尚、凸部４の厚みは、凹部
２の深さ寸法の約１／２程度としている。
た下型であり、その上面側には略六角形状の凹部２が並
んで形成されている。３は下型１と同じくシリコン樹脂
等から構成された上型であり、この上型３の底面には、
下型１と組み合わされた際に凹部２内に突出する矩形状
の凸部４が形成されている。尚、凸部４の厚みは、凹部
２の深さ寸法の約１／２程度としている。
【００１０】上記下型１及び上型３を備えたサンプル包
埋体作製装置は、上型３が、図１中、矢印で示す如く、
回動可能であるよう構成されている。そして、凸部４
は、凹部２内に充填される樹脂面において、サンプルが
載置される帯状の領域のみに当接する形状、即ち凹部２
が六角形状であるのに対して、この凹部２の幅より小さ
な幅の矩形状となっている。従って、下型１と上型３と
を組み合わせた際、サンプル下方の余分な樹脂が凸部４
の両側に押し出され、サンプルを載置した部分が容易に
平坦化されるようになっている。
埋体作製装置は、上型３が、図１中、矢印で示す如く、
回動可能であるよう構成されている。そして、凸部４
は、凹部２内に充填される樹脂面において、サンプルが
載置される帯状の領域のみに当接する形状、即ち凹部２
が六角形状であるのに対して、この凹部２の幅より小さ
な幅の矩形状となっている。従って、下型１と上型３と
を組み合わせた際、サンプル下方の余分な樹脂が凸部４
の両側に押し出され、サンプルを載置した部分が容易に
平坦化されるようになっている。
【００１１】５はサンプルであり、本実施例では磁気テ
ープを長さ数ｍｍ、最大幅１ｍｍ程度のクサビ形にカッ
トしたものを用いている。６はサンプル５を包埋するエ
ポキシ樹脂、Ｆはエポキシ樹脂６でサンプル５を包埋し
てなるサンプル包埋体である。次に、本発明のサンプル
包埋体作製方法を図２〜図７に基づいて説明する。
ープを長さ数ｍｍ、最大幅１ｍｍ程度のクサビ形にカッ
トしたものを用いている。６はサンプル５を包埋するエ
ポキシ樹脂、Ｆはエポキシ樹脂６でサンプル５を包埋し
てなるサンプル包埋体である。次に、本発明のサンプル
包埋体作製方法を図２〜図７に基づいて説明する。
【００１２】先ず、図２に示す如く、下型１の凹部２内
に上限の１／２程度の高さまでエポキシ樹脂６を充填す
る。続いて、エポキシ樹脂６の表面にサンプル５を２片
載置するのであるが、この時点では、通常、サンプル５
は、図３に示す如く、円弧状に反った状態となってお
り、又、サンプル５が載置された部分におけるエポキシ
樹脂６の表面も平坦ではなく、多少うねったものとなっ
ている。
に上限の１／２程度の高さまでエポキシ樹脂６を充填す
る。続いて、エポキシ樹脂６の表面にサンプル５を２片
載置するのであるが、この時点では、通常、サンプル５
は、図３に示す如く、円弧状に反った状態となってお
り、又、サンプル５が載置された部分におけるエポキシ
樹脂６の表面も平坦ではなく、多少うねったものとなっ
ている。
【００１３】充填されたエポキシ樹脂６が硬化する前、
例えば半硬化の時点に、図４に示す如く、上型３を下型
１に組み合わせ、サンプル５が載置された帯状部分がサ
ンプル５と共に平坦となるようプレスする。この際、エ
ポキシ樹脂６の余剰分は、図５に示す如く、凸部４の両
側から押し出される。温度６０℃で、この状態を３時間
保持した後、上型３を外し、更に凹部２内にエポキシ樹
脂５を充填する。そして、１２時間かけて温度６０℃で
硬化させ、下型１から取り出した。このようにして得ら
れたサンプル包埋体Ｆを図７に示す。
例えば半硬化の時点に、図４に示す如く、上型３を下型
１に組み合わせ、サンプル５が載置された帯状部分がサ
ンプル５と共に平坦となるようプレスする。この際、エ
ポキシ樹脂６の余剰分は、図５に示す如く、凸部４の両
側から押し出される。温度６０℃で、この状態を３時間
保持した後、上型３を外し、更に凹部２内にエポキシ樹
脂５を充填する。そして、１２時間かけて温度６０℃で
硬化させ、下型１から取り出した。このようにして得ら
れたサンプル包埋体Ｆを図７に示す。
【００１４】このサンプル包埋体Ｆは、サンプルが樹脂
内部に完全に平坦な状態で包埋されており、サンプルの
反りや傾斜といった不具合が無く、ＴＥＭでの観察試料
として非常に好ましいものであった。上述したように本
発明のサンプル包埋体作製技術によれば、ＴＥＭでの観
察に適したサンプル包埋体を効率良く作製することが可
能であって、包埋体作製作業が大幅に簡略化される。
内部に完全に平坦な状態で包埋されており、サンプルの
反りや傾斜といった不具合が無く、ＴＥＭでの観察試料
として非常に好ましいものであった。上述したように本
発明のサンプル包埋体作製技術によれば、ＴＥＭでの観
察に適したサンプル包埋体を効率良く作製することが可
能であって、包埋体作製作業が大幅に簡略化される。
【００１５】
【効果】本発明によれば、サンプルの反りや傾斜のない
観察に好適なサンプル包埋体を効率良く作製出来る。
