JPH08210600A - ダイヤフラム式真空ポンプの漏洩検出装置及び検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガス滅菌装置で使用する真空ポンプ１３をダ
イヤフラム式のものとする。且つ、このポンプ１３のダ
イヤフラムの破損及びこの破損に伴うガス漏洩を確実に
検出する。 【構成】 排気管７の途中に設ける真空ポンプ１３をダ
イヤフラム式のものとする。排気管７の真空ポンプ１３
よりも下流側に三方弁１８を設ける。三方弁１８の残り
のポート２１は戻し管１７の上流端１７ａを接続する。
戻し管１７の下流端１７ｂは上記排気管７の真空ポンプ
１３よりも上流側に接続する。この接続部分に圧力スイ
ッチ２２を設ける。この圧力スイッチ２２により、ダイ
ヤフラムの破損に伴うガスの漏洩を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明のダイヤフラム式真空ポン
プの漏洩検出装置及び検出方法は、密閉した容器内を負
圧にすベくこの容器に連通したダイヤフラム式の真空ポ
ンプに、例えばこの真空ポンプを構成するダイヤフラム
の破損に起因する漏洩が生じているか否かを検出するの
に利用する。例えば、使用済みの医療器具や実験器具等
の滅菌処理を行なうガス滅菌器に於いて、真空ポンプと
してダイヤフラム式のものを採用した場合に、このダイ
ヤフラムの破損に伴うガス漏れの発生を未然に、且つ確
実に防止するのに利用できる。

【０００２】

【従来の技術】容器を密閉した状態でこの容器内を真空
（負圧）にする処理が、種々の分野で行なわれている。
そして、上記容器内を真空にする為に、各種真空ポンプ
が使用されている。この様に真空ポンプを備え、この真
空ポンプを運転する事により容器内部を真空にする処理
を行なう機器の１例として、ガス滅菌装置がある。以下
に、上述の様な真空ポンプが設けられる、このガス滅菌
装置に就いて説明する事によりで本発明をなすに到った
背景に就いて説明する。

【０００３】図４は、ガス滅菌装置のうち、卓上型のガ
ス滅菌装置を示している。比較的小規模の病院や研究所
で使用されるこの卓上型のガス滅菌装置は、使用済の手
術用具や実験器具等の被滅菌物（図示せず）を収納自在
な滅菌容器１と、この滅菌容器１の開口を気密に閉鎖自
在な気密蓋２とを有する。上記被滅菌物は収納籠３内に
収納した状態で上記滅菌容器１内に収納する。気密蓋２
の内側には、滅菌ガスである酸化エチレンガス（ＥＯ
Ｇ）を充填した小型ボンベ４を収納自在な収納部５を設
けている。上記小型ボンベ４は１回の滅菌処理で使い切
るだけの量の滅菌ガスを充填している。滅菌容器１の上
部には操作パネル６を設け、滅菌作業に係る温度や圧
力、時間等、各種条件を設定自在としている。

【０００４】ガス滅菌装置は、上記滅菌容器１を含む各
構成部材を、図５に示す様に接続する事で構成される。
即ち、上記滅菌容器１内に吸気管１０の下流端を通じさ
せている。この吸気管１０の途中には除菌フィルタ１１
と第一の開閉弁１２とを、上流側（図５の左側）から順
に互いに直列に設けている。吸気管１０の上流端は大気
に開放している。従って、この吸気管１０により滅菌容
器１内に、上記除菌フィルタ１１を通過する事で浄化さ
れた清浄空気を吸入自在である。又、上記滅菌容器１内
に排気管７の上流端を通じさせている。この排気管７の
途中には、上記滅菌容器１の側から順に、第二の開閉弁
８と真空ポンプ９とを設けている。この排気管７の下流
端は、屋外に開放している。又、上記真空ポンプ９とし
ては、図示の様なエジェクタ式のポンプが一般に採用さ
れている。

