JPH08203460A - 走査型電子線回折装置 - Google Patents
走査型電子線回折装置Info
- Publication number
- JPH08203460A JPH08203460A JP7011727A JP1172795A JPH08203460A JP H08203460 A JPH08203460 A JP H08203460A JP 7011727 A JP7011727 A JP 7011727A JP 1172795 A JP1172795 A JP 1172795A JP H08203460 A JPH08203460 A JP H08203460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- electron beam
- objective lens
- sample
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の結晶状態の分布を表す低倍率から高倍
率までの走査像を分解能よく得る。 【構成】 光軸方向に並べた２つの対物レンズ４と５の
間に２段の走査コイル５を配設する。低倍率の走査像観
察時には対物レンズ（上）４のみで電子ビームを収束し
て走査コイルでビームを平行走査し、高倍率時には対物
レンズ（下）６のみで電子ビームを収束して走査コイル
でビームを通常走査する。
率までの走査像を分解能よく得る。 【構成】 光軸方向に並べた２つの対物レンズ４と５の
間に２段の走査コイル５を配設する。低倍率の走査像観
察時には対物レンズ（上）４のみで電子ビームを収束し
て走査コイルでビームを平行走査し、高倍率時には対物
レンズ（下）６のみで電子ビームを収束して走査コイル
でビームを通常走査する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、細く絞った電子線で試
料面を走査し試料から２次的に発生する回折電子線を用
いて試料の観察・分析を行う走査型電子線回折装置に関
し、とくに電子ビームの収束および走査機構の改良に関
する。ここでいう走査型電子線回折装置は走査型電子回
折顕微鏡と呼ばれるときもある。
料面を走査し試料から２次的に発生する回折電子線を用
いて試料の観察・分析を行う走査型電子線回折装置に関
し、とくに電子ビームの収束および走査機構の改良に関
する。ここでいう走査型電子線回折装置は走査型電子回
折顕微鏡と呼ばれるときもある。
【０００２】
【従来の技術】細く絞った電子線を走査しながら試料に
照射する装置では、従来図３に示すような対物レンズと
走査コイルの配置が用いられていた。なかでも試料に電
子ビームを照射する方向が重要な走査型電子線回折装置
では主に図３（ａ）に示す配置が用いられていた（特開
平２−２１６７４６参照）。この配置は対物レンズ５１
の下（試料側）に２段の走査コイル５２を配設するもの
で、対物レンズ２１で電子ビーム５３を収束したあとで
走査コイル５２でその電子ビームを平行走査するので試
料５４に対して電子ビームを同一方向から照射すること
ができる。
照射する装置では、従来図３に示すような対物レンズと
走査コイルの配置が用いられていた。なかでも試料に電
子ビームを照射する方向が重要な走査型電子線回折装置
では主に図３（ａ）に示す配置が用いられていた（特開
平２−２１６７４６参照）。この配置は対物レンズ５１
の下（試料側）に２段の走査コイル５２を配設するもの
で、対物レンズ２１で電子ビーム５３を収束したあとで
走査コイル５２でその電子ビームを平行走査するので試
料５４に対して電子ビームを同一方向から照射すること
ができる。
【０００３】図３（ｂ）に示す配置は主に走査型電子顕
微鏡で用いられているもので、電子ビームをより細くす
るために対物レンズと試料との距離を短くして縮小率を
かせぎ、走査コイルは対物レンズの上（電子銃側）に配
設している。このとき電子ビームが対物レンズの中央を
通らないと対物レンズによる収差が大きくなって電子ビ
ームが絞れないので、図に示すように電子ビームは常に
対物レンズの中央を通るように走査される。
微鏡で用いられているもので、電子ビームをより細くす
るために対物レンズと試料との距離を短くして縮小率を
かせぎ、走査コイルは対物レンズの上（電子銃側）に配
設している。このとき電子ビームが対物レンズの中央を
通らないと対物レンズによる収差が大きくなって電子ビ
ームが絞れないので、図に示すように電子ビームは常に
