JPH08199339A - 摺動部材およびその製造方法 - Google Patents
摺動部材およびその製造方法Info
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- JPH08199339A JPH08199339A JP2472895A JP2472895A JPH08199339A JP H08199339 A JPH08199339 A JP H08199339A JP 2472895 A JP2472895 A JP 2472895A JP 2472895 A JP2472895 A JP 2472895A JP H08199339 A JPH08199339 A JP H08199339A
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Landscapes
- Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐摩耗性と靱性の両方に優れた硬質皮膜を被
覆した摺動部材を提供する。 【構成】 ピストンリング1の外周面に硬質皮膜2が被
覆されている。硬質皮膜2は、重量比で、N3〜15
%、C0.5〜5%、NとCの合計が16%以下、残M
oからなり、窒化モリブデンまたは窒化モリブデンと金
属モリブデンとの複合の結晶構造を有しており、窒化モ
リブデンと金属モリブデンの結晶粒径がそれぞれ1μm
未満である。皮膜硬さはビッカース硬さで2100〜2
600の範囲にある。
覆した摺動部材を提供する。 【構成】 ピストンリング1の外周面に硬質皮膜2が被
覆されている。硬質皮膜2は、重量比で、N3〜15
%、C0.5〜5%、NとCの合計が16%以下、残M
oからなり、窒化モリブデンまたは窒化モリブデンと金
属モリブデンとの複合の結晶構造を有しており、窒化モ
リブデンと金属モリブデンの結晶粒径がそれぞれ1μm
未満である。皮膜硬さはビッカース硬さで2100〜2
600の範囲にある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、耐摩耗性と靱性とに優
れた摺動部材に関し、例えばピストンリング等の内燃機
関用摺動部材に適用して有効なものである。
れた摺動部材に関し、例えばピストンリング等の内燃機
関用摺動部材に適用して有効なものである。
【0002】
【従来の技術】近年、エンジンの高出力化や排ガス規制
の対応に伴って、ピストンリングの使用環境がますます
苛酷になっているため、摺動面の表面処理として従来使
用されている硬質Crめっきや窒化処理では耐久性能を
満足できないエンジンが多くなってきた。
の対応に伴って、ピストンリングの使用環境がますます
苛酷になっているため、摺動面の表面処理として従来使
用されている硬質Crめっきや窒化処理では耐久性能を
満足できないエンジンが多くなってきた。
【0003】この状況に対処するため、PVD法を利用
した窒化チタン皮膜や窒化クロム皮膜を被覆したピスト
ンリングが提案されている。また、更に、窒化モリブデ
ン皮膜を被覆したピストンリング(特開平2−1344
68号、特開平6−17933号、特開平6−2582
6号参照)や、窒化クロムに酸素または炭素を固溶させ
た皮膜を被覆したピストンリング(特開平6−8195
2号、特開平6−265023号、特開平6−3001
30号参照)が提案されている。特開平2−13446
8号等においては、プロセスガス中に酸素を意図的に混
合させないので、これらにおける窒化モリブデン皮膜中
の酸素の固溶量は0.1%以下である。
した窒化チタン皮膜や窒化クロム皮膜を被覆したピスト
ンリングが提案されている。また、更に、窒化モリブデ
ン皮膜を被覆したピストンリング(特開平2−1344
68号、特開平6−17933号、特開平6−2582
6号参照)や、窒化クロムに酸素または炭素を固溶させ
た皮膜を被覆したピストンリング(特開平6−8195
2号、特開平6−265023号、特開平6−3001
30号参照)が提案されている。特開平2−13446
8号等においては、プロセスガス中に酸素を意図的に混
合させないので、これらにおける窒化モリブデン皮膜中
の酸素の固溶量は0.1%以下である。
【0004】更に、金属モリブデン中に炭化物、窒化物
あるいは酸化物からなる硬質粒子を分散させた溶射皮膜
が知られているが、これらは硬質粒子あるいは金属粒子
