JPH0819244A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
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- JPH0819244A JPH0819244A JP13087895A JP13087895A JPH0819244A JP H0819244 A JPH0819244 A JP H0819244A JP 13087895 A JP13087895 A JP 13087895A JP 13087895 A JP13087895 A JP 13087895A JP H0819244 A JPH0819244 A JP H0819244A
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- JP
- Japan
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- phase
- actuator
- slide rod
- housing
- linear
- Prior art date
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Links
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Braking Arrangements (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】スライド部を簡便に他の部材に取着することが
可能なアクチュエータを提供すること。 【構成】リニアアクチュエータ10は、直方体状を呈す
るハウジング12と、前記ハウジング12の長手方向に
沿って相対的に変位するスライドロッド14と、前記ス
ライドロッド14の両端部に形成された矩形状の複数の
取付面19とを備える。
可能なアクチュエータを提供すること。 【構成】リニアアクチュエータ10は、直方体状を呈す
るハウジング12と、前記ハウジング12の長手方向に
沿って相対的に変位するスライドロッド14と、前記ス
ライドロッド14の両端部に形成された矩形状の複数の
取付面19とを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアクチュエータに関し、
一層詳細には、U相、V相、W相を有する周波数可変の
交番電流によって直線方向の移動速度を制御し、且つ距
離を制御することが可能なアクチュエータに関する。
一層詳細には、U相、V相、W相を有する周波数可変の
交番電流によって直線方向の移動速度を制御し、且つ距
離を制御することが可能なアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ロボットに代表される自動機械の
技術的発展の中で、正確な直線運動を遂行するリニアア
クチュエータの重要性が益々認識され顕在化されつつあ
る。特に、高精度の位置決め精度が要求される組立ロボ
ットのワーク搬送用リニアアクチュエータが広範囲に使
用されつつある。
技術的発展の中で、正確な直線運動を遂行するリニアア
クチュエータの重要性が益々認識され顕在化されつつあ
る。特に、高精度の位置決め精度が要求される組立ロボ
ットのワーク搬送用リニアアクチュエータが広範囲に使
用されつつある。
【0003】これらのリニアアクチュエータには、前述
のように、位置精度の正確性はもとより、信頼性、高寿
命性、小型性、作動力の均一性、移動方向の容易な転換
性、高い曲げ剛性等、種々の特性を有することが要求さ
れる。
のように、位置精度の正確性はもとより、信頼性、高寿
命性、小型性、作動力の均一性、移動方向の容易な転換
性、高い曲げ剛性等、種々の特性を有することが要求さ
れる。
【0004】これらの要求に応えるために、従来より種
々のリニアアクチュエータが提案されている。その一例
として特公昭56−14883号に開示された装置があ
る。この先行技術としてのリニアアクチュエータでは、
ハウジング内周の長手方向にリニアボールベアリングを
配設し、且つ当該ベアリングに係接してシリンダが組み
込まれるスライドロッドを配設し、当該スライドロッド
を軸線方向に摺動させるため、ハウジングの適当な個所
に複数個のオリフィスを設け、油圧または空気圧等によ
り前記スライドロッドに作動力を付与して位置精度や摺
動の円滑性を達成している。
々のリニアアクチュエータが提案されている。その一例
として特公昭56−14883号に開示された装置があ
る。この先行技術としてのリニアアクチュエータでは、
ハウジング内周の長手方向にリニアボールベアリングを
配設し、且つ当該ベアリングに係接してシリンダが組み
込まれるスライドロッドを配設し、当該スライドロッド
を軸線方向に摺動させるため、ハウジングの適当な個所
に複数個のオリフィスを設け、油圧または空気圧等によ
り前記スライドロッドに作動力を付与して位置精度や摺
動の円滑性を達成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
に係るリニアアクチュエータに設けられたリニアボール
ベアリングは、スライドロッドを軸線方向に沿って円滑
に摺動させる機能を営むものであり、確実にスライドロ
ッドを制動する機能を発揮するものではない。
に係るリニアアクチュエータに設けられたリニアボール
ベアリングは、スライドロッドを軸線方向に沿って円滑
に摺動させる機能を営むものであり、確実にスライドロ
ッドを制動する機能を発揮するものではない。
【0006】また、前記リニアアクチュエータでは前記
リニアアクチュエータとは別個に制動装置を必要とする
ため、装置全体として大型化し、さらに、経済性にも難
点がある等、種々の不都合が内在している。
リニアアクチュエータとは別個に制動装置を必要とする
ため、装置全体として大型化し、さらに、経済性にも難
点がある等、種々の不都合が内在している。
【0007】さらに、当該リニアアクチュエータは油圧
や空気圧に係る作動力により位置精度が保持されている
ので、油圧や空気圧等に係る制動装置の電源が断の際に
は前記スライドロッドが制動不能の状態となり、特に、
電源の瞬断時に確実に安全性を確保することが困難とな
り、さらに誤動作を惹起するおそれが存在する等、種々
の難点が指摘されている。
や空気圧に係る作動力により位置精度が保持されている
ので、油圧や空気圧等に係る制動装置の電源が断の際に
は前記スライドロッドが制動不能の状態となり、特に、
電源の瞬断時に確実に安全性を確保することが困難とな
り、さらに誤動作を惹起するおそれが存在する等、種々
の難点が指摘されている。
【0008】本発明は前記の不都合を悉く克服するため
になされたものであって、交番電流によってスライド部
を駆動するアクチュエータにおいて、別個に制動装置を
設けることなく、前記スライド部を制御および停止させ
ることができるとともに、前記スライド部を簡便に他の
部材に取り付けることが可能なアクチュエータを提供す
ることを目的とする。
になされたものであって、交番電流によってスライド部
を駆動するアクチュエータにおいて、別個に制動装置を
設けることなく、前記スライド部を制御および停止させ
ることができるとともに、前記スライド部を簡便に他の
部材に取り付けることが可能なアクチュエータを提供す
ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、U相、V相、W相を有する周波数可変
の交番電流によってスライド部の直線方向の移動速度を
制御し、且つ距離を制御するアクチュエータにおいて、
同一電磁力発生コイルによって前記スライド部の制動お
よび停止を行うとともに、前記停止状態を保持し、ハウ
ジングはリニアベアリングとキャップ部材とを有し、さ
らに、前記ハウジングは直方体状を呈し前記スライド部
の端部には矩形状の複数の取付面を有することを特徴と
する。
めに、本発明は、U相、V相、W相を有する周波数可変
の交番電流によってスライド部の直線方向の移動速度を
制御し、且つ距離を制御するアクチュエータにおいて、
同一電磁力発生コイルによって前記スライド部の制動お
よび停止を行うとともに、前記停止状態を保持し、ハウ
ジングはリニアベアリングとキャップ部材とを有し、さ
らに、前記ハウジングは直方体状を呈し前記スライド部
の端部には矩形状の複数の取付面を有することを特徴と
する。
【0010】
【作用】同一電磁力発生コイルによって、スライド部を
制動および停止させ、且つ前記停止状態を保持すること
ができる。従って、アクチュエータとは別個に制動装置
を設ける必要がない。
制動および停止させ、且つ前記停止状態を保持すること
ができる。従って、アクチュエータとは別個に制動装置
を設ける必要がない。
【0011】また、前記スライド部は、矩形状の取付面
を介して簡便に他の部材に取着される。
を介して簡便に他の部材に取着される。
【0012】
【実施例】次に、本発明に係るアクチュエータについて
好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳
細に説明する。
好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳
細に説明する。
【0013】図1は本発明の一実施例であって、1本の
スライドロッドを有するリニアアクチュエータの斜視図
を示す。すなわち、図1において、参照符号10はリニ
アアクチュエータを示し、当該リニアアクチュエータ1
0は基本的には直方体状のハウジング12とアルミニウ
ムまたは銅等の導体で構成されるスライドロッド14と
からなる。そして、ハウジング12には電気信号を入力
する接点16a乃至16cが端子台18上に取着されて
いる。前記スライドロッド14の長手方向に沿った両端
部には、矩形状の複数の取付面19が形成されている。
スライドロッドを有するリニアアクチュエータの斜視図
を示す。すなわち、図1において、参照符号10はリニ
アアクチュエータを示し、当該リニアアクチュエータ1
0は基本的には直方体状のハウジング12とアルミニウ
ムまたは銅等の導体で構成されるスライドロッド14と
からなる。そして、ハウジング12には電気信号を入力
する接点16a乃至16cが端子台18上に取着されて
いる。前記スライドロッド14の長手方向に沿った両端
部には、矩形状の複数の取付面19が形成されている。
【0014】一方、図2に前記リニアアクチュエータ1
0の側断面図を示す。図2において、図1で示す構成要
素と同一の構成要素には同一の参照符号を付しその詳細
な説明を省略する。
0の側断面図を示す。図2において、図1で示す構成要
素と同一の構成要素には同一の参照符号を付しその詳細
な説明を省略する。
【0015】そこで、図2において、参照符号20a乃
至20nは磁性体で構成されるブレーキシューであっ
て、当該ブレーキシュー20a乃至20nは夫々ばね2
2a乃至22nの一端側に係着され、当該ばね22a乃
至22nの他端側は磁性体で構成される鉄芯24に係止
される。そして、当該鉄芯24にはドーナツ形状のコイ
ル26a乃至26fが埋設されると共に、前記ハウジン
グ12に内装されている。
至20nは磁性体で構成されるブレーキシューであっ
て、当該ブレーキシュー20a乃至20nは夫々ばね2
2a乃至22nの一端側に係着され、当該ばね22a乃
至22nの他端側は磁性体で構成される鉄芯24に係止
される。そして、当該鉄芯24にはドーナツ形状のコイ
ル26a乃至26fが埋設されると共に、前記ハウジン
グ12に内装されている。
【0016】次に、ハウジング12の両端部には矩形状
のキャップ部材28を係着し、さらに前記キャップ部材
28の中央部に画成された円孔にリング部材29を嵌合
する。前記リング部材29に画成された孔部にスライド
ロッド14が嵌挿される。ここで、リング部材29のス
ライドロッド14が嵌合する孔部には必要に応じてリニ
アボールベアリングを配設してもよい。また、図示はし
ないが前記ドーナツ型コイル26a乃至26fは後述す
る所定の結線態様に接続された上で前記電気信号入力接
点16a乃至16cと接続される。
のキャップ部材28を係着し、さらに前記キャップ部材
28の中央部に画成された円孔にリング部材29を嵌合
する。前記リング部材29に画成された孔部にスライド
ロッド14が嵌挿される。ここで、リング部材29のス
ライドロッド14が嵌合する孔部には必要に応じてリニ
アボールベアリングを配設してもよい。また、図示はし
ないが前記ドーナツ型コイル26a乃至26fは後述す
る所定の結線態様に接続された上で前記電気信号入力接
点16a乃至16cと接続される。
【0017】図3は図2のIII−III線横断面図で
ある。この図では本実施例におけるブレーキシュー20
は断面縦断面扇形状の4面構成であることが諒解され
る。
ある。この図では本実施例におけるブレーキシュー20
は断面縦断面扇形状の4面構成であることが諒解され
る。
【0018】本発明の実施例に係るリニアアクチュエー
タは基本的には以上のように構成されるものであり、次
にその作用並びに効果について説明する。
タは基本的には以上のように構成されるものであり、次
にその作用並びに効果について説明する。
【0019】図1乃至図3から容易に諒解されるよう
に、本実施例に係るリニアアクチュエータ10におい
て、スライドロッド14とハウジング12は相互に摺動
可能である。すなわち、本実施例においてハウジング1
2を固定するか、スライドロッド14を固定するかは利
用者の必要に応じて適宜選択可能であり、その場合、固
定された構成要素に対し他方の構成要素を移動体として
利用することが可能である。ここでは説明の便宜のた
め、ハウジング12が図示しない固定体に固定されてい
るものとする。
に、本実施例に係るリニアアクチュエータ10におい
て、スライドロッド14とハウジング12は相互に摺動
可能である。すなわち、本実施例においてハウジング1
2を固定するか、スライドロッド14を固定するかは利
用者の必要に応じて適宜選択可能であり、その場合、固
定された構成要素に対し他方の構成要素を移動体として
利用することが可能である。ここでは説明の便宜のた
め、ハウジング12が図示しない固定体に固定されてい
るものとする。
【0020】ところで、図2に示すハウジング12の内
周にドーナツ型コイル26a乃至26fを配設した構成
において、スライドロッド14を左右に移動させるため
にはスライドロッド14に電磁力を与えればよい。これ
はドーナツ型コイル26a乃至26fに適切な交番電流
を通ずることによって可能である。そこで、次に当該ド
ーナツ型コイル26a乃至26fに適切な交番電流を通
ずることにより誘起される電磁力の作用方向について考
察する。
周にドーナツ型コイル26a乃至26fを配設した構成
において、スライドロッド14を左右に移動させるため
にはスライドロッド14に電磁力を与えればよい。これ
はドーナツ型コイル26a乃至26fに適切な交番電流
を通ずることによって可能である。そこで、次に当該ド
ーナツ型コイル26a乃至26fに適切な交番電流を通
ずることにより誘起される電磁力の作用方向について考
察する。
【0021】先ず、図2に示すドーナツ型コイル26a
乃至26fを図4aに示すように結線する。図4aの回
路接続図において、参照符号40a乃至40lは所定温
度によって溶解するヒューズであり、リニアアクチュエ
ータ10をコイルの焼損等から保護するものであるが、
これらは本発明の主旨でないので詳述しない。
乃至26fを図4aに示すように結線する。図4aの回
路接続図において、参照符号40a乃至40lは所定温
度によって溶解するヒューズであり、リニアアクチュエ
ータ10をコイルの焼損等から保護するものであるが、
これらは本発明の主旨でないので詳述しない。
【0022】ここで、上記結線を理解し易くするため
に、回路接続図を図4bのように並べ変えて整理する。
この図4bの回路接続図から容易に諒解できるように、
当該回路は3相交流におけるΔ結線負荷と等価な回路で
ある。そこで、図4aに示すように、接点16a乃至1
6cに対称3相交流電源36を接続する。なお、ここで
参照符号Eは対称3相交流電源36の接地を表す。
に、回路接続図を図4bのように並べ変えて整理する。
この図4bの回路接続図から容易に諒解できるように、
当該回路は3相交流におけるΔ結線負荷と等価な回路で
ある。そこで、図4aに示すように、接点16a乃至1
6cに対称3相交流電源36を接続する。なお、ここで
参照符号Eは対称3相交流電源36の接地を表す。
【0023】次に、当該対称3相交流電源36からの電
流がドーナツ型コイル26a乃至26fに通電された時
のスライドロッド14に対して鎖交する磁束の方向、同
様に第1スライドロッド14に発生する渦電流の方向並
びにこれら磁束と渦電流により発生する電磁力、所謂、
ローレンツ力の方向について説明する。
流がドーナツ型コイル26a乃至26fに通電された時
のスライドロッド14に対して鎖交する磁束の方向、同
様に第1スライドロッド14に発生する渦電流の方向並
びにこれら磁束と渦電流により発生する電磁力、所謂、
ローレンツ力の方向について説明する。
【0024】対称3相交流は任意の1相の電力の周期を
Tとすれば、他の相の起電力は波形が同一で時間的にT
/3、2T/3だけ遅れて同じ経過を繰り返すことにな
る。そこで、今、T=3t1 として時刻t1 、2t1 、
3t1 時におけるドーナツ型コイル26a乃至26fに
よって生じる磁界の向きを巨視的に示せば、図4aの上
方に描いた磁力線の方向で表される。この図4aの上方
に描いた磁界の方向図において、符号Sは磁石のS極を
表し、符号Nは磁石のN極を表す。そして、S極とN極
の間に記入されている矢印は磁力線の向きを表す。
Tとすれば、他の相の起電力は波形が同一で時間的にT
/3、2T/3だけ遅れて同じ経過を繰り返すことにな
る。そこで、今、T=3t1 として時刻t1 、2t1 、
3t1 時におけるドーナツ型コイル26a乃至26fに
よって生じる磁界の向きを巨視的に示せば、図4aの上
方に描いた磁力線の方向で表される。この図4aの上方
に描いた磁界の方向図において、符号Sは磁石のS極を
表し、符号Nは磁石のN極を表す。そして、S極とN極
の間に記入されている矢印は磁力線の向きを表す。
【0025】この時、先ず、前記鉄芯24には前記磁力
線を形成する磁極が現れるので、当該磁極により前記磁
性体で構成されるブレーキシュー20a乃至20n等は
前記鉄芯24に吸引される。この吸引作用によりブレー
キシュー20a乃至20n等はスライドロッド14から
離脱するので、スライドロッド14は摺動自在となる。
線を形成する磁極が現れるので、当該磁極により前記磁
性体で構成されるブレーキシュー20a乃至20n等は
前記鉄芯24に吸引される。この吸引作用によりブレー
キシュー20a乃至20n等はスライドロッド14から
離脱するので、スライドロッド14は摺動自在となる。
【0026】一方、図4aの上方に描いた磁力線の方向
から容易に諒解されるように、磁界はスライドロッド1
4の軸心方向に沿って移動するので、この時、渦電流は
当該スライドロッド14に略螺旋状に発生する。この場
合、前記スライドロッド14は軸心方向に電磁力を受
け、その結果、軸心方向に直線運動を遂行することとな
る。なお、スライドロッド14の移動方向、移動速度、
移動距離等は3相電源逆転用開閉機並びに電圧と周波数
が可変の電源装置を用意すれば容易に制御可能である。
なお、電源が供給されなくなった時にはブレーキシュー
20aはばね22aにより押圧されてスライドロッド1
4を制動させる。
から容易に諒解されるように、磁界はスライドロッド1
4の軸心方向に沿って移動するので、この時、渦電流は
当該スライドロッド14に略螺旋状に発生する。この場
合、前記スライドロッド14は軸心方向に電磁力を受
け、その結果、軸心方向に直線運動を遂行することとな
る。なお、スライドロッド14の移動方向、移動速度、
移動距離等は3相電源逆転用開閉機並びに電圧と周波数
が可変の電源装置を用意すれば容易に制御可能である。
なお、電源が供給されなくなった時にはブレーキシュー
20aはばね22aにより押圧されてスライドロッド1
4を制動させる。
【0027】図5は本発明の他の実施例のリニアアクチ
ュエータの断面図であって、参照符号52は磁性体で構
成される移動部材であり、当該移動部材52にはクマド
リコイル50が埋設されると共に、ばね22により鉄芯
24と当接する。
ュエータの断面図であって、参照符号52は磁性体で構
成される移動部材であり、当該移動部材52にはクマド
リコイル50が埋設されると共に、ばね22により鉄芯
24と当接する。
【0028】そこで、非通電時にはばね22の反発力に
より当該移動部材52は矢印A方向にボールベアリング
58a、58bと摺接しながら移動する。そして、ブレ
ーキシュー56上を滑動自在に配設されたコロ部材54
がキャップ部材28cの突起部28dに当接すると、前
記コロ部材54は移動部材52からスライドロッド14
に対して法線方向の力を受け、当該法線方向の圧力によ
りブレーキシュー56はスライドロッド14と当接す
る。その結果、摩擦力によりスライドロッド14が制動
される。
より当該移動部材52は矢印A方向にボールベアリング
58a、58bと摺接しながら移動する。そして、ブレ
ーキシュー56上を滑動自在に配設されたコロ部材54
がキャップ部材28cの突起部28dに当接すると、前
記コロ部材54は移動部材52からスライドロッド14
に対して法線方向の力を受け、当該法線方向の圧力によ
りブレーキシュー56はスライドロッド14と当接す
る。その結果、摩擦力によりスライドロッド14が制動
される。
【0029】そして、通電時には前記移動部材52は鉄
芯24に吸引される力を受け、この時、スライドロッド
14は摺動自在となる。
芯24に吸引される力を受け、この時、スライドロッド
14は摺動自在となる。
【0030】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、同一電
磁力発生コイルによってスライド部の制動等を行うこと
ができる。このため、アクチュエータとは別個に制動装
置を設ける必要がなく、製造コストを抑制し且つ小型・
軽量化を計ることができる。
磁力発生コイルによってスライド部の制動等を行うこと
ができる。このため、アクチュエータとは別個に制動装
置を設ける必要がなく、製造コストを抑制し且つ小型・
軽量化を計ることができる。
【0031】また、矩形状の取付面によって、スライド
部を簡便に他の部材に取着することができる。
部を簡便に他の部材に取着することができる。
【図1】本発明の一実施例に係るリニアアクチュエータ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図2】図1に示すニアアクチュエータの側断面図であ
る。
る。
【図3】図2のIII−III線横断面図である。
【図4】リニアアクチュエータを駆動する概略電気回路
図である。
図である。
【図5】リニアアクチュエータの他の実施例の縦断面図
である。
である。
10…リニアアクチュエータ 12…ハウジング 14…スライドロッド 16a〜16c…
接点 20…ブレーキシュー 22a〜22n…
ばね 24…鉄芯 26a〜26f…
コイル 36…対称3相交流電源
接点 20…ブレーキシュー 22a〜22n…
ばね 24…鉄芯 26a〜26f…
コイル 36…対称3相交流電源
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成7年6月28日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、U相、V相、W相を有する周波数可変
の交番電流によってスライド部の直線方向の移動速度を
制御し、且つ距離を制御するアクチュエータにおいて、
電磁力発生コイルへの電流を操作し前記スライド部の制
動および停止を行うとともに、前記停止状態を保持し、
ハウジングはリニアベアリングとキャップ部材とを有
し、さらに、前記ハウジングは直方体状を呈し前記スラ
イド部の端部には矩形状の複数の取付面を有することを
特徴とする。
めに、本発明は、U相、V相、W相を有する周波数可変
の交番電流によってスライド部の直線方向の移動速度を
制御し、且つ距離を制御するアクチュエータにおいて、
電磁力発生コイルへの電流を操作し前記スライド部の制
動および停止を行うとともに、前記停止状態を保持し、
ハウジングはリニアベアリングとキャップ部材とを有
し、さらに、前記ハウジングは直方体状を呈し前記スラ
イド部の端部には矩形状の複数の取付面を有することを
特徴とする。
Claims (1)
- 【請求項1】U相、V相、W相を有する周波数可変の交
番電流によってスライド部の直線方向の移動速度を制御
し、且つ距離を制御するアクチュエータにおいて、 同一電磁力発生コイルによって前記スライド部の制動お
よび停止を行うとともに、前記停止状態を保持し、ハウ
ジングはリニアベアリングとキャップ部材とを有し、さ
らに、前記ハウジングは直方体状を呈し前記スライド部
の端部には矩形状の複数の取付面を有することを特徴と
するアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130878A JP2832164B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130878A JP2832164B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | リニアアクチュエータ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61307520A Division JP2675547B2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | リニアアクチユエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819244A true JPH0819244A (ja) | 1996-01-19 |
| JP2832164B2 JP2832164B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15044812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7130878A Expired - Fee Related JP2832164B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2832164B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006311666A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Miki Pulley Co Ltd | 直動アクチュエータの停止保持装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49138314U (ja) * | 1973-03-29 | 1974-11-28 | ||
| JPS49133811A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-23 | ||
| JPS5284608U (ja) * | 1975-12-19 | 1977-06-24 | ||
| JPS5312506U (ja) * | 1976-07-14 | 1978-02-02 | ||
| JPS61117590U (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-24 | ||
| JPS63163042A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-06 | Smc Corp | リニアアクチユエ−タ |
-
1995
- 1995-05-29 JP JP7130878A patent/JP2832164B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006311666A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Miki Pulley Co Ltd | 直動アクチュエータの停止保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2832164B2 (ja) | 1998-12-02 |
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