JPH08221794A - 光ピックアップ装置 - Google Patents

光ピックアップ装置

Info

Publication number
JPH08221794A
JPH08221794A JP7053267A JP5326795A JPH08221794A JP H08221794 A JPH08221794 A JP H08221794A JP 7053267 A JP7053267 A JP 7053267A JP 5326795 A JP5326795 A JP 5326795A JP H08221794 A JPH08221794 A JP H08221794A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
pickup device
optical pickup
light source
prism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7053267A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3220347B2 (ja
Inventor
Hiroshi Akiyama
洋 秋山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP05326795A priority Critical patent/JP3220347B2/ja
Publication of JPH08221794A publication Critical patent/JPH08221794A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3220347B2 publication Critical patent/JP3220347B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Head (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数を削減し、小型かつ簡単な光学系の
ものにすることができ、かつ、従来のホログラムピック
アップよりも光利用効率の高い光ピックアップ装置を提
供する。 【構成】 光束分離素子2は、光源1からの光(光源光)
と記録媒体6からの反射光(検出光)とを分離する機能を
有し、光源1からの光(光源光)をカップリングレンズ
3,偏向プリズム4,対物レンズ5を介して記録媒体6
に入射(集光)させる一方、記録媒体6からの反射光が対
物レンズ5,偏向プリズム4,カップリングレンズ3を
介して入射すると、この反射光を光源光と分離して、収
束光の状態で回折手段7を介し受光素子8に入射させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクなどの光学
的な記録媒体に記録された情報をその反射光を利用して
再生したり、あるいは該記録媒体に情報を記録したり消
去したりする光ピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光ディスクなどの光学的な記録媒
体に記録された情報をその反射光を利用して再生した
り、あるいは該記録媒体に情報を記録したり消去したり
する光ピックアップ装置が知られている。
【0003】この種の光ピックアップ装置には、記録面
に光源光を最適に集光させるフォーカスサーボ機能があ
り、フォーカスサーボ方式としては、非点収差法,臨界
角法,ナイフエッジ法などがある。中でも非点収差法
(尾上守夫監修 光ディスク技術 ラジオ技術社 p9
9)は光磁気ディスク用光学ヘッドのほか、コンパクト
ディスク,レーザーディスクを含めて光ディスク全般に
も良く用いられている。
【0004】その原理は、受光手段(受光素子;検出素
子)が4分割受光面(各出力をA,B,C,Dとする)と
なっているとすると、入射光の焦点がディスクに合って
いるとき、その反射光の像は光検出器の4分割受光面で
円形となり、このとき、フォーカス誤差出力である対角
の受光面間の差動出力(A+C)−(B+D)は零となる。
一方、ディスクが対物レンズから遠くなったり近くなっ
たりすると、光検出器の4分割受光面の像が円形から長
円形状になる。そのため、フォーカス誤差出力は正(遠
い)あるいは負(近い)になるので、この出力が零になる
ように対物レンズの位置を調整して焦点を合わせるとい
うものである。
【0005】ところで、一般に、この種の装置におい
て、アクセスタイムを速めるためには、光ピックアップ
の小型軽量化が重要である。しかしながら、従来の非点
収差法のようなフォーカス検出法ではビームの形状の変
化を検出するため受光手段(受光素子)までの距離(検出
長)をある程度大きく(数cm)し検出しなければ十分
な感度を得ることができず、従って、小型化には限界が
ある。また、ナイフエッジ法のような検出方式では、受
光素子上のスポットは数ミクロンから数十ミクロンとか
なり小さく、調整が難しく、環境によってオフセットが
生じるので不安定である。
【0006】この上記のような問題を回避するため、近
年、例えば文献「レーザディスク用ホログラムピックア
ップ SHARP技報第48号,1991年3月 第2
1〜26頁」に示されているようなホログラムピックア
ップが提案されている。図31は上述の文献などに示さ
れているホログラムピックアップの概要を示す図であ
る。
【0007】図31を参照すると、このホログラムピッ
クアップは、光源301と、カップリングレンズ303
と、対物レンズ305と、受光素子(検出素子)308
と、ホログラム素子307とを有しており、光源(LD)
301と受光素子(検出素子)308とが共通のステム上
に配置されてマウントパッケージ304に収められ(す
なわち、光源301の極く近くに受光素子308を配置
して光源301と受光素子308とがユニット化されて
おり)、また、このマウントパッケージ304の上面に
ホログラム素子307が接着固定されている。すなわ
ち、ホログラム素子307が光源301,受光素子30
8と一体化されて設けられている。
【0008】ここで、ホログラム素子307は、1枚の
ガラス基板からできており、その上面に、光源光と検出
光(反射光)とを分離する機能などを有するホログラムが
形成され、また、その下面にトラッキングビーム生成用
回折格子が形成されたものとなっている。
【0009】このような構成のホログラムピックアップ
では、光源301からの光(光源光)をホログラム素子3
07,カップリングレンズ303,対物レンズ305を
介して記録媒体(ディスク)306に入射(集光)させる一
方、記録媒体306からの反射光が対物レンズ305,
カップリングレンズ103を介してホログラム素子30
7に入射すると、ホログラム素子307では、反射光
(検出光)を光源光と分離して受光素子308に入射させ
る。この際、このホログラムピックアップでは、光源光
の光路と検出光の光路とがほぼ同一光路となるので、在
来の光ピックアップ装置に比べて、部品点数を削減し、
小型かつ簡単な光学系で光ピックアップ装置を構成する
ことができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなホログラムピックアップでは、ディスク306
への入射光,すなわち光源光もホログラムにより回折さ
れてしまうので、光利用効率が低くなってしまうという
問題があった。
【0011】本発明は、部品点数を削減し、小型かつ簡
単な光学系のものにすることができ、かつ、従来のホロ
グラムピックアップよりも光利用効率の高い光ピックア
ップ装置を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、請求項1,請求項2記載の発明では、該
光ピックアップ装置には、光源光学系からの光源光と記
録媒体からの反射光とを分離する光束分離手段が設けら
れ、また、検出光学系には反射光を回折し、回折光間で
干渉縞を生じさせる回折手段と、該干渉縞が投影される
受光手段とが設けられており、光束分離手段は、記録媒
体からの反射光を光源光と分離し、収束光の状態で検出
光学系に導くようになっている。これにより、収束光路
の一部を光源光路,検出光路で共用し、光束分離手段と
受光手段との間に回折手段が設けられる場合にも、光束
分離手段から受光手段までの距離を小さくすることがで
きて、光源光学系と検出光学系とのユニット化を図れ、
光ピックアップ装置の小型化を図ることができるととも
に、記録媒体からの反射光のみを回折手段によって回折
し、光源光はこの回折手段によって回折されないので、
従来のホログラムピックアップに比べて、光利用効率を
著しく高めることができる。
【0013】また、請求項3,請求項4記載の発明で
は、二重回折格子は、反射光の焦点面近傍の位置に設置
されるか、または、二重回折格子自体が収束光の波面を
略フラットな波面に変換する波面変換機能を有している
ので、収束光路中に回折手段が配置されるときにも、フ
ォーカス信号のオフセットを低減できる。
【0014】また、請求項5記載の発明では、少なくと
も光源光学系と検出光学系とが、単一のユニットとして
同一のハウジング内に収容されている。これにより、光
ピックアップ装置の小型化を図ることができる。
【0015】また、請求項6記載の発明では、回折手段
は、受光手段の基板またはそのホルダー上に設置されて
いる。これにより、受光手段と回折手段との間の位置関
係を一定に保つことができる。
【0016】また、請求項7記載の発明では、光束分離
手段は、光源光と反射光とを偏光分離する偏光分離素子
であって、該偏光分離素子から記録媒体までの光路中に
は、λ/4板が設置されている。これにより、光源光と
反射光との分離を確実に行うことができ、光利用効率が
高く、かつ、雑音成分の少ない光ピックアップを実現で
きる。
【0017】また、請求項8記載の発明では、偏光分離
素子に、偏光分離膜を有するプリズムを用いている。こ
れにより、偏光分離素子にガラス等の汎用部品が使用で
き、部品コストを下げることができる。
【0018】また、請求項9記載の発明では、プリズム
は、2枚の平行平板で構成されているか、または、三角
プリズムと平行平板により構成されているか、または、
三角プリズムとくさび型プリズムにより構成されてい
る。これにより、検出光を光源光とほぼ平行な方向(同
一方向)に分離し、光源と受光手段とを同一基板に設置
することができる。特に、平行平板を用いることにより
プリズムコストを低くでき、また、同一形状の平行平板
を2枚用いる場合には、さらに低コスト化が図れる。ま
た、三角プリズムを用いる場合には例えば後述のような
λ/4板との一体化が容易となる。また、くさび型のプ
リズムを用いる場合には、平行平板を用いる場合に比べ
て、光源光と検出光との分離距離を大きくとることがで
きる。
【0019】また、請求項10記載の発明では、偏光分
離素子に複屈折プリズムを用いることにより、単一プリ
ズムで偏光分離(すなわち光源光と検出光との光束分離)
が可能となる。さらに、複屈折材料によりなる単板に垂
直入射させるだけで偏光分離ができる。従って、光束分
離手段を単純な構成で実現でき、光ピックアップをより
コンパクト,小型のものにすることができる。
【0020】また、請求項11記載の発明では、複屈折
プリズムとして、互いに光学軸の異なる2個以上の一軸
性結晶よりなるプリズムを用いる。これにより、同等の
大きさでも単一の複屈折プリズムにより、光源光と検出
光との分離距離を大きくとれる。
【0021】また、請求項12記載の発明では、偏光分
離素子にはλ/4板が接着されて、一体プリズムとして
構成されている。これにより、部品の一体化が図れ、光
ピックアップをより小型化,薄型化できる。
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明に係る光ピックアップ装置の一実施
例の構成図である。図1を参照すると、この光ピックア
ップ装置は、光源(例えば半導体レーザ(LD))1と、光
束分離手段(例えばマイクロプリズムあるいはハーフミ
ラーなどの光束分離素子)2と、カップリングレンズ3
と、偏向プリズム4と、対物レンズ5と、受光手段(例
えばフォトダイオードなどの受光素子;検出素子)8と
を有している。
【0023】さらに、光束分離素子2と受光素子8との
間には、すなわち、光束分離素子2によって光源光と分
離された反射光の光路中には、回折手段7が設けられて
いる。この回折手段7には、例えば1つの回折格子を用
いることもできるし、あるいは図2に示すように、ピッ
チΛ1の第1の回折格子7aとピッチΛ2の第2の回折格
子7bとからなる二重回折格子などを用いることもでき
る。
【0024】ここで、光束分離素子2は、光源1からの
光(光源光)と記録媒体6からの反射光(検出光)とを分離
する機能を有し、光源1からの光(光源光)をカップリン
グレンズ3,偏向プリズム4,対物レンズ5を介して記
録媒体(ディスク)6に入射(集光)させる一方、記録媒体
6からの反射光が対物レンズ5,偏向プリズム4,カッ
プリングレンズ3を介して入射すると、この反射光を光
源光と分離して、収束光の状態で回折手段7,受光素子
8に入射させるようになっている。
【0025】次にこのような構成の光ピックアップ装置
の動作について説明する。この光ピックアップ装置で
は、光源1からの光(光源光)を、光束分離素子2を介し
てカップリングレンズ3に入射させ、カップリングレン
ズ3により略平行光に変換し、偏向プリズム4,対物レ
ンズ5を介しディスク6の記録面に集光照射する。
【0026】そして、ディスク6の記録面からの反射光
を、対物レンズ5,偏向プリズム4,カップリングレン
ズ3を介し、光束分離素子2に入射させ、光束分離素子
2,回折手段7を介し受光素子8に入射させる。
【0027】ここで、反射光が回折手段7に入射する
と、回折光が発生し、回折光間で干渉が生じ、従って、
受光素子8には回折光間の干渉により生じる干渉縞が投
影され、このときの受光素子8からの出力により、入射
光の焦点がディスク6に合っているか否かを示すフォー
カスエラー信号および/または入射光がディスク6の正
しいトラック位置を照射しているか否かを示すトラック
エラー信号を検出することができ、フォーカスエラー信
号および/またはトラックエラー信号が零となるよう、
サーボ制御することができる。例えば対物レンズ5の位
置を調整することができる。
【0028】以下に、回折手段7に図2に示すような二
重回折格子が用いられるとした場合の干渉縞発生原理に
ついて説明する。いま仮りに、図3(a)に示すように、
第1の回折格子7aに波長λの光が平行光として垂直に
入射するとすると、二重回折格子7においては、第1の
回折格子7aで±n次光(nは正とする)が発生し、第2
の回折格子7bではその+n次光の−m次光(mは正と
する)とその−n次光の+m次光(mは正とする)が発生
して、第2の回折格子7bにより発生した±m次光同士
が干渉し合って干渉縞を発生する。なお、+は入射光に
対し進行方向左に回折する場合、−はその反対の場合を
表わす。
【0029】この際、+n次光の第1の回折格子7aで
の回折条件は次式で表わされる。なお、−n次の場合は
nを−nに替えれば良いので以下省略する。
【0030】
【数1】sinθ1=nλ/Λ1
【0031】また、第2の回折格子7bでの回折条件は
次式で表わされる。
【0032】
【数2】−sinθ2+sinθ1=mλ/Λ2
【0033】数1と数2よりθ2について次式が導かれ
る。
【0034】
【数3】sinθ2=λ(n/Λ1−m/Λ2)
【0035】ここで、図4(a)に示すように、入射角θ
2の2つの光(平面波)BM1,BM2が干渉し合う場合を
考えると、このときの干渉縞のピッチΛ0は数4で表わ
され、相対的な位相による干渉縞の位相は数5で表わさ
れる。
【0036】
【数4】Λ0=λ/(2sinθ2)
【0037】
【数5】β0=β1
【0038】なお、数5において、β0は干渉縞の位
相、β1は平面波BM1,BM2間の位相である。従っ
て、干渉縞のピッチと二重回折格子のピッチとの関係は
数3,数4を用いて数6で表わされる。
【0039】
【数6】1/(2Λ0)=n/Λ1−m/Λ2
【0040】また、二重回折格子7の場合(図4(b)参
照)の位相関係については、正負の次数の回折光の干渉
についてのみ問題とすると、回折格子直後での位相関係
が逆になることから干渉縞の位相は数7で表わされる。
【0041】
【数7】β0=2β2
【0042】これより、干渉縞のピッチは二重回折格子
7のピッチ(すなわち、第1の回折格子7aのピッチΛ1
と第2の回折格子7bのピッチΛ2)のみに依存し、入射
光の波長λに全く無関係となることがわかる。光の径を
0とし、式6の右辺と左辺に掛けると数8が得られ
る。
【0043】
【数8】(W0/Λ0)/2=nW0/Λ1−mW0/Λ2
【0044】ここで、W0/Λ0は光径内に生じる干渉縞
の本数であり、nW0/Λ1とmW0/Λ2は第1の回折格
子7aと第2の回折格子7bにおける光径内の回折格子
本数にそれぞれの次数を掛けたものである。すなわち、
次式となる。
【0045】
【数9】《干渉縞の本数》/2=次数×《第1の回折格
子の本数》−次数×《第2の回折格子の本数》
【0046】このように干渉縞の本数と第1及び第2の
回折格子7a,7bの本数、さらにはそれぞれの次数の
関係が明らかになった。どの次数を用いても干渉縞は発
生するが、±1次光は回折効率が高いので、高次回折光
よりも優れている。すなわち、第1の回折格子7aで発
生する+1次光であって第2の回折格子7bの−1次光
(図3(b)中E)及び、第1の回折格子7aで発生する−
1次光であって第2の回折格子7bの+1次光(図3
(b)中F)を用いる場合が最も効率が良い。
【0047】干渉縞本数の例としては±1次光のみ用い
た場合、高分解能化を目指し、Λ1=0.948μmと
非常に高密度な回折格子を用いるとき、Λ0=1mmと
大きくとるためには、Λ2=0.94768μmとな
る。
【0048】Λ1とΛ2の違いは約0.03%と非常に小
さいものとなるが作成は可能である。コリメート光の光
径を2mm程度とすると干渉縞が1,2本観測されるこ
ととなる。
【0049】このようにして、二重回折格子7を用いて
所定の干渉縞を発生させることができる。
【0050】この二重回折格子7を用いてディスク6の
ディフォーカス量を測定する仕方を図5に従って以下に
述べる。
【0051】図5の例では、ディスク6の面上に略焦点
を結ぶようにしたレンズ101を設定し、また、このレ
ンズ101の光軸上に二重回折格子7を設定する。
【0052】なお、図5において、レンズ101の焦点
距離をf、レンズ101とディスク6の面までの距離を
1、二重回折格子側の集光位置をb2、レンズ開口をA
としている。また、レンズ焦点位置と被測定物の面との
間の距離(デフォーカス量)をdとし、二重回折格子7
(7a,7b)へ入射する角をθ(光軸の上の角をθ1、下
の角をθ2)としている。この場合、二重回折格子7の第
1,第2の回折格子7a,7b間の間隔をTとし、d<
<fとすると、次式が成立する。
【0053】
【数10】1/f=1/b1+1/b2 θ=A/b21=f+d
【0054】数10よりb2は次式で表わされる。
【0055】
【数11】b2=fb1/(b1−f)
【0056】数10,数11からθは次式で表わされ
る。
【0057】
【数12】θ=A(b1−f)/fb1=Ad/f(f+d)
≒Ad/f2
【0058】ここで、デフォーカス量dが微小すなわ
ち、d<<fであるとした。この場合には、レンズ10
1からの出射光はコリメート状態に近く、レンズ101
と二重回折格子7とが接近しているとすると、図6のよ
うに第1の回折格子7aに沿ってx軸(光軸上でx=0)
をとり、また、第2の回折格子7bに沿って、X軸(光
軸上でX=0)をとるとき、A=xとできるから数12
は次式となる。
【0059】
【数13】θ=xd/f2
【0060】このように、位置(x)によって光線の入射
角が異なる。光軸に対して両側から二重回折格子7に入
射してきた光であって、二重回折格子7を2回とも回折
した光は図5に示すように出射面(干渉縞発生面)で交わ
る。この2つの光BM3,BM4は出射角が異なるので、
これらの間で干渉が生じ干渉縞が発生する。
【0061】次に各位置での干渉縞のピッチを求める。
y=0でxの所に光軸より上の光が入射してきた光が出
射面で出射する角θ3は次式で表わされる(図7参照)。
【0062】
【数14】sinθ1−sinθ3=λ(1/Λ2−1/Λ
1)
【0063】θ1〜0、θ3〜0なのでθ3は次式とな
る。
【0064】
【数15】θ3=θ1+λ(1/Λ1−1/Λ2)
【0065】数13を数15に代入すると次式を得る。
【0066】
【数16】θ3=xd/f2+λ(1/Λ1−1/Λ2)
【0067】二重回折格子7の第2の回折格子7bの出
射面(y=T)での光の位置Xを規定したいが、簡単のた
め、第1回折光の回折角を45°とすると、次式が得ら
れる。
【0068】
【数17】X=x−T
【0069】数17を数16に代入すると次式を得る。
【0070】
【数18】θ3=d(X+T)/f2+λ(1/Λ1−1/Λ
2)
【0071】同様に、y=0でxの所に光軸より下の光
が入射してきた光が出射面で出射する角θ4は次式で表
わされる。
【0072】
【数19】 θ4=d(X−T)/f2+λ(1/Λ1−1/Λ2)
【0073】二光束の入射角がそれぞれθ3とθ4であっ
て、θ3〜0、θ4〜0のときの干渉縞のピッチΛ0は次
式で表わされる。
【0074】
【数20】Λ0=λ/(|sinθ3+sinθ4|)=λ/
(|θ3+θ4|)
【0075】数20に数18,数19を代入すると、次
式が得られる。
【0076】
【数21】Λ0(d)=λ/〔|2dT/f2+2λ(1/
Λ1−1/Λ2)|〕
【0077】ここで、前述のように、λは波長、Tは2
つの回折格子7a,7b間の距離、fは対物レンズ5の
焦点距離、Λ1は第1の回折格子7aのピッチ、Λ2は第
2の回折格子7bのピッチである。この式から、二重回
折格子7によって発生する干渉縞は、位置Xに関わら
ず、デフォーカス量dに依存する等ピッチΛ0(d)の干
渉縞であることがわかる。なお、回折格子7aと回折格
子7bのピッチが同じ場合(Λ1=Λ2)には、干渉縞のピ
ッチΛ0(d)は次式で表される。
【0078】
【数22】Λ0(d)=f2/〔|(d/λ)|2T〕
【0079】デフォーカスのないとき(d=0のとき)
は、数22よりΛ0→∞となるが、デフォーカスの生じ
たときに干渉縞が発生する。従って、干渉縞のピッチや
位相のデフォーカスによる変化を読み取って、ディスク
6の変位(より正確には、微小変位)dを得たり、フォー
カスエラー信号Foを得ることができる。
【0080】例えば、ピッチの同じ2つの回折格子7
a,7bからなる二重回折格子7に平行光を入射させ
て、第1の回折格子7aでの+1次光であって第2の回
折格子7bでの−1次光(E光とよぶ)と、第1の回折格
子7aでの−1次光であって第2の回折格子7bでの+
1次光(F光とよぶ)とを干渉させて、数22のピッチΛ
0(d)の干渉縞を発生させることができる。
【0081】ここで、2つの回折格子7a,7bの位相
(回折格子の山と山の間隔)を故意にずらす。図8乃至図
10には、2つの回折格子7a,7bの位相をずらした
状態が示されている。すなわち、図8乃至図10には、
第1の回折格子7aと第2の回折格子7bのピッチをΛ
(=Λ1=Λ2)としたときに、第1の回折格子7aの山と
第2の回折格子7bの谷との位相差がΛ/8となるよう
にし、回折光として±1次光(前述のE光とF光)を用い
るとした場合が示されており、この場合、第2の回折格
子7bからの2つの回折光(E光,F光)の位相は90°
(1/4ピッチ=λ/4)ずれる。より詳しくは、デフォ
ーカスしていないとき、E光とF光は波面が互いに平行
であり、その等位相面は互いに櫛のように入り込む状態
になる。なお、このときには、E光とF光の等位相面が
交わらないので、干渉縞は発生しない。
【0082】このように、図8は、上述のようにデフォ
ーカスのない場合を示しているが、デフォーカスdが発
生すると、E光,F光の波面は、ミクロ的には図9,図
10に示すように各々湾曲する。この湾曲によって等位
相面が交わり、数22で表されるピッチΛ0(d)の干渉
縞が発生する。干渉縞はE光,F光の波面が交わってで
きるが、その交点は図中CLSで示すようにデフォーカ
スの正負によって移動する。これは左右の位相が反転す
ることを表す。干渉縞の光量分布は定性的には図11に
示すようにデフォーカスによって変化し、干渉面内の左
側LT,右側RTがd=0を境にして反転することとな
る。従って、これを受光手段8で読み取ることで、デフ
ォーカスdを知ることができる。
【0083】具体的には、受光手段8として、その受光
面が2つに分割されたものを用い、受光手段8の2分割
された受光面の各々が干渉面内の左側LTと右側RTの
ところに位置するよう、受光素子8を設置して、左側の
受光面の検知光量(出力)A’と右側の受光面の検知光量
(出力)B’との差DIF(=A’−B’)を検出すると図
12に示すようないわゆるS字カーブが得られる。
【0084】このように、二重回折格子7において、こ
れに入射した反射光により上述の原理で干渉縞を発生さ
せ、発生した干渉縞を受光手段(例えば図13(a)に示
すような受光面が2分割された受光素子)8で受光する
ことにより、2分割受光面の出力差DIF(=A’−
B’)に基づきディスク6のデフォーカス量dを検出す
ることができ、検出されたデフォーカス量dに基づいて
フォーカスエラー信号Foを得て、フォーカスサーボを
施すことができる。
【0085】フォーカスエラー信号Foのみならず、ト
ラックエラー信号Trをも検知するには、フォーカス検
出法を用いつつ、受光手段8として図13(b)のように
受光面が4分割された受光素子(各受光面からの出力が
各々A,B,C,D)を用いればよい。こうすると、フ
ォーカスエラー信号Foは数23で求められ、またプッ
シュプル法を用いてトラックエラー信号Trは数24で
求められる。
【0086】
【数23】Fo=(A+B)−(C+D)
【0087】
【数24】Tr=(A+D)−(B+C)
【0088】なお、トラックを検出する必要のないとき
は4分割の受光素子でなく、図13(a)に示したような
2分割の受光素子(出力が各々A’,B’)で十分であ
り、このときは2つの受光素子の出力差A'−B’によ
りフォーカスエラーを検出できる。また、トラックをウ
ォブリング法で検出するときは同様に2つの受光素子の
出力差A'−B’でフォーカスエラーを検出し、2つの
受光素子の出力の総和A'+B’でトラックエラーを検
出することができる。
【0089】なお、上述の原理では、平行光路中に二重
回折格子7が挿入されており、従って、基本的には、反
射光の波面のフラット度を検出する構成のものとして説
明したが、この場合には、光ピックアップ装置を図14
に示すような構成のものにする必要がある。すなわち、
図14の構成では、光源201からの光をコリメートレ
ンズ202でコリメートしてビームスプリッタ203を
介して対物レンズ204に入射させ、対物レンズ204
で集光させてディスク206に照射し、ディスク206
からの反射光を対物レンズ204,ビームスプリッタ2
03を介して、平行光にして二重回折格子207に入射
させ二重回折格子207からの回折光間の干渉縞を受光
素子208に投影させており、従って、光源201〜コ
リメートレンズ202〜ビームスプリッタ203までの
光源光路と、ビームスプリッタ203〜二重回折格子2
07〜受光素子208までの検出光路とを、完全に別光
路に分類しなければならず、光ピックアップ装置を小型
化する上で、妨げとなる。
【0090】また、平行光路中に二重回折格子を挿入し
て、波面のフラット度を検出する構成の場合には、有限
系への適用はできない(考えていない)。
【0091】これに対し、本実施例では、図1に示すよ
うに、光束分離素子2〜カップリングレンズ3までの収
束光路(有限系では光束分離素子2〜対物レンズ5まで
の収束光路)の一部を光源光路,検出光路で共用し、さ
らには、この収束光路中に二重回折格子7を設置するこ
とによって光束分離手段2と受光素子8との間に二重回
折格子7が設けられている場合にも光束分離手段2から
受光手段8までの距離を小さくすることができるので
(光束分離手段2と受光素子8との間の間隔を小さくで
きるので)、光源光学系(光源1)と,検出光学系(回折手
段7,受光手段8)を光束分離手段2をも含めて、単一