が1μm以上の複合組織であり、摺動部の耐脱落性およ
び皮膜の密着性が劣る。
あるいは酸化物からなる硬質粒子を分散させた溶射皮膜
が知られているが、これらは硬質粒子あるいは金属粒子
が1μm以上の複合組織であり、摺動部の耐脱落性およ
び皮膜の密着性が劣る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】窒化モリブデン皮膜は
非常に硬くて耐摩耗性に優れているが、脆い性質がある
ため、摺動による過度の繰り返し応力を受けると皮膜に
欠けやクラックが発生し、その欠けまたはクラックが進
行して剥離に到る場合がある。
非常に硬くて耐摩耗性に優れているが、脆い性質がある
ため、摺動による過度の繰り返し応力を受けると皮膜に
欠けやクラックが発生し、その欠けまたはクラックが進
行して剥離に到る場合がある。
【0006】また、窒化クロムに酸素または炭素を固溶
させた皮膜は靱性が窒化モリブデン皮膜よりも良好であ
るが、窒化モリブデン皮膜よりも耐摩耗性が劣る。
させた皮膜は靱性が窒化モリブデン皮膜よりも良好であ
るが、窒化モリブデン皮膜よりも耐摩耗性が劣る。
【0007】本発明の目的は、耐摩耗性と靱性の両方に
優れた硬質皮膜を被覆した摺動部材およびその製造方法
を提供することにある。
優れた硬質皮膜を被覆した摺動部材およびその製造方法
を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも摺
動面に硬質皮膜が被覆されている摺動部材であって、前
記硬質皮膜が、重量比で、N3〜15%、C0.5〜5
%、NとCの合計が16%以下、残Moからなり、窒化
モリブデン(MoX NY )または窒化モリブデン(Mo
X NY )と金属モリブデン(Mo)との複合の結晶構造
を有しており、前記窒化モリブデン(MoX NY )およ
び金属モリブデン(Mo)の結晶粒径がそれぞれ1μm
未満であることを特徴とする。
動面に硬質皮膜が被覆されている摺動部材であって、前
記硬質皮膜が、重量比で、N3〜15%、C0.5〜5
%、NとCの合計が16%以下、残Moからなり、窒化
モリブデン(MoX NY )または窒化モリブデン(Mo
X NY )と金属モリブデン(Mo)との複合の結晶構造
を有しており、前記窒化モリブデン(MoX NY )およ
び金属モリブデン(Mo)の結晶粒径がそれぞれ1μm
未満であることを特徴とする。
【0009】なお、上記において、Nの含有量は下限が
6重量%、上限は11重量%がより好ましく、Cの含有
量は下限が1重量%、上限は4重量%がより好ましく、
NとCの含有量の合計の上限は12重量%がより好まし
い。
6重量%、上限は11重量%がより好ましく、Cの含有
量は下限が1重量%、上限は4重量%がより好ましく、
NとCの含有量の合計の上限は12重量%がより好まし
い。
【0010】また、窒化モリブデンおよび金属モリブデ
ンの各結晶粒径は0.1μm未満がより好ましい。
ンの各結晶粒径は0.1μm未満がより好ましい。
【0011】硬質皮膜の硬さはビッカース硬さ(HV)
で2100〜2600が好ましく、硬さの下限はHV2
200、上限はHV2400がより好ましい。
で2100〜2600が好ましく、硬さの下限はHV2
200、上限はHV2400がより好ましい。
【0012】上記硬質皮膜はPVD法により被覆するこ
とができる。なお、PVD法には蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法がある。
とができる。なお、PVD法には蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法がある。
【0013】
【作用】本発明の摺動部材は硬質皮膜が窒化モリブデン
または窒化モリブデンと金属モリブデンからなることに
より、耐摩耗性に優れており、さらに、炭素が固溶され
ていることによって靱性にも優れる。
または窒化モリブデンと金属モリブデンからなることに
より、耐摩耗性に優れており、さらに、炭素が固溶され
ていることによって靱性にも優れる。
【0014】上記において、Nが3重量%未満では硬さ
が低下するため耐摩耗性が悪く、15重量%を越えると
脆くなって耐クラック性が悪い。
が低下するため耐摩耗性が悪く、15重量%を越えると
脆くなって耐クラック性が悪い。
【0015】また、Cが0.5重量%未満ではC固溶の
効果がなく、耐クラック性が悪く、5重量%を越えると
脆くなって耐クラック性が悪い。
効果がなく、耐クラック性が悪く、5重量%を越えると
脆くなって耐クラック性が悪い。
【0016】また、NとCの合計が16重量%を越える
と、脆くなるため耐クラック性が劣る。
と、脆くなるため耐クラック性が劣る。
【0017】窒化モリブデンおよび金属モリブデンの結
晶粒径が1μm以上であると、摺動部の耐脱落性および
皮膜の密着性が劣る。
晶粒径が1μm以上であると、摺動部の耐脱落性および
皮膜の密着性が劣る。
【0018】また、硬質皮膜の硬さは、ビッカース硬さ
2100未満では耐摩耗性が劣り、ビッカース硬さ26
00を越えると脆くなるため、耐クラック性が悪い。
2100未満では耐摩耗性が劣り、ビッカース硬さ26
00を越えると脆くなるため、耐クラック性が悪い。
【0019】
【実施例】図1は本発明の一実施例であるピストンリン
グの一部分を示す縦断面図である。本実施例におけるピ
ストンリング1は鋼、鋳鉄、チタンあるいはチタン合金
等で形成されている矩形断面リングである。ピストンリ
ング1の外周面にはアークイオンプレーティングによっ
て硬質皮膜2が被覆されている。硬質皮膜2は、重量比
で、N3〜15%、C0.5〜5%、NとCの合計が1
6%以下、残Moからなり、窒化モリブデン(MoX N
Y )または窒化モリブデン(MoX NY )と金属モリブ
デン(Mo)との複合の結晶構造を有しており、窒化モ
リブデン(MoX NY )および金属モリブデン(Mo)
の結晶粒径がそれぞれ1μm未満である。また、硬質皮
膜2はビッカース硬さが2100〜2600の範囲にあ
る。硬質皮膜2の膜厚は1μm〜80μmが好適であ
る。
グの一部分を示す縦断面図である。本実施例におけるピ
ストンリング1は鋼、鋳鉄、チタンあるいはチタン合金
等で形成されている矩形断面リングである。ピストンリ
ング1の外周面にはアークイオンプレーティングによっ
て硬質皮膜2が被覆されている。硬質皮膜2は、重量比
で、N3〜15%、C0.5〜5%、NとCの合計が1
6%以下、残Moからなり、窒化モリブデン(MoX N
Y )または窒化モリブデン(MoX NY )と金属モリブ
デン(Mo)との複合の結晶構造を有しており、窒化モ
リブデン(MoX NY )および金属モリブデン(Mo)
の結晶粒径がそれぞれ1μm未満である。また、硬質皮
膜2はビッカース硬さが2100〜2600の範囲にあ
る。硬質皮膜2の膜厚は1μm〜80μmが好適であ
る。
【0020】アークイオンプレーティング法はイオンプ
レーティングの一つで、真空アーク放電を利用して、陰
極の皮膜材料を蒸気化、イオン化して、被コーティング
物の表面に皮膜を形成するものである。このアークイオ
ンプレーティング法は蒸気のイオン化率が高く、緻密で
密着性に優れた皮膜が得られる特長がある。
レーティングの一つで、真空アーク放電を利用して、陰
極の皮膜材料を蒸気化、イオン化して、被コーティング
物の表面に皮膜を形成するものである。このアークイオ
ンプレーティング法は蒸気のイオン化率が高く、緻密で
密着性に優れた皮膜が得られる特長がある。
【0021】図2に基づいて、アークイオンプレーティ
ング装置の基本的構成を説明する。真空チャンバ10内
に、皮膜を形成する材料からなる陰極(蒸発源)11
と、皮膜が形成される被コーティング物12が設置され
ている。陰極(蒸発源)11は真空チャンバ10の外側
に設置されているアーク供給源13に接続されており、
アーク供給源13には図示外の陽極が接続されている。
被コーティング物12にはバイアス電圧供給源14によ
って負のバイアス電圧が印加されるように構成されてい
る。真空チャンバ10にはプロセスガスの供給源に接続
されているガス入口15と、ポンプに接続されている排
気口16とが設けられている。
ング装置の基本的構成を説明する。真空チャンバ10内
に、皮膜を形成する材料からなる陰極(蒸発源)11
と、皮膜が形成される被コーティング物12が設置され
ている。陰極(蒸発源)11は真空チャンバ10の外側
に設置されているアーク供給源13に接続されており、
アーク供給源13には図示外の陽極が接続されている。
被コーティング物12にはバイアス電圧供給源14によ
って負のバイアス電圧が印加されるように構成されてい
る。真空チャンバ10にはプロセスガスの供給源に接続
されているガス入口15と、ポンプに接続されている排
気口16とが設けられている。
【0022】したがって、真空チャンバ10内におい
て、陰極(蒸発源)11と陽極との間でアーク放電が起
こされると、アークは陰極(蒸発源)11の表面上にア
ークスポットを形成し、陰極(蒸発源)11の表面上を
ランダムにかつ高速に移動する。アークスポットに集中
するアーク電流(数十〜数百A)のエネルギーにより、
陰極(蒸発源)11の材料は瞬時に蒸発すると同時に金
属イオン17となり、真空中に飛び出す。一方、バイア
ス電圧が被コーティング物12に印加されることによ
り、金属イオン17は加速され、反応ガス粒子18とと
もに被コーティング物12の表面に密着し、緻密な皮膜
が生成される。
て、陰極(蒸発源)11と陽極との間でアーク放電が起
こされると、アークは陰極(蒸発源)11の表面上にア
ークスポットを形成し、陰極(蒸発源)11の表面上を
ランダムにかつ高速に移動する。アークスポットに集中
するアーク電流(数十〜数百A)のエネルギーにより、
陰極(蒸発源)11の材料は瞬時に蒸発すると同時に金
属イオン17となり、真空中に飛び出す。一方、バイア
ス電圧が被コーティング物12に印加されることによ
り、金属イオン17は加速され、反応ガス粒子18とと
もに被コーティング物12の表面に密着し、緻密な皮膜
が生成される。
【0023】本発明においては、上記アークイオンプレ
ーティング装置において、陰極(蒸発源)11の材料と
してMo金属が使用され、プロセスガスとして窒素ガス
とメタンガスとが使用されることにより、被コーティン
グ物12としてのピストンリングに、窒化モリブデンま
たは窒化モリブデンと金属モリブデンとの複合の結晶構
造中に炭素が固溶された硬質皮膜を被覆することができ
る。
ーティング装置において、陰極(蒸発源)11の材料と
してMo金属が使用され、プロセスガスとして窒素ガス
とメタンガスとが使用されることにより、被コーティン
グ物12としてのピストンリングに、窒化モリブデンま
たは窒化モリブデンと金属モリブデンとの複合の結晶構
造中に炭素が固溶された硬質皮膜を被覆することができ
る。
【0024】窒素と炭素の合計量の濃度のコントロール
は、イオンプレーティングの際の真空チャンバ10の内
圧を0.5〜10mTorrの範囲で調節することによ
って行うことができる。
は、イオンプレーティングの際の真空チャンバ10の内
圧を0.5〜10mTorrの範囲で調節することによ
って行うことができる。
【0025】炭素の濃度のコントロールは、イオンプレ
ーティングの際のメタン分圧を0.1〜3mTorrの
範囲でコントロールすることによって行うことができ
る。メタン分圧を高くすると、炭素の濃度が上昇する。
ーティングの際のメタン分圧を0.1〜3mTorrの
範囲でコントロールすることによって行うことができ
る。メタン分圧を高くすると、炭素の濃度が上昇する。
【0026】皮膜硬度のコントロールは、イオンプレー
ティングの際の炭素分圧およびバイアス電圧(3〜20
0V)をコントロールすることによって行うことができ
る。炭素分圧を高くすると、硬度は上昇する。また、バ
イアス電圧を高くすると、硬度は上昇する。
ティングの際の炭素分圧およびバイアス電圧(3〜20
0V)をコントロールすることによって行うことができ
る。炭素分圧を高くすると、硬度は上昇する。また、バ
イアス電圧を高くすると、硬度は上昇する。
【0027】硬質皮膜2の耐摩耗性を評価するために、
図3に示す往復動摩擦試験機を使用して耐摩耗性試験を
行った。
図3に示す往復動摩擦試験機を使用して耐摩耗性試験を
行った。
【0028】図3に示す往復動摩擦試験機の概要を説明
すると、ピストンリングに対応するピン状の上試験片2
0は、固定ブロック21により保持され、上方から油圧
シリンダ22により下向きの荷重が加えられて、後述す
る下試験片23に押接される。一方、シリンダに対応す
る矩形の平盤形状の下試験片23は可動ブロック24に
より保持され、クランク機構25により往復動せしめら
れる。26はロードセルである。
すると、ピストンリングに対応するピン状の上試験片2
0は、固定ブロック21により保持され、上方から油圧
シリンダ22により下向きの荷重が加えられて、後述す
る下試験片23に押接される。一方、シリンダに対応す
る矩形の平盤形状の下試験片23は可動ブロック24に
より保持され、クランク機構25により往復動せしめら
れる。26はロードセルである。
【0029】上試験片20の摩耗量は図4(a)に示す
如く、上試験片20の試験前形状27と試験後形状28
