JPH08223694A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPH08223694A JPH08223694A JP7030716A JP3071695A JPH08223694A JP H08223694 A JPH08223694 A JP H08223694A JP 7030716 A JP7030716 A JP 7030716A JP 3071695 A JP3071695 A JP 3071695A JP H08223694 A JPH08223694 A JP H08223694A
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、剛性を高めることと電気機械結合係
数を高めることとを両立し得る圧電振動子を提供するこ
とを目的とする。 【構成】本発明は、複数の柱状の圧電体１が配列され、
隣り合う圧電体１間を充填層４で充填してなる圧電振動
子において、充填層４は硬質性高分子材料５，７と軟質
性高分子材料６とを積層したものであることを特徴とす
る。
数を高めることとを両立し得る圧電振動子を提供するこ
とを目的とする。 【構成】本発明は、複数の柱状の圧電体１が配列され、
隣り合う圧電体１間を充填層４で充填してなる圧電振動
子において、充填層４は硬質性高分子材料５，７と軟質
性高分子材料６とを積層したものであることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波診断装置や超音
波探傷装置のプローブ先端に装備される圧電振動子に関
する。
波探傷装置のプローブ先端に装備される圧電振動子に関
する。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子は、電気信号と機械的振動と
を可逆的に変換する圧電体を配列し、表裏面に共通電極
を貼着したものである。この圧電体の材料には、圧電セ
ラミックスや圧電結晶等が使用される。圧電振動子は電
気機械結合係数により性能評価がなされる。これは機械
的振動から電気信号、また電気信号から機械的振動への
変換効率を表すパラメータであり、超音波探触子の感度
を左右する重要な要素となっている。この電気機械結合
係数は、圧電体材料と、その形状によって決まる。
を可逆的に変換する圧電体を配列し、表裏面に共通電極
を貼着したものである。この圧電体の材料には、圧電セ
ラミックスや圧電結晶等が使用される。圧電振動子は電
気機械結合係数により性能評価がなされる。これは機械
的振動から電気信号、また電気信号から機械的振動への
変換効率を表すパラメータであり、超音波探触子の感度
を左右する重要な要素となっている。この電気機械結合
係数は、圧電体材料と、その形状によって決まる。
【０００３】図６は、従来の圧電振動子の構造を示す。
従来の圧電体では、同じ圧電材料を用いたとき、板状よ
りも、柱状の方が良好な電気機械結合係数を示す場合が
多い。このため圧電振動子を１枚板で形成するのではな
く、図６に示すように、複数の柱状の圧電体１をマトリ
クス状に配列し、その間を硬質性高分子材料の充填層２
で充填して全体として板状に形成し、例えば１列毎に共
通電極で電気的に結合することで、１列毎にあたかも１
つの圧電体として動作するいわゆる複合型の圧電体が開
発されている。
従来の圧電体では、同じ圧電材料を用いたとき、板状よ
りも、柱状の方が良好な電気機械結合係数を示す場合が
多い。このため圧電振動子を１枚板で形成するのではな
く、図６に示すように、複数の柱状の圧電体１をマトリ
クス状に配列し、その間を硬質性高分子材料の充填層２
で充填して全体として板状に形成し、例えば１列毎に共
通電極で電気的に結合することで、１列毎にあたかも１
つの圧電体として動作するいわゆる複合型の圧電体が開
発されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した複合型の圧電
振動子は、理論上では、柱状の圧電体１が持つ電気機械
結合係数を実現する。しかし、実際には柱状の圧電体間
に充填する硬質性高分子材料の充填層２の影響で機械的
運動が妨げられるので、電気機械結合係数は柱状の圧電
体１が持つ電気機械結合係数より実質的に小さくなって
しまう。例えば、１つの圧電体を１枚板で形成した場
合、その電気機械結合係数が５０％程度の圧電材料があ
る。同じ材料で柱状に形成した圧電体１では単体で、７
５％程度の電気機械結合係数を示す。この柱状の圧電体
１を集合させた複合型の圧電振動子は、ショアーＤで６
０程度の硬度の硬質性高分子材料を用いると６０％程度
