JPH0820404B2 - 酸素センサ素子 - Google Patents
酸素センサ素子Info
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- JPH0820404B2 JPH0820404B2 JP63008447A JP844788A JPH0820404B2 JP H0820404 B2 JPH0820404 B2 JP H0820404B2 JP 63008447 A JP63008447 A JP 63008447A JP 844788 A JP844788 A JP 844788A JP H0820404 B2 JPH0820404 B2 JP H0820404B2
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Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、酸素センサ素子の改良に関し、特にガス
応答性および低温作動性の向上を図った電極構造を有す
る酸素センサ素子に関するものである。
応答性および低温作動性の向上を図った電極構造を有す
る酸素センサ素子に関するものである。
（従来の技術） 従来、酸素イオン導電性の固体電解質を用い、酸素濃
淡電池の原理により、内燃機関等から排出される排気ガ
ス中の酸素濃度を測定するものとしていわゆる酸素セン
サが知られている。
淡電池の原理により、内燃機関等から排出される排気ガ
ス中の酸素濃度を測定するものとしていわゆる酸素セン
サが知られている。
かかる酸素センサに使用される酸素センサ素子として
は、例えば有底円筒状のイットリア添加ジルコニア磁器
等を酸素イオン導電性の固体電解質として、この固体電
解質の内外面に、例えば白金等の電極を付与したものが
一般的であり、内面の電極を大気と連通させて基準酸素
濃度の電極とする一方、外面の電極を被測定ガスである
排気ガス中に曝して測定電極とすることによって排ガス
中の酸素濃度を測定するしくみになっている。
は、例えば有底円筒状のイットリア添加ジルコニア磁器
等を酸素イオン導電性の固体電解質として、この固体電
解質の内外面に、例えば白金等の電極を付与したものが
一般的であり、内面の電極を大気と連通させて基準酸素
濃度の電極とする一方、外面の電極を被測定ガスである
排気ガス中に曝して測定電極とすることによって排ガス
中の酸素濃度を測定するしくみになっている。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、かかる電極は、その厚さが数μｍ程度
と薄いが、皮膜状となっているため、そのままではガス
透過性が悪く、そのため応答性が悪い。この応答性を良
くするために加熱する方法もあるが、白金等の電極が焼
結してしまい、低温作動性が低下する欠点がある。
と薄いが、皮膜状となっているため、そのままではガス
透過性が悪く、そのため応答性が悪い。この応答性を良
くするために加熱する方法もあるが、白金等の電極が焼
結してしまい、低温作動性が低下する欠点がある。
この発明は、上記した欠点を解消し、測定電極のガス
透過性を適度に高め、低温作動性を改善し、同時にガス
応答性を向上させた酸素センサ素子を提供することを目
的とする。
透過性を適度に高め、低温作動性を改善し、同時にガス
応答性を向上させた酸素センサ素子を提供することを目
的とする。
（問題点を解決するための手段） すなわちこの発明は、酸素イオン導電性固体電解質よ
りなる基体上の所定箇所に電極層が形成された酸素セン
サ素子において、前記電極層の表面の電極材料結晶の平
均粒径が、電極層の厚さの0.1倍以上乃至5.0倍以下であ
り、かつ2.5μｍ以下であるとともに、前記電極層の膜
厚が0.5〜5.0μｍであることを特徴とする。
りなる基体上の所定箇所に電極層が形成された酸素セン
サ素子において、前記電極層の表面の電極材料結晶の平
均粒径が、電極層の厚さの0.1倍以上乃至5.0倍以下であ
り、かつ2.5μｍ以下であるとともに、前記電極層の膜
厚が0.5〜5.0μｍであることを特徴とする。
（作 用） 本発明では、電極層の表面の電極材料結晶の平均粒径
を適性範囲内に制御することにより、電極材料の粒子間
すなわち粒界が非常に長く形成され、同時に空孔が形成
され易くなり、これらのため電極表面積が増大し、触媒
活性が高くなり、そして低温作動性および応答性を改善
することができるのである。
を適性範囲内に制御することにより、電極材料の粒子間
すなわち粒界が非常に長く形成され、同時に空孔が形成
され易くなり、これらのため電極表面積が増大し、触媒
活性が高くなり、そして低温作動性および応答性を改善
することができるのである。
また、この電極材料結晶の平均粒径が比較的小さいこ
とから、酸素センサ素子の高温作動中における結晶粒子
の粒成長がおこりにくく、これが電極層の焼結による低
温作動性の劣化を防止する役目を果たす。
とから、酸素センサ素子の高温作動中における結晶粒子
の粒成長がおこりにくく、これが電極層の焼結による低
温作動性の劣化を防止する役目を果たす。
この平均粒径の範囲は、電極の粒径／層厚の比をとる
と、0.1〜5.0、好ましくは0.2〜3.0の間であると良好な
低温作動性が得られる。
と、0.1〜5.0、好ましくは0.2〜3.0の間であると良好な
低温作動性が得られる。
ところで、電極材料結晶の平均粒径は2.5μｍ以下が
好ましく、平均粒径が2.5μｍを超えると電極の表面積
が小さくなり、低温作動性に影響を与えると考えられ
る。
好ましく、平均粒径が2.5μｍを超えると電極の表面積
が小さくなり、低温作動性に影響を与えると考えられ
る。
以下、この発明を具体的に説明する。
この発明にかかる固体電解質としては、酸素イオン導
電性を有するものであれば何でもよいが、例えばYb2O3,
Sc2O3,CaO,MgO,ThO2,CeO2等を添加したZrO2;CaO,La2O3
等を添加したCeO2;Er2O3,SrO等を添加したBi2O3;あるい
はY2O3等を添加したThO2その他があり、特にY2O3等を含
むZrO2（完全安定および部分安定を含む）が好ましい。
電性を有するものであれば何でもよいが、例えばYb2O3,
Sc2O3,CaO,MgO,ThO2,CeO2等を添加したZrO2;CaO,La2O3
等を添加したCeO2;Er2O3,SrO等を添加したBi2O3;あるい
はY2O3等を添加したThO2その他があり、特にY2O3等を含
むZrO2（完全安定および部分安定を含む）が好ましい。
上記固体電解質より形成された固体電解質素子の形状に
ついては、排気ガスに接する外表面に凹凸層を設けた有
底円筒状がとりわけ有利に適用する。詳細については、
本出願人が先に提案した実公昭61−8359号公報に記載さ
れているため、説明を省略する。
ついては、排気ガスに接する外表面に凹凸層を設けた有
底円筒状がとりわけ有利に適用する。詳細については、
本出願人が先に提案した実公昭61−8359号公報に記載さ
れているため、説明を省略する。
ここにおいて固体電解質素子の排気ガスに接する外表
面に凹凸層が設けてあると、たとえば電極材料付与方法
としての無電解めっき処理時に水素ガスが発生し、水素
ガスが凹凸の谷部に停滞することにより、その部分がめ
っきされず空孔となり易いため、結果的にめっき層の表
面積が増大するので有利である。
面に凹凸層が設けてあると、たとえば電極材料付与方法
としての無電解めっき処理時に水素ガスが発生し、水素
ガスが凹凸の谷部に停滞することにより、その部分がめ
っきされず空孔となり易いため、結果的にめっき層の表
面積が増大するので有利である。
電極材料としては、白金属金属、特に白金がその触媒
性ゆえに好ましい。
性ゆえに好ましい。
さて上記したような、有底円筒状の固体電解質素子の
内外表面に金属層を形成して電極とするわけであるが、
この発明ではかかる電極の付与を、例えば無電解めっき
によって行う。
内外表面に金属層を形成して電極とするわけであるが、
この発明ではかかる電極の付与を、例えば無電解めっき
によって行う。
ここにめっき浴としては、白金めっき浴が有利であ
り、白金めっき浴の場合は、Ptとして、0.1〜5.0g/含
むものを適宜選択して使用する。
り、白金めっき浴の場合は、Ptとして、0.1〜5.0g/含
むものを適宜選択して使用する。
そして上記したごとき、めっき浴（15〜35℃）中に９
〜20時間程度浸漬させておくことによって、0.5〜5.0μ
ｍ程度の厚みのめっき層が得られる。この場合に、めっ
き層即ち電極の厚みを上記範囲に限定したのは、厚み0.