観察に好適なサンプル包埋体を効率良く作製出来る。
【図１】サンプル包埋体作製装置の要部斜視図である。
【図２】下型の凹部内に樹脂を充填した状態を示す断面
図である。
図である。
【図３】樹脂表面にサンプルを載置した状態を示す断面
図である。
図である。
【図４】上型が組み合わされた状態を示す断面図であ
る。
る。
【図５】図４のＸ−Ｘ線での断面図である。
【図６】下型の凹部上限まで樹脂が充填された状態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図７】型から取り出されたサンプル包埋体の斜視図で
ある。
ある。
１ 下型 ２ 凹部 ３ 上型 ４ 凸部 ５ サンプル ６ エポキシ樹脂 Ｆ サンプル包埋体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｊ 37/20 Ｆ (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 サンプル包埋用の樹脂が充填される凹部
が形成された下型と、前記凹部に対応する位置に平坦な
端面を有し、凹部の深さより低い高さの凸部が形成され
た上型とを具備してなり、 前記下型と上型とを組み合わせた際に、前記凸部の作用
で、前記凹部内の樹脂面上に載置されたサンプルが平坦
化されるよう構成してなることを特徴とするサンプル包
埋体作製装置。 - 【請求項２】 凸部の端面の大きさが、凹部の形状より
小さく、かつ、凹部内に配置されるサンプルを覆うこと
が出来る形状であることを特徴とする請求項１に記載の
サンプル包埋体作製装置。 - 【請求項３】 下型の凹部内に所定の高さまでサンプル
包埋用の樹脂を充填する工程と、 この充填された樹脂面上にサンプルを載置する工程と、 前記充填樹脂が硬化する前に、平坦な端面を有する凸部
が形成された上型を前記下型と組み合わせ、樹脂面上に
載置された前記サンプルを平坦化する工程と、 前記上型を取り外した後、前記凹部内にサンプル包埋用
の樹脂を充填する工程とを具備することを特徴とするサ
ンプル包埋体作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001929A JPH08189883A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | サンプル包埋体作製装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7001929A JPH08189883A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | サンプル包埋体作製装置及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08189883A true JPH08189883A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11515304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7001929A Pending JPH08189883A (ja) | 1995-01-10 | 1995-01-10 | サンプル包埋体作製装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08189883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012515926A (ja) * | 2009-01-22 | 2012-07-12 | バイオパス・オートメーション・エル・エル・シー | 組織標本を位置付けするためのミクロトーム薄片化生検支持体 |
| JP2013061192A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Toppan Printing Co Ltd | 断面観察用試料の包埋板および包埋方法 |
-
1995
- 1995-01-10 JP JP7001929A patent/JPH08189883A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012515926A (ja) * | 2009-01-22 | 2012-07-12 | バイオパス・オートメーション・エル・エル・シー | 組織標本を位置付けするためのミクロトーム薄片化生検支持体 |
| JP2013061192A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Toppan Printing Co Ltd | 断面観察用試料の包埋板および包埋方法 |
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