JPH08196853A - 異なる選択性を有するメンブレンのカスケードによって高純度ガスを製造するための方法および装置 - Google Patents

異なる選択性を有するメンブレンのカスケードによって高純度ガスを製造するための方法および装置

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JPH08196853A
JPH08196853A JP7232794A JP23279495A JPH08196853A JP H08196853 A JPH08196853 A JP H08196853A JP 7232794 A JP7232794 A JP 7232794A JP 23279495 A JP23279495 A JP 23279495A JP H08196853 A JPH08196853 A JP H08196853A
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アントワーヌ・ビレモ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メンブレンによってガス、特に窒素を製造す
るための改善された方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも２つの連続したメンブレンセ
パレーターを用い、流入混合物を、第１の操作温度で作
動する第１のメンブレンセパレーターを通過させ、この
第１のメンブレンセパレーターで得られた残留混合物の
全て又は一部は、第２の操作温度で作動する第２のメン
ブレンセパレーターを通して、第２のセパレーターの残
留物出口で高純度ガスを得る、流入気相混合物から高純
度ガスを製造するためのメンブレン分離方法である。第
１の操作温度は、第２の操作温度より少なくとも２０
℃、好ましくは４０℃高く、第２のセパレーターの浸透
物側で得られた混合物は、第１のセパレーターの入り口
に戻されることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メンブレンによる
ガスの製造または分離に関する。特に、本発明は、高純
度のガス、例えば窒素を製造することが必要とされる場
合に応用することがきる。
【０００２】
【従来の技術】メンブレンによるガス（特に窒素）の製
造は、世界中において近年著しく発展して、冷熱手段に
よる通常の方法を補足している。これは、次の利点、す
なわち、供給の安全性に優れていること、製造コストが
低いこと、および問題とされている用途に応じて、極め
て注目すべき費用で、適切な純度のガスを供給する可能
性があることがあるからである。
【０００３】この原理は、メンブレンの反対側における
部分的差圧の影響下で、浸透側（ｐｅｒｍｅａｔｅ ｓ
ｉｄｅ）で、最も浸透性の成分に富む低圧混合物が得ら
れ、メンブレンの出口（残留（ｒｅｓｉｄｕｅ ｓｉｄ
ｅ）または排斥（ｒｅｊｅｃｔ）側とも呼ばれる）で、
供給圧力（流入混合物の圧力）に近い圧力で浸透性の低
い成分に富む混合物が得られる。
【０００４】したがって、空気から窒素（しばしば「未
精製」と称されることがある）を製造するために、例え
ば、ポリイミドタイプのような、窒素からの酸素分離特
性（選択性）の良好な半浸透性メンブレンを使用し、酸
素に富む混合物が浸透側に得られる。このメンブレン
は、しばしば「窒素」メンブレンと称される。
【０００５】水素またはＣＯの製造に関しては、ある種
の工業からの混合物の回収が頻繁に行なわれており、例
えば、ポリアラミドタイプのような、混合物の他の成分
に対する水素分離特性の良好な半浸透性メンブレンを使
用し、水素に富む混合物が浸透側に、場合によって、炭
化水素またはＣＯに富んだ混合物が残留側に得られる。
このメンブレンは、しばしば「水素」メンブレンと呼ば
れる。
【０００６】得られる成果が、温度、メンブレンへの供
給圧力、または浸透側で取り出すことが望まれる成分の
混合物における含有量等のメンブレンの使用条件に非常
に大きく依存することが明らかである。
【０００７】温度に関しては、メンブレンの操作温度が
上昇すると、メンブレンの浸透性が最大となり、したが
って生産性が増加するが、その選択性（例えば、Ｏ2 ／
Ｎ2）したがって効率が低下することが多いことも知ら
れている。「メンブレンまたはメンブレンモジュールの
温度」という表現は、メンブレンモジュールの外部加熱
システムまたは温度維持（恒温囲い）の時々の補充的介