5μｍ以下であると実際の被測定雰囲気中における酸素
センサ素子の作動中に電極材料が減耗して、電気的導通
状態になり易く、耐久性が悪いためであり、また0.5μ
ｍより薄い電極では被測定ガスが電極を透過するパスが
短すぎるため十分に未燃焼成分の反応が進まず、低温作
動性が劣る傾向があるためである。厚みが5.0μｍ以上
を超えると、熱処理をしても電極表面積を増大し、ガス
透過性を良くする空孔が発生しにくくなり、また熱処理
条件をきびしくして空孔を発生させようとすると電極金
属粒が大きく焼結しすぎてしまうためである。この厚み
のより最適な範囲としては0.7〜1.5μｍ程度が好まし
い。
〜20時間程度浸漬させておくことによって、0.5〜5.0μ
ｍ程度の厚みのめっき層が得られる。この場合に、めっ
き層即ち電極の厚みを上記範囲に限定したのは、厚み0.
5μｍ以下であると実際の被測定雰囲気中における酸素
センサ素子の作動中に電極材料が減耗して、電気的導通
状態になり易く、耐久性が悪いためであり、また0.5μ
ｍより薄い電極では被測定ガスが電極を透過するパスが
短すぎるため十分に未燃焼成分の反応が進まず、低温作
動性が劣る傾向があるためである。厚みが5.0μｍ以上
を超えると、熱処理をしても電極表面積を増大し、ガス
透過性を良くする空孔が発生しにくくなり、また熱処理
条件をきびしくして空孔を発生させようとすると電極金
属粒が大きく焼結しすぎてしまうためである。この厚み
のより最適な範囲としては0.7〜1.5μｍ程度が好まし
い。
また、電極の厚みと、電極材料結晶との関係は、粒形
状によっても異なってくるが、電極の層厚に対し電極の
粒径（即ち電極の粒径／層厚）を0.1〜5.0倍程度にする
と良い。
状によっても異なってくるが、電極の層厚に対し電極の
粒径（即ち電極の粒径／層厚）を0.1〜5.0倍程度にする
と良い。
上記のようなめっき処理後、水洗さらには湯洗のよう
な洗浄処理を施した後、乾燥処理を経てから、大気中ま
たはCOガスを含む還元性ガス雰囲気中にて熱処理を施
す。
な洗浄処理を施した後、乾燥処理を経てから、大気中ま
たはCOガスを含む還元性ガス雰囲気中にて熱処理を施
す。
一方、COガスを含む還元性ガス雰囲気中での熱処理
は、めっき材料としてのPtの結晶粒成長を抑制しつつ、
結晶粒子の間の粒界及び空孔を生じさせ、めっき層の表
面積が増大する効果がある。
は、めっき材料としてのPtの結晶粒成長を抑制しつつ、
結晶粒子の間の粒界及び空孔を生じさせ、めっき層の表
面積が増大する効果がある。
かくして固体電解質素子の表面に、ガス透過性の良い
かつ表面積の大きい電極が形成されるので、ガス応答性
の早い、低温作動性の良い、かつ耐久性の良い酸素セン
サ素子が得られるのである。
かつ表面積の大きい電極が形成されるので、ガス応答性
の早い、低温作動性の良い、かつ耐久性の良い酸素セン
サ素子が得られるのである。
さらにかような熱処理の後、電極表面の保護のため
に、スピネル粒子のプラズマ溶射を施し、スピネルコー
ト層を形成するのは従来と同様である。
に、スピネル粒子のプラズマ溶射を施し、スピネルコー
ト層を形成するのは従来と同様である。
（実施例） 本発明の実施例を図面に基づき説明する。
実施例１ まず、第１図に示すような有底円筒状（ｕ＝50mm,m＝
9mm,n＝6mm,0＝4mm,先端部肉厚0.7mm）の、排ガスに曝
されるべき領域の表面に、約50μｍの凹凸層を有するY2
O3が添加された安定化ジルコニア磁器製の固体電解質素
子を、その表面の汚れを取り除くために脱脂処理をした
後、フッ酸等の酸でエッチング処理を行い、次いで白金
として0.2g/含み、白金無電解めっきの析出速度およ
び液組成を調整しためっき浴中に浸漬し、７時間保持し
た。この結果、厚さが約1.0μｍのめっき層を得た。こ
のめっき層が施された固体電解質素子を流水中でよく洗
浄した後、120℃で１時間かけて乾燥した。最後にめっ
き層を固体電解質の下地に密着させるため、85℃の還元
性雰囲気中で10時間かけて熱処理をした。こののち、固
体電解質素子即ち酸素センサ素子の、外面電極の太径部
からの下方の部分に、ハウジングに接する部分を除い
て、MgAl2O4スピネルコーティングを厚さ100μｍで付与
した。さらに再び温度850℃のCO20％を含む還元性雰囲
気中にて熱処理を施した。
