JPH08219968A - Method and apparatus for frictional wear test - Google Patents
Method and apparatus for frictional wear testInfo
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- JPH08219968A JPH08219968A JP3074395A JP3074395A JPH08219968A JP H08219968 A JPH08219968 A JP H08219968A JP 3074395 A JP3074395 A JP 3074395A JP 3074395 A JP3074395 A JP 3074395A JP H08219968 A JPH08219968 A JP H08219968A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機
能を合体した摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法
を提供することを目的とする。
【構成】本発明は、磁気ディスク１をスピンドル５上に
取り付け、スピンドル５をモータ６によって回転制御
し、磁気ヘッドを磁気ヘッド支持部材９に取り付け、磁
気ディスク１の面上に磁気ヘッドを押圧し、磁気ヘッド
支持部材９のたわみ量を検出することによって、磁気デ
ィスク１の回転始動時、回転時、回転停止時の磁気ディ
スク１と磁気ヘッド間の摩擦力を測定する摩擦摩耗試験
装置において、磁気ヘッド支持部材９および磁気ヘッド
支持部材９のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置
もしくは隣接する位置に表面粗さ測定機構１４が配置さ
れ、磁気ディスク１がスピンドル５上に置かれたままの
状態で、表面粗さ測定機構１４により磁気ディスク１の
摩耗量および表面粗さを測定する。
(57) [Summary] [Object] An object of the present invention is to provide a friction and wear test apparatus and a friction and wear test method that combine a friction and wear test function and a surface roughness measurement function. According to the present invention, a magnetic disk 1 is mounted on a spindle 5, the spindle 5 is rotationally controlled by a motor 6, a magnetic head is mounted on a magnetic head supporting member 9, and the magnetic head is pressed onto the surface of the magnetic disk 1. In a friction wear test device for measuring the frictional force between the magnetic disk 1 and the magnetic head at the time of starting rotation, rotation and stop of rotation of the magnetic disk 1 by detecting the amount of deflection of the magnetic head support member 9, The surface roughness measuring mechanism 14 is arranged at a position facing or adjacent to the position where the deflection amount detecting portions of the head supporting member 9 and the magnetic head supporting member 9 are arranged, and the magnetic disk 1 remains on the spindle 5. In this state, the wear amount and surface roughness of the magnetic disk 1 are measured by the surface roughness measuring mechanism 14.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク媒体と磁気
ヘッドについて、磁気ディスク媒体の面上に磁気ヘッド
を押圧し、磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、磁気ディスク媒体の回転始動時、回転時、
回転停止時の磁気ディスク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力
を測定し、さらに磁気ディスク媒体の摩耗量および表面
粗さを測定する摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方
法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk medium and a magnetic head, and the rotation of the magnetic disk medium is started by pressing the magnetic head against the surface of the magnetic disk medium and detecting the amount of deflection of the magnetic head support member. When rotating,
The present invention relates to a frictional wear test apparatus and a frictional wear test method for measuring the frictional force between a magnetic disk medium and a magnetic head when rotation is stopped, and further measuring the amount of wear and surface roughness of the magnetic disk medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来型の摩擦摩耗試験機は摩擦力測定部
のみが搭載されている機種しかなかった。そのため、デ
ィスクの摩耗量および表面粗さを測定する場合はいった
んディスクを摩擦摩耗試験機から取外し、その後に表面
粗さ測定装置にセットしなければならなかった。この場
合の問題点は、（１）摩擦摩耗試験機でディスクの特定
位置に摩擦特性の異常な箇所を発見したとしても、通
常、そのような箇所は目視で判別つくほどの変化はなく
また大きさも極めて微少であることから、表面粗さ計に
セットしてもその特定箇所を測定することは極めて困難
であること、（２）ディスクを別の測定器に移し変える
過程でディスク表面が汚染される可能性があること、
（３）また、摩擦摩耗試験機に表面粗さ測定機能を組み
込もうとしても、具体的にディスクを簡便に固定する方
法がないことなどがあげられる。2. Description of the Related Art Conventional friction and wear testers have only been equipped with a frictional force measuring section. Therefore, when measuring the wear amount and surface roughness of the disk, it was necessary to remove the disk from the friction wear tester and then set it in the surface roughness measuring device. The problems in this case are: (1) Even if a frictional wear tester finds an abnormal frictional property at a specific position on the disk, such a position usually has no significant change and can be visually discriminated. Since it is also extremely small, it is extremely difficult to measure a specific point even if it is set on a surface roughness meter. (2) The disk surface is contaminated during the process of transferring the disk to another measuring device. There is a possibility that