対物レンズの中央を通るように走査される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図３（ａ）に示す配置
は電子ビームを平行に保ったまま走査でき、試料に対し
て同一方向から電子ビームを照射できるので走査型電子
線回折装置に適しているが、対物レンズと試料との距離
が比較的大きいので電子ビームの直径をおよそ１００ｎ
ｍ以下にすることがむずかしい。したがって分解能が不
足するので高倍率の走査像を得ることができなかった。
は電子ビームを平行に保ったまま走査でき、試料に対し
て同一方向から電子ビームを照射できるので走査型電子
線回折装置に適しているが、対物レンズと試料との距離
が比較的大きいので電子ビームの直径をおよそ１００ｎ
ｍ以下にすることがむずかしい。したがって分解能が不
足するので高倍率の走査像を得ることができなかった。
【０００５】一方、図３（ｂ）に示す配置では電子ビー
ムの直径をおよそ１０ｎｍさらにそれ以下にすることが
できるので高倍率の走査像を得ることができるが、この
配置は試料に電子ビームが当たる方向が走査につれて変
化するので、この配置を走査型電子線回折装置に適用す
るのは一般的には好ましくない。しかし高倍率の観察に
限れば、電子ビームが試料に当たる方向の変化はごく僅
かなので、この配置を走査型電子線回折装置に適用する
ことができる。
ムの直径をおよそ１０ｎｍさらにそれ以下にすることが
できるので高倍率の走査像を得ることができるが、この
配置は試料に電子ビームが当たる方向が走査につれて変
化するので、この配置を走査型電子線回折装置に適用す
るのは一般的には好ましくない。しかし高倍率の観察に
限れば、電子ビームが試料に当たる方向の変化はごく僅
かなので、この配置を走査型電子線回折装置に適用する
ことができる。
【０００６】本発明の目的は低倍率から高倍率まで観察
できる走査型電子線回折装置を提供することである。
できる走査型電子線回折装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するために、電子ビームを発生する電子銃とその電
子ビームを細く絞る対物レンズとその電子ビームを走査
する走査コイルを有する走査型電子線回折装置におい
て、電子ビームを試料面に収束させるための対物レンズ
を光軸方向に互いに離隔して２個設け、この２つの対物
レンズ間に２段の走査コイルを配設した。
解決するために、電子ビームを発生する電子銃とその電
子ビームを細く絞る対物レンズとその電子ビームを走査
する走査コイルを有する走査型電子線回折装置におい
て、電子ビームを試料面に収束させるための対物レンズ
を光軸方向に互いに離隔して２個設け、この２つの対物
レンズ間に２段の走査コイルを配設した。
【０００８】
【作用】２段の走査コイルの上（電子銃側）と下（試料
側）にそれぞれ対物レンズを設けたので、低倍率のとき
と高倍率のときに対物レンズおよび走査コイルの動作を
それぞれ設定することによって両方の条件に適した動作
を得ることができる。すなわち図２（ａ）に示すよう
に、低倍率のときには下の対物レンズを働かさないで図
３（ａ）と同様に動作させ、高倍率のときには図２
（ｂ）に示すように、上の対物レンズは働かさないで図
３（ｂ）と同様に動作させるものである。そうすること
によって低倍率から高倍率まで適当な分解能と試料への
照射方向をもった走査型電子線回折装置を実現できる。
側）にそれぞれ対物レンズを設けたので、低倍率のとき
と高倍率のときに対物レンズおよび走査コイルの動作を
それぞれ設定することによって両方の条件に適した動作
を得ることができる。すなわち図２（ａ）に示すよう
に、低倍率のときには下の対物レンズを働かさないで図
３（ａ）と同様に動作させ、高倍率のときには図２
（ｂ）に示すように、上の対物レンズは働かさないで図
３（ｂ）と同様に動作させるものである。そうすること
によって低倍率から高倍率まで適当な分解能と試料への
照射方向をもった走査型電子線回折装置を実現できる。
【０００９】
【実施例】図１は走査型電子線回折装置の概略図であ
り、本発明の一実施例である。電子ビーム１０は電子銃
１で発生させ、コンデンサレンズ２と絞り３によってビ
ーム電流が調節される。対物レンズ（上）４または対物
レンズ（下）６によって細く収束された電子ビームが試
料７に照射されると、試料７の結晶状態に応じて回折電
子線１１が反射され、蛍光板８のうえに回折パターンを
描き、そのうちの一つの回折スポットの輝度が検出器９
によって検出される。走査電源１３からの信号が走査コ
イル５に供給されて電子ビームが試料面上を走査される