【０００５】上述の様に構成されるガス滅菌装置を用い
て滅菌作業を行なう場合、先ず、滅菌容器１内に被滅菌
物を収納し、気密蓋２を閉鎖する（準備行程）。次い
で、上記第一の開閉弁１２を閉じてから第二の開閉弁８
を開放する。そして、真空ポンプ９を運転し、滅菌容器
１内の空気を排気管７を通じて外部に排出する。この結
果、滅菌容器１内の圧力が低下する。この様に、最初に
滅菌容器１内の圧力を低下させる（真空状態にする）の
は、被滅菌物に含まれている空気を排出し、この被滅菌
物の内部にまで滅菌ガスを浸透し易くする為である。

【０００６】上記滅菌容器１内の空気を排出したなら
ば、第二の開閉弁８を閉じ、真空ポンプ９を停止させて
滅菌容器１内を真空に保持した状態で放置する。これと
同時に、ガーゼ等に染み込ませる事でこの滅菌容器１内
に供給した水を蒸発させて、上記被滅菌物を加湿する加
湿行程を行なう。この際、被滅菌物の加温も行なわれ
る。この様にして、被滅菌物に含まれる空気を排出する
と共に、上述の様な加湿行程を行なったならば、次いで
被滅菌物を滅菌する滅菌行程を行なう。この滅菌行程
は、滅菌容器１内に滅菌ガスを充満させる事で行なう。
即ち、上記第二の開閉弁８を閉じた状態で、上記収納部
５部分に設けた開封手段により、この収納部５内の小型
ボンベ４の封板を破り（穿孔し）、滅菌容器１内に滅菌
ガスを導入する。これにより滅菌容器１内の被滅菌物
は、滅菌ガスにより滅菌処理される。所定時間の滅菌行
程を終了したならば、再び第二の開閉弁８を開放すると
共に真空ポンプ９を運転し、滅菌行程で使用した滅菌容
器１内の滅菌ガスを排気管７を通じて屋外に排出する。

【０００７】この様に、滅菌容器１内の滅菌ガスを排出
した後でも、被滅菌物が例えば患者用衣類の様に繊維質
のものである場合は、滅菌ガスが被滅菌物の深部にまで
浸透して、この被滅菌物中に残留している可能性があ
る。この様に滅菌ガスが残留していた場合、当該衣類等
と患者等の皮膚とが接触すると、皮膚に炎症を起こす事
がある。そこで、この被滅菌物に付着し残留している滅
菌ガスを取り除く為の洗浄行程及びエアレーション行程
を行なう。

【０００８】ところで、上述した様なガス滅菌装置を構
成する場合、真空ポンプ９としてエジェクタ式のポンプ
を使用すると、エアコンプレッサ等の圧縮空気源が必要
である。この為、この圧縮空気源の設置場所の確保、管
理の手間の増大等の問題が生じる。特に、上記小型ボン
ベ４を使用する卓上型のガス滅菌装置の場合、小規模な
病院や研究所等で使用される事が多い。従って、設置場
所が比較的限られている場合が多く、上記圧縮空気源等
の部材は省略する事が望まれている。

【０００９】この様な問題点を解消する為に、上記真空
ポンプとして、ダイヤフラムの往復動によって流体の吸
い込みと吐き出しとを行なう、ダイヤフラム式の真空ポ
ンプを用いる事が考えられる。この様なダイヤフラム式
の真空ポンプを用いた場合、前述したエジェクタ式のポ
ンプの様に圧縮空気源を要しない為、この圧縮空気源の
分だけガス滅菌装置の構成部材が少なくなる。従って、
省スペース化と、管理の手間の低減とを図れる。尚、ガ
ス滅菌装置には、高真空を得る為、ダイヤフラムを２段
に亙り互いに直列に設ける、多元真空ポンプを設ける場
合が多い。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、真空ポ
ンプとして上記ダイヤフラム式のものを使用した場合、
新たに次に述べる様な問題が生じる。即ち、上記ダイヤ
フラムは運転に伴って劣化する事が避けられない。例え
ば、上記ダイヤフラムを、ＮＢＲ（ノーマルブタジエン
ゴム）の表面にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレ
ン）を被覆する事で造った場合、このダイヤフラムの寿
命は４０００時間程度と考えられるが、使用状態等によ
っては上記寿命に達する以前に破損する事も考えられ
る。従って、ダイヤフラムの交換時期を時間で管理する
事は難しい。一方、ダイヤフラムが破損した場合、漏れ
を生じる。そして、洗浄行程で漏れが発生すると、滅菌
ガスが室内に拡散してしまう。従って、ガス滅菌装置に
上記ダイヤフラム式の真空ポンプを採用する場合、ダイ
ヤフラムの破損の有無を十分に監視し、滅菌ガスが外部
に漏洩しない様にする必要がある。

【００１１】ダイヤフラムの破損の有無、並びにこの破
損に伴う滅菌ガスの漏洩を検出する方法としては、滅菌
容器１内の圧力を検出すべく設けられた圧力センサ等に
よって検出する事が考えられる。この様な圧力センサに
よって上記漏洩を検出するには、ダイヤフラムの破損箇
所からの空気の漏れ込みに伴う圧力変化を測定する。し
かしながら、ダイヤフラムが破損しても、破損の程度が
相当に大きくならない限り、滅菌容器１内の真空到達度
に大きな差はない。言い換えれば、上記破損箇所からの
漏れ込み量が少なくて、長時間に亙るリークチェックを
要する為、現実的ではない。又、多元真空ポンプの場
合、何れか一方のダイヤフラムのみが破損しただけで
は、これを検出できない場合も考えられる。従って、ダ
イヤフラムの破損の有無、並びにこの破損に伴う滅菌ガ
スの漏洩を検出する為には専用の検出手段が必要であ
る。本発明のダイヤフラム式真空ポンプの漏洩検出装置
及び検出方法は、上述の様な事情に鑑みて発明したもの
である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明のダイヤフラム式
真空ポンプの漏洩検出装置及び検出方法のうち、請求項
１に記載した漏洩検出装置に関する発明は、内部を密閉
自在な容器にその上流端を接続すると共に、その下流端
を大気に開放し、途中に開閉弁を接続した排気管の途中
部分で、上記開閉弁とこの排気管の下流端との間部分に
設けられるダイヤフラム式の真空ポンプの漏洩を検出す
る装置に関する。この様な本発明のダイヤフラム式真空
ポンプの漏洩検出装置に於いては、上記排気管の途中で
上記真空ポンプよりも下流側にその一端を、上記排気管
の途中で上記開閉弁と上記真空ポンプとの間部分にその
他端を、それぞれ接続した戻し管と、上記排気管の途中
で上記真空ポンプよりも下流側部分に設けられ、上記真
空ポンプの吐出口から送り出された気体を上記排気管の
下流端から排出する第一の切り換え状態と上記気体を戻
し管に向けて送り出す第二の切り換え状態との何れかの
状態に切り換え自在な弁装置と、この弁装置が上記第二
の切り換え状態である場合に上記排気管の真空ポンプ設
置位置の前後部分と上記戻し管とで構成される回路に通
じる部分に設けられた圧力センサとを備えている。

【００１３】又、請求項２に記載した漏洩検出方法に関
する発明は、密閉された容器内にその上流端を接続した
排気管の途中部分に設けられたダイヤフラム式の真空ポ
ンプを駆動する事により、この排気管を介して上記容器
内の気体を排出する際に、上記真空ポンプの漏洩を検出
する方法に関する。この様な本発明の漏洩検出方法に於
いては、上記真空ポンプの起動時に、上記排気管の途中
で上記真空ポンプよりも下流側部分に設けられ、真空ポ
ンプの吐出口から送り出された気体を排気管の下流端か
ら排出する第一の切り換え状態と、真空ポンプの吐出口
から送り出された気体をこの真空ポンプの吸入口に戻す
戻し管に向けて送り出す第二の切り換え状態とに切り換
え自在な弁装置を、上記第二の切り換え状態に切り換え
ると共に、上記排気管の途中で上記真空ポンプの上流側
部分に設けた開閉弁を閉じる事により、上記排気管の真
空ポンプ設置位置の前後部分と上記戻し管とで閉回路を
構成し、真空ポンプを駆動させた状態で、この閉回路に
通じる部分に設けた圧力センサによって管路内の圧力変
化を測定する事により、上記真空ポンプの漏洩の有無を
検出自在としている。

【００１４】

【作用】上述の様に構成されるダイヤフラム式真空ポン
プの漏洩検出装置及び検出方法によれば、ダイヤフラム
の破損に伴う漏洩を早期に、確実に検出できる。従っ
て、本発明の漏洩検出装置及び漏洩検出方法の存在に基
づき、ガス滅菌装置等の真空ポンプを有する各種機器の
真空ポンプをダイヤフラム式のポンプとする事ができ
て、コンプレッサ等の圧縮空気源を省略でき、その分、
構成を簡易にできる。この為、上記各種機器の小型化、
省スペース化、並びに管理の手間の省略を図れる。更
に、本発明の漏洩検出装置及び漏洩検出方法により、密
閉された容器内に存在するガスが滅菌ガス等、有害なも
のであっても、この様なガスの漏洩を早期に確実に検出
できる為、この様なガスの漏出を防止して、安全性の確
保を図れる。

【００１５】

【実施例】次に、本発明の実施例に就いて説明する。図
１は本発明の漏洩検出装置の第一実施例を示す回路図で
ある。内部を密閉自在とした容器（図示せず）内には排
気管７の上流端を通じさせ、この排気管７の途中に第二
の開閉弁８（前記図５、或は後述する図３参照。図１に
は省略。）とダイヤフラム式の真空ポンプ１３とを設け
ている。上記排気管７の途中で、上記真空ポンプ１３と
上記第二の開閉弁８との間部分には、戻し管１７の下流
端１７ｂを接続している。一方、排気管７の途中で上記
真空ポンプ１３の下流側部分には、上記戻し管１７の上
流端１７ａを、三方弁１８を介して接続している。即
ち、排気管７の真空ポンプ１３よりも下流側部分を、上
記三方弁１８の第一、第二のポート１９、２０に接続す
ると共に、三方弁１８の残りの第三のポート２１に上記
戻し管１７の上流端１７ａを接続している。弁装置であ
るこの三方弁１８は、従来から知られた電動式の三方弁
を用いている。従って、別途設けたスイッチ等による制
御信号によりその流路を、第一、第二のポート１９、２
０が連通する第一の切り換え状態と第一、第三のポート
１９、２１が連通する第二の切り換え状態との何れかに
切り換えられる。

【００１６】即ち、この三方弁１８を上記第一の切り換
え状態に切り換えた場合、上記容器１内から送り出され
た排気は真空ポンプ１３を経て、排気管７の下流端へ送
り出される。他方、この三方弁１８を上記第二の切り換
え状態に切り換えた場合、上記排気は上記戻し管１７に
送られ、更に排気管７を介して真空ポンプ１３に送ら
れ、再び戻し管１７に送られる。即ち、排気管７の途中
部分と戻し管１７とで構成される回路を循環する。尚、
ダイヤフラムの破損の有無を検出する際には、上記第二
の開閉弁８を閉じる事で上記回路を閉回路とする。ダイ
ヤフラムの破損に伴う漏れを検出する場合に上記閉回路
を構成するのは、上記ダイヤフラム以外からの漏れをな
くす必要があるからである。

【００１７】更に、上記閉回路を構成する配管部分で下
流端１７ｂ近傍部分には、第一の圧力スイッチ２２を設
けている。この第一の圧力スイッチ２２が、真空ポンプ
１３の吸入口と弁装置との間部分に設けた圧力センサで
ある。この第一の圧力スイッチ２２は、真空ポンプ１３
の吐出口から送り出された気体が上記閉回路を循環して
いる場合に、この閉回路内の圧力を検出し、上記真空ポ
ンプ１３を構成するダイヤフラムの破損の有無を判定す
る。従ってこの第一の圧力スイッチ２２の設置位置は、
上記閉回路に通じる部分であれば良く、図示の位置に限
定されるものではない。

【００１８】本発明に於いては上記ダイヤフラムの破損
に伴う漏れの検出を、上記閉回路を構成すると共に、真
空ポンプ１３を運転した状態で検出する。即ち、上記第
二の開閉弁８を閉鎖し、三方弁１８を第一の切り換え状
態として、真空ポンプ１３を運転する。そして、真空ポ
ンプ１３の吸入口側に設けた第一の圧力スイッチ２２が
検出する当該部分の圧力が、下限設定値（例えば、−６
００mmHg）に達した後、所定時間（例えば３秒）遅延さ
せてから、上記三方弁１８を第二の切り換え状態（第
一、第三のポート１９、２１同士を連通させる状態）に
切り換える。そして、第一の圧力スイッチ２２の上限設
定値（例えば、−２５０mmHg）以上に復圧するか否か、
所定時間（例えば２分間）測定し続ける。上記復圧がな
い場合、上記ダイヤフラムの破損に伴う漏れはないと考
えられる為、第二の開閉弁８を開放すると共に、上記三
方弁１８を第一の切り換え状態（第一、第二のポート１
９、２０同士を連通させる状態）として、排気動作に入
る。

【００１９】次に、上記ダイヤフラムの破損に伴う漏れ
を検出すべく、真空ポンプ１３を運転した状態で検出す
るる理由に就いて説明する。上記漏れを検出する事は、
上記真空ポンプ１３を運転する事なく行なう事も可能で
はある。即ち、この真空ポンプ１３を含む閉回路を陰圧
にして真空ポンプ１３を停止する。この状態で、外部か
らの漏れ込みを上記圧力スイッチ２２により検出する。
しかしながら、この様にして検出作業を行なうと、上記
ダイヤフラムの破損部分（破れ）が開いた状態か、閉じ
た状態かによって検出値が大きく変化する。即ち、ダイ
ヤフラムの破損は、片面から亀裂の状態で発生する事が
多いが、この様な亀裂の開口は、ダイヤフラムの湾曲方
向に対応して開閉する。従って、上記ダイヤフラムが破
損し、上記容器内のガスが外部に漏洩していると判断さ
れる基準の漏れ量の設定如何によっては、上記ダイヤフ
ラムが破損しておりガスが漏洩する可能性があるにも拘
らず、上記圧力スイッチ２２がこの漏れを検出できない
可能性がある。従って、真空ポンプ１３を運転した状態
で漏洩検出を行なう。

【００２０】本発明の漏洩検出装置は上述の様に構成さ
れ作用する為、真空ポンプを用いる各種機器の当該真空
ポンプをダイヤフラム式のものとする事ができる。この
結果、真空ポンプとしてエジェクタ式のものを使用した
場合の様に、コンプレッサ等の圧縮空気源が不要とな
り、上記各種機器の全体構成を簡略化できる。従って、
上記機器全体としての小型化、低廉化を図れる。又、ガ
スの漏洩を確実に、且つ早期に検出できる為、本発明の
漏洩検出装置及び漏洩検出方法を利用した各種機器の安
全性の向上に寄与できる。

【００２１】尚、本実施例に於いては、本発明装置を構
成する弁装置として１個の三方弁１８を用いた例に就い
て説明したが、これに代えて、図２に示す第二実施例の
様に２個の開閉弁３０、３１を用いて構成する事もでき
る。即ち、開閉弁３０を開放すると同時に開閉弁３１を
閉鎖する事で第一の切り換え状態とし、開閉弁３０を閉
鎖すると同時に開閉弁３１を開放する事で第二の切り換
え状態とする。又、本発明に使用する開閉弁は電動式と
し、各圧力スイッチ等からの信号により自動的に開閉す
る。

【００２２】次に、本発明の具体例として、本発明をガ
ス滅菌装置に適用した実施例に就いて説明する。図３は
本発明の漏洩検出装置を設けたガス滅菌装置の回路図で
ある。滅菌容器１内には排気管７の上流端を通じさせ、
この排気管７の途中に第二の開閉弁８とダイヤフラム式
の真空ポンプ１３とを設けている。更に、この排気管７
の途中部分には第二、第三の圧力スイッチ１４、１５、
及び真空計１６を設けている。このうち第二、第三の圧
力スイッチ１４、１５は滅菌容器１内の圧力の上限値と
下限値とを検出して接点を開閉し、他の構成部分の動作
を制御する。又、上記真空計１６は上記滅菌容器１内の
圧力を表示する。

【００２３】上記排気管７の途中で、上記真空ポンプ１
３と上記第二の開閉弁８との間部分には、前述した様
に、戻し管１７の下流端１７ｂを接続している。一方、
排気管７の途中で上記真空ポンプ１３の下流側部分に
は、上記戻し管１７の上流端１７ａを、三方弁１８を介
して接続している。即ち、排気管７の真空ポンプ１３よ
りも下流側部分を、上記三方弁１８の第一、第二のポー
ト１９、２０に接続すると共に、三方弁１８の残りの第
三のポート２１に上記戻し管１７の上流端１７ａを接続
している。そして、前記操作パネル６（図４）等に設け
たスイッチ等の操作による制御信号によりその流路を、
第一、第二のポート１９、２０が連通する第一の切り換
え状態と第一、第三のポート１９、２１が連通する第二
の切り換え状態との何れかに切り換えられる。三方弁１
８を上記第二の切り換え状態に切り換えた場合、排気管
７の途中部分と戻し管１７とで閉回路が構成される。

【００２４】更に、上記閉回路を構成する配管部分で下
流端１７ｂ部分に、第一の圧力スイッチ２２を設けてい
る。そして、上記ダイヤフラムの破損に伴う漏れの検出
を、上記閉回路を構成すると共に、真空ポンプ１３を運
転した状態で検出する。即ち、前述した様に、上記第二
の開閉弁８を閉鎖し、三方弁１８を第一の切り換え状態
として、真空ポンプ１３を運転する。そして、真空ポン
プ１３の吸入口側に設けた第三の圧力スイッチ２２が検
出する当該部分の圧力が、下限設定値（例えば、−６０
０mmHg）に達した後、所定時間（例えば３秒）遅延させ
てから、上記三方弁１８を第二の切り換え状態（第一、
第三のポート１９、２１同士を連通させる状態）に切り
換える。そして、第一の圧力スイッチ２２の上限設定値
（例えば、−２５０mmHg）以上に復圧するか否か、所定
時間（例えば２分間）測定し続ける。上記復圧がない場
合、上記ダイヤフラムの破損に伴う漏れはないと考えら
れる為、第二の開閉弁８を開放すると共に、上記三方弁
１８を第一の切り換え状態（第一、第二のポート１９、
２０同士を連通させる状態）として、排気動作に入る。
この排気動作を行なう行程としては、前記加湿行程の開
始直前、洗浄行程の開始直前、及び後述するエラー処理
動作の開始直前がある。

【００２５】尚、図３で２４は、開封手段を構成する配
管である。この配管２４の一端は吸気管１０の、除菌フ
ィルタ１１と第一の開閉弁１２との間部分に接続し、配
管２４の他端は上記収納部５を構成する室２５に接続し
ている。この配管２４の途中には第三の開閉弁２６を設
け、この開閉弁２６を開放する事により上記開封手段を
構成する撃針を設けた部分に大気圧を導入自在としてい
る。又、配管２４の途中で第三の開閉弁２６よりも下流
側から分岐管２７を分岐させている。この分岐管２７の
途中には逆止弁２８を設けている。分岐管２７の他端
は、排気管７の途中で第二の開閉弁８の下流側に接続し
ている。上記逆止弁２８は分岐管２７の上記一端側から
上記他端側に向けてのみ気体を流す。上記収納部５の一
部には、中間部をダイヤフラム２３で仕切る事により上
記室２５と室２９とを設け、上記室２５、２９の圧力差
によりダイヤフラム２３を変位させる事で、小型ボンベ
４を開封できる様にしている。即ち、上記小型ボンベ４
を開封する場合、第三の開閉弁２６を閉じ、第二の開閉
弁８を開いた状態で真空ポンプ１３を起動する。これに
より室２５、２９の圧力が低下する。そして、第三の開
閉弁２６を開くと、室２９内が陰圧であるのに対し室２
５が大気圧となる。この結果、ダイヤフラム２３が室２
９側に変位する。これによりダイヤフラム２３が、小型
ボンベ４の封板に撃針を押圧し、この小型ボンベ４を開
封する。

【００２６】上述の様に構成されるガス滅菌装置を用い
て、使用済みの手術用具等の被滅菌物を滅菌処理する際
の作用は、前述した従来例の場合と同様である。特に、
本実施例の場合、滅菌処理を開始する前、滅菌行程終了
後で洗浄行程開始前等、滅菌容器１内を真空にする際
に、本発明の漏洩検出装置及び漏洩検出方法により、真
空ポンプ２０を構成するダイヤフラムの破損に伴う滅菌
ガスの漏洩を検出する。その際の作用は、以下の通りで
ある。先ず、滅菌を開始する前に於いては、上述した様
に上記第二の開閉弁８を閉鎖し、三方弁１８を第一、第
二のポート１９、２０を連通させた状態で、真空ポンプ
１３を運転する。そして、真空ポンプ１３の吸入口側に
設けた第一の圧力スイッチ２２が検出する当該部分の圧
力が、下限設定値（例えば、−６００mmHg）に達した
後、所定時間（例えば３秒）遅延後、上記三方弁１８を
第二の切り換え状態に切り換える。そして、第一の圧力
スイッチ２２の上限設定値（例えば、−２５０mmHg）以
上に復圧するか否か、所定時間（例えば２分間）見張
る。上記復圧がない場合、上記ダイヤフラムの破損に伴
う漏れはないと考えられる為、第二の開閉弁８を開放す
ると共に、上記三方弁１８を第一の切り換え状態とし
て、排気動作に入り、加湿行程を行なう。

【００２７】次に、滅菌行程終了後、洗浄行程に入る前
に於いては、滅菌ガスを排出する以前に、上記漏洩検出
を行なう。この場合の検出作用は、上記滅菌を行なう前
に於ける検出と同様に行なう。又、真空ポンプ１３に通
電する際及び第二の開閉弁８を開く際に、前述した様な
エラー表示があった場合で、滅菌容器１内に滅菌ガスが
存在する可能性がある場合にも、上述した漏洩検出を行
なう。この様な場合、上記洗浄行程時に行なう様なパル
ス排気を所定回数（例えば５回）行なうが、このパルス
排気を行なうのに先立って上記漏洩検出を行なう。

【００２８】上述した漏洩検出の結果、漏洩ありと認め
られた場合、滅菌開始前に於いては真空ポンプ１３を停
止すると共に、三方弁１８を第一の切り換え状態とし、
第二の開閉弁８を閉じた状態で、上記表示パネルによる
エラー表示、及びブザーによる警報を発し、滅菌処理を
続行しない様にする。又、滅菌行程終了後、洗浄行程に
入る前、並びに、真空ポンプ１３に通電する際及び第二
の開閉弁８を開く際に、前述した様なエラー表示があっ
た場合には、真空ポンプ１３を停止すると共に、三方弁
１８を第一の切り換え状態とし、第二の開閉弁８を閉じ
た状態で、上記表示パネルによるエラー表示、及びブザ
ーによる警報を発した後、運転を停止する。

【００２９】本発明の漏洩検出装置を付設した、上述の
様なガス滅菌装置に於いては、このガス滅菌装置を構成
する真空ポンプとして、ダイヤフラム式のポンプを用い
る事ができ、その結果、構成を簡略化し、しかもこの真
空ポンプのガス漏洩検出作業を確実に行なう事ができ
る。従って、簡易な構成とする事による価格低減と安全
な滅菌処理とを実現できる。

【００３０】尚、本実施例に於いては、本発明を、前述
した滅菌容器１を単一の缶体から構成しこの缶体内に上
記小型ボンベ４内の滅菌ガスを送り込む卓上型等の小型
のガス滅菌装置に適用した例に就いて説明した。本発明
は、これ以外にも、外部に備えた大型のボンベを使用す
る大型のガス滅菌装置を初め、ダイヤフラム式の真空ポ
ンプを使用する機器に適用可能である。又、上述の様な
ダイヤフラムの破損検出に加え、別途設けた制御器等に
よって真空ポンプ１３の運転時間を積算し、上記ダイヤ
フラムの余命（この後、何時間使用できるか）を予測で
きる。そして、上記余命が一定時間以下になったなら
ば、上記ダイヤフラムを交換すべき旨を表示する様にす
る事も可能である。

【００３１】

【発明の効果】本発明のダイヤフラム式真空ポンプの漏
洩検出装置及び検出方法は、以上に述べた通り構成され
作用する為、ダイヤフラム式の真空ポンプの漏洩を早期
に、確実に検出でき、漏洩に係る危険を未然に防止で防
止できる。又、各種機器を構成する真空ポンプとしてこ
の様なダイヤフラム式のものを採用できる様になり、圧
縮空気源等の部品点数の減少、装置全体の小型化を図れ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例を示す回路図。

【図２】同第二実施例を示す回路図。

【図３】本発明をガス滅菌装置に設けた具体例を示す回
路図。

【図４】従来知られたガス滅菌装置の本体部分を示す斜
視図。

【図５】同じく回路図。

【符号の説明】

１ 滅菌容器 ２ 気密蓋 ３ 収納籠 ４ 小型ボンベ ５ 収納部 ６ 操作パネル ７ 排気管 ８ 第二の開閉弁 ９ 真空ポンプ １０ 吸気管 １１ 除菌フィルタ １２ 第一の開閉弁 １３ 真空ポンプ １４ 第二の圧力スイッチ １５ 第三の圧力スイッチ １６ 真空計 １７ 戻し管 １７ａ 上流端 １７ｂ 下流端 １８ 三方弁 １９ 第一のポート ２０ 第二のポート ２１ 第三のポート ２２ 第一の圧力スイッチ ２３ ダイヤフラム ２４ 配管 ２５ 室 ２６ 第三の開閉弁 ２７ 分岐管 ２８ 逆止弁 ２９ 室 ３０、３１ 開閉弁

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部を密閉自在な容器にその上流端を接
   続すると共に、その下流端を大気に開放し、途中に開閉
   弁を接続した排気管の途中部分で、上記開閉弁とこの排
   気管の下流端との間部分に設けられるダイヤフラム式の
   真空ポンプの漏洩を検出する装置であって、上記排気管
   の途中で上記真空ポンプよりも下流側にその一端を、上
   記排気管の途中で上記開閉弁と上記真空ポンプとの間部
   分にその他端を、それぞれ接続した戻し管と、上記排気
   管の途中で上記真空ポンプよりも下流側部分に設けら
   れ、上記真空ポンプの吐出口から送り出された気体を上
   記排気管の下流端から排出する第一の切り換え状態と上
   記気体を戻し管に向けて送り出す第二の切り換え状態と
   の何れかの状態に切り換え自在な弁装置と、この弁装置
   が上記第二の切り換え状態である場合に上記排気管の真
   空ポンプ設置位置の前後部分と上記戻し管とで構成され
   る回路に通じる部分に設けられた圧力センサとを備えた
   事を特徴とするダイヤフラム式真空ポンプの漏洩検出装
   置。
2. 【請求項２】 密閉された容器内にその上流端を接続し
   た排気管の途中部分に設けられたダイヤフラム式の真空
   ポンプを駆動する事により、この排気管を介して上記容
   器内の気体を排出する際に、上記真空ポンプの漏洩を検
   出する方法であって、上記真空ポンプの起動時に、上記
   排気管の途中で上記真空ポンプよりも下流側部分に設け
   られ、真空ポンプの吐出口から送り出された気体を排気
   管の下流端から排出する第一の切り換え状態と真空ポン
   プの吐出口から送り出された気体をこの真空ポンプの吸
   入口に戻す戻し管に向けて送り出す第二の切り換え状態
   とに切り換え自在な弁装置を、上記第二の切り換え状態
   に切り換えると共に、上記排気管の途中で上記真空ポン
   プの上流側部分に設けた開閉弁を閉じる事により、上記
   排気管の真空ポンプ設置位置の前後部分と上記戻し管と
   で閉回路を構成し、真空ポンプを駆動させた状態で、こ
   の閉回路に通じる部分に設けた圧力センサによって管路
   内の圧力変化を測定する事により、上記真空ポンプの漏
   洩の有無を検出自在とした事を特徴とする、ダイヤフラ
   ム式真空ポンプの漏洩検出方法。