JPH08204261A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH08204261A JPH08204261A JP2776795A JP2776795A JPH08204261A JP H08204261 A JPH08204261 A JP H08204261A JP 2776795 A JP2776795 A JP 2776795A JP 2776795 A JP2776795 A JP 2776795A JP H08204261 A JPH08204261 A JP H08204261A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置内の光学部品の調整によっても、レーザ
光の出力特性を安定化できるようにすること。 【構成】 レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装
置２１と、この励起装置を挟む位置に設置されて上記レ
ーザ光を共振させる反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂと、
これらの反射鏡、出力鏡の角度を調整可能とする調整機
構部２３と、上記励起装置、反射鏡、出力鏡及び調整機
構部を収納する収納箱２４と、この収納箱内を乾燥状態
に維持する乾燥空気発生器２５と、を有するレーザ装置
２０において、収納箱内には、この収納箱の内部を外部
と隔離した状態で調整機構部を作動可能とする作動手段
としての手袋２６が設置されたものである。
光の出力特性を安定化できるようにすること。 【構成】 レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装
置２１と、この励起装置を挟む位置に設置されて上記レ
ーザ光を共振させる反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂと、
これらの反射鏡、出力鏡の角度を調整可能とする調整機
構部２３と、上記励起装置、反射鏡、出力鏡及び調整機
構部を収納する収納箱２４と、この収納箱内を乾燥状態
に維持する乾燥空気発生器２５と、を有するレーザ装置
２０において、収納箱内には、この収納箱の内部を外部
と隔離した状態で調整機構部を作動可能とする作動手段
としての手袋２６が設置されたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ装置に関し、特
にレーザ装置内の光学部品の調整を好適に実施できるレ
ーザ装置に関する。
にレーザ装置内の光学部品の調整を好適に実施できるレ
ーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、図３に示すように、レーザ装置
１０は、レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装置
１１と、この励起装置１１を挟む位置に設置されて、上
記レーザ光を共振させる光学部品としての反射鏡１２Ａ
及び出力鏡１２Ｂと、これらの反射鏡１２Ａ及び出力鏡
１２Ｂの角度を調整可能とするマイクロメータ等の調整
機構部１３と、上記励起装置１１、反射鏡１２Ａ、出力
鏡１２Ｂ及び調整機構部１３を収納する収納箱１４と、
この収納箱１４内を乾燥状態に維持する乾燥空気発生器
１５と、それに不図示の多数の光学系部品を有して構成
される。上記レーザ装置１０では、励起装置１１にて発
振されたレーザ光は、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂに
て共振されて、出力鏡１２Ｂから収納箱１４外へ出射さ
れる。
１０は、レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装置
１１と、この励起装置１１を挟む位置に設置されて、上
記レーザ光を共振させる光学部品としての反射鏡１２Ａ
及び出力鏡１２Ｂと、これらの反射鏡１２Ａ及び出力鏡
１２Ｂの角度を調整可能とするマイクロメータ等の調整
機構部１３と、上記励起装置１１、反射鏡１２Ａ、出力
鏡１２Ｂ及び調整機構部１３を収納する収納箱１４と、
この収納箱１４内を乾燥状態に維持する乾燥空気発生器
１５と、それに不図示の多数の光学系部品を有して構成
される。上記レーザ装置１０では、励起装置１１にて発
振されたレーザ光は、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂに
て共振されて、出力鏡１２Ｂから収納箱１４外へ出射さ
れる。
【０００３】上記反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ等の光
学部品は、一般に湿度依存性を有し、周囲の環境の変化
によって、その特性が変化してしまうものが多い。ま
た、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの表面に施されるコ
ーティングも湿度の影響を受け易く、反射鏡１２Ａや出
力鏡１２Ｂの反射率や透過率を低下させてしまうものが
多い。
学部品は、一般に湿度依存性を有し、周囲の環境の変化
によって、その特性が変化してしまうものが多い。ま
た、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの表面に施されるコ