のユニット(LD−PDユニット)として、1つのハウジ
ング10内にコンパクトに収容することができる。例え
ば、これらを1つのハウジング10内に封入(ハーメチ
ックシール)することができて、光ピックアップ装置の
小型化を図ることができる。
【0092】また、本実施例の光ピックアップ装置で
は、ディスク6からの反射光のみを二重回折格子7によ
って回折し、ディスク6への入射光,すなわち光源光
は、二重回折格子7によって回折されないので、図31
に示したホログラムピックアップに比べて、光利用効率
を著しく高めることができる。
【0093】ところで、本実施例では、収束光路中に回
折手段7を挿入しているので、フォーカスエラー信号F
oにはオフセットが生ずる。すなわち、収束光路中で
は、収束光の波面はフラットではなくある曲率を持って
いるので、このようなフラットでないある曲率をもつ収
束光が回折手段7に入射すると、得られるフォーカスエ
ラー信号Foは次式のような電気的オフセットαを持っ
てしまう。
【0094】
【数2】Fo=(A+B)−(C+D)+α
【0095】このような電気的オフセットαをキャンセ
ルするには、回折手段7を、光束分離素子2によって分
離された反射光の焦点面近傍に設置すれば良い。すなわ
ち、光束分離素子2によって分離された反射光の焦点面
近傍では、波面がフラットに近づくので、そこに回折手
段7を設置することにより、回折手段7にほぼ平行光が
入射する場合と同等の条件となり、オフセットを低減す
ることが可能となって、図14の光ピックアップ装置と
同様の原理で数23,数24に従い、フォーカスエラー
信号Fo,トラックエラー信号Trを検出することがで
きる。
【0096】また、二重回折格子7として、その第1の
回折格子7aまたは第2の回折格子7b、またはその両
者7a,7bが、収束光の波面を略フラットに変換する
波面変換機能を有するものを用いることによっても、フ
ォーカスエラー信号Foのオフセットαを低減すること
が可能となる。すなわち、図15に示すように、所定の
曲率をもつ収束光の波面を二重回折格子7により略フラ
ットなものに変換することにより、回折手段7にほぼ平
行光が入射する場合と同等の条件となり、オフセットα
を低減することが可能となる。
【0097】また、図16は本発明に係る光ピックアッ
プ装置の他の構成例を示す図である。図16の構成例で
は、Si基板20上に光源1が設置され(例えば形成さ
れ)、また、同じSi基板20上に受光手段(受光素子)
8および回折手段7(二重回折格子7a,7b)が形成さ
れている。ここで、受光素子8は、その受光面が基板2
0の上面21よりも低い位置となるように、基板20の
所定の深さの凹部22に配置(形成)されており、受光素
子8の受光面と回折手段7の回折格子面(回折格子7b
の面)とが接触しないように構成されている。なお、図
16の構成例では、光源光学系(光源1)と検出光学系
(受光手段8および回折手段7)とが、単一のユニット
(LD−PDユニット)として同一ハウジング16内に収
容されており、光源1からの光源光の出射方向と検出光
学系への反射光の入射方向とがほぼ平行なものとなって
いる。
【0098】図16の構成例においても、記録媒体から
の反射光を光源光と分離し、収束光の状態で検出光学系
(回折手段7,受光手段8)に導くようになっているの
で、図1の構成例と同様に、光ピックアップ装置の小型
化を図ることができるとともに、図31に示したホログ
ラムピックアップに比べて光利用効率を著しく高めるこ
とができる。さらに、図16の構成例では、光源1と受
光手段8とを同一基板20上に容易に形成することがで
き、また、受光手段8と回折手段7とを同じ基板20上
に設置することができるので、これら相互の位置関係を
一定に保つことができるとともに、回折格子(ホログラ
ム)を取り付ける部分を別途作らなくても良いので、ユ
ニットすなわちハウジングをよりコンパクトなものに小
型化,薄膜化することができる。
【0099】なお、図1あるいは図16の構成例におい
て、光束分離手段(マイクロプリズムやハーフミラーな
どの光束分離素子)2に無偏光の光束分離素子(マイクロ
プリズムやハーフミラーなど)を用いる場合には、光量
ロスが大きくなる。光量ロスを低減するためには、図1
7あるいは図18に示すように、λ/4板25を設置す
るとともに、図19に示すように、光束分離手段(光束
分離素子)2に偏光ビームスプリッタ(PBS)などの偏
光分離素子を用いるのが良い。
【0100】なお、図18のように対物レンズ5の直下
にλ/4板25が配置されるとピックアップを薄型化す
る上で支障となるが、図17のように偏向プリズム4よ
りも光源側にλ/4板25を設置することによってピッ
クアップの薄型化が可能となるので、薄膜化の点におい
ては、図18に比べて、図17の構成が好ましい。ま
た、図19に示す偏光ビームスプリッタでは、偏光ビー
ムスプリッタを構成する2つのプリズムP1,P2の境
界面に偏光分離膜26が形成されており、この偏光分離
膜26には、例えば、S偏光を100%反射し、P偏光
を100%透過する特性を有するものが用いられてい
る。
【0101】このような構成(例えば図17と図19と
を組み合わせた構成)では、光源1から出射された光束
を光束分離素子としての偏光分離素子2に対しS偏光入
射すると、偏光分離素子2上に形成された偏光分離膜2
6によって上記光束は反射されカップリングレンズ2に
より略平行光とされる。その後、λ/4板25を通過し
円偏光となり、偏向プリズム4により偏向され、対物レ
ンズ5によりディスク6の記録面に集光される。
【0102】そして、ディスク6の記録面から反射され
た反射光は、対物レンズ5,偏向プリズム4を介しλ/
4板25に入射し、λ/4板25において、入射光とは
偏光方向が90°異なる直線偏光(P偏光)に変換され、
ユニット内の偏光分離素子2に入射する。この際、反射
光はP偏光となっているので、偏光分離膜26を透過
し、回折手段7に入射する。その回折光を受光素子8で
検出し、フォーカスエラー信号やトラックエラー信号な
どのサーボ信号を得たり、情報信号を得ることができ
る。
【0103】このように、図17(あるいは図18),図
19の構成とすることで、光源光と反射光(検出光)とを
90°偏光させ、偏光分離素子2により光源光路と検出
光路とを分離することができるので、より完全な分離を
行なうことができて、光利用率をより一層向上させるこ
とができる。
【0104】なお、上述の例では、偏光分離膜26とし
て、S偏光を100%反射し、P偏光を100%透過す
る特性のものを用いたが、偏光分離膜26の特性を変
え、光源1から出射する光源光を多少透過する特性のも
のを用いることもできる。この場合には、例えば図1に
示すように、モニタ用受光素子9をさらに設け、モニタ
用受光素子9により光源1から出射される光の強度をモ
ニタすることができる。
【0105】また、上述の例では、偏光分離素子2とし
て、光源光を反射し、検出光を透過するものを用いた
が、これと反対に、光源光を透過し、検出光を反射する
ものを用いることもできる。但し、この場合には、光源
光学系(光源1)と検出光学系(回折手段7および受光手
段8)の位置関係を逆にする必要がある。
【0106】また、図19の例では、偏光分離素子(偏
光ビームスプリッタ)2はキューブ状のものであるが、
これを図20に示すように、2枚の平行平板30,31
と、2枚の平行平板の境界面に形成された偏光分離膜3
2とで構成することも可能である。偏光分離素子2を図
20に示すような2枚の平行平板30,31で構成する
場合には、コストをより低減することができる。
【0107】また、偏光分離素子2が方形状のものであ
る場合には、光源光の光路と検出光の光路とは略90°
の角度で分かれていまい、光源1と受光素子8とを同一
基板上に設置することが難かしい。そこで、図21に示
すように、偏光分離素子2として、平行平板33と三角
プリズム34とこれらの境界面に形成された偏光分離膜
35とで構成されたものを用いることもできる。この場
合には、検出光(記録(媒体6からの反射光)を光源光と
ほぼ平行な方向(同一方向)に分離し、光源1と受光素子
8とを同一基板上に、すなわち図16に示すように、容
易に設置することができる。
【0108】また、図22に示すように、偏光分離素子
2として、くさび型プリズム36と三角プリズム37と
これらの境界面に形成された偏光分離膜38とで構成さ
れたものを用いることもできる。この場合には、さら
に、光源光と検出光の分離距離を大きくし、光源1と受
光素子8とを同一基板上に配置する場合に光源1と受光
素子8との間の間隔を大きくとることが可能となる。
【0109】また、偏光分離素子2として、図23に示
すように、複屈折プリズムである1軸性結晶の単板39
を用いることもできる。この場合には、単一のプリズム
で光源光と検出光との偏光分離を行なうことにより、偏
光分離素子(偏光分離プリズム)2をも含めて、ユニット
(LD−PDユニット)全体をさらに小型化することが可
能となる。なお、複屈折プリズムとして、1軸性結晶の
かわりに、図24に示すような1軸性結晶の三角プリズ
ム40を用いても良い。この場合の光束分離の原理は、
図25に示すセナルモンプリズム(市販されている一般
のプリズム)41を対角線42で折り曲げた構成を考え
れば良い。
【0110】なお、ガラスプリズムを用いた偏光ビーム
スプリッタ(PBS)では偏光分離膜と入射光線の間に特
定の角度条件が満たさなければならず、現状では、45
°入射の単板PBSを作るのは困難である。このような
問題を回避するため、図26に示すように、図23の1
軸性結晶の単板39のかわりに、ウォーラストンプリズ
ム50を複屈折プリズムとして用いることができる。こ
の場合には、単一プリズムで偏光分離ができるととも
に、光源光と検出光の分離距離を大きくすることも可能
となる。
【0111】また、図27,図28,図29に示すよう
に、図19,図22,図26の偏光分離素子2の対物レ
ンズ側出射面にλ/4板25を接着して、一体プリズム
として構成しても良い。この場合には、部品が一体化さ
れるので、組付け工数を低減し、組付けの簡素化が可能
となる。
【0112】また、図30(a),(b)に示すように、光
束分離素子(偏光分離プリズム)2自体を例えばハウジン
グ16(光源光学系と検出光学系のLD−PDユニット)
の窓部材(またはシールド部材)として用いることもでき
る。なお、図30(a),(b)は、それぞれ平面図(上面
図),側面図であり、図30(a),(b)の例では、LD−
PDユニットの構成は図16と同様のものとなってい
る。
【0113】光束分離素子2をも含めてLD−PDユニ
ットを密閉する場合、一般のレーザダイオード(LD)ユ
ニットと同様の蓋で覆う構造を用いることもできるが、
この場合には、光源光(LD光)の出射窓52が必要とな
る。これに対し、図30(a),(b)の例では、窓52を
密閉するガラス平板のかわりに、プリズム自体を窓部材
(密閉部材)として用いており、これにより、蓋を別途に
設けずとも良く、部品を共通化して部品点数を削減する
ことが可能となる。
【0114】なお、本発明は、上述した実施例,構成例
に限定されず、各種の変形が可能である。例えば、光ピ
ックアップ装置をビーム整形プリズムを挿入した構成の
ものにしたり有限系などの構成にする場合にも、同様に
適用できる。
【0115】
【発明の効果】以上に説明したように、請求項1,請求
項2記載の発明によれば、該光ピックアップ装置には、
光源光学系からの光源光と記録媒体からの反射光とを分
離する光束分離手段が設けられ、また、検出光学系には
反射光を回折し、回折光間で干渉縞を生じさせる回折手
段と、該干渉縞が投影される受光手段とが設けられてお
り、光束分離手段は、記録媒体からの反射光を光源光と
分離し、収束光の状態で検出光学系に導くようになって
いるので、収束光路の一部を光源光路,検出光路で共用
し、光束分離手段と受光手段との間に回折手段が設けら
れる場合にも、光束分離手段から受光手段までの距離を
小さくすることができて、光源光学系と検出光学系との
ユニット化を図れ、光ピックアップ装置の小型化を図る
ことができるとともに、記録媒体からの反射光のみを回
折手段によって回折し、光源光はこの回折手段によって
回折されないので、従来のホログラムピックアップに比
べて、光利用効率を著しく高めることができる。
【0116】また、請求項3,請求項4記載の発明によ
れば、二重回折格子は、反射光の焦点面近傍の位置に設
置されるか、または、二重回折格子自体が収束光の波面
を略フラットな波面に変換する波面変換機能を有してい
るので、収束光路中に回折手段が配置されるときにも、
フォーカス信号のオフセットを低減できる。
【0117】また、請求項5記載の発明によれば、少な
くとも光源光学系と検出光学系とが、単一のユニットと
して同一のハウジング内に収容されているので、光ピッ
クアップ装置の小型化を図ることができる。
【0118】また、請求項6記載の発明によれば、回折
手段は、受光手段の基板またはそのホルダー上に設置さ
れているので、受光手段と回折手段との間の位置関係を
一定に保つことができる。
【0119】また、請求項7記載の発明によれば、光束
分離手段は、光源光と反射光とを偏光分離する偏光分離
素子であって、該偏光分離素子から記録媒体までの光路
中には、λ/4板が設置されているので、光源光と反射
光との分離を確実に行うことができ、光利用効率が高
く、かつ、雑音成分の少ない光ピックアップを実現でき
る。
【0120】また、請求項8記載の発明によれば、偏光
分離素子は、偏光分離膜を有するプリズムであるので、
偏光分離素子にガラス等の汎用部品が使用でき、部品コ
ストを下げることができる。
【0121】また、請求項9記載の発明によれば、プリ
ズムは、2枚の平行平板で構成されているか、または、
三角プリズムと平行平板により構成されているか、また
は、三角プリズムとくさび型プリズムにより構成されて
いるので、検出光を光源光とほぼ平行な方向(同一方向)
に分離し、光源と受光手段とを同一基板に設置すること
ができる。特に、平行平板を用いることによりプリズム
コストを低くでき、また、同一形状の平行平板を2枚用
いる場合には、さらに低コスト化が図れる。また、三角
プリズムを用いる場合には例えば後述のようなλ/4板
との一体化が容易となる。また、くさび型のプリズムを
用いる場合には、平行平板を用いる場合に比べて、光源
光と検出光との分離距離を大きくとることができる。
【0122】また、請求項10記載の発明によれば、偏
光分離素子に複屈折プリズムを用いることにより、単一
プリズムで偏光分離(すなわち光源光と検出光との光束
分離)が可能となる。さらに、複屈折材料によりなる単
板に垂直入射させるだけで偏光分離ができる。従って、
光束分離手段を単純な構成で実現でき、光ピックアップ
をよりコンパクト,小型のものにすることができる。
【0123】また、請求項11記載の発明によれば、複
屈折プリズムとして、互いに光学軸の異なる2個以上の
一軸性結晶よりなるプリズムを用いるので、同等の大き
さでも単一の複屈折プリズムにより、光源光と検出光と
の分離距離を大きくとれる。
【0124】また、請求項12記載の発明によれば、偏
光分離素子にはλ/4板が接着されて、一体プリズムと
して構成されているので、部品の一体化が図れ、光ピッ
クアップをより小型化,薄型化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光ピックアップ装置の一実施例の
構成図である。
【図2】二重回折格子を示す図である。
【図3】干渉縞の発生を説明するための図である。
【図4】干渉縞の発生を説明するための図である。
【図5】微小変位の測定方法を説明するための図であ
る。
【図6】微小変位の測定方法を説明するための図であ
る。
【図7】微小変位の測定方法を説明するための図であ
る。
【図8】被測定物のデフォーカス量の検出を説明するた
めの図である。
【図9】被測定物のデフォーカス量の検出を説明するた
めの図である。
【図10】被測定物のデフォーカス量の検出を説明する
ための図である。
【図11】デフォーカス量による干渉光の光量分布を示
す図である。
【図12】デフォーカス量の変化に応じた2つの受光素
子の出力差の変化を示す図である。
【図13】受光手段の構成例を示す図である。
【図14】光ピックアップ装置の構成例を示す図であ
る。
【図15】二重回折格子の波面変換機能を説明するため
の図である。
【図16】本発明に係る光ピックアップ装置の他の構成
例を示す図である。
【図17】本発明に係る光ピックアップ装置の構成例を
示す図である。
【図18】本発明に係る光ピックアップ装置の構成例を
示す図である。
【図19】本発明に係る光ピックアップ装置の構成例を
示す図である。
【図20】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図21】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図22】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図23】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図24】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図25】図24の偏光分離素子の光束分離の原理を説
明するための図である。
【図26】偏光分離素子の構成例を示す図である。
【図27】図19の偏光分離素子にλ/4板を接着し一
体プリズムとして構成した状態を示す図である。
【図28】図19の偏光分離素子にλ/4板を接着し一
体プリズムとして構成した状態を示す図である。
【図29】図19の偏光分離素子にλ/4板を接着し一
体プリズムとして構成した状態を示す図である。
【図30】光束分離素子自体をLD−PDユニットの窓
部材として用いた状態を示す図である。
【図31】従来のホログラムピックアップを示す図であ
る。
【符号の説明】
1 光源 2 光束分離素
子 3 カップリン
グレンズ 4 偏向プリズ
ム 5 対物レンズ 6 記録媒体 7 回折手段 7a,7b 回折格子 8 受光手段 10,16 ハウジング 20 Si基板 25 λ/4板 26,32,35,38 偏光分離膜 30,31,33 平行平板 34,37,40 三角プリズ
ム 36 くさび型プ
リズム 39 一軸性結晶
の単板 50 ウォーラス
トンプリズム

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源光学系と検出光学系とを備え、光源
    光学系からの光源光を記録媒体に照射し、記録媒体から
    の反射光を検出光学系で検出する光ピックアップ装置に
    おいて、該光ピックアップ装置には、前記光源光学系か
    らの光源光と前記記録媒体からの反射光とを分離する光
    束分離手段が設けられ、また、前記検出光学系には前記
    反射光を回折し、回折光間で干渉縞を生じさせる回折手
    段と、該干渉縞が投影される受光手段とが設けられてお
    り、前記光束分離手段は、前記記録媒体からの反射光を
    前記光源光と分離し、収束光の状態で前記検出光学系に
    導くようになっていることを特徴とする光ピックアップ
    装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記回折手段は、二重回折格子であって、前記反
    射光が光源光から分離された後の収束光路中の所定の位
    置に設置され、また、前記受光手段は、前記二重回折格
    子により生じた干渉縞に基づき前記記録媒体に関する所
    定の信号を検出するために、複数分割された受光面を有
    していることを特徴とする光ピックアップ装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記二重回折格子は、前記反射光の焦点面近傍の
    位置に設置されることを特徴とする光ピックアップ装
    置。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記二重回折格子は、収束光の波面を略フラット
    な波面に変換する波面変換機能を有していることを特徴
    とする光ピックアップ装置。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の光ピックアップ装置にお
    いて、少なくとも前記光源光学系と前記検出光学系と
    が、単一のユニットとして同一のハウジング内に収容さ
    れていることを特徴とする光ピックアップ装置。
  6. 【請求項6】 請求項1記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記回折手段は、前記受光手段の基板またはその
    ホルダー上に設置されていることを特徴とする光ピック
    アップ装置。
  7. 【請求項7】 請求項1記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記光束分離手段は、光源光と反射光とを偏光分
    離する偏光分離素子であって、該偏光分離素子から記録
    媒体までの光路中には、λ/4板が設置されていること
    を特徴とする光ピックアップ装置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記偏光分離素子は、偏光分離膜を有するプリズ
    ムであることを特徴とする光ピックアップ装置。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の光ピックアップ装置にお
    いて、前記プリズムは、2枚の平行平板で構成されてい
    るか、または、三角プリズムと平行平板により構成され
    ているか、または、三角プリズムとくさび型プリズムに
    より構成されていることを特徴とする光ピックアップ装
    置。
  10. 【請求項10】 請求項7記載の光ピックアップ装置に
    おいて、前記偏光分離素子には、複屈折プリズムを用い
    ることを特徴とする光ピックアップ装置。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の光ピックアップ装置
    において、前記複屈折プリズムとして、互いに光学軸の
    異なる2個以上の一軸性結晶よりなるプリズムを用いる
    ことを特徴とする光ピックアップ装置。
  12. 【請求項12】 請求項7記載の光ピックアップ装置に
    おいて、前記偏光分離素子にはλ/4板が接着されて、
    一体プリズムとして構成されていることを特徴とする光
    ピックアップ装置。
JP05326795A 1995-02-17 1995-02-17 光ピックアップ装置 Expired - Fee Related JP3220347B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05326795A JP3220347B2 (ja) 1995-02-17 1995-02-17 光ピックアップ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP05326795A JP3220347B2 (ja) 1995-02-17 1995-02-17 光ピックアップ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08221794A true JPH08221794A (ja) 1996-08-30
JP3220347B2 JP3220347B2 (ja) 2001-10-22

Family

ID=12937994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP05326795A Expired - Fee Related JP3220347B2 (ja) 1995-02-17 1995-02-17 光ピックアップ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3220347B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5249040A (en) * 1989-06-13 1993-09-28 Victor Company Of Japan, Ltd. Adaptive device for separating a luminance signal and a color signal
JP2001060334A (ja) * 1999-08-20 2001-03-06 Olympus Optical Co Ltd 光検出器およびこれを用いるコンフォーカル系用光学ユニット
JP2010122207A (ja) * 2008-10-24 2010-06-03 Canon Inc 波長ずれ測定装置、光源装置、干渉測定装置、露光装置及びデバイス製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5249040A (en) * 1989-06-13 1993-09-28 Victor Company Of Japan, Ltd. Adaptive device for separating a luminance signal and a color signal
JP2001060334A (ja) * 1999-08-20 2001-03-06 Olympus Optical Co Ltd 光検出器およびこれを用いるコンフォーカル系用光学ユニット
JP2010122207A (ja) * 2008-10-24 2010-06-03 Canon Inc 波長ずれ測定装置、光源装置、干渉測定装置、露光装置及びデバイス製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3220347B2 (ja) 2001-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3614746B2 (ja) 半導体レーザ装置および光ピックアップ装置
JP3220347B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP2626106B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP3108552B2 (ja) 光学ヘッド
JP3300536B2 (ja) 変位測定装置および光ピックアップ
KR950025650A (ko) 광픽업 시스템
JP4944026B2 (ja) 光ヘッド装置及び光情報処理装置
JP3415938B2 (ja) 変位測定装置および光ピックアップ
JP2660140B2 (ja) 光ヘッド装置
JP3489816B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP3303250B2 (ja) 変位測定装置および光ピックアップ
JP3031841B2 (ja) 光ピックアップ装置
JP4161439B2 (ja) 光ヘッド
JP2766348B2 (ja) 光学ヘッド
JP3439363B2 (ja) 光学ピックアップ装置
JP2551302B2 (ja) 光学式記録再生装置とその製造方法
JP2857245B2 (ja) 光ピックアップ装置
KR0181815B1 (ko) 듀얼 포커스 광 픽-업장치
JPH0750032A (ja) 光ヘッド装置及び光情報装置
JPH07153107A (ja) 光ヘッド
KR100211820B1 (ko) 광 픽업 장치
KR100200807B1 (ko) 초해상의 고밀도 광기록방법 및 이를 이용한 광픽업
JP3371305B2 (ja) 光ピックアップ
JP2502482B2 (ja) 光ヘッド装置
JPH11203707A (ja) 半導体集積発光装置および光学ピックアップ装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080810

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080810

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090810

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees