JPH08210678A

JPH08210678A - トンネル式クリーンルーム空調システム

Info

Publication number: JPH08210678A
Application number: JP7310597A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Mizushima; 茂水島; Seishirou Yoshizaki; 誠司郎吉崎; Kazunori Sugafuji; 和則菅藤
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1994-11-29
Filing date: 1995-11-29
Publication date: 1996-08-20
Anticipated expiration: 2015-11-29
Also published as: JP3820610B2

Abstract

(57)【要約】【課題】境界領域に位置する作業員からの発塵を高速
流域に巻き込むことを防止すると共に、トンネル式クリ
ーンルーム内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応す
ることができるトンネル式クリーンルーム空調システム
を提供することにある。【解決手段】トンネル式クリーンルームと、このトン
ネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成され
た高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、高速
流域に設けられたファンフィルタユニットと、低速流域
に設けられた断面円弧上のフィルタダクトと、高速流域
に設置された生産装置と、ファンフィルタユニット及び
フィルタダクトを介してトンネル式クリーンルームに清
浄空気を送る空調機と、気液相変化する冷媒が流通され
るコイルと、このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱
交換器ユニットとを有し、コイルは、生産装置の位置す
るファンフィルタユニットに配置され、熱交換器ユニッ
トは、トンネル式クリーンルームの外部に配置されてい
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、精密
機械工場、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用
されるトンネル式クリーンルームの空調システムに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体工場に於ては、超ＬＳＩ
の高集積化・超微細化に伴なう製造技術の高度化への対
応として超清浄度空間の必要性が増大し、クラス１〜１
００の清浄度を有するクリーンルームが要求されてい
る。この要求に応えるものとしては、垂直層流方式のク
リーンルームとトンネル方式クリーンルームとがある。

【０００３】処で、垂直層流方式のクリーンルームは、
天井の全面に高性能フィルタを施設すると共に、温湿度
を室全体として制御する必要があり、室内の各生産装置
毎の温度制御の不均衡を起こす虞があった。これに対
し、トンネル式クリーンルームは、そのエリア分けによ
り作業部毎に高精度に制御することができる可能性があ
るという利点を有する。

【０００４】このトンネル式クリンルームとしては、例
えば、特開昭６１−２８２７４２号公報がある。これを
図１０により説明する。図に於て、１はトンネル式クリ
ーンルームである。このトンネル式クリーンルーム１に
は垂れ壁２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと
境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。

【０００５】高速流域Ａには、高性能フィルタ３が施設
されている。この高性能フィルタ３は、トンネル状室内
の天井側に設けた給気チャンバ４に取り付けてある。高
性能フィルタ３の下方には、クリンルーム１の床５上に
配置された生産機械６が位置している。低速流域Ｂ側の
垂れ壁２と天井７との間には、吹出口８が設けられてい
る。この吹出口８は、２つの高性能フィルタ９，１０
と、両高性能フィルタ９，１０に清浄空気を送る給気チ
ャンバ１１と、給気チャンバ１１内に位置し垂れ壁２よ
りの高性能フィルタ９の上部に設けたダンパ１２とで構
成されている。

【０００６】境界域Ｃは、高性能フィルタ９からの吹出
によって形成される。このトンネル式のトンネル式クリ
ーンルーム１によれば、高性能フィルタ３を介して高速
流域Ａの全域に亘って清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．
３〜０．４m/sec程度の速度で層流状に吹き出し、低速
流域Ｂでは、清浄空気を高性能フィルタ１０を介して拡
散的に０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速
になるように吹き出している。

【０００７】そして、境界域Ｃに於ては、ダンパ１２を
操作して清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．３〜０．４m/
sec程度の速度で吹き出している。この境界域Ｃに於け
る高速流域Ａの気流流れと同じ気流流れを高性能フィル
タ９とダンパ１２によって形成するため、境界域Ｃ側に
位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することが
できる。

【０００８】図１１は、同じく特開昭６１ー２８２７４
２号公報に記載されてあるトンネル式クリーンルームで
ある。この場合には、高性能フィルタ１３を天井側に施
設し、１つの吹出口１４に境界域用１４ａと低速流域用
１４ｂとを設けたものである。このトンネル式クリーン
ルームに於ても、図１０と同様に境界域Ｃ側に位置する
作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】処が、図１０に示すト
ンネル式クリーンルームでは、ダンパ１２によって境界
域Ｃの風速を調整するものであるため、ダンパ１２の調
整に手間取る。又、高性能フィルタ９，１０が直線で形
成され、高性能フィルタ９と高性能フィルタ１０の為す
角度がかなり大きな角度を持つため、高性能フィルタ９
と高性能フィルタ１０の夫々から吹き出す気流により新
たな境界層ができる。これにより、境界層Ｃは波高性能
フィルタ９の幅の分だけ位置がずれたに過ぎないことに
なる可能性が大きい。

【００１０】又、図１１に示すトンネル式クリーンルー
ムでは、高性能フィルタ１３から吹出口１４内に動圧が
掛かるため、清浄空気は横向きの低速流域用１４ｂより
も下向きの境界域用１４ａから出やすくなり、高速流域
Ａの流速よりも速くなる可能性がある。その場合には、
境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防
止することができない。

【００１１】一方、従来のトンネル式クリーンルーム空
調システムとしては、図１２に示すものが知られてい
る。このシステムでは、高速流域Ａの給気チャンバ４と
低速流域Ｂの給気チャンバ１１と床下空間１５とがダク
ト１６により空調機（図示せず）に連絡され、床下空間
１５内の空気を、空調機の冷温水コイル及びファンに導
いた後、空調された空気を高速流域Ａの給気チャンバ４
と低速流域Ｂの給気チャンバ１１に供給し、フィルタ３
及び吹出口９，１０からトンネル式クリーンルーム１内
に吹き出させることによりトンネル式クリーンルーム１
内の空気の空調及び浄化が行われている。

【００１２】然し乍ら、このような従来のトンネル式ク
リーンルーム空調システムでは、一台の空調機によりト
ンネル式クリーンルーム１内の空調を行っているため、
トンネル式クリーンルーム１内に部分的に発生する熱負
荷に有効に対応することが困難であるという問題があっ
た。本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為さ
れたもので、その目的は、境界領域に位置する作業員か
らの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると共に、
トンネル式クリーンルーム内に部分的に発生する熱負荷
に有効に対応することができるトンネル式クリーンルー
ム空調システムを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、トン
ネル式クリーンルームと、このトンネル式クリーンルー
ムを垂れ壁により区画して形成された高い清浄度を必要
とする高速流域と低速流域と、高速流域に設けられたフ
ァンフィルタユニットと、低速流域に設けられた断面円
弧状のフィルタダクトと、高速流域に設置された生産装
置と、ファンフィルタユニット及びフィルタダクトを介
してトンネル式クリーンルームに清浄空気を送る空調機
と、気液相変化する冷媒が流通されるコイルと、このコ
イル内の冷媒を冷却又は加熱する熱交換器ユニットとを
有し、コイルは、生産装置の位置するファンフィルタユ
ニットに配置され、熱交換器ユニットは、トンネル式ク
リーンルームの外部に配置されているものである。

【００１４】請求項２の発明は、高速流域に設けたファ
ンフィルタユニットが、垂れ壁の下端の高さと略等しい
高さに位置するものである。請求項３の発明は、高速流
域に設けたファンフィルタユニットは、軸流型ファン或
いは遠心ファンとフィルタとを備えているものである。
請求項４の発明は、垂れ壁の下方の高速流域と低速流域
との境界部の吹出速が高速流域と略等速になっているも
のである。

【００１５】請求項５の発明は、低速流域に設けた断面
円弧状のフィルタダクトは、作業流域と隣り合うエリア
部分の吹出速度が高速流域から離れるに従って低速にな
っているものである。

【００１６】（作用）請求項１乃至請求項５の発明に於
ては、熱交換器ユニットで冷却された気液相変化する冷
媒が、ファンフィルタユニットの上面に配置されるコイ
ルに循環され、このコイルで冷却された空気が、ファン
フィルタユニットにより高性能フィルタからトンネル式
クリーンルームの高速流域内に流入される。

【００１７】又、請求項１乃至請求項５の発明に於て
は、高速流域では従来と同様に生産機械に向かって流れ
る高速層流を形成する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００１９】図１乃至図３は、請求項１乃至６に係るト
ンネル式クリーンルーム空調システムの一実施の形態を
示す。図に於て、２１はトンネル方式のクリーンルーム
である。このトンネル式のクリーンルーム２１には垂れ
壁２２により高い清浄度を必要とする高速流域ａと境界
域ｃと低速流域ｂとが区画されている。

【００２０】トンネル式のクリーンルーム２１は、天井
２３側にトンネル式のクリーンルーム２１内に清浄空気
を吹き出す高性能フィルタユニット２４が取り付けら
れ、床２５には全面に穿孔されたパンチングメタルが施
設されている。そして、天井空間２６と床下空間２７と
は、空調機２８を介して連絡している。床上には生産機
械２９が配置されている。

【００２１】高速流域ａには、ファンフィルタユニット
３０が配置されている。このファンフィルタユニット３
０は図４及び図５に示すように、横断面正方形形状で筒
状のユニット本体３１の下端開口部３３には、ＵＬＰＡ
フィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ３５が
配置されている。ユニット本体３１の上面３７の中心に
は、吸気用開口部３９が形成され、この吸気用開口部３
９に軸流型ファン４１が配置されている。

【００２２】この軸流型ファン４１は、吸気用開口部３
９に嵌挿されるべルマウス４３を有している。べルマウ
ス４３の中央には、ボス部４５が配置され、ボス部４５
の外周に羽根４７が固定されている。ボス部４５には、
モータ４９が連結され、モータ４９は、ブラケット５１
を介してべルマウス４３に固定されている。

【００２３】そして、ボス部４５には、吸い込み方向に
向けて突出する先端先細り状の気流案内カバー５３が装
着されている。ユニット本体３１の内周の上部には、内
方に向けて突出し軸流型ファン４１の回転により発生す
る旋回流の旋回を抑制する複数の整流板５５が固定され
ている。この整流板５５には、グラスウールから成る吸
音材５７が装着されている。

【００２４】ユニット本体３１の軸流型ファン４１の下
方には、遮音板５９が配置されている。この遮音板５９
は、正方形状をしており、その中心が軸流型ファン４１
の下方に位置されている。遮音板５９には、グラスウー
ルから成る吸音材６１が装着されており、遮音板５９
は、ブラケット６３によりユニット本体３１の内面に固
定されている。

【００２５】遮音板５９の中心部には、下方に向けて窪
む正方形状の凹部６５が形成されている。そして、凹部
６５の内周面が、底面側に向けて傾斜する傾斜面６７と
されている。ユニット本体３１の遮音板５９の下方に
は、矩形環状の外側遮音板６９が配置されている。

【００２６】この外側遮音板６９は、その内周部が遮音
板５９に重なるように配置されている。そして、外側遮
音板６９には、グラスウールから成る吸音材７１が装着
されている。図１に於て、８０は断面円弧状のフィルタ
ダクトを表す。このフィルタダクト８０は、ＵＬＰＡフ
ィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタを高速流
域Ａと低速流域Ｂの風速比Ｖａ／Ｖｂや、フィルタダク
トの取付ピッチ、距離ｘに応じて断面略１／４縦楕円弧
形状〜断面略１／４円弧形状〜断面略１／４横楕円形状
に変化させて形成したものである。

【００２７】ここで、吹出口８１の曲率を（１／
ρ）₈₁、吹出口８２の曲率を（１／ρ）₈₂とすると、次
のような関数となる。Ｖａ／Ｖｂ×α・１／ｘ∝β×（１／ρ）₈₁／（１／
ρ）₈₂ ここで、α，βは係数である。これは、Ｖａ／Ｖｂが大
きくなるほど、境界域Ｃに多風量を、ｘが大きくなるほ
ど低速流域Ｂに多風量を与えなければならないからであ
る。

【００２８】例えば、Ｖａ／Ｖｂが大でｘ≦２ⁿの場合
は、フィルタダクト８０は低速流域Ｂ側への吹出口８１
が境界域Ｃへの吹出口８２よりも流速を抑えたものとし
てある。そのために、吹出口８１には、パンチング板等
の抵抗体を取り付けるか、或いは高性能フィルタの折り
密度や折り高さを変化させることによって、或いは吹出
口８２より吹出口８１のフィルタの曲率を大きくするこ
とによって、吹出口８２を吹出口８１より濾材面積を増
加させる等の手段が適用される。

【００２９】図１に於て、コイル９０と熱交換器ユニッ
ト９２とから成る、本出願人が先に完成させた、冷媒循
環マルチシステム（ＲＣＭ）が装置されている。この冷
媒循環マルチシステムは、冷房時に蒸発器、暖房時に凝
縮器として働くコイル９０を上方に、冷房時に凝縮器、
暖房時に蒸発器として働く熱交換器９３と循環ポンプ９
４を組み込んだ熱交換器ユニット９２を下方に配置し
て、これ等を循環配管９５，９６で結び、気液相変化す
る冷媒を封入して構成されている。

【００３０】そして、このシステムでは、冷房時には、
図６に示したように、冷媒液が循環ポンプ３９を用いて
強制的にコイル９０に供給され、コイル９０で蒸発した
冷媒がガスとなり、蒸発圧力と凝縮圧力の差圧により熱
交換ユニット９２の熱交換器９３に戻され、冷水と熱交
換され凝縮される。そして、本実施の形態では、生産装
置２９の位置するファンフィルタユニット３０の上面に
は、図１に示した冷媒循環マルチシステムの気液相変化
する冷媒が流通されるコイル９０が配置されている。こ
のコイル９０で冷却された空気は、ファンフィルタユニ
ット３０の軸流型ファン４１からトンネル式クリーンル
ーム２１内に流入させるようになっている。

【００３１】又、トンネル式クリーンルーム２１の外部
には、図１に示した冷媒循環マルチシステムの熱交換器
ユニット９２、即ち、気液相変化する冷媒を冷却する熱
交換器ユニット９３が配置されている。循環配管９６に
は、流量調整弁９１が配置されており、この流量調整弁
９１は、生産装置２９に配置される温度検出器９８から
の信号を入力する制御装置９９により弁の開度を制御さ
れる。

【００３２】尚、本実施の形態では、生産装置２９から
発生する熱負荷を取り除くために冷媒循環マルチシステ
ムを用いるものであるから、暖房サイクルでの使用はな
い。次に、本実施の形態の作用を説明する。空調機２８
を駆動して清浄空気をファンフィルタユニット３０，高
性能フィルタユニット２４及びフィルタダクト８０へ供
給することによって、トンネル式のクリーンルーム２１
へ清浄空気を供給する。

【００３３】その際、ファンフィルタユニット３０で
は、軸流型ファン４１により吸気用開口部３９から吸引
された空気が、旋回流とされた後、この旋回流が、外周
部に於て整流板５５に衝突し抑制され、下方に向かう流
れになり、遮音板５９と外側遮音板６９との間を通過し
た後高性能フィルタ３５に達し、高性能フィルタ３５で
浄化された後、高速流域ａ内に０．３〜０．４m/sec程
度の高速で吹き出される。

【００３４】一方、高性能フィルタユニット２４から
は、０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速に
なるような低速で清浄空気が吹き出される。そして、フ
ィルタダクト８０では、吹出口が全面フィルタで形成さ
れているので、動圧の影響を受けずに、各部フィルタの
圧力損失の違いにより、吹出口８２からは高速流域ａの
速度〜低速流域ｂの速度まで漸減した速さの清浄空気を
吹き出すと共に、吹出口８１からは０．０５〜０．２m/
sec程度の室内平均降下風速になるような低速で清浄空
気を吹き出すことができる。

【００３５】そのため、高速流域ａと境界域ｃとの間で
は、下向きの安定した気流が形成され、上昇気流が発生
しない。即ち、境界域ｃでの作業者からの発塵を高速流
域ａ内に巻き込むことがない。而も、従来のように、ダ
ンパを操作するという煩雑な操作を必要としないためト
ンネル式のクリーンルームの管理が容易である。

【００３６】加えて、境界域ｃにフィルタダクト８０を
設置するだけで済むため、構造が簡単である。又、上述
したファンフィルタユニット３０では、軸流型ファン４
１の使用により軸流型ファン４１の外方に向けて旋回流
が発生するが、この旋回流が、外周部に於てユニット本
体３１の内周の上部に配置される複数の整流板５５に衝
突し抑制され、下方に向かう流れになり、高性能フィル
タ３５を介して室内に吹き出されるため、高性能フィル
タ３５からの吐出風速分布を均一にすることができる。

【００３７】又、整流用多孔板等によって、気流の方向
を変える必要がなくなるため、吐出抵抗が増大すること
を防止できる。更に、軸流型ファン４１と高性能フィル
タ３５との間に配置される遮音板５９により、軸流型フ
ァン４１から発生する騒音を確実に遮音することができ
る。又、上述したファンフィルタユニット３０では、ユ
ニット本体３１を横断面正方形形状にし、その中心に軸
流型ファン４１および正方形状の遮音板５９の中心を配
置したので、高性能フィルタ３５の四方から同一条件で
空気が吐出されることになり、高性能フィルタ３５から
の吐出風速分布をより均一にすることができる。

【００３８】更に、遮音板５９の中心部に下方に向けて
窪む正方形状の凹部６５を形成し、凹部６５の内周面を
底面側に向けて傾斜したので、凹部６５の底面に衝突し
た空気が、傾斜面６７に案内されて外側に向けて円滑に
流れ気流が乱されることがなくなり、高性能フィルタ３
５からの吐出風速分布をより均一にすることができる。

【００３９】又、上述したファンフィルタユニット３０
では、ユニット本体３１の遮音板５９の下方に、外側遮
音板６９の内周が重なるように配置したので、軸流型フ
ァン４１から発生する騒音が直接高性能フィルタ３５に
達することが防止され、消音効果を向上することができ
る。更に、軸流型ファン４１のボス部４５に気流案内カ
バー５３を配置したので、空気の流れが円滑になり、軸
流型ファン４１の騒音を低減し、又、軸流型ファン４１
の効率を向上することができる。

【００４０】尚、ファンフィルタユニットは、図示する
ものに限らず、ファンと高性能フィルタとが組み合わさ
れたものであれば如何なるものでも良い。又、上述した
トンネル式クリーンルーム空調システムでは、床空間２
７内の空気を、循環ダクト１０１により天井空間２６に
導びき、天井空間２６からファンフィルタユニット３０
に導びいた後、軸流型ファン４１により高性能フィルタ
３５から高速流域ａ内に供給すると共に、生産装置２９
が配置されている箇所に於ては、冷媒循環マルチシステ
ムの気液相変化する冷媒が流通されるコイル９０が配置
されており、コイル３３により冷却された空気を、ファ
ンフィルタユニット３０により高性能フィルタ３５から
高速流域ａ内に供給する。

【００４１】而して、上述したトンネル式クリーンルー
ム空調システムでは、トンネル式クリーンルーム２１の
高速流域ａに配置されるファンフィルタユニット３０の
上面に、気液相変化する冷媒が流通されるコイル９０で
冷却された空気をファンフィルタユニット３０からトン
ネル式クリーンルーム２１内に流入させるようにしたの
で、コイル９０の配置位置を選択することによりトンネ
ル式クリーンルーム２１内に部分的に発生する熱負荷に
有効に対応することができる。

【００４２】即ち、ファンフィルタユニット３０にコイ
ル９０を設置するだけで良いので、非常にコンパクトで
あり、生産装置２９が配置される熱負荷が大きい位置の
上方のファンフィルタユニット３０に配置することによ
り、トンネル式クリーンルーム２１内に部分的に発生す
る熱負荷を有効に解消することができる。

【００４３】又、上述したトンネル式クリーンルーム空
調システムでは、ファンフィルタユニット３０にコイル
９０を配置し、各コイル９０を、制御装置９９により温
度制御するようにしたので、トンネル式クリーンルーム
２１内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応すること
ができる。例えば、図６に示すように、配管９６に設け
た流量調整弁９１の開度は、生産装置２９に取り付けた
温度検知器９８からの信号に基づいて制御装置９９が比
例制御することにより調整される。

【００４４】更に、上述したトンネル式クリーンルーム
空調システムでは、コイル９０には、気液相変化する冷
媒のみが循環されるため、水配管が無くなり、漏水の虞
を解消することができる。図７は、図１に示すトンネル
式のトンネル式クリーンルームの変形例を示す。本実施
の形態では、高性能フィルタユニット２４及びフィルタ
ダクト８０にもファン１１０，１１１を設けたものであ
る。

【００４５】本実施の形態も上記実施の形態と同様の作
用効果を奏することができる。図８は、図１に示すトン
ネル式のトンネル式クリーンルームの変形例を示す。フ
ァンフィルタユニット３０が、垂れ壁の下端の高さと略
等しい位置まで下降されている。本実施の形態も上記実
施の形態と同様の作用効果を奏することができる。

【００４６】図９は、図８の変形例を示す。本実施の形
態では、高性能フィルタユニット２４及びフィルタダク
ト８０にもファン１１０，１１１を設けたものである。
本実施の形態も上記実施の形態と同様の作用効果を奏す
ることができる。

【００４７】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１乃至５のト
ンネル式のトンネル式クリーンルームでは、従来のトン
ネル式のトンネル式クリーンルームのように境界域にダ
ンパを設けて低速流域との流速を調整するという複雑な
操作が不要となる。

【００４８】又、ダンパによる切替装置を必要としない
ので、装置が簡単となる。更に、ファンフィルタユニッ
トが、生産装置に近い位置に設けられるので、塵埃減衰
時間が短くなり、即ち、生産装置に発生する渦領域に於
ける塵埃濃度大の領域が小さくなり、浄化能力が大きく
なる。又、生産装置から発生する熱負荷に有効に対応す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１乃至５に係るトンネル式クリーンルー
ム空調システムの一実施の形態を示す説明図である。

【図２】図１のトンネル式のトンネル式クリーンルーム
空調システムの一部を取り去った斜視図ある。

【図３】図１のトンネル式のトンネル式クリーンルーム
空調システムの清浄空気の流れを示す説明図である。

【図４】図１のトンネル式クリーンルーム用ファンフィ
ルタユニットを示す斜視図である。

【図５】図１のトンネル式クリーンルーム用ファンフィ
ルタユニットを示す断面図である。

【図６】冷媒循環システムの冷房時の状態を示す配管系
統図である。

【図７】図１のトンネル式クリーンルーム空調システム
の別の実施の形態を示す説明図である。

【図８】図１のトンネル式クリーンルーム空調システム
の別の実施の形態を示す説明図である。

【図９】図１のトンネル式クリーンルーム空調システム
の別の実施の形態を示す説明図である。

【図１０】従来のトンネル式のクリーンルームを示す説
明図である。

【図１１】従来のトンネル式のクリーンルームを示す説
明図である。

【図１２】従来のトンネル式のクリーンルームを示す説
明図である。

【符号の説明】

２１トンネル方式のトンネル式クリーンルーム２２垂れ壁２３天井２４高性能フィルタユニット２５床２６天井空間２７床下空間２８空調機２９生産機械３０ファンフィルタユニット３１ユニット本体３５高性能フィルタ４１軸流型ファン８０断面円弧状のフィルタダクト８１，８２吹出口９０コイル９１流量調整弁９２熱交換器ユニット９３熱交換器９４循環ポンプ９５，９６循環配管９８温度検出器９９制御装置ａ高速流域ｂ低速流域ｃ境界域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トンネル式クリーンルームと、このトン
ネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成され
た高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、高速
流域に設けられたファンフィルタユニットと、低速流域
に設けられた断面円弧状のフィルタダクトと、高速流域
に設置された生産装置と、ファンフィルタユニット及び
フィルタダクトを介してトンネル式クリーンルームに清
浄空気を送る空調機と、気液相変化する冷媒が流通され
るコイルと、このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱
交換器ユニットとを有し、コイルは、生産装置の位置するファンフィルタユニット
に配置され、熱交換器ユニットは、トンネル式クリーン
ルームの外部に配置されていることを特徴とするトンネ
ル式クリーンルーム空調システム。
【請求項２】高速流域に設けたファンフィルタユニッ
トが、垂れ壁の下端の高さと略等しい高さに位置するこ
とを特徴とする請求項１記載のトンネル式クリーンルー
ム空調システム。
【請求項３】高速流域に設けたファンフィルタユニッ
トは、軸流型ファン或いは遠心ファンとフィルタとを備
えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
トンネル式クリーンルーム空調システム。
【請求項４】垂れ壁の下方の高速流域と低速流域との
境界部の吹出速が高速流域と略等速になっていることを
特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のトン
ネル式クリーンルーム空調システム。
【請求項５】低速流域に設けた断面円弧状のフィルタ
ダクトは、作業流域と隣り合うエリア部分の吹出速度が
高速流域から離れるに従って低速になっていることを特
徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のトンネ
ル式クリーンルーム空調システム。