の電気機械結合係数を示すが、ショアーＡで４０程度の
柔軟な軟質性高分子材料を用いると７０％以上の電気機
械結合係数を示す。したがって、柔軟な軟質性高分子材
料で充填層を複合型圧電振動子を構成すれば高い電気機
械結合係数が得られるが、複合型圧電振動子全体の剛性
が低くなって湾曲等による変形の可能性が高くなり、取
扱いが難しくなるばかりか、湾曲により電極が剥離して
しまう可能性が生じる。本発明の目的は、剛性を高める
ことと電気機械結合係数を高めることとを両立し得る圧
電振動子を提供することを目的とする。
振動子は、理論上では、柱状の圧電体１が持つ電気機械
結合係数を実現する。しかし、実際には柱状の圧電体間
に充填する硬質性高分子材料の充填層２の影響で機械的
運動が妨げられるので、電気機械結合係数は柱状の圧電
体１が持つ電気機械結合係数より実質的に小さくなって
しまう。例えば、１つの圧電体を１枚板で形成した場
合、その電気機械結合係数が５０％程度の圧電材料があ
る。同じ材料で柱状に形成した圧電体１では単体で、７
５％程度の電気機械結合係数を示す。この柱状の圧電体
１を集合させた複合型の圧電振動子は、ショアーＤで６
０程度の硬度の硬質性高分子材料を用いると６０％程度
の電気機械結合係数を示すが、ショアーＡで４０程度の
柔軟な軟質性高分子材料を用いると７０％以上の電気機
械結合係数を示す。したがって、柔軟な軟質性高分子材
料で充填層を複合型圧電振動子を構成すれば高い電気機
械結合係数が得られるが、複合型圧電振動子全体の剛性
が低くなって湾曲等による変形の可能性が高くなり、取
扱いが難しくなるばかりか、湾曲により電極が剥離して
しまう可能性が生じる。本発明の目的は、剛性を高める
ことと電気機械結合係数を高めることとを両立し得る圧
電振動子を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の柱状の
圧電体が配列され、隣り合う前記圧電体間を充填層で充
填してなる圧電振動子において、前記充填層は硬質性高
分子材料と軟質性高分子材料とを積層したものであるこ
とを特徴とする。
圧電体が配列され、隣り合う前記圧電体間を充填層で充
填してなる圧電振動子において、前記充填層は硬質性高
分子材料と軟質性高分子材料とを積層したものであるこ
とを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、接着層が硬質性高分子材料と
軟質性高分子材料との積層構造であることから、剛性を
高めることと、電気機械結合係数を高めることとを両立
できる。
軟質性高分子材料との積層構造であることから、剛性を
高めることと、電気機械結合係数を高めることとを両立
できる。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明による圧電振動
子の好ましい実施例を説明する。圧電振動子とは、超音
波診断装置の超音波プローブ、超音波結石破砕装置や超
音波温熱治療装置の治療波発生源（超音波プローブ）の
先端に装備され、電気信号と機械的振動とを可逆的に変
換するためのものである。
子の好ましい実施例を説明する。圧電振動子とは、超音
波診断装置の超音波プローブ、超音波結石破砕装置や超
音波温熱治療装置の治療波発生源（超音波プローブ）の
先端に装備され、電気信号と機械的振動とを可逆的に変
換するためのものである。
【０００８】図１は第１実施例に係る１次元アレイ型の
圧電振動子の構造を示す。同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ´断面図である。なお、同
図（ａ）は電極、音響整合層及びバッキング材を取り外
した状態で示し、同図（ｂ）は音響整合層１１及びバッ
キング材１２を含めた超音波プローブに装備される状態
で示している。
圧電振動子の構造を示す。同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ´断面図である。なお、同
図（ａ）は電極、音響整合層及びバッキング材を取り外
した状態で示し、同図（ｂ）は音響整合層１１及びバッ
キング材１２を含めた超音波プローブに装備される状態
で示している。
【０００９】本実施例に係る圧電振動子１０は、圧電セ
ラミックス等の圧電材料からなる複数の柱状の圧電体１
がマトリクス状に配列される。柱状とは、その厚みが幅
より大きい断面矩形の棒体をいう。なお、図２の上面の
面積に比べて縦より長ければ、その断面形状が矩形でな
くても、多角形、円形、楕円等の任意の形状であっても
よい。隣り合う圧電体１間は充填層４で充填され、全体
として１部材（１個の圧電振動子）に形成される。近傍
