JPH08211200A - 照射幅可変の非走査型電子線照射装置 - Google Patents
照射幅可変の非走査型電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH08211200A JPH08211200A JP3772395A JP3772395A JPH08211200A JP H08211200 A JPH08211200 A JP H08211200A JP 3772395 A JP3772395 A JP 3772395A JP 3772395 A JP3772395 A JP 3772395A JP H08211200 A JPH08211200 A JP H08211200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- irradiation width
- irradiation
- extraction
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気的に電子線照射幅を変更すること。
【構成】 熱電子を放出するフィラメント１は最大照射
幅に合わせて、照射幅方向に分布して設けられている。
フィラメントの一端ａは交流電源２の一端に、各給電タ
ップｔ1，ｔ2とフィラメントの他端ｂを電磁開閉器の接
点３ａ’，３ｂ’，３ｂ’を介して交流電源の他端に接
続し、これら接点を選択的に閉じることにより、フィラ
メントの給電部分を変更し、被照射物に応じて照射幅を
Ａ，Ｂ，Ｃの３段階に変更する。また、フィラメントの
電子引出側前面に引出し電極を分布して設け、同電極の
電子引出し電位付与部分の変更により、照射幅を変更す
ることができ、さらに、フィラメントの給電部分と引出
し電極の電子引出し電位付与部分の変更を併用して照射
幅を変更することができる。
幅に合わせて、照射幅方向に分布して設けられている。
フィラメントの一端ａは交流電源２の一端に、各給電タ
ップｔ1，ｔ2とフィラメントの他端ｂを電磁開閉器の接
点３ａ’，３ｂ’，３ｂ’を介して交流電源の他端に接
続し、これら接点を選択的に閉じることにより、フィラ
メントの給電部分を変更し、被照射物に応じて照射幅を
Ａ，Ｂ，Ｃの３段階に変更する。また、フィラメントの
電子引出側前面に引出し電極を分布して設け、同電極の
電子引出し電位付与部分の変更により、照射幅を変更す
ることができ、さらに、フィラメントの給電部分と引出
し電極の電子引出し電位付与部分の変更を併用して照射
幅を変更することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被照射物の幅に合わせ
て電子線照射幅を変更することができる非走査型電子線
照射装置に関する。
て電子線照射幅を変更することができる非走査型電子線
照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子線照射装置にあっては、照射窓の
幅、電子線の照射幅は被照射物の最大幅に応じて決めら
れている。そこで、スポット状の電子ビームを用いる走
査型電子線照射装置では、被照射物の幅が小さい場合に
は、走査コイルの磁場による電子ビームの走査幅を小さ
くしたり、加速管のビーム軸を中心にして加速管、走査
管そして走査コイルを回動させることにより、ビーム走
査方向を被照射物の搬送方向に対して傾斜させ、走査幅
を被照射物の幅に適合させている（実公昭５９−１０６
４０号公報参照）。
幅、電子線の照射幅は被照射物の最大幅に応じて決めら
れている。そこで、スポット状の電子ビームを用いる走
査型電子線照射装置では、被照射物の幅が小さい場合に
は、走査コイルの磁場による電子ビームの走査幅を小さ
くしたり、加速管のビーム軸を中心にして加速管、走査
管そして走査コイルを回動させることにより、ビーム走
査方向を被照射物の搬送方向に対して傾斜させ、走査幅
を被照射物の幅に適合させている（実公昭５９−１０６
４０号公報参照）。
【０００３】しかし、電子発生源である熱電子放出用フ
ィラメントを有するカソードユニットを照射幅方向に分
布配設し、ビーム走査を行うことなくカーテン状のビー
ムを得ているところの例えばエリアビーム型等の非走査
型電子線照射装置にあっては、上述のビーム走査機能を
利用して被照射物の幅に適合させることができない。そ
こで、かかる非走査型電子線照射装置では、照射幅の異
なる複数のカソードユニットを準備し、被照射物に応じ
て、必要とする幅のカソードユニットを電子線発生部が
収容されている真空チャンバ内の真空をブレークして交
換しなければならず、交換後には、チャンバ内の真空引
き、加速電圧を徐々に挙げて絶縁耐力を向上させる電圧