が、それに同期してＣＲＴ１２に検出器９からの輝度信
号が与えられることによってＣＲＴ１２の画面に試料の
結晶状態の分布を表す走査像が得られる。
り、本発明の一実施例である。電子ビーム１０は電子銃
１で発生させ、コンデンサレンズ２と絞り３によってビ
ーム電流が調節される。対物レンズ（上）４または対物
レンズ（下）６によって細く収束された電子ビームが試
料７に照射されると、試料７の結晶状態に応じて回折電
子線１１が反射され、蛍光板８のうえに回折パターンを
描き、そのうちの一つの回折スポットの輝度が検出器９
によって検出される。走査電源１３からの信号が走査コ
イル５に供給されて電子ビームが試料面上を走査される
が、それに同期してＣＲＴ１２に検出器９からの輝度信
号が与えられることによってＣＲＴ１２の画面に試料の
結晶状態の分布を表す走査像が得られる。
【００１０】対物レンズ電源１４からの電流は切替器１
５によって電流が流れる対物レンズ４または６が選ばれ
るようになっている。ただしこれは対物レンズ（上）４
用と対物レンズ（下）６用の対物レンズ電源をそれぞれ
別に設けておいて、２つの対物レンズに流れる電流を個
別に制御してもよい。図ではコンデンサレンズは１段で
描いているが、これは２段またはそれ以上であってもよ
い。また走査コイル５は２段のそれぞれにＸ軸用とＹ軸
用のコイルを備えており、電子ビームを２次元的に走査
できるものである。
５によって電流が流れる対物レンズ４または６が選ばれ
るようになっている。ただしこれは対物レンズ（上）４
用と対物レンズ（下）６用の対物レンズ電源をそれぞれ
別に設けておいて、２つの対物レンズに流れる電流を個
別に制御してもよい。図ではコンデンサレンズは１段で
描いているが、これは２段またはそれ以上であってもよ
い。また走査コイル５は２段のそれぞれにＸ軸用とＹ軸
用のコイルを備えており、電子ビームを２次元的に走査
できるものである。
【００１１】本発明の主要部であるビーム収束用対物レ
ンズとビーム偏向用走査コイルの配置を図２に示す。光
軸方向に並べて配置した２つの対物レンズ（上）４と対
物レンズ（下）６の間に２段の走査コイル５が配設され
ている。低倍率の走査像を得る場合には図２（ａ）に示
すように電子ビームを走査する（これを低倍率モードと
呼ぶ）。このモードでは切替器１５の設定によって、対
物レンズ（下）６には電流を流さず働かさない状態にし
ておき、対物レンズ（上）４のみを使って電子ビーム１
０を試料７の面上にフォーカスさせる。電子ビームは、
ビームが平行状態を保ったまま試料面に対して一定の方
向から電子が照射されるように２段の走査コイルによっ
て走査される。このためには２段の走査コイルのうち上
側のコイル５ａに電流Ｉを流したとすると下側のコイル
５ｂには向きが反対で大きさの等しい電流−Ｉを流せば
良い。低倍率のときは試料面上の比較的広い範囲を走査
するが、上述したように電子ビームは常に試料面に対し
て一定の方向から照射されるので回折の条件を乱すこと
がない。また低倍率の像であるから電子ビームの直径が
少々大きくても観察像の分解能には問題がない。
ンズとビーム偏向用走査コイルの配置を図２に示す。光
軸方向に並べて配置した２つの対物レンズ（上）４と対
物レンズ（下）６の間に２段の走査コイル５が配設され
ている。低倍率の走査像を得る場合には図２（ａ）に示
すように電子ビームを走査する（これを低倍率モードと
呼ぶ）。このモードでは切替器１５の設定によって、対
物レンズ（下）６には電流を流さず働かさない状態にし
ておき、対物レンズ（上）４のみを使って電子ビーム１
０を試料７の面上にフォーカスさせる。電子ビームは、
ビームが平行状態を保ったまま試料面に対して一定の方
向から電子が照射されるように２段の走査コイルによっ
て走査される。このためには２段の走査コイルのうち上
側のコイル５ａに電流Ｉを流したとすると下側のコイル
５ｂには向きが反対で大きさの等しい電流−Ｉを流せば
良い。低倍率のときは試料面上の比較的広い範囲を走査
するが、上述したように電子ビームは常に試料面に対し
て一定の方向から照射されるので回折の条件を乱すこと
がない。また低倍率の像であるから電子ビームの直径が
少々大きくても観察像の分解能には問題がない。
【００１２】走査像の倍率を高くしていくと、図２
（ａ）の動作では対物レンズ（上）４と試料７との距離
が比較的離れているので、電子ビームの直径を小さくで
きないために分解能が不足し像がぼやけてくる。その様
な高倍率で走査像を得るときには図２（ｂ）に示した動
作に切り替える（これを高倍率モードと呼ぶ）。このと
き切替器１５を切り替えることによって、対物レンズ
（上）４には電流を流さず働かさない状態にしておき、
対物レンズ（下）６のみを使って電子ビーム１０を試料
７の面上にフォーカスさせる。対物レンズ（下）６と試
料７の距離は短いから縮小率をかせぐことができ、電子
ビームの直径を小さくできる。したがって高倍率にして
も走査像がぼやけることがなく鮮明な像が得られる。こ
のときの走査の方法は電子ビームが対物レンズ（下）６
の中央を通るように２段の走査コイルで偏向される。こ
れは対物レンズの中央を電子ビームが通らないと収差が
大きくなって高倍率の像が得られないからである。この
ためには、コイル５ａとコイル５ｂ間の距離とコイル５
ｂと対物レンズ（下）６間の距離が等しいと仮定する
と、２段の走査コイルのうち上側のコイル５ａに電流Ｉ
を流したとすると下側のコイル５ｂには向きが反対で大
きさが２倍の電流−２Ｉを流せば良い。このように走査
すると試料面に対する電子ビームの照射方向が走査につ
れて僅かに変化することになるが、高倍率の像を得る場
合には試料面上の走査範囲はきわめて小さいので、その
照射方向の変化も極めて小さく問題にならない。
（ａ）の動作では対物レンズ（上）４と試料７との距離
が比較的離れているので、電子ビームの直径を小さくで
きないために分解能が不足し像がぼやけてくる。その様
な高倍率で走査像を得るときには図２（ｂ）に示した動
作に切り替える（これを高倍率モードと呼ぶ）。このと
き切替器１５を切り替えることによって、対物レンズ
（上）４には電流を流さず働かさない状態にしておき、
対物レンズ（下）６のみを使って電子ビーム１０を試料
７の面上にフォーカスさせる。対物レンズ（下）６と試
料７の距離は短いから縮小率をかせぐことができ、電子
ビームの直径を小さくできる。したがって高倍率にして
も走査像がぼやけることがなく鮮明な像が得られる。こ
のときの走査の方法は電子ビームが対物レンズ（下）６
の中央を通るように２段の走査コイルで偏向される。こ
れは対物レンズの中央を電子ビームが通らないと収差が
大きくなって高倍率の像が得られないからである。この
ためには、コイル５ａとコイル５ｂ間の距離とコイル５
ｂと対物レンズ（下）６間の距離が等しいと仮定する
と、２段の走査コイルのうち上側のコイル５ａに電流Ｉ
を流したとすると下側のコイル５ｂには向きが反対で大
きさが２倍の電流−２Ｉを流せば良い。このように走査
すると試料面に対する電子ビームの照射方向が走査につ
れて僅かに変化することになるが、高倍率の像を得る場
合には試料面上の走査範囲はきわめて小さいので、その
照射方向の変化も極めて小さく問題にならない。
【００１３】図２の実施例では対物レンズ（下）６には
絞りは入れていないので、その中央部は数ｍｍの開口が
ある。実際の大きさはそのレンズヨークの設計によって
決まる値である。対物レンズの球面収差などを小さくす
るための絞りは対物レンズ（上）４の中央部に入れても
良いし、走査コイル５より上流（電子銃側）でコンデン
サレンズに付属する絞り３より下流（試料側）ならば電
子ビーム軸上のどこにいれても良い。
絞りは入れていないので、その中央部は数ｍｍの開口が
ある。実際の大きさはそのレンズヨークの設計によって
決まる値である。対物レンズの球面収差などを小さくす
るための絞りは対物レンズ（上）４の中央部に入れても
良いし、走査コイル５より上流（電子銃側）でコンデン
サレンズに付属する絞り３より下流（試料側）ならば電
子ビーム軸上のどこにいれても良い。
【００１４】上記の説明で高倍率モードのときは対物レ
ンズ（上）４を動作させないと述べたが、前述したよう
に２つの対物レンズ用の対物レンズ電源を別々に設けて
おいた場合に、上下の対物レンズを両方とも動作させて
試料面上にフォーカスさせるようにしても良いことはも
ちろんである。
ンズ（上）４を動作させないと述べたが、前述したよう
に２つの対物レンズ用の対物レンズ電源を別々に設けて
おいた場合に、上下の対物レンズを両方とも動作させて
試料面上にフォーカスさせるようにしても良いことはも
ちろんである。
【００１５】本発明は次のような構成を含むものであ
る。電子ビームを発生する電子銃とその電子ビームを細
く絞る対物レンズとその電子ビームを走査しながら試料
に照射する走査手段を有する走査型電子回折顕微鏡にお
いて、２段のＸＹ２軸走査手段と、その走査手段の電子
銃側に第１の対物レンズと、前記走査手段の試料側に第
２の対物レンズを備え、低倍率モードのときには前記第
１の対物レンズを作動させ、高倍率モードのときには前
記第２の対物レンズを作動させる両レンズの作動切替手
段を設けたことを特徴とする走査型電子回折顕微鏡。
る。電子ビームを発生する電子銃とその電子ビームを細
く絞る対物レンズとその電子ビームを走査しながら試料
に照射する走査手段を有する走査型電子回折顕微鏡にお
いて、２段のＸＹ２軸走査手段と、その走査手段の電子
銃側に第１の対物レンズと、前記走査手段の試料側に第
２の対物レンズを備え、低倍率モードのときには前記第
１の対物レンズを作動させ、高倍率モードのときには前
記第２の対物レンズを作動させる両レンズの作動切替手
段を設けたことを特徴とする走査型電子回折顕微鏡。
【００１６】
【発明の効果】本発明では２つの対物レンズを用意し、
その間に２段の走査コイルを設けたので低倍率モードと
高倍率モードの両方の動作を選ぶことができる。低倍率
モードでは電子ビームの直径によって決まる分解能を上
げることよりも電子ビームが試料に同一方向から照射す
ることを重視して正しい結晶状態の分布像が得られるよ
うにしている。また高倍率モードでは分解能を上げるこ
とを重視して電子ビームの照射方向は犠牲にしている
が、高倍率の場合のみに限定して使用するのでその影響
は少ない。したがって本発明の装置では、試料への電子
ビームの照射方向がそろい、低倍率から高倍率まで分解
能よく観察できる走査型電子線回折装置が実現できる。
その間に２段の走査コイルを設けたので低倍率モードと
高倍率モードの両方の動作を選ぶことができる。低倍率
モードでは電子ビームの直径によって決まる分解能を上
げることよりも電子ビームが試料に同一方向から照射す
ることを重視して正しい結晶状態の分布像が得られるよ
うにしている。また高倍率モードでは分解能を上げるこ
とを重視して電子ビームの照射方向は犠牲にしている
が、高倍率の場合のみに限定して使用するのでその影響
は少ない。したがって本発明の装置では、試料への電子
ビームの照射方向がそろい、低倍率から高倍率まで分解
能よく観察できる走査型電子線回折装置が実現できる。
【図１】本発明の走査型電子線回折装置の一実施例であ
る。
る。
【図２】本発明の主要部である対物レンズと走査コイル
の配置を示す。
の配置を示す。
【図３】従来の対物レンズと走査コイルの配置を示す。
１…電子銃 ２…コンデンサレンズ ３
…絞り ４…対物レンズ（上） ５…走査コイル ６
…対物レンズ（下） ７…試料 ８…蛍光板 ９
…検出器 １０…電子ビーム １１…回折線 １
２…ＣＲＴ １３…走査電源 １４…対物レンズ電源 １
５…切替器 ５１…対物レンズ ５２…走査コイル ５
３…電子ビーム ５４…試料
…絞り ４…対物レンズ（上） ５…走査コイル ６
…対物レンズ（下） ７…試料 ８…蛍光板 ９
…検出器 １０…電子ビーム １１…回折線 １
２…ＣＲＴ １３…走査電源 １４…対物レンズ電源 １
５…切替器 ５１…対物レンズ ５２…走査コイル ５
３…電子ビーム ５４…試料
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームを発生する電子銃とその電子
ビームを細く絞る対物レンズとその電子ビームを走査す
る走査コイルを有する走査型電子線回折装置において、
電子ビームを試料面に収束させるための対物レンズを光
軸方向に互いに離隔して２個設け、この２つの対物レン
ズ間に２段の走査コイルを配設したことを特徴とする走
査型電子線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011727A JPH08203460A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 走査型電子線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011727A JPH08203460A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 走査型電子線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203460A true JPH08203460A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=11786073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7011727A Pending JPH08203460A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 走査型電子線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294443A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Jeol Ltd | 走査像観察機能を有した透過電子顕微鏡 |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP7011727A patent/JPH08203460A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294443A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Jeol Ltd | 走査像観察機能を有した透過電子顕微鏡 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5013913A (en) | Method of illuminating an object in a transmission electron microscope | |
| JPH0233843A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US20090039258A1 (en) | Scanning Electron Microscope And Method For Detecting An Image Using The Same | |
| JP2015069831A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP5117652B2 (ja) | 電子線リソグラフィー方法および電子光学的リソグラフィーシステム | |
| JP2003331773A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US4633085A (en) | Transmission-type electron microscope | |
| US5747814A (en) | Method for centering a lens in a charged-particle system | |
| JP4523594B2 (ja) | 粒子光学装置 | |
| JPH0235419B2 (ja) | ||
| JP2002184336A (ja) | 荷電粒子線顕微鏡装置、荷電粒子線応用装置、荷電粒子線顕微方法、荷電粒子線検査方法、及び電子顕微鏡装置 | |
| JP2964873B2 (ja) | 電子線光軸合わせ装置 | |
| JPH08203460A (ja) | 走査型電子線回折装置 | |
| JP3429988B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US4963737A (en) | Transmission electron microscope | |
| Joy et al. | Simultaneous display of micrograph and selected-area channelling pattern using the scanning electron microscope | |
| JP4896626B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS6340019B2 (ja) | ||
| JP2886168B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JPH05258700A (ja) | 走査像観察方法および走査電子顕微鏡 | |
| JP4223734B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH04188554A (ja) | 電子顕微鏡における照射レンズ系 | |
| JPH08162056A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH06318443A (ja) | イオンビーム装置 | |
| JP2000048749A (ja) | 走査電子顕微鏡および電子ビームの軸合わせ方法 |