入によって、通過する流入ガス温度による、メンブレン
またはモジュール内で得られる温度を意味すると理解さ
れることが多い。
【０００８】したがって、場合に応じて、所望の水準の
成果を得るには、流入ガスは、数十度加熱されるか、そ
の他の場合にはこのガスは、周囲温度以下、あるいは０
℃以下にまでも冷却される。
【０００９】空気から窒素を製造する場合には、メンブ
レンの「出力」は、メンブレンの出口（残留）で回収さ
れる、流入混合物中に存在する窒素の割合を表わし、メ
ンブレンのＯ2 ／Ｎ2 選択性は、それ自体でメンブレン
を通る酸素と窒素との浸透の割合（浸透性（ｐｅｒｍｅ
ａｂｉｌｉｔｙ）ともいわれることが多い）を表わす
（選択性＝浸透性（Ｏ2 ）／浸透性（Ｎ2 ））ことが想
起される。
【００１０】窒素を例に挙げると、超低温製造方法、ま
たは優先吸着による製造方法より優れている一方、高い
流量において、高純度（例えば、残留する不純物濃度が
０．１％未満）で製造しなければならない場合に困難が
生じる。
【００１１】多段階装置を用いた分離を行なうことが提
案されており（ＵＳ−Ａ−４，８９４，０６８，ＵＳ−
Ａ−４，１１９，４１７およびＥＰ−Ａ−５２１７８４
を参照のこと）、これは、単一段階でのプロセスより
も、費用および操作エネルギーの削減を可能にする。こ
れらの文献には、下流の浸透物（または望まれるガスに
応じた残留物）を、上流のメンブレンの入り口に戻すこ
と、または、下流の浸透物によって、上流からの浸透物
を洗い流す（ｓｗｅｅｐ）ことが有利であることが示さ
れている。
【００１２】特にＥＰ−Ａ−５２１７８４に報告されて
いるような、この課題に関する本出願人の研究は、二重
分離段階で分離を行なうことが有利であると、まず第一
に示されている。第１の分離段階は、第２の分離段階よ
りも低い性能を有し、例えば、第１段階からの浸透物
を、第２段階の浸透物で洗い流すことと組み合わせて、
第２の段階よりも高い温度で第１の段階が操作される。
【００１３】本出願人によって行なわれた研究には、そ
れらの方法が通常の単一段階プロセスの改善であるなら
ば、大規模なユニットが必要とされる場合には、その方
法は特に操業費用の点で、まだ十分に優れていないこと
が示されている。その場合、これらの方法は、優先吸着
による製造（ＰＳＡ）等のガス製造の他のカテゴリーに
勝ることはないであろう。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、メン
ブレンによってガス、特に窒素を製造するための改善さ
れた方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本出願人は、少なくとも
２つの連続したメンブレンセパレーターを使用すること
によって、現存する製造方法を改善し得ることを見出だ
した。本発明の方法においては、第２段階の操作温度
は、流入混合物が注入される第１メンブレン段階の操作
温度より低く、第２段階の浸透物は、第１段階の入り口
に戻される。
【００１６】以下の例に示されるように、この配置は、
浸透物をスイープする技術よりも、改善された方法を提
供する。
【００１７】一方、第２の「低温の」浸透物を、第１段
階の入り口に戻すことは、流入混合物を圧縮するために
必要なエネルギー量の削減を可能にし、したがって、ガ
スコンプレッサーのサイズを縮小することができる。逆
にいうと、費用の削減を有利に行なうことができ、一方
で、システムの選択性を改善する。
【００１８】すなわち、高純度ガスをメンブレンによっ
て流入混合物から分離する本発明の方法は、第１の操作
温度で作動する第１のメンブレンセパレーターを通して
流入混合物を通過させ、第１のメンブレンセパレーター
からの残留混合物の全てまたは一部を、第２の操作温度
で作動する第２のメンブレンセパレーターを通して通過
させ、前記第１の操作温度は、第２の操作温度より、少
なくとも２０℃、好ましくは４０℃高く、第２のセパレ
ーターの浸透側で得られた混合物は、第１のセパレータ
ーの入り口に戻されることを特徴とする。
【００１９】本発明においては、「メンブレンセパレー
ター」は、半浸透性メンブレンまたはメンブレンモジュ
ールを意味し、場合によっては、セパレーターに流入す
る混合物に対して抽出が望まれるガスに関する分離特性
を有し、平行に取り付けられた幾つかの半浸透性メンブ
レンの集合体を意味する。
【００２０】例えば、流入混合物としての空気から酸素
を分離するためには、ポリイミドタイプのメンブレンの
