JPH08203038A - 磁気抵抗素子を有する検出ヘッド及び変位検出装置 - Google Patents
磁気抵抗素子を有する検出ヘッド及び変位検出装置Info
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- JPH08203038A JPH08203038A JP7011959A JP1195995A JPH08203038A JP H08203038 A JPH08203038 A JP H08203038A JP 7011959 A JP7011959 A JP 7011959A JP 1195995 A JP1195995 A JP 1195995A JP H08203038 A JPH08203038 A JP H08203038A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出ヘッドにおいて、磁気スケールの磁気目
盛りのピッチλを変化させることなく測定精度又は分解
能を向上させることを目的とする。 【構成】 所定のピッチλの磁気目盛りを有する磁気ス
ケールに対する相対的な変位を検出するための磁気抵抗
素子を有する検出ヘッドにおいて、磁気抵抗素子は、５
相の交流信号を出力信号として取り出せることができる
ように、５対の磁気抵抗素子を含む。
盛りのピッチλを変化させることなく測定精度又は分解
能を向上させることを目的とする。 【構成】 所定のピッチλの磁気目盛りを有する磁気ス
ケールに対する相対的な変位を検出するための磁気抵抗
素子を有する検出ヘッドにおいて、磁気抵抗素子は、５
相の交流信号を出力信号として取り出せることができる
ように、５対の磁気抵抗素子を含む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気抵抗素子を有する検
出ヘッド及び斯かる検出ヘッドを有する変位検出装置に
関する。
出ヘッド及び斯かる検出ヘッドを有する変位検出装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図４を参照して従来の変位検出装置の例
を説明する。変位検出装置は磁気スーール１１と検出ヘ
ッド１２とを有し、磁気スケール１１に対して検出ヘッ
ド１２が矢印方向に相対的に移動する。磁気スケール１
１はピッチλの磁気目盛りを有し、検出器ヘッド１２は
３対の磁気抵抗素子２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ、
２３Ａ、２３Ｂを有する。各対の磁気抵抗素子は互いに
λ／２だけ隔置され、隣接する対の磁気抵抗素子は互い
に（ｎ＋１／３）λだけ隔置されている。ｎは自然数で
あり、図示の例ではｎ＝ｎ1 、ｎ2 である。
を説明する。変位検出装置は磁気スーール１１と検出ヘ
ッド１２とを有し、磁気スケール１１に対して検出ヘッ
ド１２が矢印方向に相対的に移動する。磁気スケール１
１はピッチλの磁気目盛りを有し、検出器ヘッド１２は
３対の磁気抵抗素子２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ、
２３Ａ、２３Ｂを有する。各対の磁気抵抗素子は互いに
λ／２だけ隔置され、隣接する対の磁気抵抗素子は互い
に（ｎ＋１／３）λだけ隔置されている。ｎは自然数で
あり、図示の例ではｎ＝ｎ1 、ｎ2 である。
【０００３】図５及び図６を参照して検出ヘッドの回路
を説明する。図５は磁気抵抗素子を含む回路を示し、図
６はその等価回路を示す。２つの図にて対応する部分に
は同一の参照符号が付されている。第１の対の磁気抵抗
素子２１Ａ、２１Ｂには１対の抵抗器２０Ａ、２０Ｂが
接続されている。
を説明する。図５は磁気抵抗素子を含む回路を示し、図
６はその等価回路を示す。２つの図にて対応する部分に
は同一の参照符号が付されている。第１の対の磁気抵抗
素子２１Ａ、２１Ｂには１対の抵抗器２０Ａ、２０Ｂが
接続されている。
【０００４】抵抗器２０Ａ、２０Ｂと第１の対の磁気抵
抗素子２１Ａ、２１Ｂによって第１のブリッジ回路４１
が構成され、第２及び第３の対の磁気抵抗素子２２Ａ、
２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂによって第２のブリッジ回路４
２が構成される。
抗素子２１Ａ、２１Ｂによって第１のブリッジ回路４１
が構成され、第２及び第３の対の磁気抵抗素子２２Ａ、
２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂによって第２のブリッジ回路４
２が構成される。
【０００５】第１及び第２のブリッジ回路４１、４２の
