JPH08212907A - 電子源 - Google Patents

電子源

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JPH08212907A
JPH08212907A JP27982795A JP27982795A JPH08212907A JP H08212907 A JPH08212907 A JP H08212907A JP 27982795 A JP27982795 A JP 27982795A JP 27982795 A JP27982795 A JP 27982795A JP H08212907 A JPH08212907 A JP H08212907A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 バラスト抵抗値がほぼ等しいエミッタで構成
された電子源を提供する。 【解決手段】 表示素子(10)において、エミッタ
(34,36,37,38,41,42,43,44,
46,47)が蛇行状導体(26)から等距離に位置付
けられている。蛇行状導体(26)は、かかる等距離配
置がしやすいパターンに形成される。等距離に配置した
結果、各エミッタ(34,36,37,38,41,4
2,43,44,46,47)のバラスト抵抗値がほぼ
等しくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に電子放出表示
装置に関し、更に特定すれば、新規な電子放出源に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】電界放出素子(FED)は当技術では公
知であり、画像表示装置を含む広い範囲の用途に一般的
に用いられている。かかるFEDは、典型的に行および
列に配列された導体のマトリクスを利用しており、これ
らを用いて、列導体に接続されているエミッタからの電
子放出を刺激する。また、各エミッタと対応する列導体
との間には、典型的にバラスト抵抗が直列に用いられて
いる。かかるバラスト抵抗を形成する方法の1つは、基
板上に抵抗層を被着することを含む。抵抗層上で、格子
状導体構造の列導体を形成する。導体の格子状構造の交
差部材間では、メッシュ状開口が抵抗層の部分を露出さ
せる。エミッタは、抵抗層上のメッシュの中に位置付け
られる。かかる格子状導体構造およびメッシュは、19
93年3月16日にRobert Meyerに特許された米国特許
第5,194,780号に記載されている。この引用した特許に
記載されているように、各メッシュの中には、電子を放
出するための約36個のエミッタから成るマトリクスが
形成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】かかる従来技術のFE
Dの顕著な欠点は、導体から各エミッタまでの距離であ
る。各メッシュの中では、電流が導体から抵抗性物質を
通じてエミッタに流れる。各エミッタの導体からの距離
にばらつきがあるため、導体と各エミッタとの間の抵抗
も一定せず、結局各エミッタへの電流も変動することに
なる。場合によっては、内部のエミッタが導体から遠す
ぎて電子の放出に支障をきたすこともある。結果的に、
エミッタおよび当該エミッタから放出される電子によっ
て形成される対応画像を精度高く制御することは困難で
ある。
【0004】したがって、列導体からの距離にばらつき
がなく、異なるバラスト抵抗値を有さず、異なる電流を
放出しないエミッタで構成される電子源を有することが
望ましい。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、表示素
子において、多数のエミッタが蛇行状導体から等距離に
位置付けられている。蛇行状導体(mander conductor)
は、かかる等距離配置が容易にできるようなパターンに
形成される。等距離に配置した結果、各エミッタのバラ
スト抵抗値がほぼ等しくなる。したがって、各エミッタ
は実質的に同じ電子密度で放出を行うので、本発明の電
子源を用いた表示素子では、各エミッタの電子放出がほ
ぼ同じとなる。加えて、分割導体を有する電子源を用い
ることにより、一方の導体が電気的に短絡し動作不能状
態となっても、他方の導体によって画像の形成が可能と
なる。
【0006】
【実施例】図1は、新規なバラスト抵抗構造を有する電
界放出表示素子10の拡大断面部分を概略的に示す。素
子10は基板11を含み、その上に素子10の他の部分
が形成されている。基板11は、典型的に、例えば、誘
電体層またはガラスを有するシリコンのような絶縁また
は半絶縁体である。好適実施例では、基板11はガラス
である。抵抗層12が基板11の表面全体に形成されて