特性を使用することができ、製油所からの流入混合物か
ら水素を分離するためには、ポリアラミドタイプのメン
ブレンの特性を使用することができる。
【００２１】本発明において「操作温度（ｏｐｅｒａｔ
ｉｎｇ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）」は、本明細書で上
述した概念を意味する。
【００２２】本発明の１つの態様によれば、流入混合物
は空気であり、第２のメンブレンセパレーターの残留側
で得られる気相混合物である窒素の濃度は、９９体積％
より大きく、好ましくは９９．５体積％より大きく、よ
り好ましくは９９．９体積％より大きい 本発明の他の態様によれば、第２分離段階で用いられる
メンブレンは、第１分離段階で用いられるメンブレンと
は異なるタイプである。
【００２３】本発明のさらに他の態様によれば、第２段
階で用いられるメンブレンは、第１段階で用いられるメ
ンブレンと同一のタイプである。
【００２４】本発明の方法は、第２分離段階に達する前
に、第１分離段階からの残留混合物の実質的であり得る
冷却を行なう。
【００２５】第１段階からのガスが、一般に非常に乾燥
している（露点は−６０℃であり、−７０℃でさえあ
る）ので、この冷却によって、セパレーターのこのよう
なカスケードにおける全体の安全性を確保することがで
きる。
【００２６】このような冷却操作は、例えば、機械的冷
却、超低温液体との熱交換、または、タービンでの膨脹
によって行なうことができる。
【００２７】しかしながら、本出願人は、この冷却操作
を行なうための特に都合のよい方法を提供した。この方
法においては、第２分離段階で得られた非常に乾燥した
浸透物に飛沫状の水を導入して、この浸透物中の水の全
てまたは一部の蒸発（飽和点に対して差が存在するため
に）を引き起こす。この吸熱蒸発は、浸透物のエネルギ
ーの一部を「汲み上げ（ｐｕｍｐ）」、浸透物の温度低
下を引き起こす。このようにして冷却された浸透物流
は、少なくとも２つの経路を有するガス交換器に送ら
れ、その中で、第１の分離段階からの残留物と冷熱を交
換する。
【００２８】さらに、第２のセパレーター内で流入混合
物の温度によって、第２の浸透物に注入される水の流量
を制御することが好ましい。
【００２９】圧縮された空気をコンプレッサーの出口で
冷却する（ＥＰ−Ａ−５２４４３５のように）ために用
いられるならば、噴霧水の注入による冷却方法は、水の
蒸発現象、エネルギー消費、および非常に乾燥した２段
階浸透物を生じる多段分離の間に、効果的で好ましい相
互作用を与える。これは、水での飽和に達する前に、重
要な操作の利益を引き起こす。
【００３０】その操作費用および投資は、メンブレン分
離の分野で用いられていた上述の通常の方法とは比較に
ならないほど低減されることが、まず第一に示され、
「低温」源である水は、事実上費用がかからない。
【００３１】二重メンブレン分離段階について説明され
たこの冷却方法は、単一分離段階の場合においても、ま
た、流入混合物を冷却するために効果的に使用すること
ができる。
【００３２】当業者に明らかなように、上述の全ての場
合において、流入混合物は、第１の分離段階に達する前
に、メンブレン分離、調節のこの分野のための通常の操
作を経て、脱油、濾過、乾燥、または混合物の所望の温
度を与えるなどの操作に供することができる。
【００３３】本発明のその他の特徴および利点は、添付
の図面を参照した例示のために与えられた以下の説明に
よって明らかになるであろう。しかしながら、以下の例
に限定されるものではない。
【００３４】
【発明の実施の形態】図１に示すように、流入混合物１
が供給される第１のメンブレンセパレーター２が設けら
れている。混合物がセパレーター２に達する前の調節工
程は、図示されていない。
【００３５】セパレーター２は、浸透物製造側で気相混
合物４を生じ、残留側では気相混合物５を生じる。図示
された例においては、気相混合物５は全て第２のセパレ
ーター３の入り口に向けられ、この第２のセパレーター
の浸透物製造側で気相混合物６を生じ、残留側では気相
混合物７を生じる。
【００３６】気相混合物６は、第１段階２の入り口に戻
される。
【００３７】後述の例に示すように、２つメンブレンセ
パレーター２および３は、異なるタイプまたは同一のタ
イプとすることができる。
【００３８】図２には、流入混合物１としての空気か
ら、気相混合物７としての高純度窒素を製造することが
望まれる場合、本発明の方法を実施するために適切な装