の所定数、例えば１列分の１×６個の圧電体１毎に、１
つの共通電極３で共通接続される。共通電極３で共通接
続された１×６個の圧電体１は、いわゆる１つの複合型
圧電体を構成し、１つのチャンネルに相当する。
ラミックス等の圧電材料からなる複数の柱状の圧電体１
がマトリクス状に配列される。柱状とは、その厚みが幅
より大きい断面矩形の棒体をいう。なお、図２の上面の
面積に比べて縦より長ければ、その断面形状が矩形でな
くても、多角形、円形、楕円等の任意の形状であっても
よい。隣り合う圧電体１間は充填層４で充填され、全体
として１部材（１個の圧電振動子）に形成される。近傍
の所定数、例えば１列分の１×６個の圧電体１毎に、１
つの共通電極３で共通接続される。共通電極３で共通接
続された１×６個の圧電体１は、いわゆる１つの複合型
圧電体を構成し、１つのチャンネルに相当する。
【００１０】充填層４は、柱状の圧電体１の表面から裏
面に渡って形成される。充填層４は、圧電振動子の表面
を硬く、圧電体１の中央付近を柔軟にするため、軟質性
高分子材料６が硬質性高分子材料５と７とで挟み込まれ
た３層の積層構造に形成される。
面に渡って形成される。充填層４は、圧電振動子の表面
を硬く、圧電体１の中央付近を柔軟にするため、軟質性
高分子材料６が硬質性高分子材料５と７とで挟み込まれ
た３層の積層構造に形成される。
【００１１】硬質性高分子材料５，７としては、圧電振
動子１０を片持ち支持した場合、圧電振動子１０が自重
で湾曲等変形しないで板状形状を維持できるように、常
温（硬化時）でショアーＤ５０以上の硬度を有する例え
ばエポキシ材料等の充填材料が用いられる。軟質性高分
子材料６としては、圧電体１の機械的振動の妨害を軽減
するように、常温（硬化時）でショアーＡ４０以下の硬
度を有する例えばエポキシ材料やウレタン材料の等の充
填材料が用いられるのが好ましい。さらに、加工の容易
さを考慮して、硬質性高分子材料５，７としては、常温
で硬質性を示し、高温で柔軟性を示す可塑性の材料が用
いられる。具体的には、硬質性高分子材料５，７として
は、ガラス転移温度が摂氏８０度程度の樹脂である。こ
の樹脂を用いることで、８０度以上では柔軟性があるた
め、曲率を持たせる等の形状加工が容易に行え、常温で
必要な硬度を得て圧電振動子１０を維持するに十分な剛
性を獲得できる。
動子１０を片持ち支持した場合、圧電振動子１０が自重
で湾曲等変形しないで板状形状を維持できるように、常
温（硬化時）でショアーＤ５０以上の硬度を有する例え
ばエポキシ材料等の充填材料が用いられる。軟質性高分
子材料６としては、圧電体１の機械的振動の妨害を軽減
するように、常温（硬化時）でショアーＡ４０以下の硬
度を有する例えばエポキシ材料やウレタン材料の等の充
填材料が用いられるのが好ましい。さらに、加工の容易
さを考慮して、硬質性高分子材料５，７としては、常温
で硬質性を示し、高温で柔軟性を示す可塑性の材料が用
いられる。具体的には、硬質性高分子材料５，７として
は、ガラス転移温度が摂氏８０度程度の樹脂である。こ
の樹脂を用いることで、８０度以上では柔軟性があるた
め、曲率を持たせる等の形状加工が容易に行え、常温で
必要な硬度を得て圧電振動子１０を維持するに十分な剛
性を獲得できる。
【００１２】ここで、圧電振動子１０の電気機械結合係
数を高めるという観点からは、硬質性高分子材料５と７
の合計厚を薄くして、軟質性高分子材料６をの厚みを大
きくすることが好ましい。一方、圧電振動子１０の剛性
を高めるという観点からは、硬質性高分子材料５と７の
合計厚を大きくして、軟質性高分子材料６の厚みを薄く
することが好ましい。このように剛性と電気機械結合係
数とは互いに受入れない性質を有している。硬質性高分
子材料５，７としてショアーＤ５０の材料を、また軟質
性高分子材料６としてショアーＡ４０の材料をそれぞれ
用いた場合において、圧電振動子１０としての板状形状
を保てる程度の剛性を得るためには、硬質性高分子材料
５，７それぞれの厚みを、圧電体１の厚み（充填層４の
全体厚と同じ）Ｄに対して、Ｄ／３又はＤ／３未満、つ
まり硬質性高分子材料５，７の合計厚を、２・Ｄ／３又
は２・Ｄ／３未満で形成し、残りのＤ／３又はＤ／３超
を軟質性高分子材料６で形成する。
数を高めるという観点からは、硬質性高分子材料５と７
の合計厚を薄くして、軟質性高分子材料６をの厚みを大
きくすることが好ましい。一方、圧電振動子１０の剛性
を高めるという観点からは、硬質性高分子材料５と７の
合計厚を大きくして、軟質性高分子材料６の厚みを薄く
することが好ましい。このように剛性と電気機械結合係
数とは互いに受入れない性質を有している。硬質性高分
子材料５，７としてショアーＤ５０の材料を、また軟質
性高分子材料６としてショアーＡ４０の材料をそれぞれ
用いた場合において、圧電振動子１０としての板状形状
を保てる程度の剛性を得るためには、硬質性高分子材料
５，７それぞれの厚みを、圧電体１の厚み（充填層４の
全体厚と同じ）Ｄに対して、Ｄ／３又はＤ／３未満、つ
まり硬質性高分子材料５，７の合計厚を、２・Ｄ／３又
は２・Ｄ／３未満で形成し、残りのＤ／３又はＤ／３超
を軟質性高分子材料６で形成する。
【００１３】このような構造により次のような実験結果
が得られた。ここでは、圧電体１として、圧電セラミッ
クスを使用して計測した。圧電セラミックスでは、単体
の板状であれば、電気機械結合係数（Ｋｔ）が５１％を
示し、柱状の単体であれば電気機械結合係数（Ｋ３３）
が７５％を示す。この柱状の圧電セラミックスを使って
図６に示した従来の圧電振動子を構成した場合、圧電振
動子としての電気機械結合係数は６０％程度を示す。こ
れに対して、本実施例の圧電振動子１０では、７０％以
上の電気機械結合係数が得られる。
が得られた。ここでは、圧電体１として、圧電セラミッ
クスを使用して計測した。圧電セラミックスでは、単体
の板状であれば、電気機械結合係数（Ｋｔ）が５１％を
示し、柱状の単体であれば電気機械結合係数（Ｋ３３）
が７５％を示す。この柱状の圧電セラミックスを使って
図６に示した従来の圧電振動子を構成した場合、圧電振
動子としての電気機械結合係数は６０％程度を示す。こ
れに対して、本実施例の圧電振動子１０では、７０％以
上の電気機械結合係数が得られる。
【００１４】このように本実施例によれば、隣り合う圧
電体１間の充填層４を硬質性高分子材料５，７と軟質性
高分子材料６とで積層構造をとることにより、圧電振動
子１０を片持ち支持した場合でも圧電振動子１０が自重
で湾曲等変形しないで板状形状を維持できる程度の剛性
を有し、且つ良好な電気機械結合係数が得られる。
電体１間の充填層４を硬質性高分子材料５，７と軟質性
高分子材料６とで積層構造をとることにより、圧電振動
子１０を片持ち支持した場合でも圧電振動子１０が自重
で湾曲等変形しないで板状形状を維持できる程度の剛性
を有し、且つ良好な電気機械結合係数が得られる。
【００１５】次に第２実施例について説明する。図３に
第２実施例に係るに圧電振動子の斜視構造を示す。図４
（ａ）に図３の４Ａ−４Ａ´の断面図を示し、同図
（ｂ）に図３の４Ｂ−４Ｂ´の断面図を示す。図１と同
じ部分には同符号が付されている。
第２実施例に係るに圧電振動子の斜視構造を示す。図４
（ａ）に図３の４Ａ−４Ａ´の断面図を示し、同図
（ｂ）に図３の４Ｂ−４Ｂ´の断面図を示す。図１と同
じ部分には同符号が付されている。
【００１６】本実施例でも、第１実施例と同様に圧電体
１はマトリクス状に配列される。第１方向（例えば行方
向、図３では紙面左右方向）に沿って隣り合う圧電体１
間を充填する第１の充填層８と、第１方向と交差（直
交）する第２の方向（例えば列方向）に沿って隣り合う
圧電体１間を充填する第２の充填層９とはそれぞれ、軟
質性高分子材料６と硬質性高分子材料７の２層構造、硬
質性高分子材料５と軟質性高分子材料６の２層構造に形
成される。
１はマトリクス状に配列される。第１方向（例えば行方
向、図３では紙面左右方向）に沿って隣り合う圧電体１
間を充填する第１の充填層８と、第１方向と交差（直
交）する第２の方向（例えば列方向）に沿って隣り合う
圧電体１間を充填する第２の充填層９とはそれぞれ、軟
質性高分子材料６と硬質性高分子材料７の２層構造、硬
質性高分子材料５と軟質性高分子材料６の２層構造に形
成される。
【００１７】第１の充填層８は、表面側から軟質性高分
子材料６と硬質性高分子材料７との順に積層される。硬
質性高分子材料７の厚みを、圧電体１の厚み（充填層４
の全体厚と同じ）Ｄに対して、Ｄ／３又はＤ／３未満で
形成し、残りの２・Ｄ／３又は２・Ｄ／３超を軟質性高
分子材料６で形成する。
子材料６と硬質性高分子材料７との順に積層される。硬
質性高分子材料７の厚みを、圧電体１の厚み（充填層４
の全体厚と同じ）Ｄに対して、Ｄ／３又はＤ／３未満で
形成し、残りの２・Ｄ／３又は２・Ｄ／３超を軟質性高
分子材料６で形成する。
【００１８】第２の充填層９は、表面側から硬質性高分
子材料５と軟質性高分子材料６との順に積層される。硬
質性高分子材料５の厚みを、Ｄ／３又はＤ／３未満で形
成し、残りの２・Ｄ／３又は２・Ｄ／３超を軟質性高分
子材料６で形成する。
子材料５と軟質性高分子材料６との順に積層される。硬
質性高分子材料５の厚みを、Ｄ／３又はＤ／３未満で形
成し、残りの２・Ｄ／３又は２・Ｄ／３超を軟質性高分
子材料６で形成する。
【００１９】このように構成することで、第１方向に関
しては圧電体１と硬質性高分子材料７とが交互に配列さ
れ、両者で第１方向に沿ってライン状の高硬度層が成さ
れて、第１方向に関して必要な剛性が得られる。また第
２方向に関しては圧電体１と硬質性高分子材料５とが交
互に配列され、両者で第１方向に沿ってライン状の高硬
度層が成されて、第２方向に関して必要な剛性が得られ
る。したがって、全体として全方向に関する湾曲に対し
て必要な剛性が得られる。また、第１実施例より、軟質
性高分子材料６の割合が多くなるので、電気機械結合係
数を高めることができる。
しては圧電体１と硬質性高分子材料７とが交互に配列さ
れ、両者で第１方向に沿ってライン状の高硬度層が成さ
れて、第１方向に関して必要な剛性が得られる。また第
２方向に関しては圧電体１と硬質性高分子材料５とが交
互に配列され、両者で第１方向に沿ってライン状の高硬
度層が成されて、第２方向に関して必要な剛性が得られ
る。したがって、全体として全方向に関する湾曲に対し
て必要な剛性が得られる。また、第１実施例より、軟質
性高分子材料６の割合が多くなるので、電気機械結合係
数を高めることができる。
【００２０】本発明は、上述した実施例に限定されるこ
となく種々変形して実施可能である。上述した実施例の
圧電振動子は、その平面形状、電極形状、電極の配列を
変更することにより様々な用途に適用できる。例えば、
超音波診断装置のリニア型やセクタ型等に普及している
１次元アレイ型プローブは、全体として平面長方形にな
るように圧電体をマトリクス状に配列した圧電振動子の
表裏面に、平面矩形の複数の電極を１次元に配列するこ
とで完成する。将来的に実用化される２次元アレイ型プ
ローブは、全体として平面長方形になるように圧電体を
マトリクス状に配列した圧電振動子の表裏面に、平面矩
形の複数の電極を２次元にマトリクス状に配列すること
で完成する。また、図５に示すような超音波探傷装置に
用いられるようなアニュラー型の超音波発生源（超音波
プローブ）であれば、全体として略円形になるように圧
電体１をマトリクス状に配列した圧電振動子アレイの表
裏面に、同心円リング状の複数の電極３1 〜３5 を配列
することで完成する。
となく種々変形して実施可能である。上述した実施例の
圧電振動子は、その平面形状、電極形状、電極の配列を
変更することにより様々な用途に適用できる。例えば、
超音波診断装置のリニア型やセクタ型等に普及している
１次元アレイ型プローブは、全体として平面長方形にな
るように圧電体をマトリクス状に配列した圧電振動子の
表裏面に、平面矩形の複数の電極を１次元に配列するこ
とで完成する。将来的に実用化される２次元アレイ型プ
ローブは、全体として平面長方形になるように圧電体を
マトリクス状に配列した圧電振動子の表裏面に、平面矩
形の複数の電極を２次元にマトリクス状に配列すること
で完成する。また、図５に示すような超音波探傷装置に
用いられるようなアニュラー型の超音波発生源（超音波
プローブ）であれば、全体として略円形になるように圧
電体１をマトリクス状に配列した圧電振動子アレイの表
裏面に、同心円リング状の複数の電極３1 〜３5 を配列
することで完成する。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、複数の柱状の圧電体が配列さ
れ、隣り合う前記圧電体間を充填層で充填してなる圧電
振動子において、前記充填層は硬質性高分子材料と軟質
性高分子材料とを積層したものであることを特徴とする
ので、剛性を高めて、取扱いの容易さを確保し、しかも
電気機械結合係数を柱状の圧電体の電気機械結合係数に
近似させることができる。
れ、隣り合う前記圧電体間を充填層で充填してなる圧電
振動子において、前記充填層は硬質性高分子材料と軟質
性高分子材料とを積層したものであることを特徴とする
ので、剛性を高めて、取扱いの容易さを確保し、しかも
電気機械結合係数を柱状の圧電体の電気機械結合係数に
近似させることができる。
【図１】第１実施例に係る圧電振動子の構成図。
【図２】１チャンネル分の圧電振動子の構造図。
【図３】第２実施例に係るに１チャンネル分の圧電振動
子の構造図。
子の構造図。
【図４】図３の圧電振動子の断面図。
【図５】本発明による圧電振動子のアニュラー型への適
用例を示す図。
用例を示す図。
【図６】従来の１チャンネル分の圧電振動子の構造図。
１…圧電体、 ２，４，８，９…充填層、
３…電極、 ５，７…硬質性高分子材
料、６…軟質性高分子材料、 １０…圧電振動子、１
１…音響整合層、 １２…バッキング材。
３…電極、 ５，７…硬質性高分子材
料、６…軟質性高分子材料、 １０…圧電振動子、１
１…音響整合層、 １２…バッキング材。
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の柱状の圧電体が配列され、隣り合
う前記圧電体間を充填層で充填してなる圧電振動子にお
いて、 前記充填層は硬質性高分子材料と軟質性高分子材料とを
積層したものであることを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 前記前記硬質性高分子材料は常温で硬質
性を示し、高温で柔軟性を示すものであることを特徴と
する請求項１記載の圧電振動子。 - 【請求項３】 前記充填層は前記軟質性高分子材料が前
記硬質性高分子材料で挟み込まれた３層構造であること
を特徴とする請求項１記載の圧電振動子。 - 【請求項４】 前記複数の圧電体には共通電極が接続さ
れることを特徴とする請求項１記載の圧電振動子 - 【請求項５】 前記硬質性高分子材料は前記圧電体の厚
みの３分の１以下の厚みに形成され、前記軟質性高分子
材料は前記圧電体の厚みの３分の２以上の厚みに形成さ
れることを特徴とする請求項１記載の圧電振動子。 - 【請求項６】 前記圧電体は２次元状に配列され、第１
方向に沿って隣り合う前記圧電体間を埋める第１の充填
層が表面から前記軟質性高分子材料と前記硬質性高分子
材料の順に積層された２層構造をとり、前記第１方向に
交差する第２方向に沿って隣り合う前記圧電体間を埋め
る第２の充填層が表面から前記硬質性高分子材料と前記
軟質性高分子材料の順に積層された２層構造をとること
を特徴とする請求項１記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03071695A JP3469341B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03071695A JP3469341B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08223694A true JPH08223694A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3469341B2 JP3469341B2 (ja) | 2003-11-25 |
Family
ID=12311376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03071695A Expired - Fee Related JP3469341B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3469341B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503312A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| JP2012170760A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波探触子及び超音波診断装置 |
| JP2019122657A (ja) * | 2018-01-18 | 2019-07-25 | 有限会社フロントエンドテクノロジー | 超音波診断装置用３次元プローブ |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP03071695A patent/JP3469341B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503312A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| JP2012170760A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波探触子及び超音波診断装置 |
| JP2019122657A (ja) * | 2018-01-18 | 2019-07-25 | 有限会社フロントエンドテクノロジー | 超音波診断装置用３次元プローブ |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3469341B2 (ja) | 2003-11-25 |
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