いる。以降の記載でより明白になるが、新規な陰極導体
パターンがその上に形成され、各エミッタに対して実質
的に等しい抵抗値を有する新規なバラスト抵抗として、
層12を利用し易くしている。この新規な陰極導体パタ
ーンは、導体ストリップ14と、層12上に第1蛇行導
体部27を有する蛇行導体パターンとを含む。以下で更
に明白になるが、図1は蛇行状導体パターンと導体スト
リップ14の一部のみを示すに過ぎない。素子10は、
層12上に陰極即ち電子エミッタ13も含む。電子エミ
ッタ13を用いて電子を放出し、このエミッタ13から
離れた所に配置された陽極18で電子を捕獲する。エミ
ッタ18に対向する陽極13の表面には蛍光体が被覆さ
れており、電子が陽極18に衝突すると画像即ち表示が
生成される。誘電体層16を用いて、抽出格子即ちゲー
ト17を、基板11、層12、導体ストリップ14、お
よび部分27から電気的に絶縁する。
【0007】図2は、図1に示した素子10の部分を概
略的に示す、拡大斜視図である。図2の素子の内、図1
と同一のものには同一参照番号が与えられている。素子
10(図1)は、第1電子源20と第2電子源25とを
含む複数の電子源を含む。電子源20,25は、それぞ
れ、抵抗層12上に破線の枠で示されている第1画素領
域21および第2画素領域22の中に形成されている。
単一画素領域を用いることもできるが、通常、領域2
1,22のように複数の画素領域を用いて、表示装置の
個々の画素を照明する(illuminate)。典型的に、各画素
領域は、素子10の各ゲート17の下にある層12の一
部の上にある。導体ストリップ14が、層12の第1長
縁23に沿って形成され、複数の電子源を列状に接続す
るために用いられる。この列を用いて電子源20,25
に電圧を印加する。このように列導体を用いて電圧を印
加することは、当業者にはよく知られていることであ
る。画素領域21内の導体ストリップ14から横方向に
突出するのは、第1蛇行パターン導体26である。第1
蛇行パターン導体26は、複数のエミッタ34,36,
37,38,41,42,43,44,46,47の配
置が容易にできる形状に形成され、全てのエミッタが蛇
行パターン導体26から同一距離に位置付けられる。即
ち、各エミッタは導体26の最も近い部分から等距離に
ある。導体26は、全てのエミッタを導体26の最も近
い部分から同一距離に配置し易いパターンであれば、様
々なパターンの内どれを有してもよい。例えば、導体2
6は円状螺旋、矩形螺旋状パターン、正方形螺旋状パタ
ーン、または導体ストリップ14から画素領域21に突
出する一連のフィンガ状素子でもよい。
【0008】好適実施例では、導体26を矩形螺旋状パ
ターンとしているが、その理由は、この形状であれば、
画素領域21内に最も高い密度でエミッタを形成するの
が容易であるとの確信があることによる。本好適実施例
では、矩形螺旋状パターンは、複数の直線部分33,3
2,31,29,27によって形成され、互いに直角に
配置されて、矩形螺旋パターンを形成する。各部分に隣
接して、各エミッタがそれぞれ導体26の対応する部分
から同一距離となるように、エミッタが層12上に位置
付けられる。例えば、複数のエミッタ34,36の各エ
ミッタは、矢印で示されているように、部分27から距
離48のところにある。更に、エミッタ37,38も部
分29から距離48のところにあり、複数のエミッタ4
1,42は部分31から距離48のところにあり、複数
のエミッタ43,44は部分33から距離48のところ
にあり、複数のエミッタ46,47は部分32および導
体ストリップ14から距離48のところにそれぞれあ
る。好適実施例では、距離48は蛇行導体とエミッタと
の間のブレークダウンを防止するために、約5ないし2
0ミクロンとなっており、一方導体26の厚さは約10
ミクロン未満である。
【0009】電流は、部分27,29,31,32,3
3から層12を通じて各エミッタに流れる。各エミッタ
は導体26の対応する部分から同一距離のところにある
ので、各エミッタの電流は、層12に用いた材料の同一
長さだけ通過する。したがって、各エミッタのバラスト
抵抗の値は実質的に同一となる。好適実施例では、厚さ
が約0.5ないし1.5ミクロンで、抵抗率がIX10
3ないしIX109ohm-cmのドープされたシリコンで形成
されている。したがって、各エミッタは実質的に同一の
バラスト抵抗を有するので、各エミッタを流れる電流量
は実質的に同一であり、各エミッタによって形成される
画像の強度も実質的に同一である。結果的に、各エミッ
タを導体26から等距離だけ離間させることによって、
表示装置10(図1)の各画素に均一な表示パターンを
容易に形成することができる。
【0010】電子源25は第2画素領域22内に形成さ
れ、電子源20と同様である。領域22内には、導体2
6と同様の第2蛇行パターン導体56がある。導体56
は、各部分33,32,31,29,27と同様の部分
57を含む。複数のエミッタ58が部分57に沿って位
置付けられ、各エミッタは導体56の各対応部分から実
質的に等距離、例えば、距離48のところにある。
【0011】図2は、単一の抵抗層12、単一のストリ
ップ状導体14、および2本の導体26,56を図示す
るが、2本以上の蛇行パターン導体を導体ストリップ1
4によって相互接続してもよいことは理解されよう。加
えて、素子10は複数の列を用いることもでき、この場
合各列は抵抗層12、導体ストリップ14、複数の蛇行
パターン導体26、およびこの蛇行パターン導体から等
距離のところにある複数のエミッタを有する。
【0012】図3は、分割された列導体パターンを有す
る電子源60の他の実施例を示す。図3の素子で図1と
同じものには同じ参照番号を付してある。多くの場合、
誘電体層16(図1)にピン・ホールがあると、その結
果ゲート17と導体ストリップ14との間に電気的短絡
回路が発生する。かかる短絡は、ゲート17とエミッタ
13との間に電圧差が発生するのを妨げるので、素子1
0の特定の列が動作不能となる。以下の説明からわかる
ように、電子源60は、分割導体、2本の電気的に絶縁
された導体、および電気的に絶縁された蛇行パターン導
体を用い、電子源60の一方の部分が電気的に短絡した
り、あるいは動作不能になっても、対向部分が付勢でき
るようにしている。
【0013】電子源60は全体的に、破線の枠で示され
た画素領域61内に形成されている。表示には複数の画
素領域61を用いて表示の単一の画素を照明することも
できる。画素領域61の一方の縁に沿って導体ストリッ
プ66が延びており、一方領域61の対向側の縁に沿っ
て導体ストリップ67が延びている。典型的に、領域6
1は、ゲート17がストリップ66,67の上に位置す
るところに形成される。画素領域61内には、電気的に
絶縁されている第1抵抗部分62と第2抵抗部分63と
がある。部分62,63を設けるには、基板に連続抵抗
層を被着し、次にこの抵抗層を介してエッチングを行
い、別個の部分62,63を形成する。図3に示すよう
に、ストリップ66は部分62の一方の側部に覆い被さ
っているので、ストリップ66は電気的に部分62に接
触するが、部分63には電気的に接続されていない。同
様に、ストリップ67は部分63の一方の側部に覆い被
さっているので、ストリップ67は電気的に部分63に
接続されているが、部分62には電気的に接続されてい
ない。第1蛇行パターン導体68が部分62上に形成さ
れストリップ66に電気的に接続されている。一方、第
2蛇行パターン導体69が部分63上に形成され、スト
リップ67に電気的に形成されている。導体68,69
は、各々図2に示した導体26と同様である。加えて、
電子源60は複数の第1エミッタ71を含み、各エミッ
タが導体68の対応部分から等距離となるように、部分
62上に形成されている。同様に、複数のエミッタ72
が部分63の上に形成され、各エミッタは導体69の対
応する部分から等距離にある。結果的に、導体68とエ
ミッタ71は、導体26とこの導体26を包囲するエミ
ッタと同様に機能する。また、導体69とエミッタ72
は、導体26とこの導体26を包囲する対応するエミッ
タと同様に機能する。距離64は部分62を部分63か
ら分離し、部分62,63が電気的に短絡するのを防止
する。好適実施例では、距離64は、部分62,63間
のブレークダウンを防止するために、約1ないし3ミク
ロンとしている。ストリップ67、導体69およびエミ
ッタ72はストリップ66、導体68およびエミッタ7
1から電気的に絶縁されているので、各部分は独立して
機能する。したがって、ストリップ67とゲート17と
の間で短絡が起きても、エミッタ71は機能し続け、ス
トリップ66を通じて付勢することができる。このよう
に、電子源60は、ゲート17と列導体との間に短絡が
生じても、陽極18(図1)上に画像を形成する便宜を
図るものである。
【0014】図4は、図2に示した導体26と同様に機
能する、蛇行パターン導体80の他の実施例の一部を示
す拡大上面図(overhead view)である。図2と同じ参照
番号を有する図4の素子は同じものである。導体80
は、図2に示した部分33,32,31,29,27と
同様に機能する、複数の櫛形即ち指状導体部分81を有
する。エミッタ82は、対応する部分81から等距離と
なるように位置付けられている。
【0015】以上の説明から、表示素子の電子源によっ
て形成される画像を等しい強度(intensity)にする、新
規な電子源が提供されたことが認められよう。蛇行パタ
ーン導体を用いることによって、各エミッタがこの蛇行
導体から等距離となるようにエミッタを位置付けること
ができる。等距離に離間したので、各エミッタのバラス
ト抵抗はほぼ同一値を有するため、各エミッタは実質的
に同じ電子密度で放出を行う。したがって、本発明の電
子源を用いた表示素子では、各エミッタの電子放出がほ
ぼ同じとなる。加えて、分割導体を有する電子源を用い
ることにより、一方の導体が電気的に短絡し動作不能状
態となっても、画像の形成が可能となる。このように表
示装置は常に使用可能であるので、表示装置の製造コス
トを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による表示装置の一部を示す拡大断面
図。
【図2】本発明による電子源の一部を示す拡大斜視図。
【図3】本発明による電子源の別の実施例を示す図。
【図4】本発明による蛇行パターン導体の他の実施例を
示す図。
【符号の説明】
10 電界放出表示素子 11 基板 12 抵抗層 13 電子エミッタ 14 導体ストリップ 16 誘電体層 17 ゲート 18 陽極 20,25 電子源 21,22 画素領域 27 蛇行導体部 26,56 蛇行パターン導体 34,36,37,38,41,42,43,44,4
6,4,71,72 エミッタ 60 電子源 61 画素領域 62,63 抵抗部分 66,67 ストリップ 68,69 導体 80 蛇行パターン導体 81 指状導体部分 82 エミッタ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電子源であって:基板(11);前記基板
    上の抵抗層(12)であって、その一部が第1画素領域
    (20)を形成する前記抵抗層;前記抵抗層上の導体ス
    トリップ(14)であって、前記抵抗層の第1長辺(lon
    g side)(23)に隣接して位置付けられた前記導体ス
    トリップ;前記抵抗層(12)上および前記第1画素領
    域(20)内の第1蛇行導体(26)であって、前記導
    体ストリップ(14)から突出している前記第1蛇行導
    体;および前記抵抗層上の複数の第1エミッタ(34,
    36,37,38,41,42,43,44,46,4
    7)であって、各々前記第1蛇行導体(26)から実質
    的に等距離(48,49)にある前記複数の第1エミッ
    タ;から成ることを特徴とする電子源。
  2. 【請求項2】電子源であって:基板(11);前記基板
    上の第1抵抗部分(62)であって、その一部が画素領
    域(61)を形成する前記第1抵抗部分;前記第1抵抗
    部分上の第1導体ストリップ(66)であって、前記第
    1抵抗部分の第1辺に隣接して位置付けられた前記第1
    導体ストリップ;前記抵抗部分上および前記画素領域内
    の第1蛇行導体(68)であって、前記第1導体ストリ
    ップから突出している前記第1蛇行導体;前記第1抵抗
    部分上の複数の第1エミッタ(71)であって、各々前
    記第1蛇行導体から実質的に等距離(48)にある前記
    複数の第1エミッタ;前記基板(11)上の第2抵抗部
    分(63)であって、前記第1抵抗部分(62)および
    前記第1導体ストリップ(66)から電気的に絶縁さ
    れ、更に前記画素領域内にある前記第2抵抗部分;前記
    第2抵抗部分上の第2導体ストリップ(67)であっ
    て、前記第2抵抗部分(63)の1つの辺に隣接して位
    置付けられた前記第2導体ストリップ;前記第2抵抗部
    分上および前記画素領域内の第2蛇行導体(69)であ
    って、前記第2導体ストリップから突出している前記第
    2蛇行導体;および前記第2抵抗部分上の複数の第2エ
    ミッタ(72)であって、各々前記第2蛇行導体から実
    質的に等距離(48)にある前記複数の第2エミッタ;
    から成ることを特徴とする電子源。
  3. 【請求項3】電子源を形成する方法であって:複数のエ
    ミッタ(58)を抵抗層(12)上に位置付ける段階で
    あって、前記複数のエミッタの各エミッタを、前記抵抗
    層(12)上にある導体(56)から実質的に等距離
    (48)に位置付け、前記導体(56)から前記複数の
    エミッタの各エミッタまで実質的に等しい抵抗を形成す
    る段階;から成ることを特徴とする方法。
JP27982795A 1994-10-06 1995-10-04 電子源 Expired - Fee Related JP3742447B2 (ja)

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