各々は、一端にて交流電源端子３０Ｖに接続され、他端
にて接地端子５１、５２に接続されている。図示のよう
に抵抗器２０Ａ、２０Ｂの中間点は共通端子３０に接続
され、各対の磁気抵抗素子２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２
２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂの中間点は出力端子３１、３２、
３３に接続されている。共通端子３０と３つの出力端子
３１、３２、３３との間で３相の交流信号が得られる
各々は、一端にて交流電源端子３０Ｖに接続され、他端
にて接地端子５１、５２に接続されている。図示のよう
に抵抗器２０Ａ、２０Ｂの中間点は共通端子３０に接続
され、各対の磁気抵抗素子２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２
２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂの中間点は出力端子３１、３２、
３３に接続されている。共通端子３０と３つの出力端子
３１、３２、３３との間で３相の交流信号が得られる
【０００６】図７は検出ヘッド１２の出力信号Ｅとして
得られる３相の交流信号３１ａ、３２ａ、３３ａの波形
を示す。位置検出装置は、斯かる３つの信号波形より距
離ｘを検出する。ここで、斯かる検出ヘッド１２による
測定値の分解能を求める。図示のように、３つの波形
は、それぞれ周期λ（＝２π）の正弦波であり、互いに
λ／３（＝π／３）だけ位相が異なる。
得られる３相の交流信号３１ａ、３２ａ、３３ａの波形
を示す。位置検出装置は、斯かる３つの信号波形より距
離ｘを検出する。ここで、斯かる検出ヘッド１２による
測定値の分解能を求める。図示のように、３つの波形
は、それぞれ周期λ（＝２π）の正弦波であり、互いに
λ／３（＝π／３）だけ位相が異なる。
【０００７】先ず、３つの信号波形がゼロとなる点を検
出する。３つの信号波形がゼロとなる点は、角度θがπ
／３、２π／３、π、４π／３、５π／３、２π等であ
り、１ピッチλ中に６点ある。次に、３つの信号波形が
互いに交わる点を検出する。斯かる交点は、角度θがπ
／６、π／２、π、５π／６、７π／６、３π／２、１
１π／６等であり１ピッチλ中に６点ある。従って、３
つの信号波形がゼロとなる点及び互いに交わる点を検出
することによって、１ピッチλ（＝２π）中に互いに等
間隔な１２点が得られる。従って、この検出ヘッドの分
解能はλ／１２となる。
出する。３つの信号波形がゼロとなる点は、角度θがπ
／３、２π／３、π、４π／３、５π／３、２π等であ
り、１ピッチλ中に６点ある。次に、３つの信号波形が
互いに交わる点を検出する。斯かる交点は、角度θがπ
／６、π／２、π、５π／６、７π／６、３π／２、１
１π／６等であり１ピッチλ中に６点ある。従って、３
つの信号波形がゼロとなる点及び互いに交わる点を検出
することによって、１ピッチλ（＝２π）中に互いに等
間隔な１２点が得られる。従って、この検出ヘッドの分
解能はλ／１２となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の位置検出装置に
おいて、測定精度即ち分解能は磁気スケールのピッチλ
に依存する。上述の例では、分解能はλ／１２である。
従って、測定精度即ち分解能をより良くするためには、
磁気スケールのピッチλをより小さくすればよい。
おいて、測定精度即ち分解能は磁気スケールのピッチλ
に依存する。上述の例では、分解能はλ／１２である。
従って、測定精度即ち分解能をより良くするためには、
磁気スケールのピッチλをより小さくすればよい。
【０００９】しかしながら、図１に示すように、磁気ス
ケールの磁気目盛りのピッチλが小さいと、Ｎ極とＳ極
の間の磁力線の作る曲線の湾曲度が小さくなり、磁気ス
ケールと磁気抵抗素子との間の距離（ギャップ）をより
小さくする必要がある。磁気スケールと磁気抵抗素子と
の間の距離（ギャップ）を小さくすると位置検出装置の
構造により精度が必要となり製造費が高くなる。
ケールの磁気目盛りのピッチλが小さいと、Ｎ極とＳ極
の間の磁力線の作る曲線の湾曲度が小さくなり、磁気ス
ケールと磁気抵抗素子との間の距離（ギャップ）をより
小さくする必要がある。磁気スケールと磁気抵抗素子と
の間の距離（ギャップ）を小さくすると位置検出装置の
構造により精度が必要となり製造費が高くなる。
【００１０】本発明は斯かる点に鑑み、磁気スケールの
磁気目盛りのピッチλを小さくすることなく、測定精度
即ち測定分解能を向上することができる検出ヘッド又は