9mm,n＝6mm,0＝4mm,先端部肉厚0.7mm）の、排ガスに曝
されるべき領域の表面に、約50μｍの凹凸層を有するY2
O3が添加された安定化ジルコニア磁器製の固体電解質素
子を、その表面の汚れを取り除くために脱脂処理をした
後、フッ酸等の酸でエッチング処理を行い、次いで白金
として0.2g/含み、白金無電解めっきの析出速度およ
び液組成を調整しためっき浴中に浸漬し、７時間保持し
た。この結果、厚さが約1.0μｍのめっき層を得た。こ
のめっき層が施された固体電解質素子を流水中でよく洗
浄した後、120℃で１時間かけて乾燥した。最後にめっ
き層を固体電解質の下地に密着させるため、85℃の還元
性雰囲気中で10時間かけて熱処理をした。こののち、固
体電解質素子即ち酸素センサ素子の、外面電極の太径部
からの下方の部分に、ハウジングに接する部分を除い
て、MgAl2O4スピネルコーティングを厚さ100μｍで付与
した。さらに再び温度850℃のCO20％を含む還元性雰囲
気中にて熱処理を施した。
また、めっき浴条件、めっき温度、熱処理条件を調節
して膜厚および電極金属粒子径を種々変化させた電極を
有する酸素センサ阻止を多数得た。
して膜厚および電極金属粒子径を種々変化させた電極を
有する酸素センサ阻止を多数得た。
このようにして得られた酸素センサ素子の電極表面を
走査型電子顕微鏡（SEM）にて観察するとともに、電子
顕微鏡写真を複数個撮影し、この写真に任意に引いた線
分比を測長して電極層の平均粒径を求めた。この測長法
は金属材料検査法における線分析法と称されている。
走査型電子顕微鏡（SEM）にて観察するとともに、電子
顕微鏡写真を複数個撮影し、この写真に任意に引いた線
分比を測長して電極層の平均粒径を求めた。この測長法
は金属材料検査法における線分析法と称されている。
次に、第２図に示すように酸素センサ素子11にハウジ
ング13を装着し、電気的接続を行う。まず、得られた酸
素センサ素子11を、ハウジング13の段付部15にタルク等
の封止剤17により固定する。外側電極19をハウジング13
と電気的に接触させて、このハウジング13を介して外部
へ電気的に接続する。内側電極21を中心電極23を経て酸
素センサ素子外部の信号検出回路へ接続する。
ング13を装着し、電気的接続を行う。まず、得られた酸
素センサ素子11を、ハウジング13の段付部15にタルク等
の封止剤17により固定する。外側電極19をハウジング13
と電気的に接触させて、このハウジング13を介して外部
へ電気的に接続する。内側電極21を中心電極23を経て酸
素センサ素子外部の信号検出回路へ接続する。
このように構成された酸素センサについて以下の特
性、即ち応答性おび低温作動性についての評価試験を行
った。ただし、評価試験のために、この酸素センサを、
自動車のエンジンの直後の排気管に取り付けて、最高温
度1000℃までの排気ガス中の酸素分圧を測定している。
性、即ち応答性おび低温作動性についての評価試験を行
った。ただし、評価試験のために、この酸素センサを、
自動車のエンジンの直後の排気管に取り付けて、最高温
度1000℃までの排気ガス中の酸素分圧を測定している。
（応答性測定） 排気量1500ccの４気筒ガソリンエンジンの外部のエン
ジン制御用のコンピュータによって、排気ガス温度を35
0℃に維持しつつ、排気ガス中の空燃比を切り換えて、
切り換え後のセンサ出力が変化するフィードバック周波
数（Hz）を夫々測定した。したがって、フィードバック
周波数が高いほど応答性が良好である。
ジン制御用のコンピュータによって、排気ガス温度を35
0℃に維持しつつ、排気ガス中の空燃比を切り換えて、
切り換え後のセンサ出力が変化するフィードバック周波
数（Hz）を夫々測定した。したがって、フィードバック
周波数が高いほど応答性が良好である。
（低温作動性測定） 同様に、排気量1500ccのエンジンの排気ガス温度450
℃から、センサ出力が微弱となり、フィードバック制御
が停止状態になる温度まで、排ガス温度を低下させ、そ
の停止状態時の排気ガス温度を測定した。したがって、
測定値が低いほど低温作動性が良好になる。
℃から、センサ出力が微弱となり、フィードバック制御
が停止状態になる温度まで、排ガス温度を低下させ、そ
の停止状態時の排気ガス温度を測定した。したがって、
測定値が低いほど低温作動性が良好になる。
以上の測定結果を第３図のグラフ図にて示す。ここに
おけるグラフ図において、横軸に白金電極表面の平均粒
径（μｍ）をとり、左右の縦軸に低温作動性（℃）（図
中において符号ａの実線で示す）および応答性（Hz）
（図中において符号ｂの実線で示す）を夫々プロットし
ている。
おけるグラフ図において、横軸に白金電極表面の平均粒
径（μｍ）をとり、左右の縦軸に低温作動性（℃）（図
中において符号ａの実線で示す）および応答性（Hz）
（図中において符号ｂの実線で示す）を夫々プロットし
ている。
第３図から分かるように、電極材料結晶の平均粒径が
約2.5μｍ以下であると、応答性および低温作動性の良
好な酸素センサ素子が得られる。
約2.5μｍ以下であると、応答性および低温作動性の良
好な酸素センサ素子が得られる。
実施例２ 試料１ 白金粉末として、球形状の、平均粒径0.3μｍのもの
を使用した。この粉末に、有機溶剤、有機バインダおよ
び分散剤を添加して粘度を調整して白金ペーストを作製
した。続いて、Y2O36mol％添加ジルコニア磁器製の、有
底円筒状の、予めエッチング処理が施してある固体電解
質素子の内外表面に、上述した白金ペーストを塗布し
た。塗布厚は、３〜５μｍとした。塗布後、120℃で15
分間乾燥した後、ベルト炉において800℃で５分間焼き
付け処理を行った。その後、400℃の水素ガス中で30分
間かけて活性化処理を施した。
を使用した。この粉末に、有機溶剤、有機バインダおよ
び分散剤を添加して粘度を調整して白金ペーストを作製
した。続いて、Y2O36mol％添加ジルコニア磁器製の、有
底円筒状の、予めエッチング処理が施してある固体電解
質素子の内外表面に、上述した白金ペーストを塗布し
た。塗布厚は、３〜５μｍとした。塗布後、120℃で15
分間乾燥した後、ベルト炉において800℃で５分間焼き
付け処理を行った。その後、400℃の水素ガス中で30分
間かけて活性化処理を施した。
得られためっき層即ち電極層の厚さは、平均2.5μｍ
であり、線分析法にて観察した電極表面における白金粒
子の平均粒径は0.7μｍであった。
であり、線分析法にて観察した電極表面における白金粒
子の平均粒径は0.7μｍであった。
試料２ と同様に白金粉末に、平均粒径1.0μｍ（平板を球
形に換算した粒径値）の、平板状の、ロジウム粉末を10
wt％添加して、試料１と同様に内外表面に３〜５μｍ厚
で塗布し、乾燥後、焼き付け処理を行った。最後に前述
と同様にして活性化処理を実施した。
形に換算した粒径値）の、平板状の、ロジウム粉末を10
wt％添加して、試料１と同様に内外表面に３〜５μｍ厚
で塗布し、乾燥後、焼き付け処理を行った。最後に前述
と同様にして活性化処理を実施した。
得られためっき層即ち電極層の厚さは平均2.0μｍで
あり、線分析法にて観察した電極表面における金属粒子
の平均粒径は0.5μｍであった。
あり、線分析法にて観察した電極表面における金属粒子
の平均粒径は0.5μｍであった。
試料３ 白金粉末として平均直径0.1μｍ、長さ１〜２μｍの
線状の粉末を使用した。この粉末に、有機溶剤、有機バ
インダおよび分散剤を添加して粘度を調整して、白金ペ
ーストを作製した。続いて、Y2O36mol％添加したジルコ
ニア磁器製の有底円筒状の、予めエッチング処理が施し
てある固体電解質素子の内外表面に、上述した白金ペー
ストを塗布した。これも塗布厚は３〜５μｍとした。塗
布後、120℃で15分間乾燥した後、ベルト炉において800
℃で10分間焼き付け処理を施した。その後温度700℃のC
O＋H2ガス中で１時間かけて活性化処理を施した。
線状の粉末を使用した。この粉末に、有機溶剤、有機バ
インダおよび分散剤を添加して粘度を調整して、白金ペ
ーストを作製した。続いて、Y2O36mol％添加したジルコ
ニア磁器製の有底円筒状の、予めエッチング処理が施し
てある固体電解質素子の内外表面に、上述した白金ペー
ストを塗布した。これも塗布厚は３〜５μｍとした。塗
布後、120℃で15分間乾燥した後、ベルト炉において800
℃で10分間焼き付け処理を施した。その後温度700℃のC
O＋H2ガス中で１時間かけて活性化処理を施した。
得られた電極層の厚さは、平均1.3μｍであり、線分
析法にて観察した電極表面における白金粒子の平均粒径
は2.5μｍであった。
析法にて観察した電極表面における白金粒子の平均粒径
