JPH0822601A

JPH0822601A - 磁気記録再生用スタイラスとその製造方法並びに磁気記録再生装置

Info

Publication number: JPH0822601A
Application number: JP6152155A
Authority: JP
Inventors: Akio Kuroe; 章郎黒江
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-07-04
Filing date: 1994-07-04
Publication date: 1996-01-23

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は先端形状を極めて小さくした磁気記
録再生用スタイラス、その製造方法，このスタイラスを
用いて記録密度を大幅に向上せしめる新規な磁気記録再
生装置を提供するものである。【構成】図３に示すように、先端半径が約1〜2μmの
スタイラスの下地４６上にアルミ膜４７を形成し、陽極
酸化することによってアルマイト層４８を形成した後、
アルマイト層の空孔にCo,Fe,Ni等の針状の磁性磁性合金
４９を電着により形成した。その結果、多数の200A以下
の直径を持つ針状の磁性体４９を形成する。図３（Ａ）
の状態にイオンビームや電子線を照射することによっ
て，図３（Ｄ）に示したようにこの中の先端の１個だけ
を残して除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、記録密度を大幅に向上
させるスタイラスとその製造方法並びに記録再生装置に
関し、特に先端半径が極め小さな磁性体のスタイラスを
製造し、それを用いて、磁気録媒体に信号を記録し再生
する磁気記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録再生装置に用いられてい
るほとんどの磁気記録方式は、リング型磁気ヘッドと長
手記録用磁気記録媒体に対して信号を記録再生するもの
であった。以下、図４及び図５を参照して、従来の磁気
記録再生装置について説明する。

【０００３】図４は従来の磁気ヘッドと磁気テープとに
よる記録再生の原理を示す構成図である。

【０００４】図４において、３０はその上に信号を磁気
的に記録する磁気テープ、３１は信号を磁気記録した軌
跡、３３は磁気テープに記録する電気信号を通す巻線、
３２は巻線３３に流れる電流により磁化され、磁気テー
プ３０上に信号を磁気記録するフェライトなどのから成
る磁気ヘッド。３４は磁気記録すべき信号を発生する信
号源。３５はその信号を増幅する記録増幅器、３６は再
生信号を増幅する再生増幅器、３７、３８は端子、５１
は磁気テープ３０の面に対向し記録再生する磁気ヘッド
のギャップ部である。次に同じく図４を参照してその従
来例の動作について説明する。まず、記録時には信号源
３４からの信号が記録増幅器３５を通して増幅され、端
子３７を介して磁気ヘッド３２の巻線３３に印加され
る。これにより、磁気ヘッドコアには磁束が発生し、ギ
ャップ部５１に漏洩磁界を発生させる。そのとき、磁気
ヘッド３２と磁気テープ３０とは相対的に移動させるこ
とにより漏洩磁界が磁気テープの微小部分を横切ってそ
こを磁化し、その軌跡３１を作る。再生時には、同一軌
跡上を該ヘッドが走行するよう制御することにより、記
録された磁化から発生する磁束の変化を巻線で信号電圧
として再生する。次に該電圧を端子３８を介し、再生増
幅器３６へ通して増幅し、その後の信号処理回路に伝達
する。次に図５を参照して従来の磁気記録密度について
説明する。

【０００５】図５は、従来のＶＴＲのヘッドシリンダー
部の構成図である。図５において４２はビデオ信号を
記録する磁気テープ、３９は磁気テープ４２に対し一定
角度で巻き付き回転する回転シリンダ、４５は磁気テー
プ４２が回転シリンダ３９に対して相対的に動作しうる
よう磁気テープのガイドとなる固定シリンダ、４０，４
１は回転シリンダ３９及び固定シリンダ４５に対して磁
気テープ４２のガイドとなる走行ポスト、４３は回転シ
リンダ３９に設けられた磁気ヘッド用の窓、４４は磁気
ヘッドである。この様な構成において、磁気テープ４２
は、走行ポスト４０と４１との間で固定シリンダ４５と
回転シリンダ３９上に一定角度をもって巻き付き走行す
る。一方、上記回転シリンダ３９上に装着した磁気ヘッ
ド４４は、窓４３から所定量突き出された状態で、約１
８００回転のスピードで該磁気テープ４２上を走査す
る。この様に走査することによって、信号の軌跡が斜め
に形成され、磁気テープ単位長当りの記録密度を向上す
るようにしている。