位置検出装置を提供することを目的とする。
磁気目盛りのピッチλを小さくすることなく、測定精度
即ち測定分解能を向上することができる検出ヘッド又は
位置検出装置を提供することを目的とする。
【００１１】本発明は斯かる点に鑑み、磁気スケールと
磁気抵抗素子との間の距離（ギャップ）を小さくするこ
となく、測定精度即ち測定分解能を向上することができ
る検出ヘッド又は位置検出装置を提供することを目的と
する。
磁気抵抗素子との間の距離（ギャップ）を小さくするこ
となく、測定精度即ち測定分解能を向上することができ
る検出ヘッド又は位置検出装置を提供することを目的と
する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によると、所定の
ピッチλの磁気目盛りを有する磁気スケールに対する相
対的な変位を検出するための磁気抵抗素子を有する検出
ヘッドにおいて、上記磁気抵抗素子はＮ相（但し、Ｎは
５以上の奇数。）の交流信号を出力信号として取り出せ
ることができるように、Ｎ対の磁気抵抗素子を含むこと
を特徴とする。
ピッチλの磁気目盛りを有する磁気スケールに対する相
対的な変位を検出するための磁気抵抗素子を有する検出
ヘッドにおいて、上記磁気抵抗素子はＮ相（但し、Ｎは
５以上の奇数。）の交流信号を出力信号として取り出せ
ることができるように、Ｎ対の磁気抵抗素子を含むこと
を特徴とする。
【００１３】本発明によると、磁気抵抗素子を有する検
出ヘッドにおいて、上記Ｎは５であることを特徴とす
る。
出ヘッドにおいて、上記Ｎは５であることを特徴とす
る。
【００１４】本発明によると、磁気抵抗素子を有する検
出ヘッドにおいて、上記各対において磁気抵抗素子は互
いにλ／２の距離だけ隔置され、上記Ｎ対の磁気抵抗素
子は隣接する対の磁気抵抗素子より（ｎ＋１／Ｎ）λの
距離（ｎは自然数。）だけ隔置されていることを特徴と
する。
出ヘッドにおいて、上記各対において磁気抵抗素子は互
いにλ／２の距離だけ隔置され、上記Ｎ対の磁気抵抗素
子は隣接する対の磁気抵抗素子より（ｎ＋１／Ｎ）λの
距離（ｎは自然数。）だけ隔置されていることを特徴と
する。
【００１５】本発明によると、所定のピッチλの磁気目
盛りを有する磁気スケールと該磁気スケールに対する相
対的な変位を検出するための検出ヘッドとを有する変位
検出装置において、上記検出ヘッドはＮ対の磁気抵抗素
子（但し、Ｎは５以上の奇数。）を含み、上記各対にお
いて磁気抵抗素子は互いにλ／２の距離だけ隔置され、
上記Ｎ対の磁気抵抗素子は隣接する対の磁気抵抗素子よ
り（ｎ＋１／Ｎ）λの距離（ｎは自然数。）だけ隔置さ
れていることを特徴とする。
盛りを有する磁気スケールと該磁気スケールに対する相
対的な変位を検出するための検出ヘッドとを有する変位
検出装置において、上記検出ヘッドはＮ対の磁気抵抗素
子（但し、Ｎは５以上の奇数。）を含み、上記各対にお
いて磁気抵抗素子は互いにλ／２の距離だけ隔置され、
上記Ｎ対の磁気抵抗素子は隣接する対の磁気抵抗素子よ
り（ｎ＋１／Ｎ）λの距離（ｎは自然数。）だけ隔置さ
れていることを特徴とする。
【００１６】本発明によると、変位検出装置において、
上記Ｎは５であることを特徴とする。
上記Ｎは５であることを特徴とする。
【００１７】
【作用】検出ヘッドは５対の磁気抵抗素子を含み、５相
の交流信号を出力信号として取り出せることができる。
５相の正弦波信号は互いに２π／５＝λ／５だけ位相が
異なるため、磁気目盛り１ピッチλ＝２π当たり１０点
にてゼロとなり、１０点にて互いに交わる。従って、磁
気目盛り１ピッチλ＝２π当たり２０点が得られ、分解
能はλ／２０となる。
の交流信号を出力信号として取り出せることができる。
５相の正弦波信号は互いに２π／５＝λ／５だけ位相が
異なるため、磁気目盛り１ピッチλ＝２π当たり１０点
にてゼロとなり、１０点にて互いに交わる。従って、磁
気目盛り１ピッチλ＝２π当たり２０点が得られ、分解
能はλ／２０となる。
【００１８】従って、従来の３対の磁気抵抗素子では分
解能はλ／１２であったが、本発明によれば、分解能は
λ／２０となりる。
解能はλ／１２であったが、本発明によれば、分解能は
λ／２０となりる。
【００１９】
【実施例】以下に図１〜図３を参照して本発明の実施例
について説明する。尚図１〜図３において図５〜図７の
対応する部分には同一の参照符号を付してその詳細な説
明は省略する。
について説明する。尚図１〜図３において図５〜図７の
対応する部分には同一の参照符号を付してその詳細な説
明は省略する。
【００２０】図１及び図２を参照して本発明による検出
ヘッドの例を説明する。図１は磁気抵抗素子を含む回路
