JPH08194066A - 静電センサー - Google Patents
静電センサーInfo
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- JPH08194066A JPH08194066A JP651195A JP651195A JPH08194066A JP H08194066 A JPH08194066 A JP H08194066A JP 651195 A JP651195 A JP 651195A JP 651195 A JP651195 A JP 651195A JP H08194066 A JPH08194066 A JP H08194066A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 abstract 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 7
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V3/00—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation
- G01V3/08—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices
- G01V3/088—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation operating with magnetic or electric fields produced or modified by objects or geological structures or by detecting devices operating with electric fields
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Geophysics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Pinball Game Machines (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサー電極の有効面積を広く確保して物体
が小さい場合等であっても物体の通過を確実に検出で
き、しかも特別な部材を設けることなく外来ノイズによ
る誤動作を防止できる静電センサーを提供する。 【構成】 グランド電極１１がケース１０の物体が通過
可能な貫通孔を１１ｃ、１１ｅを有するケース状に形成
されているとともに、センサー電極１２が円筒状に形成
されてその内部を物体が通過するようにグランド電極１
１の内部に挿置されている。
が小さい場合等であっても物体の通過を確実に検出で
き、しかも特別な部材を設けることなく外来ノイズによ
る誤動作を防止できる静電センサーを提供する。 【構成】 グランド電極１１がケース１０の物体が通過
可能な貫通孔を１１ｃ、１１ｅを有するケース状に形成
されているとともに、センサー電極１２が円筒状に形成
されてその内部を物体が通過するようにグランド電極１
１の内部に挿置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサー電極とグラン
ド電極とを有し、当該両電極間の静電容量の変化に基づ
いて物体の通過を検出する静電センサーに関する。
ド電極とを有し、当該両電極間の静電容量の変化に基づ
いて物体の通過を検出する静電センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】物体の通過を検出するセンサーとして
は、物体が通過する部分の周囲に検出コイルを設け、物
体が通過したときに検出コイルのインダクタンスの変化
に基づいて物体の通過を検出する高周波発振型のものが
あるが、この場合には、検出物が金属に限られ、プラス
チックや木材等の非金属の物体の通過を検出できない。
そこで、静電容量型の静電センサーを用いて物体の通過
をその材質を問わず検出することが考えられる。
は、物体が通過する部分の周囲に検出コイルを設け、物
体が通過したときに検出コイルのインダクタンスの変化
に基づいて物体の通過を検出する高周波発振型のものが
あるが、この場合には、検出物が金属に限られ、プラス
チックや木材等の非金属の物体の通過を検出できない。
そこで、静電容量型の静電センサーを用いて物体の通過
をその材質を問わず検出することが考えられる。
【０００３】例えば、図５に示されるように箱状のケー
ス１に物体が通過可能な貫通孔２を形成し、このケース
１の内部にセンサー電極３とグランド電極４とを物体が
貫通孔２を通して両者の間を通過するように所定の距離
だけ離して対向させた状態で挿置するとともに、これら
と共にセンサー基板５をケース１の内部に挿置し、セン
サー基板５の検出回路により、センサー電極３とグラン
ド電極４との間の静電容量の変化に基づいて物体の通過
を検出することが考えられる。
ス１に物体が通過可能な貫通孔２を形成し、このケース
１の内部にセンサー電極３とグランド電極４とを物体が
貫通孔２を通して両者の間を通過するように所定の距離
だけ離して対向させた状態で挿置するとともに、これら
と共にセンサー基板５をケース１の内部に挿置し、セン
サー基板５の検出回路により、センサー電極３とグラン
ド電極４との間の静電容量の変化に基づいて物体の通過
を検出することが考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
静電センサーでは、センサー電極３とグランド電極４と
を物体が貫通孔２を通して両者の間を通過するように所
定の距離だけ離して対向させた状態でケース１の内部に
挿置した構成であるので、その構造上、センサー電極３
の有効面積を広く確保できず、このため検出距離が短
く、特に物体が小さい場合等に物体の通過を検出できな
かったり、またセンサー電極３が外来ノイズの影響を受
けて誤動作しやすく、センサー電極３の周囲に特別な部
材を設けて外来ノイズによる誤動作を防止する必要があ
るという問題がある。
静電センサーでは、センサー電極３とグランド電極４と
を物体が貫通孔２を通して両者の間を通過するように所
定の距離だけ離して対向させた状態でケース１の内部に
挿置した構成であるので、その構造上、センサー電極３
の有効面積を広く確保できず、このため検出距離が短
く、特に物体が小さい場合等に物体の通過を検出できな
かったり、またセンサー電極３が外来ノイズの影響を受
けて誤動作しやすく、センサー電極３の周囲に特別な部
材を設けて外来ノイズによる誤動作を防止する必要があ
るという問題がある。
【０００５】そこで、本発明は、物体が小さい場合等で
あっても物体の通過を確実に検出でき、しかも特別な部
材を設けることなく外来ノイズによる誤動作を防止でき
る静電センサーを提供することを目的とする。
あっても物体の通過を確実に検出でき、しかも特別な部
材を設けることなく外来ノイズによる誤動作を防止でき
る静電センサーを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、グランド電極
とセンサー電極とを有し、当該両電極間の静電容量の変
化に基づいて物体の通過を検出する静電センサーであっ
て、グランド電極を物体が通過可能な貫通孔を有するケ
ース状に形成するとともに、センサー電極を筒状に形成
してその内部を物体が通過するようにグランド電極の内
部に挿置したことを特徴としている。
とセンサー電極とを有し、当該両電極間の静電容量の変
化に基づいて物体の通過を検出する静電センサーであっ
て、グランド電極を物体が通過可能な貫通孔を有するケ
ース状に形成するとともに、センサー電極を筒状に形成
してその内部を物体が通過するようにグランド電極の内
部に挿置したことを特徴としている。
【０００７】グランド電極の内部には、センサー電極と
グランド電極との間の静電容量の変化に基づいて物体の
通過を検出する検出回路を内蔵するセンサー基板を挿置
することが望ましい。
グランド電極との間の静電容量の変化に基づいて物体の
通過を検出する検出回路を内蔵するセンサー基板を挿置
することが望ましい。
【０００８】
【実施例】以下、本発明が適用された静電センサーを図
面に基づいて説明する。この静電センサーでは、図１乃
至図３に示されるように矩形箱状のケース１０が設けら
れ、このケース１０の内部にグランド電極１１とセンサ
ー電極１２とセンサー基板１３とが挿置されている。
面に基づいて説明する。この静電センサーでは、図１乃
至図３に示されるように矩形箱状のケース１０が設けら
れ、このケース１０の内部にグランド電極１１とセンサ
ー電極１２とセンサー基板１３とが挿置されている。
【０００９】ケース１０はプラスチック等の絶縁材で形
成され、図４にも示されるように上面の開口した矩形箱
状の下ケース１０ａと、下ケース１０ａの上面開口を塞
ぐ蓋板状の上ケース１０ｂとで構成されている。下ケー
ス１０ａの底壁には、貫通孔１０ｃを有する円筒状部１
０ｄが突出形成され、この円筒状部１０ｄの突出高さは
下ケース１０ａの側壁と同程度となっている。上ケース
１０ｂは下ケース１０ａにビス等により着脱可能に取り
付けられて必要に応じて取り外し可能となっているとと
もに、貫通孔１０ｃと同心的に位置する貫通孔１０ｅが
形成されている。貫通孔１０ｃと貫通孔１０ｅとは、共
に物体が通過可能な大きさとなっている。
成され、図４にも示されるように上面の開口した矩形箱
状の下ケース１０ａと、下ケース１０ａの上面開口を塞
ぐ蓋板状の上ケース１０ｂとで構成されている。下ケー
ス１０ａの底壁には、貫通孔１０ｃを有する円筒状部１
０ｄが突出形成され、この円筒状部１０ｄの突出高さは
下ケース１０ａの側壁と同程度となっている。上ケース
１０ｂは下ケース１０ａにビス等により着脱可能に取り
付けられて必要に応じて取り外し可能となっているとと
もに、貫通孔１０ｃと同心的に位置する貫通孔１０ｅが
形成されている。貫通孔１０ｃと貫通孔１０ｅとは、共
に物体が通過可能な大きさとなっている。
【００１０】グランド電極１１は、ケース状に形成され
てケース１０の内面にケース１０の外形に沿って配設さ
れているとともに物体がケース１０の円筒状部１０ｄを
ガイドとして通過可能となっている。すなわち、グラン
ド電極１１は、下ケース１０ａの底壁内面に接合固着す
る第１の電極１１ａと、上ケース１０ｂの内面に接合固
着する第２の電極１１ｂとで構成されている。そして、
第１の電極１１ａには、円筒状部１０ｄの基部が貫通す
る貫通孔１１ｃが形成されているとともに、周囲に下ケ
ース１０ａの各側壁内面に沿って立ち上がりその先端部
で第２の電極１１ｂに接する立上片１１ｄが形成されて
いる。また、第２の電極１１ｂには、円筒状部１０ｄの
先端部が貫通する貫通孔１１ｅが形成されており、物体
がケース１０の円筒状部１０ｄをガイドとして貫通孔１
１ｃ、１１ｅを通して通過可能となっている。
てケース１０の内面にケース１０の外形に沿って配設さ
れているとともに物体がケース１０の円筒状部１０ｄを
ガイドとして通過可能となっている。すなわち、グラン
ド電極１１は、下ケース１０ａの底壁内面に接合固着す
る第１の電極１１ａと、上ケース１０ｂの内面に接合固
着する第２の電極１１ｂとで構成されている。そして、
第１の電極１１ａには、円筒状部１０ｄの基部が貫通す
る貫通孔１１ｃが形成されているとともに、周囲に下ケ
ース１０ａの各側壁内面に沿って立ち上がりその先端部
で第２の電極１１ｂに接する立上片１１ｄが形成されて
いる。また、第２の電極１１ｂには、円筒状部１０ｄの
先端部が貫通する貫通孔１１ｅが形成されており、物体
がケース１０の円筒状部１０ｄをガイドとして貫通孔１
１ｃ、１１ｅを通して通過可能となっている。
【００１１】センサー電極１２は、円筒状に形成されて
ケース１０の円筒状部１０ｄの外周に嵌合し、物体がケ
ース１０の円筒状部１０ｄをガイドとしてグランド電極
１１の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通して内部を通過するよ
うにグランド電極１１の内部に挿置されている。センサ
ー電極１２とグランド電極１１とは、所定の距離だけ離
反されている。すなわち、センサー電極１２の下端が円
筒状部１０ｄの基部よりも若干上方に位置してセンサー
電極１２と第１の電極１１ａとが所定の距離だけ離反さ
れているとともに、第２の電極１１ｂの貫通孔１１ｅが
センサー電極１２の外径よりも大きく形成されてセンサ
ー電極１２と第２の電極１１ｂとが所定の距離だけ離反
されている。
ケース１０の円筒状部１０ｄの外周に嵌合し、物体がケ
ース１０の円筒状部１０ｄをガイドとしてグランド電極
１１の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通して内部を通過するよ
うにグランド電極１１の内部に挿置されている。センサ
ー電極１２とグランド電極１１とは、所定の距離だけ離
反されている。すなわち、センサー電極１２の下端が円
筒状部１０ｄの基部よりも若干上方に位置してセンサー
電極１２と第１の電極１１ａとが所定の距離だけ離反さ
れているとともに、第２の電極１１ｂの貫通孔１１ｅが
センサー電極１２の外径よりも大きく形成されてセンサ
ー電極１２と第２の電極１１ｂとが所定の距離だけ離反
されている。
【００１２】センサー基板１３は、センサー電極１２の
側方に位置するようにグランド電極１１の第１の電極１
１ａの内面に図示しない固定手段を介して取り付けら
れ、センサー電極１２と共にグランド電極１１の内部に
挿置されている。センサー基板１３は、接続コード１４
を介してグランド電極１１と接続されているとともに、
接続コード１５を介してセンサー電極１２と接続され、
かつ入出力コード１６が接続されている。入出力コード
１６はグランド電極１１の立上片１１ｄおよび下ケース
１０ａを貫通してケース１０の外側に取り出されてい
る。入出力コード１６には、所定本数のリード線が設け
られ、これらのリード線を介してケース１０の外側で電
源および図示しない制御装置に接続されている。
側方に位置するようにグランド電極１１の第１の電極１
１ａの内面に図示しない固定手段を介して取り付けら
れ、センサー電極１２と共にグランド電極１１の内部に
挿置されている。センサー基板１３は、接続コード１４
を介してグランド電極１１と接続されているとともに、
接続コード１５を介してセンサー電極１２と接続され、
かつ入出力コード１６が接続されている。入出力コード
１６はグランド電極１１の立上片１１ｄおよび下ケース
１０ａを貫通してケース１０の外側に取り出されてい
る。入出力コード１６には、所定本数のリード線が設け
られ、これらのリード線を介してケース１０の外側で電
源および図示しない制御装置に接続されている。
【００１３】センサー基板１３には、図示しない制御装
置から入出力コード１６を介して検出命令信号が入力さ
れ、この検出命令信号の入力により、物体がケース１０
の円筒状部１０ｄをガイドとしてグランド電極１１の貫
通孔１１ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を
通過したときにセンサー電極１２とグランド電極１１と
の間の静電容量の変化に基づいて物体の通過を検出する
とともに、この検出信号を入出力コード１６を介して図
示しない制御装置に出力する検出回路が内蔵されてい
る。
置から入出力コード１６を介して検出命令信号が入力さ
れ、この検出命令信号の入力により、物体がケース１０
の円筒状部１０ｄをガイドとしてグランド電極１１の貫
通孔１１ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を
通過したときにセンサー電極１２とグランド電極１１と
の間の静電容量の変化に基づいて物体の通過を検出する
とともに、この検出信号を入出力コード１６を介して図
示しない制御装置に出力する検出回路が内蔵されてい
る。
【００１４】次に作用を説明する。物体がケース１０の
貫通孔１０ｃ、１０ｅを通過するようにケース１０を物
体の通路上に設置すれば、ケース１０の円筒状部１０ｄ
をガイドとして物体がグランド電極１１の貫通孔１１
ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を通過可能
となり、この設置状態において図示しない制御装置から
センサー基板１３の検出回路に検出命令信号を入力すれ
ば、センサー基板１３の検出回路により、ケース１０の
円筒状部１０ｄをガイドとして物体がグランド電極１１
の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内
部を通過したときにセンサー電極１２とグランド電極１
１との間の静電容量の変化に基づいて物体の通過が検出
されるとともに、この検出信号が入出力コード１６を介
して図示しない制御装置に出力される。
貫通孔１０ｃ、１０ｅを通過するようにケース１０を物
体の通路上に設置すれば、ケース１０の円筒状部１０ｄ
をガイドとして物体がグランド電極１１の貫通孔１１
ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を通過可能
となり、この設置状態において図示しない制御装置から
センサー基板１３の検出回路に検出命令信号を入力すれ
ば、センサー基板１３の検出回路により、ケース１０の
円筒状部１０ｄをガイドとして物体がグランド電極１１
の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内
部を通過したときにセンサー電極１２とグランド電極１
１との間の静電容量の変化に基づいて物体の通過が検出
されるとともに、この検出信号が入出力コード１６を介
して図示しない制御装置に出力される。
【００１５】そして、検出時には、グランド電極１１が
物体が通過可能な貫通孔１１ｃ、１１ｅを有するケース
状に形成されているとともに、センサー電極１２が円筒
状に形成されてその内部を物体が通過するようにグラン
ド電極１１の内部に挿置されているので、センサー電極
１２の有効面積が広く確保されて十分な検出距離が得ら
れ、これにより物体が小さい場合等であっても物体の通
過を確実に検出でき、しかもセンサー電極１２がグラン
ド電極１１で覆われて特別な部材を設けることなく外来
ノイズによる誤動作を防止できる。
物体が通過可能な貫通孔１１ｃ、１１ｅを有するケース
状に形成されているとともに、センサー電極１２が円筒
状に形成されてその内部を物体が通過するようにグラン
ド電極１１の内部に挿置されているので、センサー電極
１２の有効面積が広く確保されて十分な検出距離が得ら
れ、これにより物体が小さい場合等であっても物体の通
過を確実に検出でき、しかもセンサー電極１２がグラン
ド電極１１で覆われて特別な部材を設けることなく外来
ノイズによる誤動作を防止できる。
【００１６】また、センサー基板１３がセンサー電極１
２と共にグランド電極１１の内部に挿置されているの
で、センサー基板１３もセンサー電極１２と共にグラン
ド電極１１で覆われて外来ノイズによる誤動作をより確
実に防止できる。
２と共にグランド電極１１の内部に挿置されているの
で、センサー基板１３もセンサー電極１２と共にグラン
ド電極１１で覆われて外来ノイズによる誤動作をより確
実に防止できる。
【００１７】なお、上記実施例では、グランド電極１１
において、第１の電極１１ａの立上片１１ｄの先端部と
第２の電極１１ｂとを接触させて第１の電極１１ａと第
２の電極１１ｂとを導通させたが、第１の電極１１ａの
立上片１１ｄの先端部と第２の電極１１ｂとの間に隙間
があくように第１の電極１１ａの立上片１１ｄと第２の
電極１１ｂとを構成し、両者をリード線等を介して導通
させるようにしてもよい。
において、第１の電極１１ａの立上片１１ｄの先端部と
第２の電極１１ｂとを接触させて第１の電極１１ａと第
２の電極１１ｂとを導通させたが、第１の電極１１ａの
立上片１１ｄの先端部と第２の電極１１ｂとの間に隙間
があくように第１の電極１１ａの立上片１１ｄと第２の
電極１１ｂとを構成し、両者をリード線等を介して導通
させるようにしてもよい。
【００１８】また、上記実施例では、グランド電極１１
を第１の電極１１ａと第２の電極１１ｂとの２部材でケ
ース状に形成したが、グランド電極１１をケース状に一
体的に形成するようにしてもよい。
を第１の電極１１ａと第２の電極１１ｂとの２部材でケ
ース状に形成したが、グランド電極１１をケース状に一
体的に形成するようにしてもよい。
【００１９】また、上記実施例では、ケース１０に円筒
状部１０ｄを形成し、この円筒状部をガイドとして物体
がグランド電極１１の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通してセ
ンサー電極１２の内部を通過するように構成したが、円
筒状部１０ｄを省略してケース１０の底壁内面に円筒状
のセンサー電極１２をグランド電極１１と接しないよう
に立設する等して物体がグランド電極１１の貫通孔１１
ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を直接的に
通過するように構成してもよい。
状部１０ｄを形成し、この円筒状部をガイドとして物体
がグランド電極１１の貫通孔１１ｃ、１１ｅを通してセ
ンサー電極１２の内部を通過するように構成したが、円
筒状部１０ｄを省略してケース１０の底壁内面に円筒状
のセンサー電極１２をグランド電極１１と接しないよう
に立設する等して物体がグランド電極１１の貫通孔１１
ｃ、１１ｅを通してセンサー電極１２の内部を直接的に
通過するように構成してもよい。
【００２０】また、上記実施例では、センサー電極１２
の側方にセンサー基板１３を配設したが、センサー電極
１２がセンサー基板１３を貫通するように両者を配設す
るようにしてもよい。
の側方にセンサー基板１３を配設したが、センサー電極
１２がセンサー基板１３を貫通するように両者を配設す
るようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る静電
センサーでは、グランド電極を物体が通過可能な貫通孔
を有するケース状に形成するとともに、センサー電極を
筒状に形成してその内部を物体が通過するようにグラン
ド電極の内部に挿置したので、センサー電極の有効面積
が広く確保されて十分な検出距離が得られ、これにより
物体が小さい場合等であっても物体の通過を確実に検出
でき、しかもセンサー電極がグランド電極で覆われて特
別な部材を設けることなく外来ノイズによる誤動作を防
止できる。
センサーでは、グランド電極を物体が通過可能な貫通孔
を有するケース状に形成するとともに、センサー電極を
筒状に形成してその内部を物体が通過するようにグラン
ド電極の内部に挿置したので、センサー電極の有効面積
が広く確保されて十分な検出距離が得られ、これにより
物体が小さい場合等であっても物体の通過を確実に検出
でき、しかもセンサー電極がグランド電極で覆われて特
別な部材を設けることなく外来ノイズによる誤動作を防
止できる。
【００２２】また、グランド電極の内部にセンサー基板
を挿置すれば、センサー基板もセンサー電極と共にグラ
ンド電極で覆われて外来ノイズによる誤動作をより確実
に防止できる。
を挿置すれば、センサー基板もセンサー電極と共にグラ
ンド電極で覆われて外来ノイズによる誤動作をより確実
に防止できる。
【図１】本発明が適用された静電センサーの外観平面図
である。
である。
【図２】ケースの内部構造を示す縦断面図である。
【図３】ケースの内部構造を示す横断面図である。
【図４】上ケースの取外し状態を示す縦断面図である。
【図５】従来構造を示す斜視図である。
１０ ケース １１ グランド電極 １１ｃ 貫通孔 １１ｅ 貫通孔 １２ センサー電極 １３ センサー基板
Claims (2)
- 【請求項１】 グランド電極とセンサー電極とを有し、
当該両電極間の静電容量の変化に基づいて物体の通過を
検出する静電センサーであって、 上記グランド電極を上記物体が通過可能な貫通孔を有す
るケース状に形成するとともに、上記センサー電極を筒
状に形成してその内部を上記物体が通過するように上記
グランド電極の内部に挿置したことを特徴とする静電セ
ンサー。 - 【請求項２】 請求項１において、上記グランド電極の
内部には、上記センサー電極と上記グランド電極との間
の静電容量の変化に基づいて物体の通過を検出する検出
回路を内蔵するセンサー基板が挿置されていることを特
徴とする静電センサー。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP651195A JP2873432B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | 静電センサー |
| DE19601551A DE19601551A1 (de) | 1995-01-19 | 1996-01-17 | Elektrostatischer Sensor |
| US08/588,550 US5949234A (en) | 1995-01-19 | 1996-01-18 | Electrostatic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP651195A JP2873432B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | 静電センサー |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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