【０００６】その上、現在の小型ＶＴＲにおける最短記
録波長は、０．４ミクロン，信号の軌跡幅は、２０ミク
ロンまで縮小され、１ビット当り磁気テープの４μm²の
面積を使用するまでになっている。

【０００７】また、導電性のスタイラスを使用して磁気
記録再生をすることが提案されている（特開平３−５２
１０２号公報，特開平３−５２１０２御公報）。それに
よると導電性スタイラスを導電性の磁気記録媒体の表面
に１０Ａまで近ずけると、トンネル電流が流れ始め、ま
た、該スタイラスは上記磁気記録媒体上に磁化部分が存
在すると、そこから発生する磁束を横切ることによっ
て，磁性体であるスタイラスが磁化され、磁気記録媒体
上の磁化より力を受けて変位する。そこで、磁気記録媒
体とスタイラスとの間隔を一定になるようトンネル電流
を一定に制御すると、その制御電圧が変化する。これを
検出することによって、磁気記録媒体上の信号磁化の強
さを検出できる。

【０００８】この方法によると記録密度を大幅に向上で
きるものである。従来のスタイラスの製造方法としては
次のようなものがあった。すなわち、タングステンワイ
ヤー等を電解エッチングすることによって先端を鋭く
し、コバルトCo,鉄Fe,ニッケルNi系の強磁性合金を鍍金
やスパッタによって形成することが試みられている。

【０００９】その他、フォトリソ技術を用いて窒素シリ
コンSiNによりピラミッド型の先端を形成し、その上に
強磁性体を形成する方法が試みられている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来技術
における記録密度の向上は、磁気テープとヘッドの改良
によって、極めて長期間の間に達成されてきた。即ち、
記録波長の短波長化とトラック幅方向の積である磁気記
録媒体の利用面積を小さくすることによりそれを追求す
ることは、ヘッド／テープ系のＳＮ比を改良しながら進
めなければならなかった。そのため、これ以上大幅な記
録密度の向上をき急激に求めることは非常に困難であ
る。それにもかかわらず、更に、記録密度の向上が求め
られている。

【００１１】そのため、これ以上、大幅な記録密度の増
加を達成するには、全く異なる新規な思想による記録再
生方式の提供が必要であった。そこで、上記のような導
電性スタイラスを使用して磁気記録で記録する方式に着
眼したが、それはまだ磁気記録再生装置にスタイラスを
装着して適切に利用しうる装置は開発されていなかっ
た。また、上記のようなタングステンワイヤーによるス
タイラスの先端半径がせいぜい５００Ａ程度までしか小
さくすることが出来ず、更に小さくして記録密度を向上
させるためには、新規なアイディアを加える必要があっ
た。従って、本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、磁気記録再生装置に使用して大幅に記録密度
を向上させる磁気記録再生用スタイラス及びその製造方
法を提供することを目的とする。

【００１２】また、更に上記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、従来のような磁気テープ及び磁気ヘッドの組
み合わせを用いずに、磁気記録再生用スタイラスを使用
して大幅に記録密度を増加させる磁気記録再生装置を提
供することを目的にする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明による磁気記録再
生用スタイラスは、上記目的を達成するため、スタイラ
ス支持体と、該支持体の少なくとも先端を形成するアル
ミと陽極酸化したアルマイト層と、該アルマイトのポア
部に形成した針状の磁性体とからなることを特徴とする
ものである。

【００１４】また、本発明による磁気記録再生用スタイ
ラスの製造方法は、上記の目的を達成するスタイラス支
持体と、該支持体の少なくとも先端をアルミAlにより構
成し，これを陽極酸化してアルミナ層を形成する。この
アルミナ層に生じたポア部に，針状の強磁性体を電着に
よって析出させた後，イオンビームや電子線等を用いて
先端に１本の針状磁性体を残して除去する各工程からな
ることを特徴とするものである。