ーティングも湿度の影響を受け易く、反射鏡１２Ａや出
力鏡１２Ｂの反射率や透過率を低下させてしまうものが
多い。
【０００４】上記収納箱１４及び乾燥空気発生器１５
は、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの周囲の環境を所定
の低湿度状態に維持して、これらの反射鏡１２Ａ及び出
力鏡１２Ｂ並びにコーティングの特性を安定化させるも
のである。
は、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの周囲の環境を所定
の低湿度状態に維持して、これらの反射鏡１２Ａ及び出
力鏡１２Ｂ並びにコーティングの特性を安定化させるも
のである。
【０００５】また、励起装置１１、反射鏡１２Ａ及び出
力鏡１２Ｂによるレーザ光の光路に、高調波発生結晶
（図３には不図示）を介在させ、励起装置１１からのレ
ーザ光を高調波レーザ光とする高調波レーザ装置の場合
には、上記高調波発生結晶としての非線形光学結晶が温
度及び湿度に敏感で潮解性を有し、大気中では、非線形
光学結晶の表面が環境中の水分によって劣化してしまう
ものが多い。
力鏡１２Ｂによるレーザ光の光路に、高調波発生結晶
（図３には不図示）を介在させ、励起装置１１からのレ
ーザ光を高調波レーザ光とする高調波レーザ装置の場合
には、上記高調波発生結晶としての非線形光学結晶が温
度及び湿度に敏感で潮解性を有し、大気中では、非線形
光学結晶の表面が環境中の水分によって劣化してしまう
ものが多い。
【０００６】従って、この高調波レーザ装置の場合に
は、収納箱１４及び乾燥空気発生器１５並びに温度調整
器（不図示）によって、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ
並びに非線形光学結晶の周囲環境を所定温度に保ち、低
湿度状態に維持して、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ並
びにコーティングの特性を安定化させるとともに、非線
形光学結晶の劣化を防止してその健全性を保持してい
る。
は、収納箱１４及び乾燥空気発生器１５並びに温度調整
器（不図示）によって、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ
並びに非線形光学結晶の周囲環境を所定温度に保ち、低
湿度状態に維持して、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ並
びにコーティングの特性を安定化させるとともに、非線
形光学結晶の劣化を防止してその健全性を保持してい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のレーザ装置
１０や高調波レーザ装置では、その調整段階にて反射鏡
１２Ａ或いは出力鏡１２Ｂの調整、例えば角度調整を実
施しなければならない場合が生ずる。
１０や高調波レーザ装置では、その調整段階にて反射鏡
１２Ａ或いは出力鏡１２Ｂの調整、例えば角度調整を実
施しなければならない場合が生ずる。
【０００８】ところが、上記従来のレーザ装置１０や高
調波レーザ装置では、収納箱１４に扉１６が設けられて
おり、反射鏡１２Ａや出力鏡１２Ｂ等の光学部品の調整
時に、作業者が上記扉１６を開けて収納箱１４内へ手を
挿入し、調整機構部１３を手動にて作動させて、上記光
学部品の角度を調整している。
調波レーザ装置では、収納箱１４に扉１６が設けられて
おり、反射鏡１２Ａや出力鏡１２Ｂ等の光学部品の調整
時に、作業者が上記扉１６を開けて収納箱１４内へ手を
挿入し、調整機構部１３を手動にて作動させて、上記光
学部品の角度を調整している。
【０００９】従って、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ等
の角度調整は、レーザ装置１０或いは高調波レーザ装置
の実使用時の環境と異った環境にて実施されることにな
る。このため、収納箱１４の扉１６が閉じられ、かつ乾
燥空気発生器１５により収納箱１４内が低湿度状態に維
持された実使用時には、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ
の角度を調整したにも関わらず、これらの反射鏡１２Ａ
及び出力鏡１２Ｂ並びにこれらの反射鏡１２Ａ及び出力
鏡１２Ｂに施されたコーティングの特性が変化してレー
ザ光の出力が低下し、レーザ出力特性が変化してしまう
虞れがある。
の角度調整は、レーザ装置１０或いは高調波レーザ装置
の実使用時の環境と異った環境にて実施されることにな
る。このため、収納箱１４の扉１６が閉じられ、かつ乾
燥空気発生器１５により収納箱１４内が低湿度状態に維
持された実使用時には、反射鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂ
の角度を調整したにも関わらず、これらの反射鏡１２Ａ
及び出力鏡１２Ｂ並びにこれらの反射鏡１２Ａ及び出力
鏡１２Ｂに施されたコーティングの特性が変化してレー
ザ光の出力が低下し、レーザ出力特性が変化してしまう
虞れがある。
【００１０】また、高調波レーザ装置の場合には、反射
鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの角度調整時に収納箱１４内
の環境が上述のように変化すると、反射鏡１２Ａ及び出
力鏡１２Ｂ並びにそれらのコーティングの特性が変化す
るばかりか、非線形光学結晶の表面がその潮解性によっ
て劣化し、この非線形光学結晶の健全性が確保されない
おそれがある。
鏡１２Ａ及び出力鏡１２Ｂの角度調整時に収納箱１４内
の環境が上述のように変化すると、反射鏡１２Ａ及び出
力鏡１２Ｂ並びにそれらのコーティングの特性が変化す
るばかりか、非線形光学結晶の表面がその潮解性によっ
て劣化し、この非線形光学結晶の健全性が確保されない
おそれがある。
【００１１】本発明は、上述の事情を考慮してなされた
ものであり、光学部品の調整によってもレーザ光の出力
特性を安定化できるレーザ装置を提供することを目的と
する。
ものであり、光学部品の調整によってもレーザ光の出力
特性を安定化できるレーザ装置を提供することを目的と
する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装置と、
この励起装置による上記レーザ光を共振等させる光学部
品と、この光学部品の角度を調整可能とする調整機構部
と、上記励起装置、上記光学部品及び上記調整機構部を
収納する収納箱と、この収納箱内を乾燥状態に維持する
乾燥維持装置とを有し、上記励起装置にて発振され、上
記光学部品にて共振等された上記レーザ光を上記収納箱
から出射するレーザ装置において、上記収納箱の内部を
外部と隔離した状態で上記調整機構部を作動可能とする
作動手段を設けたものである。
は、レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励起装置と、
この励起装置による上記レーザ光を共振等させる光学部
品と、この光学部品の角度を調整可能とする調整機構部
と、上記励起装置、上記光学部品及び上記調整機構部を
収納する収納箱と、この収納箱内を乾燥状態に維持する
乾燥維持装置とを有し、上記励起装置にて発振され、上
記光学部品にて共振等された上記レーザ光を上記収納箱
から出射するレーザ装置において、上記収納箱の内部を
外部と隔離した状態で上記調整機構部を作動可能とする
作動手段を設けたものである。
【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の光学部品に、励起装置にて発振されたレーザ光を高調
波レーザ光とする高調波発生結晶を含むものである。
の光学部品に、励起装置にて発振されたレーザ光を高調
波レーザ光とする高調波発生結晶を含むものである。
【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の作動手段が、収納箱に設置され、この収納箱内
へ延出された変形可能な袋体であり、この袋体内に手を
挿入して調整機構部を手動で作動可能とするものであ
る。
に記載の作動手段が、収納箱に設置され、この収納箱内
へ延出された変形可能な袋体であり、この袋体内に手を
挿入して調整機構部を手動で作動可能とするものであ
る。
【００１５】請求項４に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の作動手段が、収納箱内に配置され調整機構部に
連結されてこの調整機構部を作動可能とする駆動装置
と、上記収納箱外に設置され上記駆動装置に電気的に接
続されてこの駆動装置を制御する制御装置と、を有して
構成されたものである。
に記載の作動手段が、収納箱内に配置され調整機構部に
連結されてこの調整機構部を作動可能とする駆動装置
と、上記収納箱外に設置され上記駆動装置に電気的に接
続されてこの駆動装置を制御する制御装置と、を有して
構成されたものである。
【００１６】
【作用】請求項１に記載のレーザ装置によれば、次の
の作用を奏する。 作動手段が、収納箱の内部を外部と隔離した状態で調
整機構部を作動可能として光学部品を調整することか
ら、収納箱内を、レーザ装置の実使用時の低湿度環境に
維持させた状態で、上記光学部品を調整できる。
の作用を奏する。 作動手段が、収納箱の内部を外部と隔離した状態で調
整機構部を作動可能として光学部品を調整することか
ら、収納箱内を、レーザ装置の実使用時の低湿度環境に
維持させた状態で、上記光学部品を調整できる。
【００１７】一般に、光学部品は湿度依存性を有するた
め、上述のように、収納箱内が、光学部品調整時にも実
使用時の低湿度環境に維持されていると、その光学部品
の特性変化を防止できる。この結果、光学部品の調整に
よってもレーザ光の出力特性を安定化させることができ
る。
め、上述のように、収納箱内が、光学部品調整時にも実
使用時の低湿度環境に維持されていると、その光学部品
の特性変化を防止できる。この結果、光学部品の調整に
よってもレーザ光の出力特性を安定化させることができ
る。
【００１８】請求項２に記載のレーザ装置によれば、次
のの作用を奏する。 特に、請求項２に記載の発明のように、光学部品が高
調波発生結晶を含む場合には、この高調波発生結晶が温
度及び湿度に敏感で潮解性を示し、所定温度以下でその
表面が環境中の水分により劣化するおそれがある。しか
し、光学部品の調整時にも実使用時の低湿度環境が維持
されていれば、上述の潮解性が現われず、そのため、高
調波光学結晶の健全性を確保できる。