を示し、図２はその等価回路を示す。図５及び図６に示
した従来の検出ヘッドにおける磁気抵抗素子を含む回路
及びその等価回路と比較して、本例の回路は、第３のブ
リッジ回路４３が付加されている点が異なる。即ち、第
１及び第２のブリッジ回路４１、４２は従来の例の回路
と同様な構成であってよい。
ヘッドの例を説明する。図１は磁気抵抗素子を含む回路
を示し、図２はその等価回路を示す。図５及び図６に示
した従来の検出ヘッドにおける磁気抵抗素子を含む回路
及びその等価回路と比較して、本例の回路は、第３のブ
リッジ回路４３が付加されている点が異なる。即ち、第
１及び第２のブリッジ回路４１、４２は従来の例の回路
と同様な構成であってよい。
【００２１】第３のブリッジ回路４３は第２のブリッジ
回路４２と同様な構成であってよい。即ち、第３のブリ
ッジ回路４３は２つの対、即ち、第４及び第５の対の磁
気抵抗素子２４Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂを含む。各
対において２つの磁気抵抗素子は互いにλ／２だけ隔置
され、隣接する対の磁気抵抗素子は互いに（ｎ＋１／
５）λだけ隔置されている。ｎは自然数であり、図示の
例ではｎ＝ｎ3 、ｎ4 である。
回路４２と同様な構成であってよい。即ち、第３のブリ
ッジ回路４３は２つの対、即ち、第４及び第５の対の磁
気抵抗素子２４Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂを含む。各
対において２つの磁気抵抗素子は互いにλ／２だけ隔置
され、隣接する対の磁気抵抗素子は互いに（ｎ＋１／
５）λだけ隔置されている。ｎは自然数であり、図示の
例ではｎ＝ｎ3 、ｎ4 である。
【００２２】第３のブリッジ回路４３は、一端にて交流
電源端子３０Ｖに接続され、他端にて接地端子５３に接
続されている。図示のように抵抗器２０Ａ、２０Ｂの中
間点は共通端子３０に接続され、各対の磁気抵抗素子２
１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ、２４
Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂの中間点は、それぞれ出力
端子３１、３２、３３、３４、３５に接続されている。
共通端子３０と５つの出力端子３１、３２、３３、３
４、３５との間で５相の交流信号が得られる。
電源端子３０Ｖに接続され、他端にて接地端子５３に接
続されている。図示のように抵抗器２０Ａ、２０Ｂの中
間点は共通端子３０に接続され、各対の磁気抵抗素子２
１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ、２４
Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂの中間点は、それぞれ出力
端子３１、３２、３３、３４、３５に接続されている。
共通端子３０と５つの出力端子３１、３２、３３、３
４、３５との間で５相の交流信号が得られる。
【００２３】図３は本発明による検出ヘッド１２の出力
信号Ｅとして得られる５相の交流信号３１ａ、３２ａ、
３３ａ、３４ａ、３５ａの波形を示す。図７の場合と同
様に、本例による検出ヘッド１２による測定値の分解能
を求める。図示のように、５つの波形は、それぞれ周期
λ（＝２π）の正弦波であり、互いにλ／５（＝２π／
５）だけ位相が異なる。
信号Ｅとして得られる５相の交流信号３１ａ、３２ａ、
３３ａ、３４ａ、３５ａの波形を示す。図７の場合と同
様に、本例による検出ヘッド１２による測定値の分解能
を求める。図示のように、５つの波形は、それぞれ周期
λ（＝２π）の正弦波であり、互いにλ／５（＝２π／
５）だけ位相が異なる。
【００２４】先ず、５つの信号波形がゼロとなる点を検
出する。５つの信号波形がゼロとなる点は、角度θがπ
／５、２π／５、３π／５、４π／５、π、６π／５、
７π／５、８π／５、９π／５、２π等であり、１ピッ
チλ（＝２π）中に１０点あり、斯かる１０点間は等間
隔である。次に、５つの信号波形が互いに交わる点を検
出する。斯かる交点は、角度θがπ／１０、２π／１
０、３π／１０、４π／１０、π、６π／１０、７π／
１０、８π／１０、９π／１０、２π等であり、１ピッ
チλ（＝２π）中に１０点あり、斯かる１０点間は等間
隔である。
出する。５つの信号波形がゼロとなる点は、角度θがπ
／５、２π／５、３π／５、４π／５、π、６π／５、
７π／５、８π／５、９π／５、２π等であり、１ピッ
チλ（＝２π）中に１０点あり、斯かる１０点間は等間
隔である。次に、５つの信号波形が互いに交わる点を検