【００１５】また，本発明による磁気記録再生装置は，
上記の目的を達成するため、磁気記録媒体との間を相対
的に移動して記録再生する前記スタイラスと、該スタイ
ラスを磁気記録媒体の面上を相対的に駆動する水平方向
の駆動手段と、前記磁気記録媒体に対する前記スタイラ
スの間隔を微調整する垂直方向駆動手段と、前記スタイ
ラスに対し記録信号を供給する記録信号供給手段と前記
磁気記録媒体に対する前記スタイラスの移動により発生
した電圧から記録した信号を再生する記録再生手段とか
ら成り、前記磁気記録媒体に記録された記録信号の前記
スタイラスに対して作用した力による変位を前記垂直方
向スタイラス駆動手段により制御して前記記録された磁
化を再生する電圧を誘起することを特徴とするものであ
る。

【００１６】更に、本発明による磁気記録再生装置は、
上記目的を達成するため、使用するスタイラスを、スタ
イラス支持体と、該支持体の少なくとも先端を形成する
アルミと陽極酸化したアルマイト層と、該アルマイトの
ポア部に形成した針状の磁性体とからなることを特徴と
するものである。

【００１７】更に、本発明による磁気記録再生装置は、
上記の目的を達成するため、スタイラス支持体と、該支
持体の少なくとも先端をアルミAlにより構成し，これを
陽極酸化してアルミナ層を形成する。このアルミナ層に
生じたポア部に，針状の強磁性体を電着によって析出さ
せた後，イオンビームや電子線等を用いて先端に１本の
針状磁性体を残して除去する各工程により製造すること
を特徴とするものである。

【００１８】更に、本発明による磁気記録再生装置は、
上記の目的を達成するため、記録信号供給手段は、一端
が前記スタイラスと密接し、他端が前記磁気記録媒体と
対面し、記録信号供給用巻線を配備した磁気コアを含
み、前記スタイラスと前記磁気記録媒体と前記磁気コア
とにより磁束閉回路を形成するようにしたことを特徴と
するものである。

【００１９】すなわち、本発明は、導電性の磁性体から
成り先端半径が極めて小さなスタイラスと表面が導電性
の磁気記録媒体のトンネル電流を上記スタイラスに作用
する力に応じて発生する変位を制御して、その制御信号
から再生信号を検出するよう構成したことを特徴とする
ものである。

【００２０】

【作用】本発明は以上のように構成し、スタイラス支持
体の少なくとも先端のアルミを陽極酸化したアルマイト
層のポア部に針状の磁性体を電着によって析出させたこ
とにより極めて微細な磁化を検出し得る磁気記録再生用
スタイラス及びその製造方法を提供できる。

【００２１】本発明は以上のように構成し、特に、スタ
イラスと磁気記録媒体間のトンネル電流を利用した磁気
記録再生方式を採用したことにより、極めて微細な磁化
を検出できるようにしたことにより、記録密度を大幅に
向上せしめる磁気記録再生装置を提供することができ
る。

【００２２】又、本発明は以上のように構成し、特に、
スタイラスと、それに密接に配備した磁気コアと、垂直
磁気記録媒体とにより閉磁路を形成するように構成した
ことにより、磁気記録媒体の磁化から受ける力を更に増
大したので、感度を更に向上することができる。

【００２３】

【実施例】以下、添付図面に基づき、本発明の一実施例
を詳細に説明する。

【００２４】まず、図１を参照して、本実施例による磁
気記録再生装置について説明する。図１は本発明の一実
施例による磁気記録再生装置を示す構成図である。図１
において、１は信号を磁気記録する垂直膜（コバルトー
クロム（Ｃｏ−Ｃｒ）などからなり、詳細は図２と共に
後述する）を有する垂直磁気記録媒体、２は鉄（Ｆ
ｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト
ニオブジルコニウム（ＣｏＮｂＺｒ）などのアモルファ
ス合金等の金属磁性体で構成され、垂直磁気記録媒体１
上に配備して磁気記録再生を行うスタイラス（詳細は後
述する）、３はスタイラスの再生動作で発生したトンネ
ル電流を増幅するトンネル電流増幅器である。

