JPH0820226B2

JPH0820226B2 - ヘツド浮上量測定方法

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Publication number: JPH0820226B2
Application number: JP60259292A
Authority: JP
Inventors: 努伊藤; 広首藤; 洋次郎大川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1985-11-18
Filing date: 1985-11-18
Publication date: 1996-03-04
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: JPS62118203A

Description

【発明の詳細な説明】以下の順序で本発明を説明する。

Ａ産業上の利用分野Ｂ発明の概要Ｃ従来の技術Ｄ発明が解決しようとする問題点Ｅ問題点を解決するための手段（第１図、第６図〜第
８図）Ｆ作用（第１図、第６図〜第８図）Ｇ実施例（第１図〜第８図）Ｈ発明の効果Ａ産業上の利用分野本発明はヘツド浮上量測定方法に関し、特にいわゆる
ハードデイスク等に用いられる浮上ヘツドの浮上量を測
定する場合に適用し得るものである。

Ｂ発明の概要本発明は、回転するデイスクと、このデイスクの表面
に生ずる空気流を利用して浮上するように配設されたヘ
ツド部との間に生ずる光学的干渉縞によつて、ヘツド部
の浮上量を測定するヘツド浮上量測定方法において、単
色光を照射することにより光学的干渉縞を発生させて当
該光学的干渉縞の任意の点における明るさがヘツド部の
浮上量に対応して変動することを利用して、その最大値
及び最小値から測定点の浮上量を演算するようにするこ
とにより、高い精度でヘツド浮上量を測定し得るように
したものである。

Ｃ従来の技術いわゆるハードデイスクを用いた情報記録再生装置に
おいては、高速回転する磁気デイスクに対して磁気ヘツ
ドを微小空隙を保つて対向させるようにすることによ
り、磁気デイスク上に情報を高密度記録し、又は再生で
きるような工夫がされており、従来微小空隙を保つて磁
気ヘツドを磁気デイスク表面に対向させる方法として磁
気デイスクがその高速回転に伴つて連れ回る空気流によ
つて磁気ヘツドを浮上させる方法が採用されている。

この種の情報記録再生装置において、磁気ヘツドを浮
上させた際にその浮上態様を詳細に把握する手段があれ
ば、ヘツドが設計通りに安定に浮上しているか否かを評
価したり、ヘツドに関する問題点を改善するための手段
を講ずる際に有効であると考えられる。このような考え
方に基づいて、ヘツドの浮上安定性を測定する装置が、
特開昭60−124071号公報及び特開昭60−124072号公報に
開示されている。

Ｄ発明が解決しようとする問題点この従来の浮上安定性測定装置は、磁気ヘツドが対向
すべき磁気デイスクに代えて高速回転する透明ガラス板
を有し、この透明ガラス板を通して磁気ヘツドの表面を
ビデオカメラで撮像する。その結果磁気ヘツド及び透明
ガラス板間の空隙に対応する光学的干渉縞が生じ、これ
をビデオカメラによつて撮像して記録手段に記録するよ
うにすれば、磁気ヘツドの浮上安定性を判断できる情報
を得ることができる。

ところがこの従来の装置は、浮上量の判定を色干渉縞
の色を目視確認することによつて測定するようになされ
ており、従つて測定精度をそれほど向上し得ない問題が
あり、実用上0.05〔μｍ〕程度の精度しか得られない問
題がある。

従つてヘツドの浮上態様を詳細に判定するために、種
々のパラメータについての判定データを得ようとする際
に、さらに一段と高い精度の浮上量を測定する必要があ
る場合には、従来のヘツド浮上量測定方法は未だ不十分
である。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、光学的
干渉縞を発生させる照射光として単色光を用いることに
より、ヘツド部の測定点から得られる検出信号を用いて
従来の場合と比較してさらに一段と高い精度でヘツド浮
上量を求めることができるヘツド浮上量測定方法を提案
しようとするものである。