出する。斯かる交点は、角度θがπ／１０、２π／１
０、３π／１０、４π／１０、π、６π／１０、７π／
１０、８π／１０、９π／１０、２π等であり、１ピッ
チλ（＝２π）中に１０点あり、斯かる１０点間は等間
隔である。
【００２５】従って、５つの信号波形がゼロとなる点及
び互いに交わる点を検出することによって、１ピッチλ
（＝２π）当たり互いに等間隔な２０点が得られる。従
って、分解能は２π／２０＝λ／２０となる。
び互いに交わる点を検出することによって、１ピッチλ
（＝２π）当たり互いに等間隔な２０点が得られる。従
って、分解能は２π／２０＝λ／２０となる。
【００２６】上述の例では、第１及び第２のブリッジ回
路４１、４２に第３のブリッジ回路４３を付加したが、
更に第４のブリッジ回路４４、第５のブリッジ回路４５
等を付加してもよい。それによって、７相、９相等の検
出ヘッドが得られる。一般に、Ｍ個（Ｍ≧３）のブリッ
ジ回路によってＮ相（Ｎ＝２Ｍ−１）の検出ヘッドが得
られる。斯かる場合、Ｎ対の磁気抵抗素子が配置され、
隣接する対の磁気抵抗素子は互いに（ｎ＋１／Ｎ）λだ
け隔置されている。ここで、Ｎ（≧５）は奇数である。
上述の例では、Ｍ＝３，Ｎ＝５である。
路４１、４２に第３のブリッジ回路４３を付加したが、
更に第４のブリッジ回路４４、第５のブリッジ回路４５
等を付加してもよい。それによって、７相、９相等の検
出ヘッドが得られる。一般に、Ｍ個（Ｍ≧３）のブリッ
ジ回路によってＮ相（Ｎ＝２Ｍ−１）の検出ヘッドが得
られる。斯かる場合、Ｎ対の磁気抵抗素子が配置され、
隣接する対の磁気抵抗素子は互いに（ｎ＋１／Ｎ）λだ
け隔置されている。ここで、Ｎ（≧５）は奇数である。
上述の例では、Ｍ＝３，Ｎ＝５である。
【００２７】相数が大きくなると測定精度即ち分解能が
高くなるが、多数の磁気抵抗素子とブリッジ回路が必要
となり、製造費がより高くなる。従って、上述のように
５相の検出ヘッドが最も好ましい。
高くなるが、多数の磁気抵抗素子とブリッジ回路が必要
となり、製造費がより高くなる。従って、上述のように
５相の検出ヘッドが最も好ましい。
【００２８】以上本発明の実施例について詳細に説明し
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
【００２９】
【発明の効果】本発明によると、検出ヘッド又は位置検
出装置において、磁気スケールの磁気目盛りのピッチλ
を変化させる（小さくする）ことなく、測定精度即ち測
定分解能を向上させることができる利点がある。
出装置において、磁気スケールの磁気目盛りのピッチλ
を変化させる（小さくする）ことなく、測定精度即ち測
定分解能を向上させることができる利点がある。
【００３０】本発明によると、検出ヘッド又は位置検出
装置において、磁気スケールと磁気抵抗素子の間の距離
（ギャップ）を小さくすることなく、測定精度即ち測定
分解能を向上することができる利点がある。
装置において、磁気スケールと磁気抵抗素子の間の距離
（ギャップ）を小さくすることなく、測定精度即ち測定
分解能を向上することができる利点がある。
【図１】本発明による検出ヘッドの構成例を示す図であ
る。
る。
【図２】図１の検出器ヘッドの等価回路図である。
【図３】本発明による検出ヘッドの出力信号の波形を示
す図である。
す図である。
【図４】従来の位置検出装置の構成例を示す図である。
【図５】従来の検出ヘッドの構成例を示す図である。
【図６】図５の検出器ヘッドの等価回路図である。
【図７】従来の検出ヘッドの出力信号の波形を示す図で
ある。
ある。
１１ 磁気スケール １２ 検出ヘッド ２０Ａ、２０Ｂ 抵抗器 ２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ、２
４Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂ 磁気抵抗素子 ３０、３０Ｖ、３１、３２、３３、３４、３５ 端子 ４１、４２、４３ ブリッジ回路 ５１、５２、５３ 接地端子
４Ａ、２４Ｂ、２５Ａ、２５Ｂ 磁気抵抗素子 ３０、３０Ｖ、３１、３２、３３、３４、３５ 端子 ４１、４２、４３ ブリッジ回路 ５１、５２、５３ 接地端子
Claims (5)
- 【請求項１】 所定のピッチλの磁気目盛りを有する磁
気スケールに対する相対的な変位を検出するための磁気
抵抗素子を有する検出ヘッドにおいて、 上記磁気抵抗素子はＮ相（但し、Ｎは５以上の奇数。）
の交流信号を出力信号として取り出せることができるよ
うに、Ｎ対の磁気抵抗素子を含むことを特徴とする磁気
抵抗素子を有する検出ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気抵抗素子を有する検
出ヘッドにおいて、上記Ｎは５であることを特徴とする
磁気抵抗素子を有する検出ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の磁気抵抗素子を有
する検出ヘッドにおいて、上記各対において磁気抵抗素
子は互いにλ／２の距離だけ隔置され、上記Ｎ対の磁気
抵抗素子は隣接する対の磁気抵抗素子より（ｎ＋１／
Ｎ）λの距離（ｎは自然数。）だけ隔置されていること
を特徴とする磁気抵抗素子を有する検出ヘッド。 - 【請求項４】 所定のピッチλの磁気目盛りを有する磁
気スケールと該磁気スケールに対する相対的な変位を検
出するための検出ヘッドとを有する変位検出装置におい
て、 上記検出ヘッドはＮ対の磁気抵抗素子（但し、Ｎは５以
上の奇数。）を含み、上記各対において磁気抵抗素子は
互いにλ／２の距離だけ隔置され、上記Ｎ対の磁気抵抗
素子は隣接する対の磁気抵抗素子より（ｎ＋１／Ｎ）λ
の距離（ｎは自然数。）だけ隔置されていることを特徴
とする変位検出装置。 - 【請求項５】 請求項４記載の変位検出装置において、
上記Ｎは５であることを特徴とする変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011959A JPH08203038A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気抵抗素子を有する検出ヘッド及び変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011959A JPH08203038A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気抵抗素子を有する検出ヘッド及び変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203038A true JPH08203038A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11792163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7011959A Pending JPH08203038A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 磁気抵抗素子を有する検出ヘッド及び変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203038A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471566B1 (en) | 2000-09-18 | 2002-10-29 | Lam Research Corporation | Sacrificial retaining ring CMP system and methods for implementing the same |
| US6652357B1 (en) | 2000-09-22 | 2003-11-25 | Lam Research Corporation | Methods for controlling retaining ring and wafer head tilt for chemical mechanical polishing |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP7011959A patent/JPH08203038A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471566B1 (en) | 2000-09-18 | 2002-10-29 | Lam Research Corporation | Sacrificial retaining ring CMP system and methods for implementing the same |
| US6652357B1 (en) | 2000-09-22 | 2003-11-25 | Lam Research Corporation | Methods for controlling retaining ring and wafer head tilt for chemical mechanical polishing |
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