【００２５】更に、４は増幅したトンネル電流を対数ス
ケールに変換する関数変換器、５は関数変換器４の出力
により磁気記録媒体１とスタイラス２との間隔を微調整
する微調用圧電素子（ピエゾ素子）に加える制御量を決
定する制御信号を出力するサーボ回路、６は制御信号増
幅器である。９は垂直磁気記録媒体１に記録する信号を
出力する信号源、７は信号源９からの信号を増幅する増
幅器、８はスタイラス電圧をバイアスする電圧を発生す
る定電圧源、１０はサーボ回路５からの制御信号により
ピエゾ素子５２の両面に配備した一対の電極１２，１
２’に対しピエゾ素子５０を駆動するピエゾ素子駆動電
圧を出力するピエゾ駆動用電源である。

【００２６】引続き、図１において、１１及び１１’、
１３及び１３’はそれぞれピエゾ素子の端子２１，２０
からのパルス信号によりｘ及びｙ方向にピエゾ素子５０
の駆動を微調整する用ピエゾ素子５０に取り付けられた
各対の電極、１２，１２’はｚ方向に対するピエゾ素子
５０の微調用電極、１８はフェライトなどの磁性体から
なる磁気コア、１７はその巻線、１９は本実施例では真
鍮又は銅などの導電性の良い材料から成るスタイラスの
ホルダ、２２はスタイラス２に磁化された垂直磁気記録
媒体１上の軌跡である。

【００２７】次に、同じく図１を参照して、本実施例に
よる磁気記録再生装置の動作について詳細に説明する。
まず、垂直磁気記録媒体１上にスタイラス２を配備し、
定電圧電源８からホルダー１９を介して垂直磁気記録媒
体１とホルダー１９に差し込まれたスタイラス２との間
にバイアス電圧を印加する。次に、スタイラス２を垂直
膜（Ｃｏ−Ｃｒ）の表面に１０Åまで近ずけるとトンネ
ル電流が流れ始める。

【００２８】スタイラス２と垂直磁気記録媒体１間を常
に一定間隔を保つことにより、トンネル電流が一定にな
るよう制御しながら、スタイラス２により垂直磁気記録
媒体１を走査する。このようにして走査し、信号源９か
らの信号を増幅器７を通して増幅し、その信号を磁気コ
ア１８上に配備した巻線１７に印加することによって磁
性体のスタイラスの先端に磁界を発生せしめ、垂直磁気
記録媒体１上の垂直膜（Ｃｏ−Ｃｒ）を磁化することに
より信号を記録する。

【００２９】再生時には、磁性体であるスタイラスが、
記録した垂直膜の磁化部分より発生する磁界を横切るこ
とによって、磁気記録媒体の磁化の極性に応じて表面か
ら吸引力あるいは反発力を受ける。スタイラス２はその
吸引力を受けると、垂直磁気記録媒体１の表面に近ずこ
うとする。しかし、トンネル電流を一定にして、垂直磁
気記録媒体１とスタイラス２の間隔を一定に保つように
制御することによって、電圧電源８からの制御電圧が変
化する。

【００３０】つまり、本発明は、この制御電圧の変化を
検出することによって、磁化部分から発生する信号に対
応する磁界の強さを検出して信号を再生使用とするもの
である。すなわち、垂直磁気記録媒体１から発した磁束
をスタイラス２が横切ることにより、発生した吸引力あ
るいは反発力に対抗して、スタイラス２と垂直磁気記録
媒体１との間の相対位置を一定に保持することにより、
それに比例した制御信号電圧の変化を検出し、それをト
ンネル電流の変化として使用するようにした。トンネル
電流増幅器３によりそれを増幅し、トンネル電流は微少
な間隔の変化に対してきわめて敏感に変化するため、関
数変換器４によって、対数スケールに変換する。

【００３１】その後、サーボ回路５によって垂直磁気記
録媒体１とスタイラス２との間隔の微調用圧電素子（ピ
エゾ素子）５０に加える制御量を決定し電圧電源８のレ
ベルと比較して制御信号を発生する。この制御信号によ
って、ピエゾ駆動用電源１０からピエゾ素子５０の両面
に配備した一対の電極１２と１２´に対しピエゾ駆動電
圧を印加して、ピエゾ素子５０を垂直方向（ｚ軸方向）
に所定量駆動する。これにより、スタイラス２の位置を
矢印１４に示すような垂直方向（ｚ軸方向）に微調整し
て、垂直磁気記録媒体１とスタイラス２との間隔が一定
になるよう制御する。

【００３２】又、スタイラス２のｘ，ｙ方向に対する駆
動は、ピエゾ素子５０上にそれぞれ配備されたｘおよび
ｙ方向駆動微調用の各対の電極１１，１１´および１
３，１３´に対しそれぞれ端子２１，２０を介して印加
された所定間隔のパルス信号からなる駆動電圧によって
行われる。すなわち、駆動電圧をそれぞれ端子２１及び
２０に印加すると矢印１６，１５の方向に対するピエゾ
素子５０の微少量の駆動制御が行われる。又、図には示
していないが、例えば、粗動の制御は、ｘ，ｙ，ｚのピ
エゾ素子の自由端をともに固定したキャリッジをリニア
モータやステップモータとの組合せにより行わせるよう
にしてもよい。

【００３３】一方、前述の方法によって再生された制御
信号は、制御信号増幅器６により増幅して読みだされ
る。なお、上記のスタイラス２によって書き込まれた磁
化領域の寸法は、ｘおよびｙ方向駆動微調用のピエゾ素
子上のそれぞれ一対の電極１１，１１´および１３，１
３´の端子２１，２０に駆動電圧を印加することによっ
て矢印１６，１５の方向に変更して測定した。

【００３４】次に、図２を参照して本実施例によるスタ
イラスと垂直磁気記録媒体との間の作用について説明す
る。

【００３５】図２は本発明によるスタイラスと磁気記録
媒体との動作関係を示すその拡大部分断面図である。図
２において、磁気コア１８及び巻線１７は図１に示した
ものと同様である。垂直磁気記録媒体１も図１に示した
ものと同様であるが、更に詳細に説明すると、それは、
ガラスやアルミニウム（Ａｌ）などをポリッシングして
その表面を３０Å以下に仕上げた非磁性基板２４と、非
磁性基板２４の上にパーマロイなどからなる軟磁性膜２
３と、その上にコバルトークロム（Ｃｏ−Ｃｒ）などか
らなる垂直膜２５をスパッタリング又は蒸着によって形
成したものからなる。又、２６は非磁性のベリリウム銅
などからなりスタイラス２を保持するＶ字状の板ばね、
２７は板ばね２６を支持する非磁性且つ導電性の支持部
である。

【００３６】上記のように構成した垂直磁気記録媒体１
の表面に形成された垂直膜２５に対し、板ばね２６を介
して支持部２７に固定されたスタイラス２を接触させ
る。又、支持部２７はホルダ１９に形成された穴に差し
込まれ、スタイラス２をそこにセットする。

【００３７】以上の様の構成したことにより、スタイラ
スは信号に対応する磁界に応じてｚ軸方向に駆動しやす
く微細な信号を検出することができる。

【００３８】次に、同じく図２を参照して、スタイラス
２による記録動作について説明する。１８は前述のよう
に、フェライトなどから成る磁気コアであり、垂直磁気
記録媒体１に対して対面する面積を充分大きく構成し
た。また、磁気コア１８上に配備した巻線１７に対し
信号源９から信号電流を流すことにより、スタイラス２
の先端に強い磁界を発生せしめ、その部分の垂直膜（Ｃ
ｏ−Ｃｒ層）を磁化するものである。

【００３９】図２に示すように、該スタイラス２を図２
に左方の向かって走行するにつれ、磁化の軌跡２８が形
成される。記録に際して、発生した磁束２９は、パーマ
ロイなどの軟磁性膜２３、磁気コア１８、及び磁性体で
あるスタイラスとで形成された閉磁路を通過するように
したので、微少電流でも能率よく記録することができ
る。このとき、磁気コア１８の垂直磁気記録媒体１に対
面する面積はこの部分で磁化されることがない程充分広
くした。

【００４０】次に，図３の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び
（Ｄ）を参照して、本発明によるスタイラスにつき更に
詳細に説明する。図３は、本発明によるスタイラスの先
端形状を表す構成図であって、（Ａ）は針状の磁性体が
複数形成されているスタイラスを示す図、（Ｃ）は
（Ａ）の先端を拡大した状態を示す図、（Ｂ）は針状の
磁性体を１本のみ残した状態を示す図、（Ｄ）は（Ｂ）
の先端を拡大した状態を示す図である。

【００４１】図３の（Ａ）及び（Ｂ）において、４６は
タングステン（Ｗ）などの金属材料や窒化シリコンなど
から成る先端半径が約１−２μmのスタイラスの下地又
は支持体、４７はスタイラスの先端にスパッタあるいは
鍍金などによって形成されたアルミAlからなるアルミ薄
膜、４８は前記アルミ薄膜を陽極酸化することのよって
形成したアルマイト層、４９はアルマイト層のポア部に
電着によって析出させた針状の強磁性体例えば鉄Fe,コ
バルトCo、ニッケルNiなどの磁性合金である。

【００４２】すなわち、例えば窒化シリコンの支持体上
にスパッタによって２μmのアルミ層を形成し、水酸化
ナトリウム溶液中で短時間アルカリエッチングした後、
硝酸で溶液で中和し、その後、蓚酸水溶液中で陽極酸化
した。この様にしてアルミ薄膜４７の表面層として規則
的な６角柱セル構造を持つ１．５μmのアルミナ層Al₂O₃
４８を形成した。次に（Ｃ）に示すように６角柱セル
構造の中心に生じたポア中に、硫酸第１鉄アンモニウム
水溶液とほう酸水溶液の混合水溶液中で鉄を電解を加え
て析出させ（これを電着と呼ぶ）、長さ１μm、直径２
００Ａの針状強磁性体合金を形成した。

【００４３】次に、図３の（Ｃ）の状態に形成されたス
タイラスの先端にイオンビームや電子線を照射すること
によって，複数の強磁性体４９の中の先端の１個だけを
残して全て除去され、図３の（Ｄ）に示すような形状に
形成された。また、前記針状の強磁性体合金の長さは、
前記６角中構造のアルマイト層の厚みを変えることによ
って任意に選ぶことが出来る。また該磁性体の径は陽極
酸化膜であるアルマイトのポア部を燐酸などの酸性水溶
液によって拡大することにより変えることが出来る。従
って磁性体合金の寸法を変えることは、形状異方性を変
えることになり磁性体の抗磁力Hcを任意に変えることが
出来るものである。また、スタイラスの下地として，窒
化シリコンを用いたが、アルミ、タングステン、白金、
SiO2 など種々の材料を用いることが出来る。

【００４４】このようにして製作した針と従来のものを
用いて記録した結果を比較すると、従来のスタイラスで
記録した円状の記録パターンの直径が約５００Å−１μ
m であるのに対し、本発明によるそれは約２００Ａであ
った。これにより、本発明によるスタイラスは大幅に記
録密度を向上することができるということが分かった。

【００４５】従来のスタイラスによる記録密度は１ビッ
ト当り４μm²の使用面積に対して、本発明によるスタイ
ラスのそれは１０^-6−１０^-4μm²であり、これは、従来
の記録密度の４〜６桁分に相当する記録密度の向上を図
ることができる。

【００４６】

【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、スタイラス支持体の少なくとも先端のアルミを陽極
酸化したアルマイト層のポア部に針状の磁性体を電着に
よって析出させたことにより極めて微細な磁化を検出し
得る磁気記録再生用スタイラス及びその製造方法を提供
することができる。

【００４７】更に、本発明は、極めて感度のよいスタイ
ラスと磁気記録媒体間のトンネル電流を利用した磁気記
録再生方式を利用したことにより、極めて微細な磁化を
検出することができ、従来のものと比較して約４〜６桁
のように、大幅に記録密度を向上させうる磁気記録再生
装置を提供することができる。

【００４８】又、本発明は、スタイラスと、それに密接
に配備した磁気コアと、垂直磁気記録媒体とにより閉磁
路を形成するように構成したことにより、磁気記録媒体
の磁化から受ける力を更に増大したので、感度を更に向
上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による磁気記録再生装置を示
す構成図

【図２】本発明のスタイラスと磁気記録媒体との動作状
態を示すその拡大部分断面図

【図３】（Ａ）は針状の磁性体が複数形成されているス
タイラスを示す図（Ｂ）は針状の磁性体を１本のみ残した状態を示す図（Ｃ）は針状の磁性体が複数形成されているスタイラス
先端を示す拡大図（Ｄ）は針状の磁性体を１本のみ残したスタイラス先端
の状態を示す拡大図

【図４】従来の磁気ヘッドとテープによる記録再生原理
を示す構成図

【図５】従来のＶＴＲのヘッドシリンダ部の構成図

【符号の説明】

１垂直磁気記録媒体２スタイラス３トンネル電流増幅器４関数変換器５サーボ回路６制御信号増幅器７増幅器８定電圧電源９信号源１０ピエゾ駆動用電源１１，１１´,１２，１２´，１３，１３´ 電極１４，１５，１６ピエゾ素子による移動方向１７巻線１８磁気コア１９ホルダー２０，２１，２２ピエゾ素子の端子２３軟磁性膜２４非磁性基板２５垂直膜２６板ばね２７支持部２８磁化の軌跡２９磁束３０磁気テ−プ３１軌跡３２磁気ヘッド３３巻線３４信号源３５記録増幅器３６再生増幅器３７，３８端子３９回転シリンダ４０，４０走行ポスト４２磁気テープ４３窓４４磁気ヘッド４５固定シリンダ４６スタイラスの下地４７アルミ膜４８アルマイト層４９針状の強磁性体５０ピエゾ素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スタイラスの支持体と、該支持体の少なく
とも先端に形成されたアルマイト層のポア部に析出せし
めた針状の磁性体とからなることを特徴とする磁気記録
再生用スタイラス。
【請求項２】磁性体の材料は少なくともFe,Co,Niの１つ
の元素を含んだことを特徴とする請求項１記載の磁気記
録再生用スタイラス。
【請求項３】スタイラス支持体の少なくとも先端をアル
ミにより形成し、該アルミの先端を陽極酸化することに
よって、該アルミの先端にポアを形成した後、該ポア中
に電着の手段により針状の磁性体を形成する各工程から
成る磁気記録再生用スタイラスの製造方法。
【請求項４】磁気記録再生用スタイラスの製造法は前記
スタイラスに形成された針状の磁性体をイオンビームま
たは電子線照射により１本のみを残して除去する工程を
含むことを特徴とする請求項１記載の磁気記録再生用ス
タイラスの製造方法。
【請求項５】磁気記録媒体と請求項１記載のスタイラス
の間を相対的に移動して記録再生するスタイラスと、前
記スタイラスを磁気記録媒体の面上を相対的に駆動する
水平方向の駆動手段と、前記磁気記録媒体に対する前記
スタイラスの間隔を微調整する垂直方向駆動手段と、前
記スタイラスに対し記録信号を供給する記録信号供給手
段と前記磁気記録媒体に対する前記スタイラスの移動に
より発生した電圧から記録した信号を再生する記録再生
手段とから成り、前記磁気記録媒体に記録された記録信
号の前記スタイラスに対して作用した力による変位を前
記垂直方向スタイラス駆動手段により制御して前記記録
された磁化を再生する電圧を誘起することを特徴とする
磁気記録再生装置。
【請求項６】スタイラスは請求項３記載の磁気記録再生
用スタイラスの製造方法により製造されたものであるこ
とを特徴とする請求項５記載の磁気記録再生装置。
【請求項７】記録信号供給手段は、一端がスタイラスと
密接し、他端が前記磁気記録媒体と対面し、記録信号供
給用巻線を配備した磁気コアを含み、前記スタイラスと
前記磁気記録媒体と前記磁気コアとにより磁束閉回路を
形成するようにしたことを特徴とする請求項５記載の磁
気記録再生装置。