は2.5μｍであった。
その他の試料については、上記した試料１〜３の作製
条件を変えて、その電極の厚さを0.5〜5.0μｍの範囲、
および白金粒子の平均粒径を0.3〜2.5μｍの範囲で変化
させたものを作製した。このため、これらを以下に試料
１系、試料２系および試料３系と称することとする。
条件を変えて、その電極の厚さを0.5〜5.0μｍの範囲、
および白金粒子の平均粒径を0.3〜2.5μｍの範囲で変化
させたものを作製した。このため、これらを以下に試料
１系、試料２系および試料３系と称することとする。
このように構成された酸素センサ素子の試料について
低温作動性についての評価試験を行った。この低温作動
性の測定については、前述した実施例１に説明してある
ので、説明は省略する。この結果を第４図に示す。この
図中において、横軸は電極の層厚に対する電極の粒径
（即ち電極の粒径／層厚）をとり、縦軸に低温作動性
（℃）をプロットした。さらに試料１系は実線で、試料
２系は一点鎖線で、試料３系は点線でそれぞれ示してい
る。さらに実施例１で調整した試料については太い実線
でしめす。
低温作動性についての評価試験を行った。この低温作動
性の測定については、前述した実施例１に説明してある
ので、説明は省略する。この結果を第４図に示す。この
図中において、横軸は電極の層厚に対する電極の粒径
（即ち電極の粒径／層厚）をとり、縦軸に低温作動性
（℃）をプロットした。さらに試料１系は実線で、試料
２系は一点鎖線で、試料３系は点線でそれぞれ示してい
る。さらに実施例１で調整した試料については太い実線
でしめす。
第４図から分かるように、電極の粒径／層厚が0.1〜
5.0の間、好ましくは0.2〜3.0の間で良好な低温作動性
を示している。なお、電極の粒径が細かい領域で低温作
動性が悪くなる傾向があるのは、粒径が細かくなり過ぎ
て各粒子間に形成されるべき空孔が少なくなるか、また
は殆ど無くなるため、応答性が悪くなり、これが低温作
動性に影響したものと考えられる。
5.0の間、好ましくは0.2〜3.0の間で良好な低温作動性
を示している。なお、電極の粒径が細かい領域で低温作
動性が悪くなる傾向があるのは、粒径が細かくなり過ぎ
て各粒子間に形成されるべき空孔が少なくなるか、また
は殆ど無くなるため、応答性が悪くなり、これが低温作
動性に影響したものと考えられる。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明は、酸素セン
サ素子の電極を所定の平均粒径としたため、電極の表面
積を増大し、これがため、低温作動性および応答性を良
好なものとする。
サ素子の電極を所定の平均粒径としたため、電極の表面
積を増大し、これがため、低温作動性および応答性を良
好なものとする。
第１図は本発明の酸素センサ素子の一例を示す一部断面
側面図、 第２図は酸素センサ素子をハウジングに組み込んだ様子
を示す一部断面側面図、 第３図は実施例１において電極の結晶粒径に対する低温
作動性および応答性特性を示すグラフ図、 第４図は実施例１および実施例２において電極の粒径／
層厚に対する低温作動性を示すグラフ図である。 11……酸素センサ素子、13……ハウジング 15……段付部、17……封止部 19……外側電極、21……内側電極 23……中心電極
側面図、 第２図は酸素センサ素子をハウジングに組み込んだ様子
を示す一部断面側面図、 第３図は実施例１において電極の結晶粒径に対する低温
作動性および応答性特性を示すグラフ図、 第４図は実施例１および実施例２において電極の粒径／
層厚に対する低温作動性を示すグラフ図である。 11……酸素センサ素子、13……ハウジング 15……段付部、17……封止部 19……外側電極、21……内側電極 23……中心電極
Claims (1)
- 【請求項１】酸素イオン導電性固体電解質よりなる基体
上の所定箇所に電極層が形成された酸素センサ素子にお
いて、前記電極層の表面の電極材料結晶の平均粒径が、
電極層の厚さの0.1倍以上乃至5.0倍以下であり、かつ2.
5μｍ以下であるとともに、前記電極層の膜厚が0.5〜5.
0μｍであることを特徴とする酸素センサ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008447A JPH0820404B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 酸素センサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63008447A JPH0820404B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 酸素センサ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185440A JPH01185440A (ja) | 1989-07-25 |
| JPH0820404B2 true JPH0820404B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=11693380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63008447A Expired - Lifetime JPH0820404B2 (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 酸素センサ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820404B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9134268B2 (en) | 2011-06-20 | 2015-09-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for oxygen sensor |
| US9437999B2 (en) | 2011-08-10 | 2016-09-06 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing oxygen sensor |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4637375B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2011-02-23 | 京セラ株式会社 | 酸素センサの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109855A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-25 | Mazda Motor Corp | 広域空燃比センサ−の製造法 |
| JPS59142457A (ja) * | 1983-02-03 | 1984-08-15 | Mazda Motor Corp | 広域空燃比センサ−の製造法 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP63008447A patent/JPH0820404B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9134268B2 (en) | 2011-06-20 | 2015-09-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for oxygen sensor |
| US9437999B2 (en) | 2011-08-10 | 2016-09-06 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing oxygen sensor |
| DE112012003280B4 (de) * | 2011-08-10 | 2017-03-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Verfahren zum Herstellen eines Sauerstoffsensors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01185440A (ja) | 1989-07-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |