JPH08201277A

JPH08201277A - 複屈折測定方法及び装置

Info

Publication number: JPH08201277A
Application number: JP1450295A
Authority: JP
Inventors: Kiyokazu Sakai; 清和酒井; Kyoji Imagawa; 恭次今川
Original assignee: New Oji Paper Co Ltd
Current assignee: New Oji Paper Co Ltd
Priority date: 1995-01-31
Filing date: 1995-01-31
Publication date: 1996-08-09

Abstract

(57)【要約】【目的】フィルムの３次元屈折率、位相差フィルムの視
野角特性等のオンライン測定が可能な複屈折測定方法、
装置を提供する。【構成】垂直入射、斜入射の各測定光束それぞれによ
り、偏光透過度を検出し、主屈折率方向及びレターデー
ションを求めるようにし、装置的には、偏光方向の異な
る３種以上の偏光に対する透過度をそれぞれ検出し、こ
れらの検出出力から主屈折率方向及びレターデーション
を演算導出する装置において、測定光束を被測定物に垂
直入射させ透過度を求める測定ヘッドと、斜入射させ透
過度を求める測定ヘッドとを併設し、また斜入射測定ヘ
ッドを、面内主屈折率方向に対応して垂直入射の軸のま
わりに回転できるように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複屈折測定装置、特
に、光学的に異方性のある透明性（透明または半透明）
材料の３次元の異方性の測定、殊に液晶表示装置等に用
いられる位相差フィルムの視野角特性や一般の延伸フィ
ルムの３次元屈折率あるいは、面配向度等のオンライン
測定に適した複屈折測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、延伸フィルムの面内の２次元
のレターデーションのオンライン測定では、特に位相差
フィルムの分野において、光干渉法、平行ニコル回転法
等幾つかの方法が利用されている。しかし、位相差フィ
ルムの視野角特性や３次元屈折率の測定等にについて
は、オフラインでは可能ではあったが、オンラインで測
定する方法は殆ど見られなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、材料の３次
元異方性のオンライン測定、特に高分子材料等からなる
フィルム、シート等の製造工程において、特に位相差フ
ィルムの視野角特性や３次元屈折率あるいは面配向度の
流れ方向における変化が測定可能な装置を提供しようと
するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の概略の構成とし
ては、例えば平行ニコル状態に保った偏光子と検光子の
対を３組持ち、各組の偏光子・検光子の偏光方向は異な
る方向に保持し、被測定物を偏光子と検光子との間に通
過させて、単一波長の光束を偏光子に照射したときの各
検光子の透過光強度を検出することにより、被測定物の
レターデーションと主屈折率方向を求める複屈折測定装
置であって、測定光束が被測定物に対して垂直に入射す
るものと斜めに入射するもの２組備えることを特徴とす
る。

【０００５】一軸延伸フィルムの場合は、延伸方向が主
屈折率方向になっているので、２組の検出部は決まった
方向に固定化すればよい。しかし逐次２軸延伸フィルム
の場合は、主屈折率方向はフィルム巾方向でみると変化
しており、また巾方向の一点においても時間的に主屈折
率方向が変化しないとはいえない。このようなときは、
垂直入射における透過度検出値から演算によってフィル
ム面内の主屈折率方向を求め、その方向が斜め入射の入
射面に含まれるように２組の検出部を垂直入射の光線軸
回りに回転できる機構を備える。

【０００６】本発明は、被測定物シートのシート面を維
持した状態で（シート面を傾斜変更させないで）、偏光
方向の異なる３種以上の偏光光束を、被測定物表面に垂
直入射させて、それぞれに対する透過度を検出し、これ
らの検出出力から被測定物の主屈折率方向及びレターデ
ーションを数値演算によって求める段階と、被測定物の
主屈折率方向を含みかつ前記被測定物面に垂直な平面内
で被測定物面に測定光を斜入射させ透過度を検出し、こ
れらの検出出力から被測定物シート面に対して傾斜した
面内の主屈折率方向及びレターデーションを求める段階
とを含むことを特徴とする複屈折測定方法であり、さら
に垂直入射、斜入射それぞれにおける主屈折率方向、レ
ターデーション測定結果から、３次元の異方性を求める
段階を含むものである。

【０００７】本発明は、さらに、被測定物シート面への
測定光の垂直入射による透過度検出と、斜入射による透
過度測定とを並行して行う場合と、垂直入射による透過
度検出により被測定物シート面内の主屈折率方向を求
め、この主屈折率方向を含みかつシート面に垂直な面内
でシート面に測定光を斜入射させ、斜入射による透過度
を検出する段階を時分割的に行う場合があり、さらに後
者の場合において、斜入射透過度測定の際に垂直入射の
透過度を再度求めること等の含むものである。

【０００８】本発明は、また、偏光方向の異なる３種以
上の直線偏光に対する被測定物の透過度をそれぞれ検出
し、これらの検出出力から被測定物の主屈折率方向及び
レターデーションを演算導出する複屈折測定装置であっ
て、前記偏光よりなる測定光束を被測定物面に対して垂
直入射させ透過度を検出する手段と、測定光束を被測定
物面にに斜入射させ透過度を検出する手段とを備えたこ
とを特徴とする複屈折測定装置であり、さらに、測定光
束を被測定物に対して垂直に入射したときの偏光方向の
異なる３種以上の偏光に対する透過度の検出出力から被
測定物の主屈折率方向を求め、求めた主屈折率方向が斜
入射のときの入射面に含まれるように、前記の測定光束
斜入射手段を含む測定ヘッドを、垂直入射の光線軸まわ
りに回転させるようにした構成、測定光束垂直入射手段
を含む測定ヘッドを測定光束斜入射手段を含む測定ヘッ
ドとともに回転させる機構を備えた構成、斜入射の入射
角度を連続的にまたは段階的に調節する手段を備えた構
成、垂直入射と斜入射のときのレターデーションから、
予め入力された平均屈折率を拘束条件として、被測定物
の３次元屈折率を数値演算によって求める手段を備えた
構成等を含むものである。

【０００９】

【作用】本作用の構成において、１つの検出部の３対以
上の偏光子・検光子の透過光強度は次式によって表わさ
れる。Ｉ（θｉ）＝Ｉｏ｛１＋（Ｃ−１）／２・ｓｉｎ²２（θｉ−θ）｝・・(1) Ｃ≡ｃｏｓ（２πＲ／λ）・・・(2) ここで、Ｒ；被測定物のレターデーションＩｏ：偏光子透過後被測定物に入射する直線偏光の強
度 λ ：波長 θｉ：偏光子、検光子の方位角 φ ：被測定物の主屈折率方向である。

【００１０】異なる３個以上のＩ（θｉ）から、数値演
算により被測定物のＲとφを求める。斜め入射の場合も
垂直入射の場合と同じ扱いで被測定物のＲを求めること
ができる。被測定物の面内の主屈折率をＮｘ、Ｎｙ（た
だしＮｘ≧Ｎｙ）厚さ方向の主屈折率をＮｚとし、入射
角をαとして面内の主屈折率方向の１つのＮｙを入射面
に含んだ状態でのレターデーションをＲ（α）とすると
次の式が成り立つ。

【００１１】Ｎｘ＝Ｎｙ＋Ｒ（０）／ｄ・・・（３）絶対値（Ｎ’−Ｎｙ）＝Ｒ（α）ｃｏｓβ／ｄ・・・（４）ただし、β＝（β₁＋β₂）／２・・・（５）ここで、Ｒ（０）：垂直入射のときのレターデーションｄ：被測定物の厚さＮ’：入射角αのときの入射面内の屈折率 β₁：入射角αのときの入射面内の屈折率Ｎ’に対する屈折角＝ｓｉｎ^-1（ｓｉｎα／Ｎ’）・・・（６） β₂；入射角αのときの入射面内と直角方向の主屈折率に対する屈折角＝ｓｉｎ^-1（ｓｉｎα／Ｎｙ）・・・（７）である。

【００１２】したがって、ｄ，αが既知であれば、Ｒ
（０），Ｒ（α）を測定して、Ｎｙを適当な範囲（例え
ば１．３〜２．０）振りながら入力された平均屈折率を
拘束条件として式（３）〜（７）を用いて、数値演算を
行えば、３つの主屈折率Ｎｘ，Ｎｙ，Ｎｚを決定するこ
とができる。３つの主屈折率がわかれば、次式により面
配向度Ｐも求めることができる。

【００１３】Ｐ＝（Ｎｘ＋Ｎｙ）／２−Ｎｚ・・・（８）位相差フィルムの場合、視野角特性を表わす簡便な方法
として、垂直入射とある入射角のときのレターデーショ
ン値の比を用いる場合もある。このときは、２組の検出
部から得られた測定値の比Ｒ（α）／Ｒ（０）を求める
だけでよい。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の複屈折測定装置の１実施例の
概略構成図であり、位相差フィルムのような一軸延伸の
場合に用いるものである。一軸延伸のときは、主屈折率
方向（配向方向）は延伸方向に一致するので、ヘッドは
固定でよい。図１において、（１）は被測定物、例えば
生産ラインにおいて走行する高分子材料のフィルム、シ
ート等であり、紙面に垂直な方向の面（これをＸＹ面と
する）に平行に配置（静止または走行状態において）さ
れる。

【００１５】（２）は光源部であり、測定波長範囲内で
ブロードな波長分布を有するもの、例えば白色光源を用
いる。（３）は光ファイバー束その他の光伝送路、
（４）（４Ａ，４Ｂ）は測定光束を被測定物面に投射す
る投光部であり均一な断面強度分布の平行光束を形成す
るコリメータ光学系（レンズ、凹面鏡等）、特定の波長
の単色を取り出すための波長選択手段、例えば狭帯域フ
ィルタ、特定の偏光方向の直線偏光を取り出すための偏
光子等を含む。（５）（５Ａ，５Ｂ）は受光部であり、
検光子、及び光強度に応じた電気信号を発生する光検出
素子等を含む。なお、光源部（２）は、投光部（４）と
一体に設けて、充分大きな光束を発生する１個の光源、
または各光路に対応した複数の光源として形成してもよ
い。また、波長選択手段は、投光部に設ける代わりに、
受光部の検出器の前段または投光部（４）と受光部
（５）との間に設けてもよい。

【００１６】投光部（４）としては、垂直入射投光部
（４Ａ）と斜入射投光部（４Ｂ）とが設けられ、受光部
（５）は（４Ａ）、（４Ｂ）にそれぞれ対応する垂直入
射光受光部（５Ａ）、斜入射光受光部（５Ｂ）を有して
いる。投光部（４）と受光部（５）とは測定ヘッドを構
成し、投光部（４Ａ）と受光部（５Ａ）とは垂直入射測
定ヘッドを構成し、また投光部（４Ｂ）と受光部（５
Ｂ）とは斜入射測定ヘッドを構成する。

【００１７】垂直入射測定ヘッドの中心軸（Ｌ１）と斜
入射測定ヘッドの中心軸（Ｌ２）とは、試料面上の同一
点で交差するように構成される。両測定ヘッドによる測
定領域はできるだけ近接していることが望ましく、両者
の測定領域が共通またはほぼ共通となるように、構成す
ることがより望ましいが、とくに厳密なものではない。

【００１８】走行試料に対しては、垂直入射測定ヘッド
の検出信号サンプリング時刻に対して斜入射測定ヘッド
の検出信号サンプリング時刻が遅れる場合には、その遅
れ時間に対応する試料の走行距離分だけ、斜入射測定ヘ
ッドを垂直入射測定ヘッドよりも試料の走行方向にずら
した位置に配置するようにしてもよい。これにより、両
測定ヘッドの検出出力サンプリング時刻にずれを生じた
場合にも、垂直入射、斜入射の実質上の測定点の共通性
を高め、測定点をより微小化し、測定精度をより向上す
ることができる。しかし、応答速度を高め上記遅れ時間
を微小化することにより、斜入射測定ヘッドの位置を試
料走行方向にずらさなくても、測定点を微小化し、測定
精度を確保することができる。

【００１９】（６）は増幅・Ａ／Ｄ変換部、（７）は検
出信号のデータ処理、装置の動作制御等を行うコンピュ
ータ（データ処理装置）である。（８）はフレームであ
り、試料（１）の両側に投光部（４）、受光部（５）を
支持している。図２は、投光部（４）および受光部
（５）の構成を示す図である。投光部（４）は、均一な
断面強度分布の平行光束を形成するコリメータ光学系
（レンズ、凹面鏡等）（図示せず）、特定の波長の単色
を取り出すための充分大きな面積の波長選択手段、例え
ば狭帯域バンドパスフィルタ（４１）、特定の偏光方向
の直線偏光を取り出すための偏光子（４２）等が円筒形
または方形の適当な匡体に取りつけされている。偏光子
（４２）は互いに偏光透過方向の異なる偏光素子が数個
光軸（Ｌ）に近接して配置されている。

【００２０】（５）は受光部であり、検光子（５１）及
び光強度に応じた電気信号を発生する光検出器（５２）
等が投光部用の匡体と同様の匡体（図では同一直径の円
柱）に配置されている。検光子（５１）の各偏光素子
は、偏光子（４２）の各偏光素子と対応した位置に配置
され、対応する偏光素子と検光素子とは所定の偏光方向
関係、例えば平行ニコルに構成されている。光検出器
（５２）は、例えばフォトダイオードあるいは２次元の
ＣＣＤ素子（電荷結合素子）で構成され、検出出力をそ
れぞれ任意にサンプリングできるように構成されてい
る。なお波長選択手段は投光部ではなく受光部の検出器
の前段または投光部（４）と受光部（５）との間に設け
てもよい。

【００２１】図３は、図１とほとんど同じ構成である
が、回転ステージ（９）を設け、この回転ステージに取
り付けた投光部・受光部を垂直入射の光線軸まわりに回
転可能としている。図３においては、一対の回転ステー
ジ（９）（９１，９２）がフレーム（８）の上下の枠の
内側に対向して配置され、この回転ステージに垂直入射
測定ヘッドの投光部（４Ａ），受光部（５Ａ）が取りつ
けられ、垂直入射測定へッドの中心軸（Ｌ１）は回転ス
テージの回転軸と一致するように構成されている。

【００２２】さらに、斜入射測定ヘッドの投光部（４
Ｂ），受光部（５Ｂ）が、回転ステージ（９１），（９
２）に取りつけられ、垂直入射、斜入射両測定ヘッドの
中心軸は（Ｌ１），（Ｌ２）は試料面上で互いに交差し
ている。なお、図２の構成において、垂直入射測定ヘッ
ドは、必ずしも回転する必要はないが、両測定ヘッドを
共通の回転ヘッド上により支持し、一体として回転させ
る構成とする方が、装置構成は簡単となり、かつ両者の
相対位置関係が一定に保持される点で好ましい。また場
合により、それぞれ独自の条件でのデータサンプリング
を可能とするため、垂直入射、斜入射両測定ヘッドをそ
れぞれ独立に回転、停止させるモードと、両者を一体に
回転、停止させるモードとをを切替え選択できるように
構成してもよい。

【００２３】図４は、本発明の他の実施例図であり、フ
レーム（８）のベース部材（８１）、上部部材（８２）
に、軸（９１２）、（９２２）、ステッピングモータ
（９１３），（９２３）等により回転可能な回転ステー
ジ（９１），（９２）がそれぞれ支承され、駆動制御部
（１０）の制御のもとに電源（１１）により駆動される
ように構成されている。（９１４），（９２４）は、回
転ステージ（９１），（９２）の回転角度位置の信号を
発生するエンコーダであり、これらの角度位置信号は駆
動制御部（１０）に入力され、コンピュータ（７）から
プログラム出力される或る制御信号のもとに両ステージ
が同期回転駆動される。

【００２４】（４Ａ），（５Ａ）は、回転テーブルの回
転軸とその中心光軸が一致するように、回転テーブル
（９１），（９２）上に固定保持された垂直入射測定ヘ
ッドの投光部、受光部である。（４Ｂ），（５Ｂ）は、
斜入射測定ヘッドの投光部、受光部、（９１５），（９
２５）は、回転ステージ（９１），（９２）上にそれぞ
れとり付けられた斜入射投光部、受光部用の保持部であ
り、試料に対して特定の入射角の測定光に対応するよう
に（４Ｂ），（５Ｂ）をそれぞれ固定する方式としても
よいが、図のように測定点中心（Ｏ）を中心としかつ紙
面に平行円弧状ガイドに形成して、斜入射測定ヘッド
（４Ｂ），（５Ｂ）が（Ｏ）点を指向した状態を保っ
て、入射角を段階的にまたは連続的に調節できるように
構成してもよい。この場合、投光部（４Ｂ）と受光部
（５Ｂ）とが（Ｏ）点を通る１直線上に位置するよう
に、円弧状ガイド（９１５），（９２５）に角度目盛り
を設けて手動調節できるようにするか、このための適当
な自動調節機構を設けてもよい。

【００２５】つぎに、本発明装置の動作について説明す
る。図１の装置構成では一軸延伸フィルム等を測定対象
としている。一軸延伸では、通常シートの走行方向（Ｍ
Ｄ方向）に延伸され、この方向に配向するので、主屈折
率率方向（配向方向）は既知である。図５の（ａ１），
（ｂ１）に示されるように、斜入射測定ヘッド（４Ｂ，
５Ｂ）は、一軸延伸フィルムの配向方向（主屈折率方
向）を含みかつフィルム面に垂直な面内で、所定の入射
角αで測定光が試料に入射するように傾斜して配置され
る。

【００２６】この状態で垂直入射測定ヘッド、斜入射測
定ヘットによる透過度が並行して検出され、それぞれ複
屈折特性（主屈折率方向、レターデーション値等）が求
められ、さらに３次元屈折率、視野角特性が算出され
る。この場合、垂直入射、斜入射用にそれぞれ測定ヘッ
ドが設けられているので、並行同時検出が可能である
が、異方性の変化が被測定シートの走行方向に緩やかで
ある場合には、測定ヘッドを１個のみとし、ヘッドの向
きを時分割的に切替えて、垂直入射用、斜入射用に併用
することも可能ではある。しかし機構的には複雑とな
り、また動作の信頼性、測定精度、速応性等の種々の観
点から、あまり好ましい構成ではない。

【００２７】図１の構成によれば、試料を傾斜しなくて
も、垂直入射測定光、斜入射測定光により複屈折特性値
を測定することができる。また静止試料の場合にも、垂
直入射測定光により求めた試料の主屈折率方向が斜入射
面に含まれるように、試料を垂直入射光軸のまわりに回
転し、この状態で斜入射光によりレターデーシヨン及び
主屈折率方向を求めることにより、垂直入射の測定結果
と合わせて、３次元の屈折率、視野角特性を得ることが
できる。

【００２８】図３の構成によれば、垂直入射光、斜入射
光により複屈折特性値を測定でき、かつ斜入射の入射面
を垂直入射光軸のまわりに回転できるので、垂直入射測
定光により求めた試料の主屈折率方向が斜入射面に含ま
れるように、斜入射測定ヘッドを、垂直入射光軸のまわ
りに回転し、この状態で斜入射光によりレターデーシヨ
ン及び主屈折率方向を求めることにより、垂直入射の測
定結果と合わせて、配向方向が長さ方向に未知状態で変
化している長尺試料等の３次元の屈折率、視野角特性を
得ることができる。

【００２９】図４の構成によれば、垂直入射測定ヘッド
により求めた主屈折率方向に斜入射面が含まれるよう
に、斜入射測定ヘッドが垂直入射光軸のまわりに追随回
転し、この状態を維持しながら垂直入射、斜入射の複屈
折特性値を並行して測定できるので、配向方向が長さ方
向に未知状態で変化している走行試料の３次元の屈折
率、視野角特性をオンラインで測定することができる。

【００３０】なお、（図３）、図４の構成による動作に
ついてさらに説明すると、垂直入射測定光Ｌ１による、
３方向の直線偏光に対する透過度検出結果から演算によ
り、試料のＸＹ平面内における主屈折率方向（配向方
向）及びレターデーションＲ（０）が得られる。試料シ
ートの走行に応じて検出される面内主屈折率方向がφ
０，φ１，φ２と漸次変化すると、斜入射測定光束Ｌ２
（入射角α）がこの主屈折率方向を含みかつ試料面に垂
直な平面内に含まれるように（図５のａ１，ａ２，ａ
３）、これに追随して斜入射測定ヘッドが垂直入射光軸
のまわりに回転される（図４のｂ１，ｂ２，ｂ３）。

【００３１】したがって、垂直入射測定光による透過度
検出から斜入射測定ヘッドの追随回転までの時間遅れ
（応答時間）が微小であり、この間の試料走行距離が小
さければ、斜入射測定光の入射面はつねに試料面内の主
屈折率方向を含むことになる。この状態で斜入射測定光
によるレターデーションＲ（α）を測定することによ
り、上述のように式（３）〜（７）により３方向の主屈
折率Ｎｘ，Ｎｙ，Ｎｚが求まり、さらに（８）式により
面配向度Ｐを求めることができる。また２組の検出部か
ら得られたレターデーション測定値の比Ｒ（α）／Ｒ
（０）から位相差フィルムの視野角特性を簡便に評価す
ることができる。

【００３２】なおＲ（α）／Ｒ（０）の比を求める場
合、Ｒ（０）の値として、主屈折率方向算出のベースと
した当初の値でなく、Ｒ（α）用のデータと同時にＲ
（０）用のデータを再度サンプリングして用いれば、測
定精度がより向上される。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明により、延伸した高分子フィルムその他の光学的に透
明性のある異方性材料の３次元の異方性のオンラインで
測定に適した複屈折測定装置を実現することができ、さ
らに次の効果が得られる。１）位相差フィルムの視野角特性をオンラインで計測す
ることが可能となった。従って、またこの材料の生産ラ
インに適用して、視野角特性をオンライン制御すること
も可能となり、特性の向上、品質の安定化、歩留り、経
済性の向上等に有効に活用することができる。

【００３４】２）異方性材料の３次元屈折率および面配
向度をオンラインで計測することが可能となり、これら
の生産ラインにおける制御にも適用することができ１）
と同様の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の装置の概略構成図である。

【図２】本発明装置の測定ヘッド部の概略構成図であ
る。

【図３】本発明の他の実施例の装置の概略構成図であ
る。

【図４】本発明装置の他の実施例装置の概略構成図であ
る。

【図５】本発明装置の動作説明用図であり、（ａ１）〜
（ａ３）は配向方向と測測定光束入射方向の関係を斜視
図で表わし、（ｂ１）〜（ｂ３）は配向方向と測定ヘッ
ドの向きとの関係を平面図で表わしている。

【符号の説明】

１被測定物２光源３光ファイバー４投光部５受光部部６増幅・Ａ／Ｄ変換部７コンピュータ（データ処理装置）８フレーム９回転ステージ１０駆動制御部１１電源４１バンドパスフィルタ４２偏光子５１検光子５２受光素子８１フレームベース８２フレーム上部枠９１投光側回転ステージ９２受光側回転ステージ９１２回転軸９２２回転軸９１３ステッピングモータ９２３ステッピングモータ９１４エンコーダ９２４エンコーダ９１５円弧状ガイド９２５円弧状ガイドＬ１垂直入射測定光（中心軸）Ｌ２斜入射測定光（中心軸）ＭＤ試料走行方向Ｄ₁ ＸＹ面内配向方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物シートのシート面を維持した状態
で、偏光方向の異なる３種以上の偏光光束を、被測定物
表面に垂直入射させて、それぞれに対する透過度を検出
し、これらの検出出力から被測定物の面内の主屈折率方
向及びレターデーションを数値演算によって求める段階
と、被測定物の該主屈折率方向を含みかつ前記被測定物
面に垂直な平面内で被測定物面に測定光を斜入射させ透
過度を検出し、これらの検出出力から被測定物シート面
に対して傾斜した面内の主屈折率方向及びレターデーシ
ョンを求める段階と、垂直入射における測定結果と斜入
射における測定結果から３次元の異方性を求める段階を
含むことを特徴とする複屈折測定方法。
【請求項２】被測定物シート面への測定光の垂直入射に
よる透過度検出と、斜入射による透過度検出とを並行し
て行うことを特徴とする請求項１記載の複屈折測定方
法。
【請求項３】垂直入射による透過度検出により被測定物
シート面内の主屈折率方向とレターデーションとを求め
る段階と、この主屈折率方向を含みかつシート面に垂直
な面内でシート面に測定光を斜入射させ、斜入射による
透過度を検出する段階を時分割的に行うことを特徴とす
る請求項１記載の複屈折測定方法。
【請求項４】斜入射透過度検出の際に垂直入射の透過度
を再度求めることを特徴とする請求項３記載の複屈折測
定方法。
【請求項５】偏光方向の異なる３種以上の直線偏光に対
する被測定物の透過度をそれぞれ検出し、これらの検出
出力から被測定物の主屈折率方向及びレターデーション
を演算導出する複屈折測定装置であって、前記偏光より
なる測定光束を被測定物に対して垂直入射させ透過度を
検出する手段と、斜入射させ透過度を検出する手段とを
備えたことを特徴とする複屈折測定装置。
【請求項６】測定光束を被測定物に対して垂直に入射し
たときの偏光方向の異なる３種以上の偏光に対する透過
度の検出出力から被測定物の主屈折率方向を求め、求め
た主屈折率方向が斜入射のときの入射面に含まれるよう
に、前記の測定光束斜入射手段を含む測定ヘッドを、垂
直入射の光線軸まわりに回転させるように構成したこと
を特徴とする請求項５記載の複屈折測定装置。
【請求項７】測定光束垂直入射手段を含む測定ヘッドを
測定光束斜入射手段を含む測定ヘッドとともに回転させ
る機構を備えたことを特徴とする請求項５または６記載
の複屈折測定装置。
【請求項８】斜入射の入射角度を連続的にまたは段階的
に調節する手段を備えたことを特徴とする請求５、６、
７記載の複屈折測定装置。
【請求項９】垂直入射と斜入射のときのレターデーショ
ンから、予め入力された平均屈折率を拘束条件として、
被測定物の３次元屈折率を数値演算によって求める手段
を備えたことを特徴とする請求項５、６、７または８記
載の複屈折測定装置。