JPH08201493A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JPH08201493A JPH08201493A JP7010959A JP1095995A JPH08201493A JP H08201493 A JPH08201493 A JP H08201493A JP 7010959 A JP7010959 A JP 7010959A JP 1095995 A JP1095995 A JP 1095995A JP H08201493 A JPH08201493 A JP H08201493A
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Abstract
及び調整が容易な磁気センサを得る。 【構成】 素子基板12上に一対の磁気抵抗素子14
a,14bを平行に配置し、その間に導体層22aを形
成する。導体層22aには直列に抵抗4が接続されてい
る。抵抗4の抵抗値は、導体層22aから磁気抵抗素子
14a,14bに与えられる交流磁界が基準の値となる
ように調整されている。
Description
磁気センサに関し、特にセンサの出力感度の検出回路を
備えた磁気センサの構成に関する。
置や磁気カードリーダーなどに対し、磁気抵抗素子を利
用した磁気センサが用いられている。従来の一例による
磁気センサの構成を図9(a)に示し、その結線状態を
図9(b)に示す。従来の磁気センサ10は、素子基板
12上に一対の感磁部14a,14bを被着形成した磁
気抵抗素子を備えている。感磁部14a,14bは、例
えばInSbなどの材料から形成されており、素子基板
12上に蒸着等により被着形成されている。磁気抵抗素
子は、感磁部14a,14bに加わる磁界の変化に応じ
て信号を出力する。
磁気バイアスする磁石16が設けられている。この磁石
16は、磁気抵抗素子に磁気バイアスを加え、磁気動作
点を移動させて、微小な磁界の変化に対して磁気抵抗素
子からの出力信号のレベルを大きく取れるように設けら
れている。
ケース18の内部に収納されている。ケース18の上部
は、メタルカバー20によって覆われている。そして、
このメタルカバー20の表面が検知面として機能する。
作について図9(b)に示す結線図を参照して説明す
る。2つの磁気抵抗素子の感磁部14a,14bの各々
は互いに等しい形状でかつ等しい抵抗値を持つように形
成されている。そして、非動作時には磁石16からの均
一な磁界の影響を受け、各々等しい抵抗値を持つ抵抗体
として機能している。従って、直列に接続された磁気抵
抗素子の一対の感磁部14a,14bの両端に所定の電
圧Vinを印加すると、感磁部14a,14bの間から引
き出された出力端子からの出力電圧Vout はVin/2の
電圧となる。
れた印刷物(磁性体)がメタルカバー20の検知面に沿
って通過すると、この磁性体から磁気抵抗素子の一対の
感磁部14a,14bに対して磁界が与えられる。この
磁性体からの磁界は、磁性体の移動に従って変化するた
め、各々の磁気抵抗素子の感磁部14a,14bに加わ
る磁界の強さが変化し、これに伴って各々の抵抗値が変
化する。このため、出力端子からの出力電圧Vout も変
動することになる。従って、この出力電圧の変動を検知
することにより、磁性体の通過を検知することができ
る。
抵抗素子は経時変化は少ないが、経時変化等を呈した場
合、装置が正常に作動せず影響が大きいため、磁気抵抗
素子の特性変化や故障の有無を診断する必要が有る。こ
のため、従来では、図9(a)に示すような導体線22
を用いて特性変化などの診断を行っていた。その診断方
法は、まずメタルカバー20の検知面に導体線 22を
磁気抵抗素子の一対の感磁部14a,14bに対して等
距離にかつ平行に設置する。そして、この導体線22に
交流電流を流し、導体線22から一定のレベルの基準交
流磁界を発生させ、磁気抵抗素子の感磁部14a,14
bに印加する。そして、出力端子からの出力電圧Vout
の変動分を検出する。例えば、導体層22に周波数fa
(Hz)の交流電流を流し、これにより発生する磁界を
基準交流磁界と設定する。そして、この基準交流磁界の
影響を受けて出力される出力電圧Vout は周波数f
a (Hz)の模擬電圧出力となる。この基準交流磁界に
対する模擬電圧出力を検出しておけば、その後の使用時
の種々のタイミングにおいて、同様に基準交流磁界を与
え、その出力電圧を検出し、当初の模擬電圧出力と比較
することにより特性劣化や故障の有無を診断することが
できる。
は、診断を行う度に導体線22の取りつけや診断回路の
設定を行わなければならず、余分な工数や治具を必要と
するといった作業上の煩雑さを伴うものであった。ま
た、診断の度に導体線22をメタルカバー20の同じ位
置に取り付けることが困難なため、磁気抵抗素子の感磁
部14a,14bとの位置関係が診断の度に異なること
によって診断結果の精度が低下するという問題があっ
た。
ような磁気センサが考案された。この従来の他の例によ
る磁気センサ10は、図10(a)〜図10(c)に示
すように、素子基板12の表面に形成された磁気抵抗素
子の一対の感磁部14a,14bの間に導体層22aが
設けられている。この導体層22aは、InSb、A
l,Cuなどの導体材料を素子基板12表面上に被着し
て形成されている。さらに、導体層22aの両端は交流
発生回路Nなどとの接続を行うための端子に接続されて
いる。この導体層22aは、上述した図9に示す従来の
磁気センサ10の導体線22と同様の機能を持つもので
ある。そして、この導体層22aを利用した特性診断は
以下のように行われる。
うに、導体層22aの両端に交流発生回路Nを接続し、
導体層22aに一定の交流電流を流す。これにより、導
体層22aの回りに交流磁界を発生させ、出力端子から
出力電圧Vout を取り出す。そして、取り出された出力
電圧Vout を検査することにより特性劣化や故障の有無
を検出する。
サ10では、導体層22aと一対の感磁部14a,14
bとの位置関係が固定されているため、診断の度に一定
の交流磁界を磁気抵抗素子の感磁部14a,14bに対
して及ぼすことができる。また、導体層22aは磁気セ
ンサ10の内部に組み込まれているため、診断の度に導
体層22aを磁気センサ10に取り付ける必要がなく、
診断操作を容易に行うことが出来る。
に示す従来の磁気センサ10においては、導体層22a
から与えられる交流磁界は、メタルカバー20の検知面
上の基準となる位置から与えられるべき基準交流磁界を
基に、素子基板12の表面上において想定したものであ
る。すなわち、検知面上の所定位置から一定のギャップ
を隔てた位置において、そのギャップ分を考慮した磁界
が得られるように導体層22aに接続した交流発生回路
から一定の交流電流を流している。しかしながら、磁気
センサの組み立て工程においては、メタルカバー20と
素子基板12との間のギャップは各センサ毎にある程度
のばらつきが生じることは避けられない。このため、検
知面上での基準交流磁界の代わりに、素子基板12表面
上に形成した導体層22aによって得られる交流磁界を
用いるためには、ギャップのばらつきに応じて各センサ
毎に異ならせる必要が有る。しかし、図10に示す磁気
センサ10で、導体層22aに流れる交流電流は導体層
22aに接続される交流発生装置により一定の値に固定
されているため、導体層22aから与えられる交流磁界
は、各センサに与えるべき基準交流磁界と異なるものと
なっている。このため、故障の有無の確認は可能であっ
ても、本来の基準交流磁界に対する各磁気センサ毎の出
力電圧レベルを確認することができないという問題があ
った。このため、個々の磁気センサの出力電圧を一定の
検出レベルとなるようにゲイン調整を行った場合でも、
本来の検出レベルに調整されていることが保証されない
という問題があった。
ンサ出力のレベルの確認及び調整が容易な磁気センサを
提供することである。
は、基板と、基板上に一定の間隔を持って互いに平行に
配置された一対の感磁部とを有する磁気抵抗素子と、一
対の感磁部の各々に対して等距離となる位置に配置され
た導体層と、導体層に対して電気的に直列に接続された
抵抗とを備えたことを特徴とする。そして、抵抗は、導
体層を流れる電流によって一対の感磁部に印加される磁
界が、磁気センサの検知面における基準となる磁界と等
しくなるように、導体層を流れる電流の値を設定し得る
抵抗値を有している。
抵抗とは直列に接続されている。そして、この抵抗の値
を適当に調整することによって、導体層の両端に接続さ
れた交流電源から与えられる交流電流の値を制御するこ
とができる。導体を流れる交流電流の値を制御できれ
ば、導体層から発生する磁界の強さを制御することがで
きる。従って、各磁気センサに応じて正規の基準交流磁
界を磁気抵抗素子に対して印加することができる。これ
により、磁気センサからの出力電圧のレベルの確認及び
検出レベルの調整を容易に行うことが可能となる。
つつ説明することにより、本発明を明らかにする。
の正面断面構造図であり、図2は、その平面断面構造図
である。図1及び図2に示すように、磁気センサ1は、
フェライトなどからなる素子基板12の表面上に磁気抵
抗素子の一対の感磁部14a,14bが形成されてい
る。磁気抵抗素子の感磁部14a,14bは、InSb
などで形成されており、その形状及び抵抗値は等しく設
定されている。一対の感磁部14a,14bの間には導
体層22aが形成されている。導体層22aは、例えば
InSb,Al,Cuなどを素子基板12上に被着して
形成されている。また、素子基板12の下部には磁気抵
抗素子に磁気バイアスを与えるための磁石16が設けら
れている。
石16などはメタルカバー20の内部に収納されてい
る。そして、メタルカバー20の上面(検知面)と磁気
抵抗素子14a,14bとの間のギャップが一定の値と
なるように両者の位置関係が定められている。メタルカ
バー20の内部の下方にはプリント配線基板2が設けら
れており、プリント配線基板2の下方表面上には抵抗4
が半田付けされている。
態の一例を図3に示す。磁気抵抗素子の一対の感磁部1
4a,14bは互いに直列に接続され、その一方端に電
圧Vinを入力するための入力端子6aが接続され、他方
の端部に接地電位に接続するための接地端子6bが接続
されている。また、一対の感磁部14a,14bの間に
は出力電圧Vout を取り出すための出力端子6cが接続
されている。また、導体層22aの両端にはこの導体層
22aに所定の交流電流を与えるための接続端子6d,
6eが接続されている。さらに、この導体層22aに対
して抵抗R1(4)が直列に接続されている。この抵抗
R1は、導体層22aを流れる交流電流の値を調整し、
導体層22aから生じる交流磁界が、基準交流磁界とな
るように調整するために設けられている。この抵抗R1
の抵抗値の設定方法について以下に説明する。
説明したように、導体線22をメタルカバー20の検知
面上に、一対の感磁部14a,14bに平行に、かつ等
距離となる基準位置に取り付ける。そして、この導体線
22に所定の交流電流を流し、導体線22から基準交流
磁界を発生させる。さらに、印加電圧の入力端子6aか
ら印加電圧Vinを印加する。この場合、出力端子からの
出力電圧Vout は、基準交流磁界に応じた出力電圧が検
出される。
eに発振器などの交流発生装置8を接続し、交流電流I
を導体層22aに流す。この交流電流Iの電流方向は導
体線22と逆方向となるように、すなわち、導体線22
によって発生する基準交流磁界を打ち消す方向に磁界が
生じる向きに設定する。そして、出力電圧Vout の基準
交流磁界による出力分を相殺するように抵抗R1の大き
さを決定する。このように抵抗R1の大きさを設定すれ
ば、導体線22を取り外した状態で、導体層22aに交
流電流を流せば、その電流値は抵抗R1によって制御さ
れ、基準交流磁界を発生させる電流値となっている。従
って、抵抗R1が磁気センサ10内に組み込まれた後
は、常に導体層22aから基準交流磁界を磁気抵抗素子
の感磁部14a,14bに対して与えることができる。
流磁界に応じた出力電圧Vout が得られることになれ
ば、その出力電圧のゲイン調整を正確に行うことができ
る。図5は、ゲイン調整に用いる調整回路30を磁気抵
抗素子に接続した状態の回路図である。すなわち、磁気
抵抗素子の一対の感磁部14a,14bの間から引き出
された端子6cに図示のようなゲイン調整回路30を接
続し、可変抵抗Rcの値を調整することにより出力電圧
Vout のゲインを調整することができる。なお、このゲ
イン調整回路を磁気センサ1の内部に組み込んでもよ
い。
ては図6に示すような変形例が考えられる。図6は、導
体層22aの両端に2つの抵抗R1,R2を直列に接続
設けた場合の結線図を示している。この場合において
も、抵抗R1,R2の値を適当に設定することによって
導体層22aから基準交流磁界を発生させることができ
る。
は、磁気抵抗素子の一対の感磁部14a,14bの間に
一箇所設けるのみならず、各々の感磁部14a,14b
の外側に平行に設けるように構成してもよい。
の裏面側に設けるように構成してもよい。さらに、導体
層22aに接続される抵抗は、個々の抵抗素子を配線中
に接続してもよく、あるいは、導体層22aの接続端子
6d,6eを抵抗で構成してもよい。
は、基板上に磁気抵抗素子の一対の感磁部と平行に設け
た導体層に対して直列に接続される抵抗を設けるように
構成したことにより、この抵抗値を調整することによっ
て、磁気抵抗素子に対して出力感度の基準とすべき基準
交流磁界を与えることが可能となり、検知面と感磁部と
のギャップにばらつきが生じた場合でも、各磁気センサ
の検知面に対する出力感度を一定に設定でき、さらには
出力感度の確認並びにセンサの検出レベルの調整が正確
にかつ容易に行うことが可能となる。
造図。
動作を説明するための説明図。
状態を示す回路図。
線図。
部断面構造図。
要部断面構造図。
(a)及びその結線図(b)。
(a)、正面要部断面構造図(b)、正面断面構造図
(c)及び結線図(d)。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板と、該基板上に一定の間隔を持って
互いに平行に配置された一対の感磁部とを有する磁気抵
抗素子と、 一対の前記感磁部の各々に対して等距離となる位置に配
置された導体層と、 前記導体層に対して電気的に直列に接続された抵抗とを
備えたことを特徴とする、磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01095995A JP3603360B2 (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 磁気センサの製造方法及び磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01095995A JP3603360B2 (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 磁気センサの製造方法及び磁気センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201493A true JPH08201493A (ja) | 1996-08-09 |
| JP3603360B2 JP3603360B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=11764726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01095995A Expired - Lifetime JP3603360B2 (ja) | 1995-01-26 | 1995-01-26 | 磁気センサの製造方法及び磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3603360B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11312448A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-09 | Murata Mfg Co Ltd | 鋼球検出センサ |
| WO2015147045A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-01 | 三菱電機株式会社 | 情報読取装置及び情報読取方法 |
| CN107873085A (zh) * | 2015-02-02 | 2018-04-03 | 三菱电机株式会社 | 磁传感器装置 |
| US10620015B2 (en) | 2014-06-18 | 2020-04-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device with heat dissipater |
-
1995
- 1995-01-26 JP JP01095995A patent/JP3603360B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
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| JPWO2015147045A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-04-13 | 三菱電機株式会社 | 情報読取装置及び情報読取方法 |
| US10620015B2 (en) | 2014-06-18 | 2020-04-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device with heat dissipater |
| DE112015002893B4 (de) | 2014-06-18 | 2024-04-25 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetische Sensor-Einheit und Verfahren zur Herstellung derselben |
| CN107873085A (zh) * | 2015-02-02 | 2018-04-03 | 三菱电机株式会社 | 磁传感器装置 |
| US10162018B2 (en) | 2015-02-02 | 2018-12-25 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device |
| CN107873085B (zh) * | 2015-02-02 | 2020-03-10 | 三菱电机株式会社 | 磁传感器装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3603360B2 (ja) | 2004-12-22 |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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