置を示す。図示した例における２つのセパレーター２お
よび３は、同一のタイプであり、例えば、ポリイミド製
である。セパレーター２の操作温度は、第２のセパレー
ター３の操作温度よりも実質的に高い。
【００３９】第１段階の前の空気コンプレッサー、およ
び流入ガスを調節する段階（乾燥、濾過、脱油、または
所望のガス温度まで高める等の工程を含む）は、図２に
は示されていない。
【００４０】第２のセパレーターの浸透側で得られた気
相混合物６（この場合は、酸素に富んでいる）は、この
場合、セパレーター２の入り口に戻され、好ましくは空
気コンプレッサーの上流に戻される。
【００４１】図２には、気相混合物５を冷却するための
熱交換器８が示されており、より低温の気相混合物６
は、セパレーター２の入り口に達する前に、交換器内で
その冷熱（ｃｏｌｄ）を放出する。高濃度で窒素を含有
する気相混合物７は、冷却器９（例えば、超低温タイ
プ）内を通過した後、交換器８内に冷熱を与える。さら
に、気相混合物７は、最終使用場所（この使用場所は、
図２には示されていない。）に達する。
【００４２】図２は、分離／再加熱の第１段階からの残
留物を冷却する操作と、および第２段階からの浸透物を
戻す操作との二重操作の態様を示しているが、これは、
数多くの変形の１つにすぎない。図示されていないが、
以下のような方法もまた可能であることが明らかであ
る。
【００４３】−交換器８の経路を２つとして、一方の経
路は残留物５を冷却するために使用し、他方の経路は、
冷却器を通過した後の残留物７がその冷熱を放出するた
めに使用する； −冷却器９におけるもう１つの手段を、交換器８とセパ
レーター３との間に配置して、交換器８を通過した後の
残留物５を冷却する。この交換器は、３つの経路を有
し、他の２つの経路は、浸透物６を第１段階の入り口に
向けて戻すため、および、最終使用場所へ向けられる前
に、残留物７がその冷熱を与えるために使用される； −前述の方法を改良したもう１つの方法であり、交換器
が２つの経路を有する場合に、残留物７がこの交換器を
通過しない； −セパレーター２および３の間の残留物５の経路に簡単
な冷却器を設ければ、交換器８を用いない方法もまた、
明らかに可能である。浸透物６は、介在する段階なしに
第１段階の入り口に直接戻され、一方、残留物７は、使
用場所へ直接送られる。
【００４４】図３には、水の導入によって冷却が行なわ
れる装置を示す。図３に示すように、２つの経路を有す
る交換器８が配置され、一方の経路は残留物５のため
に、他方の経路は、この交換器に到達する前に噴霧水１
０が導入された残留物７のために使用される。セパレー
ター３で得られた非常に乾燥した浸透物に噴霧された水
は、その後、完全にまたは部分的に蒸発して（場合によ
っては、蒸発は交換器内でも継続する）、浸透物６の冷
却を引き起こし、第１段階の入り口に戻される前に、交
換器内でその冷熱を交換する。
【００４５】図４および５は、２つの同一の分離段階２
および３を使用した、空気から窒素をメンブレン分離に
よって製造する分野の従来の装置を示す。図４の装置で
は、第２段階３からの浸透物６を、第１段階２の入り口
に戻し、図５の装置では、第１段階２の浸透物４を、第
２段階３からの浸透物６でスイープしている。
【００４６】図２に示される装置を用いて、流入混合物
としての空気から、０．１体積％の酸素を含有する窒素
を１００Ｎｍ3 ／ｈの流量で製造する試験を行なった。
【００４７】ポリイミドタイプのメンブレンを使用し、
二重分離段階で操作した３つの例（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）
の結果を、表１にまとめる。表１中の第２欄には、単一
の分離段階を使用した比較例の結果を示している。第１
段階の入り口へ浸透物を戻した本発明の３つの実施例に
おいては、いずれも、「圧縮される流量」は、（全空気
＋戻された浸透物）を表わすものである。
【００４８】
【表１】 比較例： −ポリイミドメンブレンの単一段階、操作温度：４５
℃； −使用されたメンブレンの表面積：１００ 実施例１Ａ −第１段階の操作温度＝４５℃、第２段階の操作温度＝
５℃； −２つの段階で同一の表面積のメンブレンを使用（Ｓｕ
ｒｆ１＝Ｓｕｒｆ２） 実施例１Ｂ −第１段階の操作温度＝４５℃、第２段階の操作温度＝
５℃； −第２段階で、第１段階のメンブレン表面積の２倍の表
面積を有するメンブレンを使用（Ｓｕｒｆ２＝２×Ｓｕ
ｒｆ１） 実施例１Ｃ −第１段階の操作温度＝４５℃、第２段階の操作温度＝
５℃； −第２段階で、第１段階のメンブレン表面積の４倍の表
面積を有するメンブレンを使用（Ｓｕｒｆ２＝４×Ｓｕ
ｒｆ１） 表１に示された結果から、実施例は、使用されるメンブ
レンの表面積、および圧縮される流量（使用される圧縮
エネルギー）のいずれについても改善されていることが
明らかである。比較例の結果を１００とすると、同等の
表面積を有する実施例１Ａは、圧縮される流量を３０％
近く低減し、約１０％大きな表面積（この増加は、装置
全体の費用に対してごく僅かにすぎない）を有する実施
例１Ｂは、圧縮される流量を３５％以上低減している。
【００４９】実施例１Ｃは、圧縮に関して４０％以上の
利益をもって、この傾向を立証している。
【００５０】比較のために、従来の２つの装置（図４お
よび図５）を用いて得られた結果を、下記表２にまとめ
る。前述と同様に、４５℃における単一段階の値を基準
の１００とした。
【００５１】
【表２】 従来例２Ａ： −２段のポリイミド、操作温度：４５℃、２つの段階で
表面積が同一のメンブレンを使用； −第２の浸透物を、第１段階の入り口へ循環 従来例２Ｂ −２段のポリイミド、操作温度：４５℃、２つの段階で
表面積が同一のメンブレンを使用； −第２の浸透物で、第１の浸透物をスイープ 表２から明らかなように、圧縮における低減は小さく、
使用されたメンブレン面積のわずかな減少によって相殺
されていない。上述のように、そのような面積の減少の
割合は、全体の費用の増加に対してごく僅かである。
【００５２】表３および表４（従来例３Ａおよび３Ｂ
と、本発明の実施例４Ａおよび４Ｂとがそれぞれ示され
ている）には、流入混合物としての空気から１００Ｎｍ
3 ／ｈの流量で製造される窒素中の酸素含有量を０．５
体積％とした以外は、前述の表１および表２に示したも
のと同様の結果がまとめられている。
【００５３】
【表３】
【表４】 これらの表３および表４は、酸素濃度が０．１％の場合
の例で既にもたらされた全ての結論を立証する。
【００５４】表５には、２つの段階の操作温度の差を２
０℃とした以外は、前述の表１中の実施例１Ａおよび１
Ｂと同様の条件で得られた結果（実施例５Ａおよび５
Ｂ）をまとめる。
【００５５】
【表５】
【００５６】
【発明の効果】特定の具体例について本発明を説明した
が、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明
の特許請求の範囲の記載から当業者に明らかな変更およ
び修正は可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法を行なうための２段階装置を示す
模式図。
【図２】流入混合物としての空気から、高純度窒素を得
るための本発明の方法を実施するための２段階装置の模
式図。
【図３】第２の分離段階で得られた浸透物への水の導入
を用いて、流入混合物としての空気から、高純度窒素を
得るための本発明の方法を実施するための２段階装置の
模式図。
【図４】同一の２つの分離段階を使用し、第２段階から
の浸透物を第１段階の入り口に戻して、空気から窒素を
メンブレン分離により製造する分野の従来の装置を示す
模式図。
【図５】同一の２つの分離段階を使用し、第２段階から
の浸透物によって第１段階の浸透物をスイープして、空
気から窒素をメンブレン分離により製造する分野の従来
の装置を示す模式図。
【符号の説明】
１…流入混合物，２…第１のメンブレンセパレーター ３…第２のメンブレンセパレーター，４…気相混合物，
５…残留混合物 ６…気相混合物，７…気相混合物，８…交換器，１０…
噴霧水。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも２つの連続したメンブレンセ
    パレーターを用い、流入混合物を、第１の操作温度で作
    動する第１のメンブレンセパレーターを通過させ、この
    第１のメンブレンセパレーターで得られた残留混合物の
    全てまたは一部は、第２の操作温度で作動する第２のメ
    ンブレンセパレーターを通過させて、第２のセパレータ
    ーの残留出口で高純度ガスを得る、流入気相混合物から
    高純度ガスを製造するためのメンブレン分離方法におい
    て、 前記第１の操作温度は、第２の操作温度より、少なくと
    も２０℃、好ましくは４０℃高く、第２のセパレーター
    の浸透側で得られた混合物は、第１のセパレーターの入
    り口に戻されることを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 前記第１および第２のセパレーターが、
    異なるタイプのメンブレンが使用されたものである請求
    項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記第１および第２のセパレーターが、
    同一のタイプのメンブレンが使用されたものである請求
    項１に記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記第１のメンブレンセパレーターで得
    られた残留混合物が、少なくとも２つの経路を有する交
    換器の第１の経路を通過させることによって冷却され、
    前記第２のセパレーターの浸透側で得られた混合物の、
    交換器の第２の経路への通過を引き起こし、この浸透混
    合物は、交換器に達する前に水が噴霧される請求項１な
    いし３のいずれか１項に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記交換器は、少なくとも３つの経路を
    有し、第３の経路は、第２のセパレーターで得られた残
    留混合物の経路として使用される請求項４に記載の方
    法。
  6. 【請求項６】 前記流入混合物が空気である請求項１な
    いし５のいずれか１項に記載の方法。
  7. 【請求項７】 第２のメンブレンセパレーターの残留側
    で得られた気相混合物中の窒素濃度が、９９体積％より
    大きく、好ましくは９９．５体積％より大きく、より好
    ましくは９９．９体積％より大きい請求項６に記載の方
    法。
  8. 【請求項８】 第１のメンブレンセパレーター、 第２のメンブレンセパレーター、 第２のセパレーターの浸透物出口で得られた気相混合物
    を、第１のセパレーターの入り口に向ける戻りライン、 以下のａ）ないしｃ）のいずれか１つの位置に配置され
    たガスのための冷却システム、 ａ）第１のセパレーターの残留物出口を第２のセパレー
    ターの入り口に接続するライン； ｂ）第２のセパレーターの残留物出口をユーザーステー
    ションに接続するライン、； ｃ）第２のセパレーターの浸透物出口を、第１のセパレ
    ーターの入り口に接続する戻りライン、および、 少なくとも２つの経路を有し、前記冷却システムの位置
    に応じて、次のように配置された交換器、 ａ）の場合には、交換器の第１の経路の入り口は、第１
    のセパレーターの残留物出口に接続され、この第１の経
    路の出口は、冷却器の入り口に接続され、交換器の他の
    経路は、その中を通して第２のセパレーターで得られた
    浸透混合物を第１のセパレーターの入り口に向けるた
    め、および／または、第２のセパレーターで得られた残
    留混合物を、ユーザーステーションに通過させるために
    適合される；ｂ）の場合には、交換器の第１の経路の入
    り口は、冷却システムの出口に接続され、この第１の経
    路の出口は、ユーザーステーションに接続され、交換器
    の他の経路は、第１のセパレーターと第２のセパレータ
    ーとの間で、第１のセパレーターで得られた残留混合物
    を通過させるために用いられ、場合によっては、第２の
    セパレーターで得られた浸透混合物を、第１のセパレー
    ターの入り口に通過させるために適合される；ｃ）の場
    合には、冷却システムは、第２のセパレーターで得られ
    た浸透物に噴霧水を注入するための手段を含み、交換器
    の第１の経路の入り口は、噴霧水が注入された浸透混合
    物が、その中を通過するために適合され、第１の経路の
    出口は、第１のセパレーターの入り口に接続され、交換
    器の他の経路は、第１のセパレーターと第２のセパレー
    ターとの間で、第１のセパレーターで得られた残留混合
    物を通過させるために適合され、場合によっては、この
    第２のセパレーターとユーザーステーションとの間で、
    第２のセパレーターで得られた残留混合物を通過させる
    ために適合される；を具備し、ユーザーステーションへ
    供給するための高純度窒素をメンブレン分離によって製
    造する装置。
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