のの作用を奏する。 特に、請求項２に記載の発明のように、光学部品が高
調波発生結晶を含む場合には、この高調波発生結晶が温
度及び湿度に敏感で潮解性を示し、所定温度以下でその
表面が環境中の水分により劣化するおそれがある。しか
し、光学部品の調整時にも実使用時の低湿度環境が維持
されていれば、上述の潮解性が現われず、そのため、高
調波光学結晶の健全性を確保できる。
【００１９】請求項３に記載の発明に係るレーザ装置に
よれば、次のの作用を奏する。 作動手段が、収納箱内へ延出した変形可能な袋体から
なり、収納箱の外部からこの袋体に手を挿入して、手動
にて調整機構部を作動可能とし、光学部品を調整するこ
とから、この調整時にも、収納箱内をレーザ装置の実使
用時の低湿度環境に維持させることができる。このた
め、光学部品の調整によってもレーザ光の出力特性を安
定化できるとともに、作動手段が袋体であるのでコスト
を低減できる。
よれば、次のの作用を奏する。 作動手段が、収納箱内へ延出した変形可能な袋体から
なり、収納箱の外部からこの袋体に手を挿入して、手動
にて調整機構部を作動可能とし、光学部品を調整するこ
とから、この調整時にも、収納箱内をレーザ装置の実使
用時の低湿度環境に維持させることができる。このた
め、光学部品の調整によってもレーザ光の出力特性を安
定化できるとともに、作動手段が袋体であるのでコスト
を低減できる。
【００２０】請求項４に記載の発明に係るレーザ装置に
よれば、次のの作用を奏する。 作動手段が、調整機構部を作動する駆動装置と、この
駆動装置を制御する制御装置とを有してなり、上記駆動
装置が収納箱内に、上記制御装置が収納箱外にそれぞれ
配置されたので、制御装置を制御すれば、収納箱内をレ
ーザ装置の実使用時の低湿度環境に維持しつつ、駆動装
置及び調整機構部を介し光学部品を調整できる。このた
め、光学部品の調整によっても、レーザ光の出力特性を
安定化できる。更に、制御装置が収納箱外に配置された
ので、光学部品の調整を遠隔操作することができる。
よれば、次のの作用を奏する。 作動手段が、調整機構部を作動する駆動装置と、この
駆動装置を制御する制御装置とを有してなり、上記駆動
装置が収納箱内に、上記制御装置が収納箱外にそれぞれ
配置されたので、制御装置を制御すれば、収納箱内をレ
ーザ装置の実使用時の低湿度環境に維持しつつ、駆動装
置及び調整機構部を介し光学部品を調整できる。このた
め、光学部品の調整によっても、レーザ光の出力特性を
安定化できる。更に、制御装置が収納箱外に配置された
ので、光学部品の調整を遠隔操作することができる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。 （第１実施例）図１は、本発明に係るレーザ装置の第１
実施例を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
明する。 （第１実施例）図１は、本発明に係るレーザ装置の第１
実施例を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
【００２２】レーザ装置２０は、励起装置２１、光学部
品としての反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂ及び不図示のレ
ンズ、並びに調整機構部２３が収納箱２４に収納され、
この収納箱２４に乾燥維持装置としての乾燥空気発生器
２５が接続され、収納箱２４に袋体としての手袋２６が
設置され、それに不図示の多数の光学系部品を有して構
成される。
品としての反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂ及び不図示のレ
ンズ、並びに調整機構部２３が収納箱２４に収納され、
この収納箱２４に乾燥維持装置としての乾燥空気発生器
２５が接続され、収納箱２４に袋体としての手袋２６が
設置され、それに不図示の多数の光学系部品を有して構
成される。
【００２３】励起装置２１は、固体レーザ媒質及び励起
ランプ（ともに不図示）を集光反射鏡（不図示）内に設
置し、これらを保持箱２７内に保持したものである。励
起ランプへ電力が供給されて点灯すると、この光が集光
反射鏡にて集光されて固体レーザ媒質へ入射し、この固
体レーザ媒質が励起してレーザ光を発振する。
ランプ（ともに不図示）を集光反射鏡（不図示）内に設
置し、これらを保持箱２７内に保持したものである。励
起ランプへ電力が供給されて点灯すると、この光が集光
反射鏡にて集光されて固体レーザ媒質へ入射し、この固
体レーザ媒質が励起してレーザ光を発振する。
【００２４】反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂは、励起装
置２１を挟む位置に配置される。反射鏡２２Ａは、レー
ザ光を全反射させる全反射鏡であり、出力鏡２２Ｂは、
一部のレーザ光を透過させる部分透過反射鏡である。こ
の出力鏡２２Ｂが、収納箱２４の透孔２８側に設置され
る。これらの反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂは、励起装
置２１から発振されたレーザ光を繰り返し反射させて共
振させるものであり、この共振されたレーザ光が出力鏡
２２Ｂから取り出される。出力鏡２２Ｂからのレーザ光
は、収納箱２４の透孔２８から外部へ出射される。
置２１を挟む位置に配置される。反射鏡２２Ａは、レー
ザ光を全反射させる全反射鏡であり、出力鏡２２Ｂは、
一部のレーザ光を透過させる部分透過反射鏡である。こ
の出力鏡２２Ｂが、収納箱２４の透孔２８側に設置され
る。これらの反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂは、励起装
置２１から発振されたレーザ光を繰り返し反射させて共
振させるものであり、この共振されたレーザ光が出力鏡
２２Ｂから取り出される。出力鏡２２Ｂからのレーザ光
は、収納箱２４の透孔２８から外部へ出射される。
【００２５】調整機構部２３は、マイクロメータやねじ
等からなり、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂに連結され
て、これらの反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの角度を調整
可能とする。また、収納箱２４は、内部を密閉状態に維
持可能とする。
等からなり、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂに連結され
て、これらの反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの角度を調整
可能とする。また、収納箱２４は、内部を密閉状態に維
持可能とする。
【００２６】乾燥空気発生器２５は、乾燥空気を発生さ
せるものであり、接続ホース２９を介して収納箱２４に
接続される。従って、この乾燥空気発生器２５で発生し
た乾燥空気が、接続ホース２９を介して収納箱２４内へ
常時流入し、収納箱２４内が乾燥状態（低湿度状態）に
維持される。
せるものであり、接続ホース２９を介して収納箱２４に
接続される。従って、この乾燥空気発生器２５で発生し
た乾燥空気が、接続ホース２９を介して収納箱２４内へ
常時流入し、収納箱２４内が乾燥状態（低湿度状態）に
維持される。
【００２７】収納箱２４には、調整機構部２３の対応位
置に開口部３０が形成される。従って、この開口部３０
は、収納箱２４に少なくとも１つ開設される。前記手袋
２６は、この開口部３０の開口周縁に固着されて、この
開口部３０を封じ、収納箱２４内で調整機構部２３近傍
まで延出して設けられる。また、この手袋２６は変形可
能な材質（ゴム等）にて形成される。従って、この手袋
２６は、作業者が収納箱２４の外部から手袋２６内へ手
を挿入して、収納箱２４の内部をその外部と隔離した状
態で、調整機構部２３を手動で作動させ得るよう構成さ
れる。
置に開口部３０が形成される。従って、この開口部３０
は、収納箱２４に少なくとも１つ開設される。前記手袋
２６は、この開口部３０の開口周縁に固着されて、この
開口部３０を封じ、収納箱２４内で調整機構部２３近傍
まで延出して設けられる。また、この手袋２６は変形可
能な材質（ゴム等）にて形成される。従って、この手袋
２６は、作業者が収納箱２４の外部から手袋２６内へ手
を挿入して、収納箱２４の内部をその外部と隔離した状
態で、調整機構部２３を手動で作動させ得るよう構成さ
れる。
【００２８】上記実施例によれば、変形可能な袋体から
なる手袋２６が、収納箱２４に開設された開口部３０を
封じる状態で、そして収納箱２４内へ延出して設けら
れ、収納箱２４の外部からこの手袋２６内に作業者が手
を挿入し手動にて調整機構部２３を作動させることで、
反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂを調整可能とすることか
ら、収納箱２４の内部を外部と隔離した状態で調整機構
部２３を作動させて、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの角
度を調整できる。このため、収納箱２４内をレーザ装置
２０の実使用時の低湿度環境に維持させた状態で反射鏡
２２Ａ、出力鏡２２Ｂを調整できる。一般に、反射鏡２
２Ａ、出力鏡２２Ｂ、並びにこれらの反射鏡２２Ａ及び
出力鏡２２Ｂに施されたコーティングは湿度依存性を有
するため、上述のように、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂ
の調整時にも、収納箱２４内がレーザ装置２０の実使用
時の低湿度環境に維持されていると、反射鏡２２Ａ、出
力鏡２２Ｂ及び上記コーティングの特性変化を防止でき
る。この結果、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整によ
っても、レーザ光の出力特性を安定化できる。
なる手袋２６が、収納箱２４に開設された開口部３０を
封じる状態で、そして収納箱２４内へ延出して設けら
れ、収納箱２４の外部からこの手袋２６内に作業者が手
を挿入し手動にて調整機構部２３を作動させることで、
反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂを調整可能とすることか
ら、収納箱２４の内部を外部と隔離した状態で調整機構
部２３を作動させて、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの角
度を調整できる。このため、収納箱２４内をレーザ装置
２０の実使用時の低湿度環境に維持させた状態で反射鏡