Ｅ問題点を解決するための手段かかる問題点を解決するための本発明においては、回
転するデイスク３と、このデイスク３の表面に生ずる空
気流を利用して浮上するような配設されたヘツド部４と
の間に生ずる光学的干渉縞によつて、ヘツド部４の浮上
量を測定するヘツド浮上量測定方法において、デイスク
３及びヘツド部４に対して単色光でなる照射光を照射す
ることにより光学的干渉縞を発生させ、光学的干渉縞内
の点に設定した測定点x₀について、当該光学的干渉縞の
明るさを表す映像データQ2を得、映像データQ2を表す明
るさが、測定点X₀におけるヘツド部４の浮上量を大きく
して行つたとき周期的に変化することを利用して、当該
変化が正弦波形状であると近似し、周期的に現れる暗点
及び明点間のサイクル範囲に対して次数ｍ（ｍ＝０、
１、２……）を割り当て、上記測定点の浮上量h₀が属す
る次数ｍを指定し、当該サイクル範囲内の正弦波形状変
化の両側にある明るさの最大値及び最小値に基づいて、
測定点X₀におけるヘツド浮上量h₀を、当該サイクル範囲
の両側にある暗点及び又は明点に対応する浮上量h₁と、この浮上量h₁から浮上量h₀までの差を表す浮上量h₂との
和 h₀＝h₁＋h₂ として近似演算し、ここで、浮上量h₁を暗点及び明点の
周期性を利用してλ/4の整数倍の値として求め、かつ浮
上量h₂を当該ｍ次のサイクル範囲内の正弦波形変化の位
相として求めるようにする。

Ｆ作用単色光でなる照射光I₁によつて発生した光学的干渉縞
内の点に測定点X₀を設定し、この測定点X₀におけるヘツ
ド部４の浮上量を次第に大きくして行けば、映像データ
として検出された明るさの値は周期的に変化する。その
変化を正弦波形状に近似することにより、その周期性に
応じて、明るさの最大値R_max及び最小値R_minに基づいて
測定点X₀に対応する浮上量を近似演算することができ
る。かくして高い精度でヘツド浮上量h₀を演算すること
ができると共に、浮上量h₀を正弦波形状変化の位相とし
て近似演算できることにより、たとえ最大値R_max及び最
小値R_minの差（すなわちコントラスト）が小さくなつて
も、その影響を受けずにヘツド浮上量の演算をなし得
る。

Ｇ実施例以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

第１図において、１は全体として浮上ヘツド測定装置
を示し、モータ２によつて回転駆動されるガラス材料で
なる透明デイスク３と対向するようにヘツド部４が配設
され、このヘツド部４が根元部分をヘツド支持板５に固
定されている弾性部材６の先端に固着されている。

ヘツド支持板５は、固定部７に固定されているステー
ジ８上を矢印ａで示す方向（Ｘ方向及びＹ方向）に進退
する移動部材９上に固着され、移動部材９がステージ送
りドライバ10の駆動出力S1によつて矢印ａの方向に進退
されると、これに応じてヘツド部４が透明デイスク３の
所定位置に位置決め制御される。

モータ２は、回転制御回路11の駆動出力S2によつて回
転駆動され、その出力軸に関連して設けられた回転セン
サ12によつて透明デイスク３の回転速度に対応するパル
ス間隔を有するパルス出力S3を発生し、これをタコメー
タ13によつて回転速度に相当する直流レベルでなる回転
速度検出出力S4に変換して回転制御回路11にフイードバ
ツクする。

かくしてモータ２に対するサーボ系が形成され、回転
制御回路11にマイクロコンピユータ構成の中央処理ユニ
ツト15から供給される速度基準信号S5に対応する速度
で、透明デイスク３を高速回転させるようになされてい
る。

中央処理ユニツト15には、回転速度検出出力S4が、モ
ータ２の現在の回転速度を表すデータとして入力され
る。

透明デイスク３は、高速回転する際に、表面に接触し
ている空気流を連れ回ることにより、第２図に示すよう
に、ヘツド部４と透明デイスク３の表面との間に空気流
ARを発生し、ヘツド部４はこの空気流ARによつて浮上力
を与えられ、かくしてヘツド部４が弾性部材６の押圧力
に抗して透明デイスク３から離れる方向に浮上する。

ヘツド部４は空気流ARに対して必要に応じて所定量だ
け浮上し得るような第３図に示す構成を有する。

すなわち、ヘツド部４は、縦断面が凹状の不透明材料
でなるスライダ4Aを有し、表面上に透明デイスク３の表
面に対向する一対のスライド面4L及び4Rが形成されてい
る。スライド面4L及び4Rは空気流ARに沿う方向に溝4Bを
挟んで平行に延長し、その表面は鏡面仕上げされてい
る。

スライド面4L及び又は4Rの後端部には、磁気ヘツド4C
が装着されている。第３図の場合のヘツド部４は１つの
磁気ヘツド4Cを含んでなるブロツクを、一方のスライド
面4Rの後縁部に穿設された切り溝4D内に挿入され、接着
材によつてスライダ4Aに接着されている。

かかるヘツド部４の構成をモノリシツクな構造と呼ぶ
が、これに対して第３図において破線で示すように、ス
ライド面4L側にも、磁気ヘツド4Eを搭載するいわゆるコ
ンポジツト構造にも構成し得る。

スライダ4Aのスライド面4L及び4Rの先端部には、斜め
に面取りされた空気流流入用斜面4M及び4Nが形成され、
この空気流流入用斜面4M及び4Nから流入した空気流AR
が、この空気流流入用斜面4M及び4Nを磁気デイスク３か
ら離す方向に押しながらスライド面4L及び4Rと、透明デ
イスク３との間に流れ込むようになされている。

ここで、スライダ4Aのスライド面4L及び4Rが鏡面仕上
げされているのに対して、溝4Bの内表面は鏡面仕上げさ
れていない。従つて、第２図に示すように、透明デイス
ク３の上方から照射光I₁が照射されたとき、透明デイス
ク３を通る光のうち、一部が透明デイスク３の内側の面
において反射光I₂₂として反射され、また透明デイスク
３を透過した光がスライド面4L及び4Rの表面において反
射光I₂₁として反射される。かくして、反射光I₂₁及びI
₂₂の合成反射光Ｒによつて２光束干渉法による光学的干
渉縞が発生するようになされている。

実際上スライダ4Aは、第２図に示すように、空気流AR
が流入する前端縁が比較的大きく浮き上がるのに対し
て、磁気ヘツド4Cが搭載されている後端部と、透明デイ
スク３との間の空隙が狭くなる（例えば0.2〜0.3〔μ
ｍ〕から0.5〔μｍ〕程度まで）ような姿勢で浮上す
る。かくして実際上磁気デイスクへの記録レベル及び再
生レベルをできるだけ大きくすることにより、高密度記
録及びその再生を確実になし得るようになされている。

透明デイスク３には、その上方に配設された顕微鏡21
（第１図）から対物レンズ21Aを通じて照射光I₁が照射
され、この照射光I₁が透明デイスク３を透過してヘツド
部４の表面に到達し得るようになされている。

一方、光源22（第１図）から発生される光のうち、所
定の波長の単色光が、色フイルタ23によつてフイルタリ
ングされた後、顕微鏡21内に設けられたハーフミラー21
Bを介して対物レンズ21Aから透明デイスク３に照射光I₁
とし照射する。

その結果２光束干渉を起こしている合成反射光Ｒは、
対物レンズ21A、ハーフミラー21Bを通してテレビジヨン
カメラ24（例えばCCDなどの光電変換手段を用いた撮像
手段でなる）に入射されてラスタ映像信号VD_INに変換さ
れる。このラスタ映像信号VD_INはモニタ30に与えられ、
第４図（Ｂ）に示すように、その表示画面DIS上に、ス
ライダ4Aのスライド面4L、4Rと共に、スライド面4L、4R
上に発生した光学的干渉縞を映し出す。

またラスタ映像信号VD_INは1H切取り回路31に与えられ
る。1H切取り回路31は、ラスタ映像信号VD_INから１本の
走査ライン分の映像信号を抜き取るようになされ、その
1H映像信号VD_Hをアナログ／デイジタル変換回路32にお
いてデイジタル信号に変換して中央処理ユニット15に取
り込ませる。この1H映像信号VD_Hは、第４図（Ｂ）に示
すように、表示画面DISのうち、スライド面4L又は4Rの
一方（例えば4R）上の１本の走査ラインSCH上の映像信
号を内容とし、かくしてこの1H映像信号VD_Hから干渉縞
の位置及び干渉縞の間隔についてのデータを、中央処理
ユニツト15に取り込むことができるようになされてい
る。

なお、モニタ30の表示画面DIS上に、走査ラインSCHを
表示させるための表示信号S7が1H切取り回路31からモニ
タ30に与えられる。

中央処理ユニツト15はデータをフロツピイデイスク、
ハードデイスク等でなる外部記憶装置35に格納し、必要
に応じて読み出して演算データとして用いると共に、プ
リンタ36によつてプリントアウトする。

中央処理ユニツト15は、かかる光学的干渉縞の明暗に
ついてのデータに基づいて、ヘツド部４のスライド面4L
及び4R上の各点について、対向する透明デイスク３の表
面との間の距離（従つて浮上量ｈ）を次のような原理に
基づいて演算により求めて評定処理を実行する。

先ず第２図において反射光I₂₁及びI₂₂を合成して得ら
れる合成反射光Ｒ（すなわち干渉光）は、次式で表される。ここでδは反射光I₂₁及びI₂₂間の位相差
で、で表される。またλは照射される単色光の波長（例えば
0.4〜0.8〔μｍ〕程度）、I₂₁はスライダ4Aの表面から
の反射光I₂₁の振幅、I₂₂は透明デイスク３の表面からの
反射光I₂₂の振幅をそれぞれ表すものとする。

従つて単色光の波長λを固定したときの合成反射光Ｒ
の値は、スライド面4L、4R（第４図（Ｂ））の各部分に
ついて、反射光I₂₁及びI₂₂の位相差δ（従つて透明デイ
スク３の表面からのスライド面4L、4Rの浮上量ｈ（第４
図（Ｃ））に相当する明るさをもつている。そこでスラ
イド面4L及び4Rが延長する方向の座標位置Ｘの任意の座
標位置X₀（例えばヘツド4Cのギヤツプの座標位置（これ
をヘツド位置と呼ぶ））を固定して反射光Ｒの値R₀を求
め、この値R₀に対応する浮上量h₀を（１）式及び（２）
式に基づいて求めれば、固定位置X₀（すなわちヘツド4C
のギヤツプ位置）の浮上量を測定し得る。

またスライド面4L、4Rの表面が平面のとき、（２）式
の浮上量ｈがスライド面4L、4Rの座標位置Ｘに比例して
変化することになるので、スライド面4L、4Rの長さ方向
の座標位置Ｘに沿つて明るさの変化を見たとき、スライ
ド面4L、4Rの各位置における合成反射光Ｒの明るさの変
化は、正弦波形状になる（第４図（Ａ））。

これに対して、平面でなく、多少の凹凸がある場合に
は、その特徴に応じて正弦波形の位相が部分的にずれる
ように変化する。

そして、スライド面4L、4Rの表面の明るさが、その最
も暗い部分DP（第４図（Ｂ））（又は最も明るい部分）
の間隔は、対応する座標位置の浮上量ｈの差が、照射光
I₁の波長λに対してλ/2であることを表している。

ところで、（１）式及び（２）式において、固定位置
X₀についてヘツド部４の浮上量h₀を変数ｈと考えると、
第５図に示すように、固定位置X₀における浮上量ｈが大
きくなつて行けば当該固定位置における明るさは正弦波
形状に周期的に変化するようなグラフとして表現し得
る。従つて測定したいヘツド部４の当該固定位置X₀にお
ける浮上量h₀を知るためには、浮上量h₀が、明るさの変
化分のうちの何番目のサイクル範囲に入るかを判定する
と共に、さらに当該判定したサイクル範囲内の位相を測
定すれば良い。

実際上、中央処理ユニット15において演算に用い得る
情報は、合成反射光Ｒの最大値R_max及び最小値R_minであ
り、固定位置X₀における明るさR₀に対応するヘツド浮上
量h₀を、最大値R_max及び最小値R_minの周期性を利用して
次のようにして求めることができる。

すなわち、第５図において合成反射光Ｒが最大値R_max
になるのは、（１）式より反射光I₂₁及びI₂₂の位相差δ
が０、２π、４π……のときであり（このように合成反
射光Ｒが最も明るくなるグラフ上の点を以下明点と呼
ぶ）、このときの浮上量h_maxはλ/4、３λ/4、５λ/4…
…になる。

また合成反射光Ｒが最小値R_minになるのは、同様に
（１）式より反射光I₂₁及びI₂₂の位相差δがπ、３π、
５π……のときであり（このように合成反射光Ｒが最も
暗くなるグラフ上の点を以下暗点と呼ぶ）、このときの
浮上量h_minは０、λ/2、λ、３λ/2……になる。

従つて暗点及び明点は、第５図において、λ/4間隔で
交互にかつ周期的に現れる。この関係を利用して任意の
明るさR₀における浮上量h₀を求めるには、周期的に現れ
る暗点及び明点間のサイクル範囲に対して次数ｍ（ｍ＝
０、１、２……）を割り当て、浮上量h₀が属する次数ｍ
を指定して当該サイクル範囲の両側にある暗点及び又は
明点に対応する浮上量h₁（すなわちh_max又はh_min）と、
この浮上量h₁から浮上量h₀までの差を表す浮上量h₂との
和、すなわち h₀＝h₁＋h₂ ……（３）として求めるようにすれば、比較的簡易な演算によつて
浮上量h₀を求めることができる。

ここで、浮上量h₁は暗点及び明点の周期性を利用し
て、λ/4の整数倍の値として簡易に求めることができ、
また浮上量h₂は当該ｍ次のサイクル範囲について（１）
式及び（２）式に含まれるcosδの項をｈについて解く
ような演算を実行することによつて求めることができ
る。

この非周期的な成分である浮上量h₂の演算は、明点
（すなわち浮上量h_max＝λ/4、３λ/4、５λ/4……の
点）を基準にして求める第１の方法と、暗点（すなわち
浮上量h_min＝０、λ/2、λ、３λ/2……の点）を基準に
して求める第２の方法と、暗点及び明点を交互に基準点
とする（すなわち（h_max、h_min）＝０、λ/4、λ/2、３
λ/4……の点を順次基準とする）第３の方法などを適用
し得る。

この実施例の場合は、第１の方法を用いて、ヘツド浮
上量h₀を、明点の浮上量h_maxを基準にして次式によつて近似演算する。ここで、となる。

第１図の実施例の場合、浮上量h₀が含まれるサイクル
範囲の次数ｍは、色フイルタ23のフイルタを交換するこ
とにより判定される。すなわち浮上状態の測定に先立つ
て、中央処理ユニツト14はフイルタ交換指令S10を色フ
イルタドライバ43に与え、その出力S11によつて２枚の
色フイルタ23を交換し、照射光I₁を波長λ₁又はλ₂の単
色光に変更することにより各単色光における浮上量h_max
及びh_minの変化から次数ｍを判定する。

かくして（４）式において、値R₀、R_min、R_max、ｍ、
照射光I₁の波長λは全て既知であるのでこの式によつて
互いに隣合う最大値R_max及び最小値R_min間にある明るさ
R₀に対応する浮上量h₀を近似演算することができる。

中央処理ユニツト15はかかる演算結果を、必要に応じ
て外部記憶装置35に格納し得る。

一方モニタ30は、その表示画面DIS上に表示された映
像を表す平面的映像信号PICを画像処理回路44に与え
る。画像処理回路44はフレームメモリを有し、モニタ30
の平面的映像信号PICを、デイジタルデータに変換して
フレームメモリに書き込む。このフレームメモリに書き
込まれたデータDPICは、中央処理ユニツト15からの読出
し指令によつて、中央処理ユニツト15に転送され、必要
に応じて外部記憶装置35に格納される。

以上の構成において、浮上態様を判定しようとするヘ
ツド部４を透明デイスク３に対向させるように装着する
と共に、透明デイスク３を透過するように顕微鏡21から
照射光I₁を照射させる。ヘツド部４の浮上に関するデー
タは、合成反射光Ｒに基づいて、その光学的干渉縞につ
いての映像データとして、画像処理回路44を介して中央
処理ユニツト15に取り込まれ、処理された後外部記憶装
置35に格納される。かくして中央処理ユニツト15は、ヘ
ツド部４の浮上態様をスライド面4L、4Rから得られる1H
分又は１フレーム分の平面的な浮上情報に基づいて、ヘ
ツド部４の浮上態様を総合的に判定し得る。

すなわち、中央処理ユニツト15は、1H切取り回路31か
ら取り込まれた1H分の光学的干渉縞を表す映像データを
走査ラインSCH（第４図（Ｂ））に沿う画素について読
み出して、必要に応じて、スライド面4L、4R上の１つの
測定点X₀についての浮上量h₀を演算してヘツド部４の浮
上量を評定し得る。

また中央処理ユニツト15は、画像処理回路44から取り
込まれた平面的な光学的干渉縞を表す映像データを、走
査ラインSCH1、SCH2……SCHL（第６図）に沿う画素につ
いてそれぞれ読み出して多数の測定点X₀についての浮上
量h₀を演算してヘツド部４のスライド面4L、4R全体につ
いての浮上態様を評定し得る。

合成反射光Ｒの明るさの最大値R_max及び最小値R_minが
一定である理想的な場合には、上述のようにして、測定
点X₀に対応する浮上量h₀を求めることができる。これに
対して実際には、第７図において１点鎖線K1及びK2で示
すように最大値R_max及び最小値R_minの差がヘツド浮上量
ｈが大きくなるに従つて小さくなる傾向がある。

この現象が生ずる理由は、第１に光源22として例えば
ハロゲンランプを用いた場合等のように、実際上点光源
を得ることができないために、デイスク３及びヘツド部
４に照射する照射光I₁に広がり生ずることを避け得ず、
そのため浮上量ｈが大きくなると、最大値R_max及び最小
値R_minの差すなわちコントラストが小さくなる結果を生
じる。

また第２の理由は、色フイルタ23によつて得ることが
できる単色光は、実際上理想的に単一波長の照射光I₁を
得ることはできないために、合成反射光Ｒに干渉が生じ
た際に、コントラストが劣化する結果を生じさせる。

このように合成反射光Ｒが第７図において実線で示す
理想的な特性曲線Q1を得ることは実際上困難で、第７図
において破線で示すように、ヘツド浮上量ｈが大きくな
るに従つてコントラストが弱まるような特性曲線Q2を描
くことになる。

従つて中央処理ユニツト15は、ヘツド浮上量h₀を演算
する際に、明るさR₀と特性曲線Q2との交点に対応するヘ
ツド浮上量を演算する必要がある。

この点に関して中央処理ユニツト15は、上述のように
測定点X₀に対応する明るさR₀が属するサイクル範囲につ
いて、その両端位置にある最大値R_max及び最小値R_minを
用いてヘツド浮上量h₀を近似演算するようになされてい
るので、たとえヘツド浮上量h₀に応じてコントラストが
劣化して行つても、その影響を有効に回避し得る。

上述のように、第１図の実施例によれば、光学的干渉
縞内の測定点X₀に対応するヘツド浮上量h₀を、当該測定
点X₀における合成反射光Ｒの明るさを含むサイクル範囲
の両側にある明るさの最大値R_max及び最小値R_minに基づ
いて近似演算するようにしたことにより、合成反射光Ｒ
のコントラストが劣化してもその影響を有効に回避した
演算結果を得ることができ、その結果高い精度でヘツド
浮上量を測定し得る。

実験によれば、浮上量の測定結果の精度として0.01
〔μｍ〕程度の測定結果（従来の場合は0.05〔μｍ〕程
度であつた）を得ることができた。

なお上述においては、透明デイスク３にヘツド部４を
対向させることによつて光学的干渉縞を発生させるよう
にしたが、これに代え、不透明デイスク３に対して透明
材料でなるヘツド部４を対向させることにより光学的干
渉縞を発生させるようにした場合にも、上述の場合と同
様の効果を得ることができる。

また上述においては、スライダ4Aとして、２つのスラ
イド面4L、4Rを有する構成のものを用いたが、その数及
び形状を必要に応じて変更しても、上述の場合と同様の
効果を得ることができる。

Ｈ発明の効果以上のように本発明によれば、測定点X₀におけるヘツ
ド浮上量h₀を演算するにつき、測定点X₀についてヘツド
浮上量が変化したとき明るさＲが周期的に変動すること
を利用して、当該測定点X₀の明るさが属するサイクル範
囲を求め、このサイクル範囲の両側にある最大値R_max及
び最小値R_minに基づいてヘツド浮上量を近似演算するよ
うにしたことにより、従来の場合のように、色干渉縞に
よつて波長を測定する場合と比較して一段と高い精度で
ヘツド浮上量の測定をなし得ると共に、浮上量を正弦波
形変化の位相として近似演算できることにより、たとえ
最大値R_max及び最小値R_minの差（すなわちコントラス
ト）が小さくなつたとしても、その影響を受けずにヘツ
ド浮上量の測定をなし得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるヘツド浮上量測定方法の一実施例
を実施したヘツド浮上量測定装置を示すブロツク図、第
２図はそのヘツド部４の浮上原理及び光学的干渉縞の発
生の説明に供する略線図、第３図はヘツド部４の詳細構
成を示す略線的斜視図、第４図はヘツド部４のスライド
面4L及び4R上に発生する光学的干渉縞の説明に供する略
線図、第５図はヘツド浮上量と光学的干渉縞との関係を
示す特性曲線図、第６図は平面的画像データの説明に供
する略線図、第７図は測定データが変動した場合の補正
動作の説明に供する特性曲線図である。１……ヘツド浮上量測定装置、２……モータ、３……透
明デイスク、４……ヘツド部、５……ヘツド支持板、６
……弾性部材、15……中央処理ユニツト、21……顕微
鏡、22……光源、23……色フイルタ、24……テレビジヨ
ンカメラ、30……モニタ、31……1H切取り回路、32……
アナログ／デイジタル変換回路、35……外部記憶装置、
36……プリンタ、44……画像処理回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転するデイスクと、このデイスクの表面
に生ずる空気流を利用して浮上するように配設されたヘ
ツド部との間に生ずる光学的干渉縞によつて、上記ヘツ
ド部の浮上量を測定するヘツド浮上量測定方法におい
て、上記デイスク及びヘツド部に対して単色光でなる照射光
を照射することにより上記光学的干渉縞を発生させ、上記光学的干渉縞内の点に設定した測定点について、当
該光学的干渉縞の明るさを表す映像データを得、上記映像データが表す上記明るさが上記測定点における
上記ヘツド部の浮上量を大きくして行つたとき周期的に
変化することを利用して、当該変化が正弦波形状である
と近似し、周期的に現れる暗点及び明点間のサイクル範
囲に対して次数ｍ（ｍ＝０、１、２……）を割り当て、
上記測定点における浮上量h₀が属する次数ｍを指定し、
当該サイクル範囲内の上記正弦波形状変化の両側にある
明るさの最大値及び最小値に基づいて、上記測定点にお
けるヘツド浮上量h₀を、当該サイクル範囲の両側にある
暗点及び又は明点に対応する浮上量h₁と、この浮上量h₁
から浮上量h₀までの差を表す浮上量h₂との和 h₀＝h₁＋h₂ として近似演算し、ここで、浮上量h₁を暗点及び明点の周期性を利用してλ
/4の整数倍の値として求め、かつ浮上量h₂を当該ｍ次の
サイクル範囲内の正弦波形変化の位相として求めることを特徴とするヘツド浮上量測定方法。