(3) Further, even if an attempt is made to incorporate a surface roughness measuring function into the friction and wear tester, there is no specific method for simply fixing the disk.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合
体した装置構成を実現するにあたっての、（１）摩擦摩
耗試験機のスピンドル上の磁気ディスクを固定する方
法、（２）特定のディスク位置で摩擦力測定もしくは表
面粗さ測定を行う場合の測定箇所の位置決め方法などで
ある。本発明は上記の課題を解決し、摩擦摩耗試験機能
と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試験装置および
摩擦摩耗試験方法を提供することを目的とする。The problems to be solved by the present invention are as follows: (1) On a spindle of a friction and wear tester for realizing an apparatus configuration in which a friction and wear test function and a surface roughness measuring function are combined. The method of fixing the magnetic disk of (2), and (2) the method of positioning the measurement point when the frictional force measurement or the surface roughness measurement is performed at a specific disk position. It is an object of the present invention to solve the above problems and provide a friction and wear test apparatus and a friction and wear test method that combine a friction and wear test function and a surface roughness measurement function.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、磁気ディスクをスピンドル上に取り付け、
該スピンドルをモータによって回転制御し、磁気ヘッド
をジンバルに取り付け、該ジンバルを磁気ヘッド支持部
材に取り付け、該磁気ディスクの面上に該磁気ヘッドを
押圧し、該磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、該磁気ディスクの回転始動時、回転時、回
転停止時の該磁気ディスクと該磁気ヘッド間の摩擦力を
測定する摩擦摩耗試験装置において、該磁気ヘッド支持
部材および該磁気ヘッド支持部材のたわみ量検出部の配
置位置と対向する位置もしくは隣接する位置に表面粗さ
測定機構が配置され、前記磁気ディスクが前記スピンド
ル上に置かれたままの状態で、該表面粗さ測定機構によ
り前記磁気ディスクの摩耗量および表面粗さを測定する
ことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention mounts a magnetic disk on a spindle,
Rotation of the spindle is controlled by a motor, a magnetic head is attached to a gimbal, the gimbal is attached to a magnetic head supporting member, the magnetic head is pressed onto the surface of the magnetic disk, and the amount of deflection of the magnetic head supporting member is detected. In the friction and wear test apparatus for measuring the frictional force between the magnetic disk and the magnetic head when the magnetic disk starts rotating, rotates, and stops rotating, the magnetic head supporting member and the magnetic head supporting member are provided. The surface roughness measuring mechanism is arranged at a position opposite to or adjacent to the position where the deflection amount detecting unit is arranged, and the magnetic disk is left on the spindle while the surface roughness measuring mechanism is used to It is characterized in that the amount of wear and the surface roughness of the magnetic disk are measured.
【０００５】又、本発明は上記摩擦摩耗試験装置におい
て、前記スピンドルがエアベアリングで保持され、該エ
アベアリングに供給するエアの圧力除去によって前記ス
ピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの摩耗量
および表面粗さを測定することを特徴とするものであ
る。Further, in the friction wear test apparatus of the present invention, the spindle is held by an air bearing, and the wear amount and surface of the magnetic disk are attached in a state where the spindle is attached by removing the pressure of air supplied to the air bearing. It is characterized by measuring roughness.
【０００６】又、本発明は上記摩擦摩耗試験装置を用い
た摩擦摩耗試験方法であって、前記スピンドルにエンコ
ーダを配置して摩擦力測定時には前記スピンドルの回転
角度に対応した摩擦力測定を行い、表面粗さ計測時には
前記表面粗さ測定機構の粗さ測定センサ位置まで前記ス
ピンドルを回転させることによって所定のディスク位置
で摩耗量および表面粗さ測定を可能とすることを特徴と
する。Further, the present invention is a friction and wear test method using the above friction and wear test apparatus, wherein an encoder is arranged on the spindle to measure the frictional force corresponding to the rotation angle of the spindle when measuring the frictional force. When measuring the surface roughness, it is possible to measure the amount of wear and the surface roughness at a predetermined disk position by rotating the spindle to the position of the roughness measuring sensor of the surface roughness measuring mechanism.
【０００７】[0007]
【作用】上記手段により本発明は、摩擦摩耗試験装置の
スピンドルを保持しているベアリングにエアベアリング
を採用し、エアベアリングへの供給空気圧力の除去によ
って、スピンドルを取り付けた状態で磁気ディスクの摩
耗量および表面粗さを測定する。また、スピンドルにエ
ンコーダを配置して摩擦力測定時には前記スピンドルの
回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面粗さ計測時
には前記表面粗さ測定機構のセンサ位置まで前記スピン
ドルを回転させることによって特定のディスク位置で表
面粗さ測定を可能にする。According to the above-mentioned means, the present invention employs an air bearing as the bearing holding the spindle of the friction and wear test apparatus, and by removing the air pressure supplied to the air bearing, wear of the magnetic disk with the spindle attached is eliminated. Measure quantity and surface roughness. An encoder is arranged on the spindle to measure the frictional force corresponding to the rotation angle of the spindle when measuring the frictional force, and when measuring the surface roughness, the spindle is rotated up to the sensor position of the surface roughness measuring mechanism. Enables surface roughness measurement at the disk position.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、本発明について図面に示す実施例を参
照して説明する。図１は本発明の一実施例である摩擦摩
耗試験装置の主要部を示す図である。即ち、磁気ディス
ク１は磁気ディスク保持用スピンドル２に保持されてお
り、磁気ディスク保持用スピンドル２はエアベアリング
３に固定されている。モータ６に固定されたスピンドル
５はモータ６のトルクを磁気カプリング４に伝達するた
めのものである。さらに磁気ディスク保持用スピンドル
２とモータ６のトルク伝達は磁気カプリング４によって
なされる。エアベアリング３はエアベアリング支持部材
７によって定盤２０に固定されており、スピンドル５は
ベアリング８によって支持されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a main part of a frictional wear test apparatus which is an embodiment of the present invention. That is, the magnetic disk 1 is held by the magnetic disk holding spindle 2, and the magnetic disk holding spindle 2 is fixed by the air bearing 3. The spindle 5 fixed to the motor 6 is for transmitting the torque of the motor 6 to the magnetic coupling 4. Further, torque transmission between the magnetic disk holding spindle 2 and the motor 6 is performed by the magnetic coupling 4. The air bearing 3 is fixed to the surface plate 20 by an air bearing support member 7, and the spindle 5 is supported by a bearing 8.
【０００９】磁気ヘッド（図示せず）はジンバル（図示
せず）に取り付けられ、このジンバルは磁気ヘッド支持
部材９に取り付けられており、これらは摩擦力測定機構
１０に接続されている。摩擦力測定機構１０の内部では
磁気ヘッド支持部材９が支持ばね（図示せず）に固定さ
れ、ディスク回転時の磁気ヘッドにかかる摩擦力は支持
ばねのたわみに変換され、変位センサ（図示せず）によ
ってその支持ばねのたわみ量が測定される。なお、支持
ばねたわみ量の測定には外部共振型半導体レーザ変位セ
ンサ、歪みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの
手段があるが、ここでは特にその手段は特定しない。ま
た、摩擦力は支持ばねたわみ量と支持ばねのばね定数か
ら求められる。摩擦力測定機構１０はＺ軸ステージ１１
に搭載されており、これらはＸ軸ステージ１２上に搭載
されている。Ｚ軸ステージ１１にはマニュアルで高さを
調節する機構（図示せず）および磁気ヘッドを磁気ディ
スク１上にロードするためのモータドライブ（図示せ
ず）が内蔵されている。さらに、Ｘ軸ステージ１２は定
盤２０上に取り付けられており、Ｘ軸ステージ粗位置決
め用マイクロメータ１３によって粗位置決めがなされ
る。A magnetic head (not shown) is attached to a gimbal (not shown), and this gimbal is attached to a magnetic head support member 9, which is connected to a friction force measuring mechanism 10. Inside the frictional force measuring mechanism 10, the magnetic head supporting member 9 is fixed to a supporting spring (not shown), and the frictional force applied to the magnetic head when the disk rotates is converted into a deflection of the supporting spring, and a displacement sensor (not shown). ) Measures the deflection of the support spring. There are means such as an external resonance type semiconductor laser displacement sensor, a strain gauge sensor, and a capacitance type displacement sensor for measuring the amount of deflection of the support spring, but the means is not particularly specified here. Further, the frictional force is obtained from the amount of deflection of the support spring and the spring constant of the support spring. The friction force measuring mechanism 10 is a Z-axis stage 11
, And these are mounted on the X-axis stage 12. A mechanism (not shown) for manually adjusting the height and a motor drive (not shown) for loading the magnetic head onto the magnetic disk 1 are built in the Z-axis stage 11. Further, the X-axis stage 12 is mounted on the surface plate 20, and rough positioning is performed by the X-axis stage rough positioning micrometer 13.
【００１０】表面粗さ測定機構１４は変位センサ１５、
センサ走査機構１６、センサ走査用モータ１７、触針
（図示せず）からなり、触針でセンサ走査機構１６およ
びセンサ走査用モータ１７によって磁気ディスク１の表
面を走査したときの変位を変位センサ１５によって測定
することによって表面粗さが求められる。なお、触針変
位量の測定には外部共振型半導体レーザ変位センサ、歪
みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの手段があ
るが、ここでは特にその手段は特定しない。また、表面
粗さ測定機構１４はＸ軸ステージ１８上に搭載されてお
り、これらはＸ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ
１９によって粗位置決めがなされる。さらに、摩擦力測
定機構１０および表面粗さ測定機構１４を搭載した定盤
２０は定盤支持台２１に固定されており、定盤支持台２
１のあいた空間には変位センサアンプ（図示せず）、モ
ータ制御回路（図示せず）等が実装されている。The surface roughness measuring mechanism 14 includes a displacement sensor 15,
The displacement sensor 15 includes a sensor scanning mechanism 16, a sensor scanning motor 17, and a stylus (not shown). The displacement sensor 15 detects the displacement when the surface of the magnetic disk 1 is scanned by the sensor scanning mechanism 16 and the sensor scanning motor 17 with the stylus. The surface roughness can be obtained by measuring with. There are means such as an external resonance type semiconductor laser displacement sensor, a strain gauge sensor, and a capacitance type displacement sensor for measuring the stylus displacement amount, but the means is not particularly specified here. The surface roughness measuring mechanism 14 is mounted on an X-axis stage 18, and these are roughly positioned by an X-axis stage rough positioning micrometer 19. Further, the surface plate 20 on which the frictional force measuring mechanism 10 and the surface roughness measuring mechanism 14 are mounted is fixed to the surface plate supporting base 21.
A displacement sensor amplifier (not shown), a motor control circuit (not shown), etc. are mounted in the space defined by 1.
【００１１】即ち、磁気ディスク１をスピンドル５上に
取り付け、該スピンドル５をモータ６によって回転制御
し、磁気ヘッドをジンバルに取り付け、該ジンバルを磁
気ヘッド支持部材９に取り付け、該磁気ディスク１の面
上に該磁気ヘッドを押圧し、該磁気ヘッド支持部材９の
たわみ量を検出することによって、該磁気ディスク１の
回転始動時、回転時、回転停止時の該磁気ディスク１と
該磁気ヘッド間の摩擦力を測定する摩擦摩耗試験装置に
おいて、該磁気ヘッド支持部材９および該磁気ヘッド支
持部材９のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置も
しくは隣接する位置に表面粗さ測定機構１４が配置さ
れ、前記磁気ディスク１が前記スピンドル５上に置かれ
たままの状態で、該表面粗さ測定機構１４により前記磁
気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。That is, the magnetic disk 1 is mounted on the spindle 5, the spindle 5 is rotationally controlled by the motor 6, the magnetic head is mounted on the gimbal, the gimbal is mounted on the magnetic head supporting member 9, and the surface of the magnetic disk 1 is mounted. By pressing the magnetic head upward and detecting the amount of bending of the magnetic head support member 9, the magnetic disk 1 is rotated between the magnetic disk 1 and the magnetic head at the time of rotation start, rotation, and rotation stop. In a friction and wear test apparatus for measuring frictional force, a surface roughness measuring mechanism 14 is arranged at a position facing or adjacent to a position where the magnetic head supporting member 9 and the deflection amount detecting portion of the magnetic head supporting member 9 are arranged. Wear of the magnetic disk 1 by the surface roughness measuring mechanism 14 while the magnetic disk 1 is left on the spindle 5. And measuring the surface roughness.
【００１２】なお、スピンドル５にはエンコーダ２２が
取り付けられており、スピンドル５の回転角度がエンコ
ーダ２２によって測定される。即ち、前記スピンドル５
にエンコーダ２２を配置して摩擦力測定時には前記スピ
ンドル５の回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面
粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構１４の粗さ測定セ
ンサ位置まで前記スピンドル５を回転させることによっ
て所定のディスク位置で摩耗量および表面粗さ測定を可
能とする。An encoder 22 is attached to the spindle 5, and the rotation angle of the spindle 5 is measured by the encoder 22. That is, the spindle 5
An encoder 22 is arranged at the position to measure the frictional force corresponding to the rotation angle of the spindle 5 when measuring the frictional force, and the spindle 5 is rotated to the position of the roughness measuring sensor of the surface roughness measuring mechanism 14 when measuring the surface roughness. By doing so, it becomes possible to measure the amount of wear and the surface roughness at a predetermined disk position.
【００１３】図２はエアベアリング３の構造を示す図
で、給気口２７より空気が供給されると多孔質材２６を
通してエアギャップ２４に空気圧がかかり、ロータ２３
とスラストプレート２５は浮上して回転に対して低摩擦
の状態になる。この空気圧が除去されるとロータ２３の
浮上は停止し、ロータ２３と多孔質材２６間は高摩擦状
態すなわち固定状態になる。本実施例の中の磁気ディス
ク１の固定はこの空気圧除去によるロータ２３の固定に
よっている。なお、図２で２８はエアベアリング３の排
気口、２９はハウジングを示す。FIG. 2 is a view showing the structure of the air bearing 3. When air is supplied from the air supply port 27, air pressure is applied to the air gap 24 through the porous material 26 and the rotor 23
Then, the thrust plate 25 floats and is in a state of low friction against rotation. When this air pressure is removed, the floating of the rotor 23 is stopped, and the rotor 23 and the porous material 26 are in a high friction state, that is, in a fixed state. The magnetic disk 1 in this embodiment is fixed by fixing the rotor 23 by removing the air pressure. In FIG. 2, 28 is an exhaust port of the air bearing 3, and 29 is a housing.
【００１４】前記エアベアリング３は空気圧でロータ２
３およびスラストプレート２５をμｍオーダのエアギャ
ップ２４を保つように浮上させ、ロータ２３を非接触で
保持する構造をとっている。供給空気を除くとロータ２
３およびスラストプレート２５は接触した状態になる。
このとき磁気ディスク１に比べてロータ２３の重量はは
るかに大きくて高摩擦状態になるため、供給空気を除い
た状態で磁気ディスク１はスピンドル５を介して固定さ
れたことになる。このように本実施例の摩擦摩耗試験装
置では、空気圧の供給・除去のみで磁気ディスクの固定
が可能であり、磁気ディスクの固定のために他に何らか
の機構も必要としてない。The air bearing 3 is pneumatically applied to the rotor 2
3 and the thrust plate 25 are floated so as to maintain the air gap 24 of the order of μm, and the rotor 23 is held in a non-contact manner. Rotor 2 except supply air
3 and the thrust plate 25 are in contact with each other.
At this time, the rotor 23 is much heavier than the magnetic disk 1 and is in a high friction state, so that the magnetic disk 1 is fixed via the spindle 5 in a state where the supply air is removed. As described above, in the frictional wear test apparatus of the present embodiment, the magnetic disk can be fixed only by supplying / removing the air pressure, and no other mechanism is required for fixing the magnetic disk.
【００１５】即ち、前記スピンドル５がエアベアリング
３で保持され、該エアベアリング３に供給するエアの圧
力除去によって前記スピンドル５を取り付けた状態で前
記磁気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。That is, the spindle 5 is held by the air bearing 3, and the amount of wear and the surface roughness of the magnetic disk 1 are measured with the spindle 5 attached by removing the pressure of the air supplied to the air bearing 3. .
【００１６】以上のように、本実施例の摩擦摩耗試験装
置は、（１）スピンドルを保持しているエアベアリング
への供給エアの圧力除去によってスピンドルを固定した
状態で磁気ディスクの摩耗量および表面粗さを測定する
こと、（２）スピンドルにエンコーダを配置して摩擦力
測定時には前記スピンドルの回転角度に対応した摩擦力
測定を行い、表面粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構
のセンサ位置まで前記スピンドルを回転させることによ
って特定のディスク位置で表面粗さ測定を可能にするこ
との手段を採用し、その結果、従来の装置では実現しえ
なかった摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体し
た装置を実現している。As described above, the frictional wear test apparatus of this embodiment has the following features: (1) Abrasion amount and surface of the magnetic disk in a state where the spindle is fixed by removing the pressure of the air supplied to the air bearing holding the spindle. (2) An encoder is arranged on the spindle to measure the roughness, and when the frictional force is measured, the frictional force corresponding to the rotation angle of the spindle is measured, and when the surface roughness is measured, up to the sensor position of the surface roughness measuring mechanism. By adopting the means of enabling the surface roughness measurement at a specific disk position by rotating the spindle, as a result, the friction and wear test function and the surface roughness measurement function, which cannot be realized by the conventional device, are adopted. It realizes a united device.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、摩擦
摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試
験装置および摩擦摩耗試験方法を提供することができ
る。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a frictional wear test apparatus and a frictional wear test method which combine a frictional wear test function and a surface roughness measuring function.
【図１】本発明の一実施例である摩擦摩耗試験装置を示
す一部切欠正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view showing a friction and wear test device according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１のエアベアリング部の一例を示す断面図で
ある。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the air bearing portion of FIG.
１…磁気ディスク、２…磁気ディスク保持用スピンド
ル、３…エアベアリング、４…磁気カプリング、５…ス
ピンドル、６…モータ、７…エアベアリング支持部材、
８…ベアリング、９…磁気ヘッド支持部材、１０…摩擦
力測定機構、１１…Ｚ軸ステージ、１２…Ｘ軸ステー
ジ、１３…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ、
１４…表面粗さ測定機構、１５…変位センサ、１６…セ
ンサ走査機構、１７…センサ走査用モータ、１８…Ｘ軸
ステージ、１９…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメ
ータ、２０…定盤、２１…定盤支持台、２２…エンコー
ダ、２３…ロータ、２４…エアギャップ、２５…スラス
トプレート、２６…多孔質材、２７…給気口、２８…排
気口、２９…ハウジング。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 2 ... Magnetic disk holding spindle, 3 ... Air bearing, 4 ... Magnetic coupling, 5 ... Spindle, 6 ... Motor, 7 ... Air bearing supporting member,
8 ... Bearing, 9 ... Magnetic head supporting member, 10 ... Friction force measuring mechanism, 11 ... Z-axis stage, 12 ... X-axis stage, 13 ... X-axis stage rough positioning micrometer,
14 ... Surface roughness measuring mechanism, 15 ... Displacement sensor, 16 ... Sensor scanning mechanism, 17 ... Sensor scanning motor, 18 ... X-axis stage, 19 ... X-axis stage rough positioning micrometer, 20 ... Surface plate, 21 ... Surface plate support, 22 ... Encoder, 23 ... Rotor, 24 ... Air gap, 25 ... Thrust plate, 26 ... Porous material, 27 ... Air supply port, 28 ... Exhaust port, 29 ... Housing.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 19/02 Ｇ０１Ｎ 19/02 Ａ (72)発明者 原 臣司 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 金子 礼三 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 浅川 誠 東京都武蔵野市緑町３丁目９番11号 株式 会社アフティ内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location G01N 19/02 G01N 19/02 A (72) Inventor Shinji Hara 1-chome, Uchiyuki-cho, Chiyoda-ku, Tokyo No. 6 Nihon Telegraph and Telephone Corp. (72) Inventor Reizou Kaneko 1-6-1, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Telegraph and Telephone Corp. (72) Inventor Makoto Asakawa 3 Midoricho, Musashino-shi, Tokyo 9th-11th Afty Stock Company
Claims (3)
け、該スピンドルをモータによって回転制御し、磁気ヘ
ッドをジンバルに取り付け、該ジンバルを磁気ヘッド支
持部材に取り付け、該磁気ディスクの面上に該磁気ヘッ
ドを押圧し、該磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出す
ることによって、該磁気ディスクの回転始動時、回転
時、回転停止時の該磁気ディスクと該磁気ヘッド間の摩
擦力を測定する摩擦摩耗試験装置において、 該磁気ヘッド支持部材および該磁気ヘッド支持部材のた
わみ量検出部の配置位置と対向する位置もしくは隣接す
る位置に表面粗さ測定機構が配置され、前記磁気ディス
クが前記スピンドル上に置かれたままの状態で、該表面
粗さ測定機構により前記磁気ディスクの摩耗量および表
面粗さを測定することを特徴とする摩擦摩耗試験装置。1. A magnetic disk is mounted on a spindle, the spindle is rotationally controlled by a motor, a magnetic head is mounted on a gimbal, the gimbal is mounted on a magnetic head support member, and the magnetic head is mounted on the surface of the magnetic disk. A friction and wear test device for measuring the frictional force between the magnetic disk and the magnetic head when the magnetic disk starts rotating, rotates, and stops rotating by pressing and detecting the amount of deflection of the magnetic head supporting member. In the above, a surface roughness measuring mechanism is arranged at a position facing or adjacent to the position where the magnetic head supporting member and the deflection amount detecting portion of the magnetic head supporting member are arranged, and the magnetic disk is placed on the spindle. In this state, the wear amount and the surface roughness of the magnetic disk are measured by the surface roughness measuring mechanism. Friction wear test apparatus.
て、前記スピンドルがエアベアリングで保持され、該エ
アベアリングに供給するエアの圧力除去によって前記ス
ピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの摩耗量
および表面粗さを測定することを特徴とする摩擦摩耗試
験装置。2. The friction and wear test apparatus according to claim 1, wherein the spindle is held by an air bearing, and the amount of wear of the magnetic disk in a state where the spindle is attached by removing pressure of air supplied to the air bearing and A friction and wear test device characterized by measuring surface roughness.
た摩擦摩耗試験方法であって、前記スピンドルにエンコ
ーダを配置して摩擦力測定時には前記スピンドルの回転
角度に対応した摩擦力測定を行い、表面粗さ計測時には
前記表面粗さ測定機構の粗さ測定センサ位置まで前記ス
ピンドルを回転させることによって所定のディスク位置
で摩耗量および表面粗さ測定を可能とすることを特徴と
する摩擦摩耗試験方法。3. A friction and wear test method using the friction and wear test apparatus according to claim 1, wherein an encoder is arranged on the spindle to measure a friction force corresponding to a rotation angle of the spindle when the friction force is measured. A friction wear test characterized by enabling the amount of wear and the surface roughness to be measured at a predetermined disk position by rotating the spindle to the position of the roughness measuring sensor of the surface roughness measuring mechanism at the time of measuring the surface roughness. Method.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03074395A JP3331804B2 (en) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | Friction and wear test apparatus and friction and wear test method |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH08219968A true JPH08219968A (en) | 1996-08-30 |
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ID=12312168
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03074395A Expired - Fee Related JP3331804B2 (en) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | Friction and wear test apparatus and friction and wear test method |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3331804B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6568243B1 (en) | 1998-02-19 | 2003-05-27 | Nec Corporation | Method of evaluating capacitance value of capacitor on semiconductor substrate |
| CN108458967A (en) * | 2017-02-20 | 2018-08-28 | 宝山钢铁股份有限公司 | Sheet metal stretching abrasion test device |
| CN112378804A (en) * | 2020-12-15 | 2021-02-19 | 五行科技股份有限公司 | High-efficient wear-resisting test device of fire hose |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP03074395A patent/JP3331804B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| US6568243B1 (en) | 1998-02-19 | 2003-05-27 | Nec Corporation | Method of evaluating capacitance value of capacitor on semiconductor substrate |
| CN108458967A (en) * | 2017-02-20 | 2018-08-28 | 宝山钢铁股份有限公司 | Sheet metal stretching abrasion test device |
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