２２Ａ、出力鏡２２Ｂを調整できる。一般に、反射鏡２
２Ａ、出力鏡２２Ｂ、並びにこれらの反射鏡２２Ａ及び
出力鏡２２Ｂに施されたコーティングは湿度依存性を有
するため、上述のように、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂ
の調整時にも、収納箱２４内がレーザ装置２０の実使用
時の低湿度環境に維持されていると、反射鏡２２Ａ、出
力鏡２２Ｂ及び上記コーティングの特性変化を防止でき
る。この結果、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整によ
っても、レーザ光の出力特性を安定化できる。
【００２９】また、作動手段が手袋２６であることか
ら、コストを低減できる。
ら、コストを低減できる。
【００３０】次に、上記第１実施例の変形例を説明す
る。この変形例のレーザ装置は、高調波レーザ光を発振
する高調波レーザ装置３１である。この高調波レーザ装
置３１では、光学部品に、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２
Ｂの他に、高調波発生結晶としての非線形光学結晶３２
（図１に２点斜線で表示）を含む。この非線形光学結晶
３２が、励起装置２１、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂ
によるレーザ光の光路、例えば励起装置２１と出力鏡２
２Ｂとの間に配置されて、励起装置２１にて発振された
レーザ光を高調波レーザ光として高調波レーザ装置３１
から出射させる。
る。この変形例のレーザ装置は、高調波レーザ光を発振
する高調波レーザ装置３１である。この高調波レーザ装
置３１では、光学部品に、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２
Ｂの他に、高調波発生結晶としての非線形光学結晶３２
（図１に２点斜線で表示）を含む。この非線形光学結晶
３２が、励起装置２１、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂ
によるレーザ光の光路、例えば励起装置２１と出力鏡２
２Ｂとの間に配置されて、励起装置２１にて発振された
レーザ光を高調波レーザ光として高調波レーザ装置３１
から出射させる。
【００３１】非線形光学結晶３２は、一般に、温度及び
湿度に敏感で潮解性を示し、所定温度以下で、その表面
が環境中の水分により劣化する現象を示す。例えば、非
線形光学結晶が温度位相整合素子の場合には、位相整合
温度が約100 ℃以下で、素子の結晶表面が環境中の水分
により劣化し易い。そこで、高調波レーザ装置３１に
は、収納箱２４内に不図示の温度調整器も設置されて、
収納箱２４内が所定温度に維持される。もちろん、この
収納箱２４内は、乾燥空気発生器２５によって低湿度状
態に維持される。
湿度に敏感で潮解性を示し、所定温度以下で、その表面
が環境中の水分により劣化する現象を示す。例えば、非
線形光学結晶が温度位相整合素子の場合には、位相整合
温度が約100 ℃以下で、素子の結晶表面が環境中の水分
により劣化し易い。そこで、高調波レーザ装置３１に
は、収納箱２４内に不図示の温度調整器も設置されて、
収納箱２４内が所定温度に維持される。もちろん、この
収納箱２４内は、乾燥空気発生器２５によって低湿度状
態に維持される。
【００３２】従って、この高調波レーザ装置３１の場合
には、作業者が手袋２６に外部から手を挿入して反射鏡
２２Ａ、出力鏡２２Ｂ等の角度を調整すれば、この調整
時に収納箱２４の内部と外部とが隔離されているので、
収納箱２４内を高調波レーザ装置３１の実使用時の所定
温度及び低湿度環境に維持した状態で、上記反射鏡２２
Ａ、出力鏡２２Ｂを調整できる。このため、上記調整に
よっても、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂの特性、並び
にこれらの反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂに施されたコ
ーティング特性変化が防止でき、高調波レーザ光の出力
特性を安定化できるとともに、非線形光学結晶３２に潮
解性が現われず、この非線形光学結晶３２の健全性も確
保できる。
には、作業者が手袋２６に外部から手を挿入して反射鏡
２２Ａ、出力鏡２２Ｂ等の角度を調整すれば、この調整
時に収納箱２４の内部と外部とが隔離されているので、
収納箱２４内を高調波レーザ装置３１の実使用時の所定
温度及び低湿度環境に維持した状態で、上記反射鏡２２
Ａ、出力鏡２２Ｂを調整できる。このため、上記調整に
よっても、反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂの特性、並び
にこれらの反射鏡２２Ａ及び出力鏡２２Ｂに施されたコ
ーティング特性変化が防止でき、高調波レーザ光の出力
特性を安定化できるとともに、非線形光学結晶３２に潮
解性が現われず、この非線形光学結晶３２の健全性も確
保できる。
【００３３】（第２実施例）図２は、本発明に係るレー
ザ装置の第２実施例を、一部を切り欠いて示す斜視図で
ある。この第２実施例において、前記第１実施例と同様
な部分は、同一の符合を付すことにより説明を省略す
る。
ザ装置の第２実施例を、一部を切り欠いて示す斜視図で
ある。この第２実施例において、前記第１実施例と同様
な部分は、同一の符合を付すことにより説明を省略す
る。
【００３４】この実施例のレーザ装置４０では、作動手
段が駆動装置４１及び制御装置４２を有して構成され
る。
段が駆動装置４１及び制御装置４２を有して構成され
る。
【００３５】駆動装置４１は、収納箱２４内に収納さ
れ、反射鏡２２Ａ又は出力鏡２２Ｂの調整機構部２３に
連結されて、この調整機構部２３を作動可能とするもの
である。この駆動装置４１は例えばモータである。ま
た、制御装置４２は、収納箱２４外に設置され、駆動装
置４１に電気的に接続されて、この駆動装置４１を制御
する。
れ、反射鏡２２Ａ又は出力鏡２２Ｂの調整機構部２３に
連結されて、この調整機構部２３を作動可能とするもの
である。この駆動装置４１は例えばモータである。ま
た、制御装置４２は、収納箱２４外に設置され、駆動装
置４１に電気的に接続されて、この駆動装置４１を制御
する。
【００３６】従って、このレーザ装置４０においては、
収納箱２４の外部に配置された制御装置４２にて駆動装
置４１を制御すれば、収納箱２４の内部をその外部と隔
離した状態で、駆動装置４１により反射鏡２２Ａ、出力
鏡２２Ｂの角度を調整できる。このため、収納箱２４内
をレーザ装置４０の実使用時の低湿度環境に維持しつ
つ、上記反射鏡２２Ａ等の調整を実施でき、この結果、
反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整によっても、レーザ
光の出力特性を安定化できる。
収納箱２４の外部に配置された制御装置４２にて駆動装
置４１を制御すれば、収納箱２４の内部をその外部と隔
離した状態で、駆動装置４１により反射鏡２２Ａ、出力
鏡２２Ｂの角度を調整できる。このため、収納箱２４内
をレーザ装置４０の実使用時の低湿度環境に維持しつ
つ、上記反射鏡２２Ａ等の調整を実施でき、この結果、
反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整によっても、レーザ
光の出力特性を安定化できる。
【００３７】また、制御装置４２が収納箱２４外に配置
されたので、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整を遠隔
操作できる。
されたので、反射鏡２２Ａ、出力鏡２２Ｂの調整を遠隔
操作できる。
【００３８】更に、このレーザ装置４０の収納箱２４内
に非線形光学結晶３２を設置して、このレーザ装置４０
を高調波レーザ装置とした変形例では、上記第２実施例
の効果に加え、この非線形光学結晶３２の潮解性に基づ
く表面劣化を抑制して、この非線形光学結晶３２の健全
性を確保できる。
に非線形光学結晶３２を設置して、このレーザ装置４０
を高調波レーザ装置とした変形例では、上記第２実施例
の効果に加え、この非線形光学結晶３２の潮解性に基づ
く表面劣化を抑制して、この非線形光学結晶３２の健全
性を確保できる。
【００３９】尚、上記第１及び第２実施例並びにそれら
の変形例では、乾燥空気発生器２５から収納箱２４内へ
乾燥空気を常時流入させるものを述べたが、収納箱２４
内に乾燥空気を封入させるようにしても良く、又、収納
箱２４内に空気乾燥装置を設置してこの収納箱２４内を
乾燥状態に維持しても良い。
の変形例では、乾燥空気発生器２５から収納箱２４内へ
乾燥空気を常時流入させるものを述べたが、収納箱２４
内に乾燥空気を封入させるようにしても良く、又、収納
箱２４内に空気乾燥装置を設置してこの収納箱２４内を
乾燥状態に維持しても良い。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るレーザ装置
によれば、装置内の光学部品の調整によっても、レーザ
光の出力特性を安定化できる。
によれば、装置内の光学部品の調整によっても、レーザ
光の出力特性を安定化できる。
【図１】図１は、本発明に係るレーザ装置の第１実施例
を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明に係るレーザ装置の第２実施例
を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図３】図３は、従来のレーザ装置を示す斜視図であ
る。
る。
２０ レーザ装置 ２１ 励起装置 ２２Ａ 反射鏡 ２２Ｂ 出力鏡 ２３ 調整機構部 ２４ 収納箱 ２５ 乾燥空気発生器 ２６ 手袋 ３１ 高調波レーザ装置 ３２ 非線形光学結晶 ４０ レーザ装置 ４１ 駆動装置 ４２ 制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ媒質を備えレーザ光を発振する励
起装置と、 この励起装置による上記レーザ光を共振等させる光学部
品と、 この光学部品の角度を調整可能とする調整機構部と、 上記励起装置、上記光学部品及び上記調整機構部を収納
する収納箱と、 この収納箱内を乾燥状態に維持する乾燥維持装置とを有
し、 上記励起装置にて発振され、上記光学部品にて共振等さ
れた上記レーザ光を上記収納箱から出射するレーザ装置
において、 上記収納箱の内部を外部と隔離した状態で上記調整機構
部を作動可能とする作動手段を設けたことを特徴とする
レーザ装置。 - 【請求項２】 上記光学部品には、励起装置にて発振さ
れたレーザ光を高調波レーザ光とする高調波発生結晶を
含む請求項１に記載のレーザ装置。 - 【請求項３】 上記作動手段は、収納箱に設置され、こ
の収納箱内へ延出された変形可能な袋体であり、この袋
体内に手を挿入して調整機構部を手動で作動可能とする
ものである請求項１又は２に記載のレーザ装置。 - 【請求項４】 上記作動手段は、収納箱内に配置され調
整機構部に連結されてこの調整機構部を作動可能とする
駆動装置と、 上記収納箱外に設置され上記駆動装置に電気的に接続さ
れてこの駆動装置を制御する制御装置と、 を有して構成されたものである請求項１又は２に記載の
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2776795A JPH08204261A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2776795A JPH08204261A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08204261A true JPH08204261A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12230147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2776795A Pending JPH08204261A (ja) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08204261A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000347233A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sony Corp | 紫外線光学装置 |
| JP2001524761A (ja) * | 1997-11-24 | 2001-12-04 | フェムトレーザース プロドゥクシオンズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学クリスタル、または、レーザクリスタル、それぞれ、のための冷却装置 |
| JP2004014886A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Megaopto Co Ltd | レーザー装置の収容ケースおよびそれを用いたレーザーシステム |
| JP2005033040A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Cyber Laser Kk | レーザー湿度調節装置 |
| JP2014206759A (ja) * | 2009-10-16 | 2014-10-30 | オリンパス株式会社 | 多光子励起型レーザ走査型顕微鏡 |
| JP2017045753A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | ファナック株式会社 | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 |
| JP2019106512A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 株式会社キーエンス | レーザ加工装置及びレーザ発振器 |
-
1995
- 1995-01-25 JP JP2776795A patent/JPH08204261A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001524761A (ja) * | 1997-11-24 | 2001-12-04 | フェムトレーザース プロドゥクシオンズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学クリスタル、または、レーザクリスタル、それぞれ、のための冷却装置 |
| JP2010171459A (ja) * | 1997-11-24 | 2010-08-05 | Femtolasers Produktions Gmbh | 光学クリスタル、または、レーザクリスタル、それぞれ、のための冷却装置 |
| JP2000347233A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sony Corp | 紫外線光学装置 |
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| US9899790B2 (en) | 2015-08-24 | 2018-02-20 | Fanuc Corporation | Laser apparatus having temperature control function for maintenance work |
| JP2019106512A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 株式会社キーエンス | レーザ加工装置及びレーザ発振器 |
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