JPH0821995A - カラー液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
カラー液晶表示装置およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0821995A JPH0821995A JP6174860A JP17486094A JPH0821995A JP H0821995 A JPH0821995 A JP H0821995A JP 6174860 A JP6174860 A JP 6174860A JP 17486094 A JP17486094 A JP 17486094A JP H0821995 A JPH0821995 A JP H0821995A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- liquid crystal
- display device
- crystal display
- black matrix
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーフィルタ上に直接積層する透明電極に
断線が生じにくいようにする。 【構成】 ブラックマトリックス２を含む透明基板１上
に各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂを、その隣接するも
の同士のうちの後から形成されるものの隣接部分が先に
形成されたものの隣接部分の上に重なるように、形成す
る。すると、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に隙間
が形成されることがなく、したがってその上に直接形成
される透明電極５に断線が生じにくいようにすることが
できる。
断線が生じにくいようにする。 【構成】 ブラックマトリックス２を含む透明基板１上
に各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂを、その隣接するも
の同士のうちの後から形成されるものの隣接部分が先に
形成されたものの隣接部分の上に重なるように、形成す
る。すると、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に隙間
が形成されることがなく、したがってその上に直接形成
される透明電極５に断線が生じにくいようにすることが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はカラー液晶表示装置お
よびその製造方法に関する。
よびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のカラー液晶表示装置の一例
の一部を示したものである。このカラー液晶表示装置で
は、一方のガラス等からなる透明基板１の内面（他方の
透明基板との対向面）にクロム等からなる膜厚５００〜
１０００Å程度の遮光膜としてのブラックマトリックス
２がストライプ状もしくは格子状に設けられている。ま
た、透明基板１の内面とブラックマトリックス２表面の
端部に亘り、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカ
ラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂがストライプ状もし
くはモザイク状に設けられている。この場合、カラーフ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの幅Ｔは、ブラックマトリ
ックス２とのアライメントずれ等を考慮して、ブラック
マトリックス２間の間隔Ｄよりもある程度大きく、かつ
ブラックマトリックス２の配列ピッチＰよりもある程度
小さくなっている。この結果、カラーフィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂの両端部はブラックマトリックス２上に
設けられ、かつ隣接するカラーフィルタ要素３Ｒ、３
Ｇ、３Ｂ間にある程度の隙間４が形成されている。そし
て、カラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ等の上面には
ＩＴＯからなる透明電極５が設けられ、その上面には配
向膜６が設けられている。
の一部を示したものである。このカラー液晶表示装置で
は、一方のガラス等からなる透明基板１の内面（他方の
透明基板との対向面）にクロム等からなる膜厚５００〜
１０００Å程度の遮光膜としてのブラックマトリックス
２がストライプ状もしくは格子状に設けられている。ま
た、透明基板１の内面とブラックマトリックス２表面の
端部に亘り、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカ
ラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂがストライプ状もし
くはモザイク状に設けられている。この場合、カラーフ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの幅Ｔは、ブラックマトリ
ックス２とのアライメントずれ等を考慮して、ブラック
マトリックス２間の間隔Ｄよりもある程度大きく、かつ
ブラックマトリックス２の配列ピッチＰよりもある程度
小さくなっている。この結果、カラーフィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂの両端部はブラックマトリックス２上に
設けられ、かつ隣接するカラーフィルタ要素３Ｒ、３
Ｇ、３Ｂ間にある程度の隙間４が形成されている。そし
て、カラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ等の上面には
ＩＴＯからなる透明電極５が設けられ、その上面には配
向膜６が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のこの
ようなカラー液晶表示装置では、特に複数種類のカラー
フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂからなるカラーフィルタ
３を形成する場合、一例として、ブラックマトリックス
２を含む透明基板１の全上面に赤色層を形成し、この赤
色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もしくは
モザイク状として赤フィルタ要素３Ｒを形成し、次いで
全上面に緑色層を形成し、この緑色層から同様にして緑
フィルタ要素３Ｇを形成し、次いで全上面に青色層を形
成し、この青色層から同様にして青フィルタ要素３Ｂを
形成している。しかるに、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、
３Ｂの膜厚は、カラーフィルタとして要求される色分離
特性を得るために、１〜２μｍ程度と比較的厚くなるよ
うにしている。一方、赤、緑、青の各色層をフォトリソ
グラフィによりストライプ状もしくはモザイク状とする
場合、不要な部分を現像除去している。このため、例え
ば図３に示すように、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ
の側部が逆テーパー状となることがある。一方、カラー
フィルタ上に透明電極を積層する場合、カラーフィルタ
表面にはある程度の凹凸が発生するため、従来は保護膜
を介して透明電極を積層していたが、保護膜の積層工程
中に塵が混入したりして製品歩留りを低下させる原因と
なっている。そのため、現在ではカラーフィルタ上に直
接透明電極を積層することが検討されている。しかる
に、カラーフィルタ３の上面全体にＩＴＯを成膜して透
明電極５を直接形成する場合、例えば図３に示すよう
に、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に形成された断
面がほぼ台形形状の隙間４の内面全体に密着させてＩＴ
Ｏ５ａを被覆しにくく、したがってこの部分における透
明電極５に断線が生じやすいという問題があった。この
発明の目的は、より少ない工程で歩留り良く製造でき、
透明電極に断線が生じにくいようにすることのできるカ
ラー液晶表示装置およびその製造方法を提供することに
ある。
ようなカラー液晶表示装置では、特に複数種類のカラー
フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂからなるカラーフィルタ
３を形成する場合、一例として、ブラックマトリックス
２を含む透明基板１の全上面に赤色層を形成し、この赤
色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もしくは
モザイク状として赤フィルタ要素３Ｒを形成し、次いで
全上面に緑色層を形成し、この緑色層から同様にして緑
フィルタ要素３Ｇを形成し、次いで全上面に青色層を形
成し、この青色層から同様にして青フィルタ要素３Ｂを
形成している。しかるに、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、
３Ｂの膜厚は、カラーフィルタとして要求される色分離
特性を得るために、１〜２μｍ程度と比較的厚くなるよ
うにしている。一方、赤、緑、青の各色層をフォトリソ
グラフィによりストライプ状もしくはモザイク状とする
場合、不要な部分を現像除去している。このため、例え
ば図３に示すように、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ
の側部が逆テーパー状となることがある。一方、カラー
フィルタ上に透明電極を積層する場合、カラーフィルタ
表面にはある程度の凹凸が発生するため、従来は保護膜
を介して透明電極を積層していたが、保護膜の積層工程
中に塵が混入したりして製品歩留りを低下させる原因と
なっている。そのため、現在ではカラーフィルタ上に直
接透明電極を積層することが検討されている。しかる
に、カラーフィルタ３の上面全体にＩＴＯを成膜して透
明電極５を直接形成する場合、例えば図３に示すよう
に、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に形成された断
面がほぼ台形形状の隙間４の内面全体に密着させてＩＴ
Ｏ５ａを被覆しにくく、したがってこの部分における透
明電極５に断線が生じやすいという問題があった。この
発明の目的は、より少ない工程で歩留り良く製造でき、
透明電極に断線が生じにくいようにすることのできるカ
ラー液晶表示装置およびその製造方法を提供することに
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、ブラックマ
トリックスを含む透明基板上にカラーフィルタをその隣
接するもの同士が互いに密接するように設け、その上に
透明電極を設けるようにしたものである。
トリックスを含む透明基板上にカラーフィルタをその隣
接するもの同士が互いに密接するように設け、その上に
透明電極を設けるようにしたものである。
【０００５】
【作用】この発明によれば、隣接するカラーフィルタ要
素同士が互いに密接することになるので、カラーフィル
タ要素間に隙間が形成されず、したがってカラーフィル
タ要素間に断面ほぼ台形形状の隙間が形成されることも
なく、ひいてはその上に形成される透明電極に断線が生
じにくいようにすることができる。
素同士が互いに密接することになるので、カラーフィル
タ要素間に隙間が形成されず、したがってカラーフィル
タ要素間に断面ほぼ台形形状の隙間が形成されることも
なく、ひいてはその上に形成される透明電極に断線が生
じにくいようにすることができる。
【０００６】
【実施例】図１はこの発明の一実施例におけるカラー液
晶表示装置の要部を示したものである。この図におい
て、図２と同一名称部分には同一の符号を付し、その説
明を適宜省略する。このカラー液晶表示装置では、ブラ
ックマトリックス２を含む透明基板１の上面に３色のカ
ラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂがストライプ状もし
くはモザイク状に設けられている。この場合、カラーフ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接するもの同士は互い
に密接されている。そして、カラーフィルタ要素３Ｒ、
３Ｇ、３Ｂ等の上面にはＩＴＯからなる透明電極５が直
接設けられ、その上面には配向膜６が設けられている。
晶表示装置の要部を示したものである。この図におい
て、図２と同一名称部分には同一の符号を付し、その説
明を適宜省略する。このカラー液晶表示装置では、ブラ
ックマトリックス２を含む透明基板１の上面に３色のカ
ラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂがストライプ状もし
くはモザイク状に設けられている。この場合、カラーフ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接するもの同士は互い
に密接されている。そして、カラーフィルタ要素３Ｒ、
３Ｇ、３Ｂ等の上面にはＩＴＯからなる透明電極５が直
接設けられ、その上面には配向膜６が設けられている。
【０００７】ここで、カラーフィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、
３Ｂの形成方法の一例について説明する。まず、ブラッ
クマトリックス２を含む透明基板１の全上面に赤色層を
形成し、次いでこの赤色層をフォトリソグラフィにより
ストライプ状もしくはモザイク状として赤フィルタ要素
３Ｒを形成する。この場合、赤フィルタ要素３Ｒの幅Ｔ
1は、その両端部がブラックマトリックス２上に位置す
るように、ブラックマトリックス２の配列ピッチＰより
もある程度大きくなっている。
３Ｂの形成方法の一例について説明する。まず、ブラッ
クマトリックス２を含む透明基板１の全上面に赤色層を
形成し、次いでこの赤色層をフォトリソグラフィにより
ストライプ状もしくはモザイク状として赤フィルタ要素
３Ｒを形成する。この場合、赤フィルタ要素３Ｒの幅Ｔ
1は、その両端部がブラックマトリックス２上に位置す
るように、ブラックマトリックス２の配列ピッチＰより
もある程度大きくなっている。
【０００８】次に、全上面に緑色層を形成し、次いでこ
の緑色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もし
くはモザイク状として緑フィルタ要素３Ｇを赤フィルタ
要素３Ｒに隣接するように形成する。この場合、緑フィ
ルタ要素３Ｇの幅Ｔ2を、赤フィルタ要素３Ｒと隣接す
る端部がオーバーラップすると共に、他方の端部がブラ
ックマトリックス２上に位置するように、ブラックマト
リックス２の配列ピッチＰよりもある程度大きくしてあ
る。
の緑色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もし
くはモザイク状として緑フィルタ要素３Ｇを赤フィルタ
要素３Ｒに隣接するように形成する。この場合、緑フィ
ルタ要素３Ｇの幅Ｔ2を、赤フィルタ要素３Ｒと隣接す
る端部がオーバーラップすると共に、他方の端部がブラ
ックマトリックス２上に位置するように、ブラックマト
リックス２の配列ピッチＰよりもある程度大きくしてあ
る。
【０００９】次に、全上面に青色層を形成し、次いでこ
の青色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もし
くはモザイク状として青フィルタ要素３Ｂを形成する。
この場合も、青フィルタ要素３Ｂの幅Ｔ3を、青フィル
タ要素３Ｂと赤フィルタ要素３Ｒとの隣接部分において
は、後から形成された青フィルタ要素３Ｂの隣接部分が
先に形成された赤フィルタ要素３Ｒの隣接部分の上に重
なり、また、青フィルタ要素３Ｂと緑フィルタ要素３Ｇ
との隣接部分においては、後から形成された青フィルタ
要素３Ｂの隣接部分が先に形成された緑フィルタ要素３
Ｇの隣接部分の上に重なるように、ブラックマトリック
ス２の配列ピッチＰよりもある程度大きくしてある。
の青色層をフォトリソグラフィによりストライプ状もし
くはモザイク状として青フィルタ要素３Ｂを形成する。
この場合も、青フィルタ要素３Ｂの幅Ｔ3を、青フィル
タ要素３Ｂと赤フィルタ要素３Ｒとの隣接部分において
は、後から形成された青フィルタ要素３Ｂの隣接部分が
先に形成された赤フィルタ要素３Ｒの隣接部分の上に重
なり、また、青フィルタ要素３Ｂと緑フィルタ要素３Ｇ
との隣接部分においては、後から形成された青フィルタ
要素３Ｂの隣接部分が先に形成された緑フィルタ要素３
Ｇの隣接部分の上に重なるように、ブラックマトリック
ス２の配列ピッチＰよりもある程度大きくしてある。
【００１０】このように、このカラー液晶表示装置で
は、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接するもの同
士が互いに密接することになるので、各フィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に隙間が形成されず、したがって各フ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に断面ほぼ台形形状の隙
間が形成されることもなく、ひいてはその上に直接形成
される透明電極５に断線が生じにくいようにすることが
できる。また、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接
するもの同士のうちの後から形成されるものの隣接部分
を先に形成されたものの隣接部分の上に重ね合わせてい
るので、図２に示す従来の場合と比較して、各フィルタ
要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂを形成する際のフォトリソグラフ
ィの精度をある程度緩和することができ、ひいては歩留
りの向上を図ることができる。
は、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接するもの同
士が互いに密接することになるので、各フィルタ要素３
Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に隙間が形成されず、したがって各フ
ィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ間に断面ほぼ台形形状の隙
間が形成されることもなく、ひいてはその上に直接形成
される透明電極５に断線が生じにくいようにすることが
できる。また、各フィルタ要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの隣接
するもの同士のうちの後から形成されるものの隣接部分
を先に形成されたものの隣接部分の上に重ね合わせてい
るので、図２に示す従来の場合と比較して、各フィルタ
要素３Ｒ、３Ｇ、３Ｂを形成する際のフォトリソグラフ
ィの精度をある程度緩和することができ、ひいては歩留
りの向上を図ることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、カラーフィルタ要素の隣接するもの同士を互いに密
接させているので、カラーフィルタ要素間に隙間が形成
されず、したがってカラーフィルタ要素間に断面ほぼ台
形形状の隙間が形成されることもなく、ひいてはその上
に直接形成される透明電極に断線が生じにくいようにす
ることができる。その結果、カラー液晶表示装置をより
少ない工程で歩留り良く安価に製造できる。
ば、カラーフィルタ要素の隣接するもの同士を互いに密
接させているので、カラーフィルタ要素間に隙間が形成
されず、したがってカラーフィルタ要素間に断面ほぼ台
形形状の隙間が形成されることもなく、ひいてはその上
に直接形成される透明電極に断線が生じにくいようにす
ることができる。その結果、カラー液晶表示装置をより
少ない工程で歩留り良く安価に製造できる。
【図１】この発明の一実施例におけるカラー液晶表示装
置の要部の断面図。
置の要部の断面図。
【図２】従来のカラー液晶表示装置の一例の一部の断面
図。
図。
【図３】この従来のカラー液晶表示装置の問題点を説明
するために示す断面図。
するために示す断面図。
１ 透明基板 ２ ブラックマトリックス ３ カラーフィルタ ３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ カラーフィルタ要素 ５ 透明電極 ６ 配向膜
Claims (3)
- 【請求項１】 透明基板上の所定位置に設けられたブラ
ックマトリックスと、 隣接するカラーフィルタ要素同士が前記ブラックマトリ
ックス上で互いに密接されて設けられたカラーフィルタ
と、 前記カラーフィルタ上に直接設けられた透明電極と、 を具備することを特徴とするカラー液晶表示装置。 - 【請求項２】 透明基板上にブラックマトリックスを形
成し、 前記透明基板上にカラーフィルタを、前記ブラックマト
リックス上でその隣接するもの同士のうちの後から形成
されるものの隣接部分が先に形成されたものの隣接部分
の上に重なるように、形成し、 前記カラーフィルタ上に透明電極を直接形成する、 ことを特徴とするカラー液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 前記カラーフィルタをフォトリソグラフ
ィにより形成することを特徴とする請求項２記載のカラ
ー液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6174860A JPH0821995A (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6174860A JPH0821995A (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821995A true JPH0821995A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15985926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6174860A Pending JPH0821995A (ja) | 1994-07-05 | 1994-07-05 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821995A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100423010B1 (ko) * | 1996-09-03 | 2004-06-18 | 삼성전자주식회사 | 칼라필터 |
| JP2005249863A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示パネル |
| JP2007225850A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
-
1994
- 1994-07-05 JP JP6174860A patent/JPH0821995A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100423010B1 (ko) * | 1996-09-03 | 2004-06-18 | 삼성전자주식회사 | 칼라필터 |
| JP2005249863A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示パネル |
| JP2007225850A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
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