を測定し、その差を測定することにより算出する。下試
験片23の摩耗量は図4(b)に示す如く、摺動部分に
おいて離間する3ケ所A,B,Cの凹み量を測定し、そ
の平均値で示す。
如く、上試験片20の試験前形状27と試験後形状28
を測定し、その差を測定することにより算出する。下試
験片23の摩耗量は図4(b)に示す如く、摺動部分に
おいて離間する3ケ所A,B,Cの凹み量を測定し、そ
の平均値で示す。
【0030】試験条件は以下の通りである。 1.供試試料 A.下試験片:シリンダブロック用鋳鉄製(FC250
相当材)平板(寸法:長さ70mm、幅17mm、厚さ
14mm)の試験面をバフ研磨し、面粗さを0.1μm
以下にしたもの。なお、硬さはロックウエル硬さ(HR
B)で90である。 B.上試験片:ピストンリング用鋼棒(寸法:直径8m
m、長さ23mm)の端面を半径18mmの球面仕上げ
したもの。鋼棒はマルテンサイト系17Crステンレス
材からなり、鋼棒の表面に表1および表2に記載の硬質
皮膜(比較例:1〜9、実施例:1〜9)を被覆した。
なお、窒化モリブデンおよび金属モリブデンの結晶粒径
はそれぞれ0.1μm未満であった。
相当材)平板(寸法:長さ70mm、幅17mm、厚さ
14mm)の試験面をバフ研磨し、面粗さを0.1μm
以下にしたもの。なお、硬さはロックウエル硬さ(HR
B)で90である。 B.上試験片:ピストンリング用鋼棒(寸法:直径8m
m、長さ23mm)の端面を半径18mmの球面仕上げ
したもの。鋼棒はマルテンサイト系17Crステンレス
材からなり、鋼棒の表面に表1および表2に記載の硬質
皮膜(比較例:1〜9、実施例:1〜9)を被覆した。
なお、窒化モリブデンおよび金属モリブデンの結晶粒径
はそれぞれ0.1μm未満であった。
【0031】硬質皮膜中の炭素の測定は主としてEPM
Aで行い、また、ESCAでも確認した。
Aで行い、また、ESCAでも確認した。
【0032】2.摩耗試験条件 ならし:50N×100cpm×5min 本試験:200N×600cpm×60min 潤滑 :軽油相当粘度油
【0033】表1および表2に、上記の往復動摩擦試験
を行った結果を示す。
を行った結果を示す。
【0034】
【0035】 (注)硬質皮膜の組成は窒素および炭素の他はモリブデンである。
【0036】表1および表2の試験結果に示されている
ように、実施例の硬質皮膜は自身の摩耗量および相手の
摩耗量が少なく、摺動時の耐摩耗性が優れていることが
わかる。
ように、実施例の硬質皮膜は自身の摩耗量および相手の
摩耗量が少なく、摺動時の耐摩耗性が優れていることが
わかる。
【0037】次に、硬質皮膜2の靱性を評価するため
に、ファンデアホルスト摩擦試験機を使用して皮膜靱性
試験を行った。ファンデアホルスト摩擦試験機を使用し
て行う試験の概要を図5に基づいて説明する。
に、ファンデアホルスト摩擦試験機を使用して皮膜靱性
試験を行った。ファンデアホルスト摩擦試験機を使用し
て行う試験の概要を図5に基づいて説明する。
【0038】ピストンリング1が、水平軸を中心に回転
するロータ(鋳鉄材:JIS FC250)30の外周
面31の上端にロータ30の軸心に沿って配設され、ピ
ストンリング1に荷重Pが作用されてロータ30の外周
面31上に押接される。この状態で、ピストンリング1
とロータ30の接触部分に潤滑油を供給しながらロータ
30を回転させる。50〜180Nの範囲で5N毎の荷
重で試験を行い、試験後の観察により硬質皮膜に損傷
(欠けやクラック)が認められた最小荷重を皮膜損傷発
生荷重とした。
するロータ(鋳鉄材:JIS FC250)30の外周
面31の上端にロータ30の軸心に沿って配設され、ピ
ストンリング1に荷重Pが作用されてロータ30の外周
面31上に押接される。この状態で、ピストンリング1
とロータ30の接触部分に潤滑油を供給しながらロータ
30を回転させる。50〜180Nの範囲で5N毎の荷
重で試験を行い、試験後の観察により硬質皮膜に損傷
(欠けやクラック)が認められた最小荷重を皮膜損傷発
生荷重とした。
【0039】試験は表1および表2に示す硬質皮膜(比
較例:1〜9、実施例:1〜9)を被覆したピストンリ
ングについて行った。
較例:1〜9、実施例:1〜9)を被覆したピストンリ
ングについて行った。
【0040】試験条件は下記の通りである。 荷重 :50〜180N(5N毎) 回転数:1000rpm 時間 :3min 潤滑 :10w ディーゼルエンジンオイル
【0041】表3および表4に、上記のファンデアホル
スト摩擦試験機を使用して行った試験結果を示す。
スト摩擦試験機を使用して行った試験結果を示す。
【0042】
【0043】 (注)硬質皮膜の組成は窒素および炭素の他はモリブデンである。
【0044】表3および表4の試験結果に示されている
ように、実施例の硬質皮膜は皮膜損傷発生荷重が大き
く、摺動時の皮膜靱性が優れていることがわかる。
ように、実施例の硬質皮膜は皮膜損傷発生荷重が大き
く、摺動時の皮膜靱性が優れていることがわかる。
【0045】次に、表1および表2に示す硬質皮膜(比
較例:1,2,6,8,9、実施例:1,5,8)を外
周面に被覆したピストンリングをエンジンテストに供し
た。すなわち、シリンダ径86mmの直列4気筒ディー
ゼルエンジンに前記ピストンリングを組み込み、全負荷
の条件で300時間の耐久試験を行った。
較例:1,2,6,8,9、実施例:1,5,8)を外
周面に被覆したピストンリングをエンジンテストに供し
た。すなわち、シリンダ径86mmの直列4気筒ディー
ゼルエンジンに前記ピストンリングを組み込み、全負荷
の条件で300時間の耐久試験を行った。
【0046】表5に、上記の耐久試験を行った結果を示
す。
す。
【0047】
【0048】表5の試験結果に示されているように、本
実施例のピストンリングは硬質皮膜に欠けやクラックの
発生は無く、皮膜摩耗量も少なく、耐摩耗性および靱性
に優れていることがわかる。
実施例のピストンリングは硬質皮膜に欠けやクラックの
発生は無く、皮膜摩耗量も少なく、耐摩耗性および靱性
に優れていることがわかる。
【0049】なお、上記実施例ではピストンリングの外
周面に硬質皮膜を被覆した例を示したが、硬質皮膜はピ
ストンリングの外周面と上下面、さらには外周面と上下
面と内周面とに被覆するようにしてもよい。
周面に硬質皮膜を被覆した例を示したが、硬質皮膜はピ
ストンリングの外周面と上下面、さらには外周面と上下
面と内周面とに被覆するようにしてもよい。
【0050】また、上記実施例ではピストンリングに硬
質皮膜を被覆した例を示したが、硬質皮膜はピストンリ
ングに被覆するに限らず、他の摺動部材、例えば内燃機
関の動弁系部品であるタペットやカム等の少なくとも摺
動面に被覆すれば有効である。
質皮膜を被覆した例を示したが、硬質皮膜はピストンリ
ングに被覆するに限らず、他の摺動部材、例えば内燃機
関の動弁系部品であるタペットやカム等の少なくとも摺
動面に被覆すれば有効である。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の摺動部材
における硬質皮膜は耐摩耗性と靱性が優れている。した
がって、本発明を例えばピストンリングに適用すること
によって、苛酷な条件下においても充分な耐久性を具備
させることができる。
における硬質皮膜は耐摩耗性と靱性が優れている。した
がって、本発明を例えばピストンリングに適用すること
によって、苛酷な条件下においても充分な耐久性を具備
させることができる。
【図1】本発明の一実施例であるピストンリングの一部
分を示す縦断面図である。
分を示す縦断面図である。
【図2】アークイオンプレーティング装置の構成を説明
する図である。
する図である。
【図3】往復動摩擦試験機の概要を示す正面図である。
【図4】(a)は上試験片の摩耗量算出説明図、(b)
は下試験片の摩耗量算出説明図である。
は下試験片の摩耗量算出説明図である。
【図5】(a)はファンデアホルスト摩擦試験機の概要
を示す一部断面正面図、(b)は同側面図である。
を示す一部断面正面図、(b)は同側面図である。
1 ピストンリング 2 硬質皮膜 10 真空チャンバ 11 陰極(蒸発源) 12 被コーティング物 13 アーク供給源 14 バイアス電圧供給源 15 ガス入口 16 排気口 17 金属イオン 18 反応ガス粒子 20 上試験片 21 固定ブロック 22 油圧シリンダ 23 下試験片 24 可動ブロック 25 クランク機構 26 ロードセル 27 上試験片の試験前形状 28 上試験片の試験後形状 30 ロータ 31 ロータ外周面
Claims (3)
- 【請求項1】 少なくとも摺動面に硬質皮膜が被覆され
ている摺動部材であって、 前記硬質皮膜が、重量比で、N3〜15%、C0.5〜
5%、NとCの合計が16%以下、残Moからなり、窒
化モリブデンまたは窒化モリブデンと金属モリブデンと
の複合の結晶構造を有しており、前記窒化モリブデンお
よび金属モリブデンの結晶粒径がそれぞれ1μm未満で
あることを特徴とする摺動部材。 - 【請求項2】 前記硬質皮膜のビッカース硬さが210
0〜2600であることを特徴とする請求項1記載の摺
動部材。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の摺動部材の製造
方法であって、前記硬質皮膜をPVD法により被覆する
ことを特徴とする摺動部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02472895A JP3452675B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | 摺動部材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02472895A JP3452675B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | 摺動部材およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08199339A true JPH08199339A (ja) | 1996-08-06 |
| JP3452675B2 JP3452675B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=12146223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02472895A Expired - Fee Related JP3452675B2 (ja) | 1995-01-19 | 1995-01-19 | 摺動部材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3452675B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11190429A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 組合せオイルリングのスペーサエキスパンダおよび組合せオイルリングならびにその製造方法 |
| JP2001234363A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-08-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 複合被膜およびその被覆摺動部品 |
| JP2010137305A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP2010137304A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
-
1995
- 1995-01-19 JP JP02472895A patent/JP3452675B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11190429A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 組合せオイルリングのスペーサエキスパンダおよび組合せオイルリングならびにその製造方法 |
| JP2001234363A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-08-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 複合被膜およびその被覆摺動部品 |
| JP2010137305A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP2010137304A (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-24 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3452675B2 (ja) | 2003-09-29 |
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