コンディショニング、そして電子流コンディショニング
を要するから、交換しても直ぐには照射運転を開始する
ことができないし、その際には、照射窓の窓箔やシール
材も交換を合わせて行うことになり、不経済である。
ィラメントを有するカソードユニットを照射幅方向に分
布配設し、ビーム走査を行うことなくカーテン状のビー
ムを得ているところの例えばエリアビーム型等の非走査
型電子線照射装置にあっては、上述のビーム走査機能を
利用して被照射物の幅に適合させることができない。そ
こで、かかる非走査型電子線照射装置では、照射幅の異
なる複数のカソードユニットを準備し、被照射物に応じ
て、必要とする幅のカソードユニットを電子線発生部が
収容されている真空チャンバ内の真空をブレークして交
換しなければならず、交換後には、チャンバ内の真空引
き、加速電圧を徐々に挙げて絶縁耐力を向上させる電圧
コンディショニング、そして電子流コンディショニング
を要するから、交換しても直ぐには照射運転を開始する
ことができないし、その際には、照射窓の窓箔やシール
材も交換を合わせて行うことになり、不経済である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、照射幅方向
に分布して設けられた熱電子放出用フィラメントを有す
る非走査型電子線照射装置において、電気的に電子線照
射幅を変更することができる装置の提供を目的とするも
のである。
に分布して設けられた熱電子放出用フィラメントを有す
る非走査型電子線照射装置において、電気的に電子線照
射幅を変更することができる装置の提供を目的とするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、照射幅方向に
分布して設けられた熱電子放出用フィラメントを有する
照射幅可変の非走査型電子線照射装置であって、前記フ
ィラメントの給電部分を変更可能に構成したことを特徴
とするものである。
分布して設けられた熱電子放出用フィラメントを有する
照射幅可変の非走査型電子線照射装置であって、前記フ
ィラメントの給電部分を変更可能に構成したことを特徴
とするものである。
【０００６】また本発明は、照射幅方向に分布して設け
られた熱電子放出用フィラメントを有する照射幅可変の
非走査型電子線照射装置であって、前記フィラメントの
電子引出し側前面に、照射幅方向に分布して設けられた
引出し電極を備え、この引出し電極の電子引出し電位付
与部分を変更可能に構成したことを特徴とするものであ
る。
られた熱電子放出用フィラメントを有する照射幅可変の
非走査型電子線照射装置であって、前記フィラメントの
電子引出し側前面に、照射幅方向に分布して設けられた
引出し電極を備え、この引出し電極の電子引出し電位付
与部分を変更可能に構成したことを特徴とするものであ
る。
【０００７】さらに本発明は、照射幅方向に分布して設
けられた熱電子放出用フィラメントを有する照射幅可変
の非走査型電子線照射装置であって、前記フィラメント
の電子引出し側前面に、照射幅方向に分布して設けられ
た引出し電極を備え、前記フィラメントの給電部分並び
に前記引出し電極の電子引出し電位付与部分を変更可能
に構成したことを特徴とする。
けられた熱電子放出用フィラメントを有する照射幅可変
の非走査型電子線照射装置であって、前記フィラメント
の電子引出し側前面に、照射幅方向に分布して設けられ
た引出し電極を備え、前記フィラメントの給電部分並び
に前記引出し電極の電子引出し電位付与部分を変更可能
に構成したことを特徴とする。
【０００８】
【作用】熱電子放出用フィラメントは最大照射幅に合わ
せて照射幅方向に分布して設けられており、このフィラ
メントの給電部分を変更することにより、フィラメント
の熱電子放出部分の分布幅が変更され、被照射物に応じ
た照射幅が得られる。
せて照射幅方向に分布して設けられており、このフィラ
メントの給電部分を変更することにより、フィラメント
の熱電子放出部分の分布幅が変更され、被照射物に応じ
た照射幅が得られる。
【０００９】フィラメントの電子引出し側前面に設けら
れた引出し電極における電子引出し電位付与部分を変更
することにより、熱電子の引出し分布幅が変更され、被
照射物に応じた照射幅が得られる。
れた引出し電極における電子引出し電位付与部分を変更
することにより、熱電子の引出し分布幅が変更され、被
照射物に応じた照射幅が得られる。
【００１０】フィラメントおける給電部分と引出し電極
における電子引出し電位付与部分の変更を併用すること
により、特に照射幅を小さくする場合、変更の速応性、
フィラメント電力消費の軽減を図ることができる。
における電子引出し電位付与部分の変更を併用すること
により、特に照射幅を小さくする場合、変更の速応性、
フィラメント電力消費の軽減を図ることができる。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１はエリアビーム型等の非走査型電子線照射装
置におけるフィラメント回路構成図である。熱電子を放
出するフィラメント１は、最大照射幅に合わせた全長を
有し、照射幅方向に分布して真空チャンバ内のカソード
ユニット部に設けられており、絶縁ガス充填容器内に設
けた可変電圧交流電源２から給電される。フィラメント
１には、その給電部分を切り換えて、被照射物に応じて
照射幅を例えばＡ，Ｂ，Ｃの３段階に変更できるよう
に、所要の位置に給電タップｔ1，ｔ2を設け、フィラメ
ントの一端ａは可変電圧交流電源２の一端に接続し、各
タップ及びフィラメントの他端ｂは後記の電磁開閉器３
ａ，３ｂ，３ｃの接点３ａ’，３ｂ’，３ｃ’を介して
可変電圧交流電源の他端に接続されている。
する。図１はエリアビーム型等の非走査型電子線照射装
置におけるフィラメント回路構成図である。熱電子を放
出するフィラメント１は、最大照射幅に合わせた全長を
有し、照射幅方向に分布して真空チャンバ内のカソード
ユニット部に設けられており、絶縁ガス充填容器内に設
けた可変電圧交流電源２から給電される。フィラメント
１には、その給電部分を切り換えて、被照射物に応じて
照射幅を例えばＡ，Ｂ，Ｃの３段階に変更できるよう
に、所要の位置に給電タップｔ1，ｔ2を設け、フィラメ
ントの一端ａは可変電圧交流電源２の一端に接続し、各
タップ及びフィラメントの他端ｂは後記の電磁開閉器３
ａ，３ｂ，３ｃの接点３ａ’，３ｂ’，３ｃ’を介して
可変電圧交流電源の他端に接続されている。
【００１２】図２は可変電圧交流電源２及び電磁開閉器
３ａ〜３ｃと、その操作制御系についての回路構成図で
ある。可変電圧交流電源２は例えば絶縁変圧器４とフィ
ラメント電圧調節器５で構成されており、絶縁ガス充填
容器外の大地電位部に配置した設定器からの電圧制御信
号Ｖｃｈを、低電圧部の電気／光変換器６から光ファイ
バ７を用いて高電圧部に伝送し、光／電気変換器８で光
信号を電気信号に戻してフィラメント電圧調節器に与え
る。
３ａ〜３ｃと、その操作制御系についての回路構成図で
ある。可変電圧交流電源２は例えば絶縁変圧器４とフィ
ラメント電圧調節器５で構成されており、絶縁ガス充填
容器外の大地電位部に配置した設定器からの電圧制御信
号Ｖｃｈを、低電圧部の電気／光変換器６から光ファイ
バ７を用いて高電圧部に伝送し、光／電気変換器８で光
信号を電気信号に戻してフィラメント電圧調節器に与え
る。
【００１３】フィラメント１の給電部分を変更する電磁
開閉器３ａ〜３ｃについても大地電位部から操作する。
各照射幅Ａ，Ｂ，Ｃを得るために、絶縁ガス充填容器外
から与えられる操作信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、それぞ
れ、電気／光変換器９1，９2，９3、光ファイバ１０1，
１０1，１０2によって高電圧部の光／電気変換・制御器
１１1，１１2，１１3に伝送され、各変換・制御器によ
って電磁開閉器（電磁開閉器コイル）３ａ，３ｂ，３ｃ
を駆動操作する。各電磁開閉器、光／電気変換・制御器
の動作電源電圧は変圧器４から整流電源装置１２によっ
て与え、変圧器のフィラメント給電巻線の中点部には電
子線加速電圧を与える直流高電圧電源１３が接続され
る。
開閉器３ａ〜３ｃについても大地電位部から操作する。
各照射幅Ａ，Ｂ，Ｃを得るために、絶縁ガス充填容器外
から与えられる操作信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃは、それぞ
れ、電気／光変換器９1，９2，９3、光ファイバ１０1，
１０1，１０2によって高電圧部の光／電気変換・制御器
１１1，１１2，１１3に伝送され、各変換・制御器によ
って電磁開閉器（電磁開閉器コイル）３ａ，３ｂ，３ｃ
を駆動操作する。各電磁開閉器、光／電気変換・制御器
の動作電源電圧は変圧器４から整流電源装置１２によっ
て与え、変圧器のフィラメント給電巻線の中点部には電
子線加速電圧を与える直流高電圧電源１３が接続され
る。
【００１４】照射幅Ａを得る操作信号Ｖａを与えること
により電磁開閉器３ａが動作して接点３ａ’が閉じ、フ
ィラメント１の部分１1が可変電圧交流電源２から給電
されて熱電子を放出し、そして照射幅Ｂの操作信号Ｖｂ
あるいは照射幅Ｃの操作信号Ｖｃにより電磁開閉器３ｂ
あるいは３ｃを選択操作し、フィラメントの部分１1と
１2、あるいは１1〜１3のフィラメント全長を可変電圧
交流電源から給電する。このように、最大照射幅に合わ
せて照射幅方向に分布して設けた熱電子放出用フィラメ
ント１の給電部分を変更することにより、フィラメント
の熱電子放出部分の分布幅が変更され、被照射物に応じ
て、照射幅を３段階Ａ，Ｂ，Ｃに変更することができ
る。この場合、フィラメント１の給電部分の変更に連動
して、フィラメント電圧調節器５を制御し、所要の電子
ビーム電流が得られるように、所要のフィラメント電圧
を印加する。
により電磁開閉器３ａが動作して接点３ａ’が閉じ、フ
ィラメント１の部分１1が可変電圧交流電源２から給電
されて熱電子を放出し、そして照射幅Ｂの操作信号Ｖｂ
あるいは照射幅Ｃの操作信号Ｖｃにより電磁開閉器３ｂ
あるいは３ｃを選択操作し、フィラメントの部分１1と
１2、あるいは１1〜１3のフィラメント全長を可変電圧
交流電源から給電する。このように、最大照射幅に合わ
せて照射幅方向に分布して設けた熱電子放出用フィラメ
ント１の給電部分を変更することにより、フィラメント
の熱電子放出部分の分布幅が変更され、被照射物に応じ
て、照射幅を３段階Ａ，Ｂ，Ｃに変更することができ
る。この場合、フィラメント１の給電部分の変更に連動
して、フィラメント電圧調節器５を制御し、所要の電子
ビーム電流が得られるように、所要のフィラメント電圧
を印加する。
【００１５】上述の実施例では、照射幅を、分布配設し
たフィラメント１の一端ａ側から変更するものを示した
が、図３は照射幅の中心を合わせて照射幅を３段階Ａ，
Ｂ，Ｃに変更する実施例のフィラメント部の構成図であ
る。照射幅方向に分布して設けたフィラメント１には、
その中心から対称的に給電タップｔ1，ｔ1’、ｔ2，
ｔ2’を設け、フィラメントの対称位置の各タップ及び
フィラメントの両端を、それぞれ電磁開閉器３ａ，３
ｂ，３ｃの接点３ａ’，３ｂ’，３ｃ’を介して可変電
圧交流電源２に接続する。可変電圧交流電源２及び電磁
開閉器３ａ〜３ｃと、その操作制御系を含む回路構成は
図２と同じであり、操作信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃにより、
照射幅の中心を合わせて、照射幅をＡ，Ｂ，Ｃの３段階
に変更することができる。
たフィラメント１の一端ａ側から変更するものを示した
が、図３は照射幅の中心を合わせて照射幅を３段階Ａ，
Ｂ，Ｃに変更する実施例のフィラメント部の構成図であ
る。照射幅方向に分布して設けたフィラメント１には、
その中心から対称的に給電タップｔ1，ｔ1’、ｔ2，
ｔ2’を設け、フィラメントの対称位置の各タップ及び
フィラメントの両端を、それぞれ電磁開閉器３ａ，３
ｂ，３ｃの接点３ａ’，３ｂ’，３ｃ’を介して可変電
圧交流電源２に接続する。可変電圧交流電源２及び電磁
開閉器３ａ〜３ｃと、その操作制御系を含む回路構成は
図２と同じであり、操作信号Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃにより、
照射幅の中心を合わせて、照射幅をＡ，Ｂ，Ｃの３段階
に変更することができる。
【００１６】図４は引出し電極によって照射幅を変更す
る実施例の回路構成図である。フィラメント１は交流電
源２から給電されており、フィラメントの電子引出し側
前面に、照射幅方向に分布して引出し電極１４を設け
る。同電極１４は例えば各電極部分１４1，１４2，１４
3に分割して配設されており、各電極部分はフィラメン
ト１に対し、ビームを引出す正電位を与える正バイアス
直流電源１５，ビームを阻止するために負電位を与える
負バイアス直流電源１６に後記する電磁開閉器１７1，
１７2，１７3の切り換え接点を１７1’，１７2’，１７
3’を介して接続されている。
る実施例の回路構成図である。フィラメント１は交流電
源２から給電されており、フィラメントの電子引出し側
前面に、照射幅方向に分布して引出し電極１４を設け
る。同電極１４は例えば各電極部分１４1，１４2，１４
3に分割して配設されており、各電極部分はフィラメン
ト１に対し、ビームを引出す正電位を与える正バイアス
直流電源１５，ビームを阻止するために負電位を与える
負バイアス直流電源１６に後記する電磁開閉器１７1，
１７2，１７3の切り換え接点を１７1’，１７2’，１７
3’を介して接続されている。
【００１７】電磁開閉器１７1〜１７3に対する操作系の
回路構成図を図５に示し、図２と同一符号は同等部分を
示す。最小照射幅Ａを得る操作信号Ｖａはオア回路１８
1をへて電気／光変換器９1に入力され、光ファイバ１０
1からの信号に応答する光／電気変換・制御器１１1は電
磁開閉器１７1駆動し、その接点１７1’を切り換え、引
出し電極１４の部分１４1に正バイアス直流電源１５を
接続する。同電源の負極性端子はフィラメントに給電し
ている交流電源２の中点部に接続されており、引出し電
極の電極部分１４1にはフィラメント１に対し正電位が
与えられ、フィラメントからの熱電子を引出し通過させ
る。このとき、引出し電極の部分１４2，１４3は図示状
態の切り換え接点１７2’，１７3’により負バイアス直
流電源１６に接続されており、フィラメントからの熱電
子を阻止する。
回路構成図を図５に示し、図２と同一符号は同等部分を
示す。最小照射幅Ａを得る操作信号Ｖａはオア回路１８
1をへて電気／光変換器９1に入力され、光ファイバ１０
1からの信号に応答する光／電気変換・制御器１１1は電
磁開閉器１７1駆動し、その接点１７1’を切り換え、引
出し電極１４の部分１４1に正バイアス直流電源１５を
接続する。同電源の負極性端子はフィラメントに給電し
ている交流電源２の中点部に接続されており、引出し電
極の電極部分１４1にはフィラメント１に対し正電位が
与えられ、フィラメントからの熱電子を引出し通過させ
る。このとき、引出し電極の部分１４2，１４3は図示状
態の切り換え接点１７2’，１７3’により負バイアス直
流電源１６に接続されており、フィラメントからの熱電
子を阻止する。
【００１８】照射幅Ｂを得るときは操作信号Ｖｂを与え
る。同信号は、オア回路１８2を経て電気／光変換器９2
に入力されると共に同オア回路とオア回路１８1を経て
電気／光変換器９1に入力され、電磁開閉器１７1，１７
2を動作させて接点１７1’，１７2’を切り換え、引出
し電極部分１４1，１４2を正バイアス直流電源１５に接
続する。最大照射幅Ｃを得るときは操作信号Ｖｃに応答
して電磁開閉器１７1〜１７3を動作させ、引出し電極の
部分１４1，１４2，１４3の全てに正バイアス直流電源
１５によって正電位を与える。このようにフィラメント
１の電子引出し側前面に設けられた引出し電極１４にお
ける電子引出し電位付与部分を変更することにより、熱
電子の引出し分布幅が変更され、被照射物に応じた照射
幅を得ることができる。
る。同信号は、オア回路１８2を経て電気／光変換器９2
に入力されると共に同オア回路とオア回路１８1を経て
電気／光変換器９1に入力され、電磁開閉器１７1，１７
2を動作させて接点１７1’，１７2’を切り換え、引出
し電極部分１４1，１４2を正バイアス直流電源１５に接
続する。最大照射幅Ｃを得るときは操作信号Ｖｃに応答
して電磁開閉器１７1〜１７3を動作させ、引出し電極の
部分１４1，１４2，１４3の全てに正バイアス直流電源
１５によって正電位を与える。このようにフィラメント
１の電子引出し側前面に設けられた引出し電極１４にお
ける電子引出し電位付与部分を変更することにより、熱
電子の引出し分布幅が変更され、被照射物に応じた照射
幅を得ることができる。
【００１９】この引出し電極１４による照射幅の変更制
御は、図１及び図３のフィラメント１の給電部分の切り
換えによるものに比べて制御応答が速く、フィラメント
切り換えの場合、特に新たに給電動作させるときには分
単位の応答時間を要するが、引出し電極の電位制御によ
れば１マイクロセカンド程度の応答速度で照射幅を変更
することができる。
御は、図１及び図３のフィラメント１の給電部分の切り
換えによるものに比べて制御応答が速く、フィラメント
切り換えの場合、特に新たに給電動作させるときには分
単位の応答時間を要するが、引出し電極の電位制御によ
れば１マイクロセカンド程度の応答速度で照射幅を変更
することができる。
【００２０】図６はフィラメントの給電部分と引出し電
極の電子引出し電位付与部分の変更により照射幅の変更
を行う実施例の回路構成図である。以下の説明におい
て、図４，図５と同一符号は同等部分を示す。フィラメ
ント１は例えば３つの分割部分１1，１2，１3によっ
て、照射幅方向に分布して設けられており、各フィラメ
ント分割部分は電磁開閉器１７1，１７2，１７3の接点
１７1''，１７2''，１７3''を介して交流電源２1，
２2，２3からそれぞれ給電される。各フィラメント分割
部分１1〜１3の電子引出し側前面に、照射幅方向に分布
して引出し電極１４を設けられており、引出し電極は例
えば各電極部分１４1，１４2，１４3に分割して配設さ
れており、各電極部分はフィラメント１に対し、ビーム
を引出す正電位を与える正バイアス直流電源１５，ビー
ムを阻止するために負電位を与える負バイアス直流電源
１６に電磁開閉器１７1，１７2，１７3の切り換え接点
を１７1’，１７2’，１７3’を介して接続されてい
る。
極の電子引出し電位付与部分の変更により照射幅の変更
を行う実施例の回路構成図である。以下の説明におい
て、図４，図５と同一符号は同等部分を示す。フィラメ
ント１は例えば３つの分割部分１1，１2，１3によっ
て、照射幅方向に分布して設けられており、各フィラメ
ント分割部分は電磁開閉器１７1，１７2，１７3の接点
１７1''，１７2''，１７3''を介して交流電源２1，
２2，２3からそれぞれ給電される。各フィラメント分割
部分１1〜１3の電子引出し側前面に、照射幅方向に分布
して引出し電極１４を設けられており、引出し電極は例
えば各電極部分１４1，１４2，１４3に分割して配設さ
れており、各電極部分はフィラメント１に対し、ビーム
を引出す正電位を与える正バイアス直流電源１５，ビー
ムを阻止するために負電位を与える負バイアス直流電源
１６に電磁開閉器１７1，１７2，１７3の切り換え接点
を１７1’，１７2’，１７3’を介して接続されてい
る。
【００２１】電磁開閉器１７1，１７2，１７3の操作制
御系は図５と同様に構成され、照射幅Ａを得るとき、操
作信号Ｖａにより電磁開閉器１７1を動作させ、接点１
７1''の閉成によりフィラメント分割部分１1に給電する
と共に、接点を１７1’を切り換え、引出し電極部分１
４1に、正バイアス直流電源１５によりフィラメント分
割部分に対し正電位を与え、電子ビームを引出す。照射
幅Ｂを得るときは操作信号Ｖｂを与えて、フィラメント
分割部分１1，１2に給電し、引出し電極の部分１４1，
１４2に正電位を与え、そして、照射幅Ｃに対しては操
作信号Ｖｃにより、フィラメントの全分割部分に給電す
ると共に引出し電極の全部分に正電位を与える。
御系は図５と同様に構成され、照射幅Ａを得るとき、操
作信号Ｖａにより電磁開閉器１７1を動作させ、接点１
７1''の閉成によりフィラメント分割部分１1に給電する
と共に、接点を１７1’を切り換え、引出し電極部分１
４1に、正バイアス直流電源１５によりフィラメント分
割部分に対し正電位を与え、電子ビームを引出す。照射
幅Ｂを得るときは操作信号Ｖｂを与えて、フィラメント
分割部分１1，１2に給電し、引出し電極の部分１４1，
１４2に正電位を与え、そして、照射幅Ｃに対しては操
作信号Ｖｃにより、フィラメントの全分割部分に給電す
ると共に引出し電極の全部分に正電位を与える。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、最大照射幅に合わせて照射幅方向に分布して設け
た熱電子放出用フィラメントの給電部分を切り換え変更
することにより、フィラメントの熱電子放出部分の分布
幅が電気的に変更されるから、被照射物に応じた照射幅
を真空をブレークせずに簡単に得ることができ、照射幅
を小さくする場合にはフィラメント消費電力を下げるこ
とができる。
ので、最大照射幅に合わせて照射幅方向に分布して設け
た熱電子放出用フィラメントの給電部分を切り換え変更
することにより、フィラメントの熱電子放出部分の分布
幅が電気的に変更されるから、被照射物に応じた照射幅
を真空をブレークせずに簡単に得ることができ、照射幅
を小さくする場合にはフィラメント消費電力を下げるこ
とができる。
【００２３】また、フィラメントの電子引出し側前面に
設けられた引出し電極における電子引出し電位付与部分
を電気的に切り換え変更することにより、熱電子の引出
し分布幅を電気的に速応性をもって変更することがで
き、被照射物に応じた照射幅を簡単に得ることができ
る。
設けられた引出し電極における電子引出し電位付与部分
を電気的に切り換え変更することにより、熱電子の引出
し分布幅を電気的に速応性をもって変更することがで
き、被照射物に応じた照射幅を簡単に得ることができ
る。
【００２４】フィラメントおける給電部分と引出し電極
における電子引出し電位付与部分の変更を併用すること
により、特に照射幅を小さくする場合、変更の速応性、
フィラメント電力消費の軽減を図ることができる。
における電子引出し電位付与部分の変更を併用すること
により、特に照射幅を小さくする場合、変更の速応性、
フィラメント電力消費の軽減を図ることができる。
【図１】本発明の実施例におけるフィラメント回路構成
図である。
図である。
【図２】可変電圧交流電源と電磁開閉器操作制御系につ
いての回路構成図である。
いての回路構成図である。
【図３】照射幅の中心を合わせて照射幅を変更する実施
例のフィラメント部の回路構成図である。
例のフィラメント部の回路構成図である。
【図４】引出し電極によって照射幅を変更する実施例の
回路構成図である。
回路構成図である。
【図５】図４の実施例における電磁開閉器操作制御系に
ついての回路構成図である。
ついての回路構成図である。
【図６】フィラメントの給電部分と引出し電極の電子引
出し電位付与部分の変更により照射幅の変更を行う実施
例の回路構成図である。
出し電位付与部分の変更により照射幅の変更を行う実施
例の回路構成図である。
１ フィラメント ２ 交流電源 ３ａ，３ｂ，３ｃ 電磁開閉器 ９1，９2，９3 電気／光変換器 １０1，１０2，１０3 光ファイバ １１1，１１2，１１3 光／電気変換・制御器 １４ 引出し電極 １５ 正バイアス直流電源 １６ 負バイアス直流電源 １７1，１７2，１７3 電磁開閉器 １８1，１８2 オア回路 Ａ，Ｂ，Ｃ 照射幅 Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ 照射幅の操作信号
Claims (3)
- 【請求項１】 照射幅方向に分布して設けられた熱電子
放出用フィラメントを有する非走査型電子線照射装置に
おいて、前記フィラメントの給電部分を変更可能に構成
したことを特徴とする照射幅可変の非走査型電子線照射
装置。 - 【請求項２】 照射幅方向に分布して設けられた熱電子
放出用フィラメントを有する非走査型電子線照射装置に
おいて、前記フィラメントの電子引出し側前面に、照射
幅方向に分布して設けられた引出し電極を備え、この引
出し電極の電子引出し電位付与部分を変更可能に構成し
たことを特徴とする照射幅可変の非走査型電子線照射装
置。 - 【請求項３】 照射幅方向に分布して設けられた熱電子
放出用フィラメントを有する非走査型電子線照射装置に
おいて、前記フィラメントの電子引出し側前面に、照射
幅方向に分布して設けられた引出し電極を備え、前記フ
ィラメントの給電部分並びに前記引出し電極の電子引出
し電位付与部分を変更可能に構成したことを特徴とする
照射幅可変の非走査型電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3772395A JPH08211200A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 照射幅可変の非走査型電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3772395A JPH08211200A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 照射幅可変の非走査型電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211200A true JPH08211200A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=12505429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3772395A Pending JPH08211200A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 照射幅可変の非走査型電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08211200A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008237380A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌装置 |
| WO2010040453A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Switchable electron beam sterilizing device |
| WO2010040454A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Control method for electron beam sterilizing device and device performing said method |
-
1995
- 1995-02-03 JP JP3772395A patent/JPH08211200A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008237380A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌装置 |
| WO2010040453A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Switchable electron beam sterilizing device |
| WO2010040454A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Control method for electron beam sterilizing device and device performing said method |
| JP2012504981A (ja) * | 2008-10-07 | 2012-03-01 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 電子ビーム殺菌デバイスの制御方法及びその方法を実施するデバイス |
| JP2012504980A (ja) * | 2008-10-07 | 2012-03-01 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 切替可能電子ビーム殺菌デバイス |
| US8772743B2 (en) | 2008-10-07 | 2014-07-08 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Control method for electron beam sterilizing device and device performing said method |
| JP2015116490A (ja) * | 2008-10-07 | 2015-06-25 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニムＴｅｔｒａ Ｌａｖａｌ Ｈｏｌｄｉｎｇｓ ＆ Ｆｉｎａｎｃｅ Ｓ．Ａ． | 切替可能電子ビーム殺菌デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2340363A (en) | Control for focal spot in X-ray generators | |
| JPH04280055A (ja) | イオン注入及び表面処理に関する方法及び装置 | |
| JP2023501895A (ja) | 絶縁されたライナック共振器ピックアップ回路 | |
| US4315154A (en) | Multiple focus X-ray generator | |
| CN101227791B (zh) | 一种电子加速器 | |
| US4266133A (en) | Multiple focus X-ray generator | |
| US3743836A (en) | X-ray focal spot control system | |
| JP3070097B2 (ja) | 荷電粒子発生器 | |
| US4020318A (en) | Electron beam generators | |
| US3938001A (en) | Protection circuit for electron gun | |
| JP3067723B2 (ja) | マイクロ波エネルギー発生装置 | |
| US4789808A (en) | Gyrotron device with adjustable pitch factor | |
| JP3126337B2 (ja) | マイクロ波エネルギー発生装置を有する電子レンジ | |
| US11270863B2 (en) | Microwave amplification device including a microwave electron tube having a getter that can be controlled | |
| US4912738A (en) | Magnetically energized pulser | |
| US1975714A (en) | Arrangement for controlling the gas discharge in electric discharge vessels | |
| US5048068A (en) | Magnetically operated pulser | |
| JPH09166699A (ja) | 電子線照射装置 | |
| KR101665997B1 (ko) | 전자총 전원공급장치 | |
| JP2876280B2 (ja) | ビーム発生方法及び装置 | |
| JP2529980B2 (ja) | 真空トリガ・ギャップ装置を用いた電力システム | |
| JPH1154261A (ja) | マイクロ波エネルギー発生装置 | |
| JPH0615388Y2 (ja) | 電子線発生装置 | |
| JPH0720296A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH0553000A (ja) | 電子線照射装置 |