JPH08226801A - 磁気記録媒体の突起検出方法 - Google Patents
磁気記録媒体の突起検出方法Info
- Publication number
- JPH08226801A JPH08226801A JP5379095A JP5379095A JPH08226801A JP H08226801 A JPH08226801 A JP H08226801A JP 5379095 A JP5379095 A JP 5379095A JP 5379095 A JP5379095 A JP 5379095A JP H08226801 A JPH08226801 A JP H08226801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- protrusions
- protrusion
- magnetoresistive head
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高い精度で磁気ディスクの表面に存在する突
起を検出することができるようにする。 【構成】 磁気ディスクの表面から所定距離に配設した
磁気抵抗ヘッドの出力に基づいて磁気ディスクの表面に
存在する突起を検出する。
起を検出することができるようにする。 【構成】 磁気ディスクの表面から所定距離に配設した
磁気抵抗ヘッドの出力に基づいて磁気ディスクの表面に
存在する突起を検出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気記録媒体である
磁気ディスクの表面に存在する突起を検出する磁気記録
媒体の突起検出方法に関するものである。
磁気ディスクの表面に存在する突起を検出する磁気記録
媒体の突起検出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスクの表面に、性能を改善する
ための凹凸を付けたり、スパッタプロセスによる磁性膜
の製造中に微小異物などが付着するので、磁気ディスク
の表面は、厳密な意味で平滑とは言えない。したがっ
て、磁気ディスクの凹凸や、付着した微小異物の中で記
録再生ヘッドの浮上高さよりも高いものは、磁気ディス
クを回転させると、記録再生ヘッドに衝突するので、記
録再生ヘッドを損傷させたり、磁気ディスクの表面に引
っかき傷を発生させる危険性がある。
ための凹凸を付けたり、スパッタプロセスによる磁性膜
の製造中に微小異物などが付着するので、磁気ディスク
の表面は、厳密な意味で平滑とは言えない。したがっ
て、磁気ディスクの凹凸や、付着した微小異物の中で記
録再生ヘッドの浮上高さよりも高いものは、磁気ディス
クを回転させると、記録再生ヘッドに衝突するので、記
録再生ヘッドを損傷させたり、磁気ディスクの表面に引
っかき傷を発生させる危険性がある。
【0003】そこで、実際に記録再生ヘッドを浮上させ
る高さよりも100オングストローム〜200オングス
トローム低く特殊な掃引ヘッドを浮上させて磁気ディス
クの表面を掃引し、掃引ヘッドの出力に基づいて磁気デ
ィスクの表面に微小な突起があるか否かを判定する掃引
検査を行っている。なお、掃引ヘッドはピエゾセンサま
たは音響センサを用いた構成とされ、各センサが突起に
衝突すると、各センサからの出力電圧に各センサが突起
に衝突した信号電圧が現れるので、信号電圧の有無によ
って磁気ディスクの表面に微小な突起があるか否かを、
すなわち磁気ディスクの良否を判定することができる。
る高さよりも100オングストローム〜200オングス
トローム低く特殊な掃引ヘッドを浮上させて磁気ディス
クの表面を掃引し、掃引ヘッドの出力に基づいて磁気デ
ィスクの表面に微小な突起があるか否かを判定する掃引
検査を行っている。なお、掃引ヘッドはピエゾセンサま
たは音響センサを用いた構成とされ、各センサが突起に
衝突すると、各センサからの出力電圧に各センサが突起
に衝突した信号電圧が現れるので、信号電圧の有無によ
って磁気ディスクの表面に微小な突起があるか否かを、
すなわち磁気ディスクの良否を判定することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のピエゾセンサを
用いた掃引ヘッドでは、微小なピエゾセンサの固定位置
のばらつき、ピエゾセンサを固定する接着力の劣化など
の原因により、同一の突起に衝突しても同一レベルの信
号電圧を得られない場合がある。また、音響センサを用
いた掃引ヘッドは、音響センサをスライダから離れた位
置に取り付けざるを得ないので、微弱信号を処理する煩
雑さがあるとともに、同一突起を再現性よく検出するこ
とができない場合がある。
用いた掃引ヘッドでは、微小なピエゾセンサの固定位置
のばらつき、ピエゾセンサを固定する接着力の劣化など
の原因により、同一の突起に衝突しても同一レベルの信
号電圧を得られない場合がある。また、音響センサを用
いた掃引ヘッドは、音響センサをスライダから離れた位
置に取り付けざるを得ないので、微弱信号を処理する煩
雑さがあるとともに、同一突起を再現性よく検出するこ
とができない場合がある。
【0005】このような磁気記録媒体の突起検出方法で
磁気ディスクの表面に突起があるか否かを検査すると、
許容範囲外の高さの突起を有した磁気ディスクが検査に
合格して製品に組み込まれることにより、製品の信頼性
を低下させるので、精度の高い磁気記録媒体の突起検出
方法が要望されているとともに、その突起検出方法の開
発が急務となっている。
磁気ディスクの表面に突起があるか否かを検査すると、
許容範囲外の高さの突起を有した磁気ディスクが検査に
合格して製品に組み込まれることにより、製品の信頼性
を低下させるので、精度の高い磁気記録媒体の突起検出
方法が要望されているとともに、その突起検出方法の開
発が急務となっている。
【0006】この発明は、上記したような不都合を解消
するとともに、要望に応えるためになされたもので、高
い精度で磁気ディスクの表面に存在する突起を検出する
ことのできる磁気記録媒体の突起検出方法を提供するも
のである。
するとともに、要望に応えるためになされたもので、高
い精度で磁気ディスクの表面に存在する突起を検出する
ことのできる磁気記録媒体の突起検出方法を提供するも
のである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる磁気記
録媒体の突起検出方法は、磁気ディスクの表面から所定
距離に配設した磁気抵抗ヘッドの出力に基づいて磁気デ
ィスクの表面に存在する突起を検出するものである。
録媒体の突起検出方法は、磁気ディスクの表面から所定
距離に配設した磁気抵抗ヘッドの出力に基づいて磁気デ
ィスクの表面に存在する突起を検出するものである。
【0008】
【作用】この発明における磁気抵抗ヘッドは、素子の電
気抵抗率が磁場の強さによって変化するとともに、電気
抵抗率が温度の変化によって大きく変化することが確認
されている。そこで、データを再生している磁気抵抗ヘ
ッドと磁気ディスクとの間に、例えば微小なごみなどが
巻き込まれて摩擦熱が発生すると、磁気抵抗ヘッドの出
力が大きく変化する(この現象は、サーマルアスペリテ
ィと呼ばれている。)。したがって、磁気抵抗ヘッドが
磁気ディスクの突起に衝突すると、突起と磁気抵抗ヘッ
ドとの間に発生した摩擦熱により、磁気抵抗ヘッドの読
み出し出力が変化し、磁気抵抗ヘッドが突起に衝突した
信号電圧となる。
気抵抗率が磁場の強さによって変化するとともに、電気
抵抗率が温度の変化によって大きく変化することが確認
されている。そこで、データを再生している磁気抵抗ヘ
ッドと磁気ディスクとの間に、例えば微小なごみなどが
巻き込まれて摩擦熱が発生すると、磁気抵抗ヘッドの出
力が大きく変化する(この現象は、サーマルアスペリテ
ィと呼ばれている。)。したがって、磁気抵抗ヘッドが
磁気ディスクの突起に衝突すると、突起と磁気抵抗ヘッ
ドとの間に発生した摩擦熱により、磁気抵抗ヘッドの読
み出し出力が変化し、磁気抵抗ヘッドが突起に衝突した
信号電圧となる。
【0009】
【実施例】以下、この発明の実施例を説明するが、ま
ず、突起を検出する原理について説明する。図1は磁気
抵抗ヘッドの出力信号を示す波形図である。この図1の
波形図は、磁気抵抗ヘッドの浮上量を2μインチとし、
データが記録されていない磁気ディスクを使用した場合
である。
ず、突起を検出する原理について説明する。図1は磁気
抵抗ヘッドの出力信号を示す波形図である。この図1の
波形図は、磁気抵抗ヘッドの浮上量を2μインチとし、
データが記録されていない磁気ディスクを使用した場合
である。
【0010】なお、高記録密度化に対応させるために記
録再生ヘッドの技術改良が重ねられており、薄膜タイプ
から磁気抵抗タイプへと変化しつつあるが、磁気抵抗ヘ
ッドは、再生特性が磁気ディスクの回転数に依存せず、
出力信号が大きく、S/N特性がよいので、小型化、高
記録密度化用ヘッドとして期待されている。
録再生ヘッドの技術改良が重ねられており、薄膜タイプ
から磁気抵抗タイプへと変化しつつあるが、磁気抵抗ヘ
ッドは、再生特性が磁気ディスクの回転数に依存せず、
出力信号が大きく、S/N特性がよいので、小型化、高
記録密度化用ヘッドとして期待されている。
【0011】図1から分かるように、磁気抵抗ヘッドの
出力信号に急激な変動が見られるが、この出力信号が変
動した部分に対応する磁気ディスクの部分を点検してみ
ると、磁性層での欠陥は見当たらず、高さが650オン
グストロームで、直径が約0.1μmの微小な突起が検
出された。なお、図1のように、磁気ディスクの表面に
存在する突起によって磁気抵抗ヘッドの出力信号が変化
するのは、先に説明したサーマルアスペリティによるも
のである。
出力信号に急激な変動が見られるが、この出力信号が変
動した部分に対応する磁気ディスクの部分を点検してみ
ると、磁性層での欠陥は見当たらず、高さが650オン
グストロームで、直径が約0.1μmの微小な突起が検
出された。なお、図1のように、磁気ディスクの表面に
存在する突起によって磁気抵抗ヘッドの出力信号が変化
するのは、先に説明したサーマルアスペリティによるも
のである。
【0012】そして、突起の場合で説明したが、突起
は、磁気ディスクに設けた凹凸によるものばかりでな
く、磁性膜の製造中に微小異物などが付着することによ
ってできた付着物によるものであっても、同様な現象を
引き起こし、どちらに起因して出力信号が変動したのか
判定することができない。しかし、不良な磁気ディスク
を選別するという目的に対しては、同一の結果となるの
で、支障がない。また、適正化した検査条件の下で掃引
検査をしたところ、磁気ディスクの突起に基づく出力信
号の再現性は、良好な状態で得られることが判明した。
は、磁気ディスクに設けた凹凸によるものばかりでな
く、磁性膜の製造中に微小異物などが付着することによ
ってできた付着物によるものであっても、同様な現象を
引き起こし、どちらに起因して出力信号が変動したのか
判定することができない。しかし、不良な磁気ディスク
を選別するという目的に対しては、同一の結果となるの
で、支障がない。また、適正化した検査条件の下で掃引
検査をしたところ、磁気ディスクの突起に基づく出力信
号の再現性は、良好な状態で得られることが判明した。
【0013】〈実施例1〉スライダに磁気抵抗ヘッドを
取り付け、磁気抵抗ヘッドのバイアス電流を14mAと
する。そして、半径方向に所定の間隔で2.2μインチ
の高さの突起を4つ有した検査磁気ディスクを用い、磁
気抵抗ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速におい
て、検出した突起数を比較例1とともに、表1に示す。
取り付け、磁気抵抗ヘッドのバイアス電流を14mAと
する。そして、半径方向に所定の間隔で2.2μインチ
の高さの突起を4つ有した検査磁気ディスクを用い、磁
気抵抗ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速におい
て、検出した突起数を比較例1とともに、表1に示す。
【0014】
【表1】
【0015】なお、実施例1の再現性は、数回の掃引検
査によって確認された。そして、比較例1は、実施例1
で使用した検査磁気ディスクを、ピエゾセンサを用いた
掃引ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速において、
突起をヒット(検出)した数であるが、実突起数に対し
てばらついていることが分かる。ここで、比較例1にお
いて検出された突起の位置は、半径と角度とから実施例
1で検出された突起の位置と同じであると判定できた。
査によって確認された。そして、比較例1は、実施例1
で使用した検査磁気ディスクを、ピエゾセンサを用いた
掃引ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速において、
突起をヒット(検出)した数であるが、実突起数に対し
てばらついていることが分かる。ここで、比較例1にお
いて検出された突起の位置は、半径と角度とから実施例
1で検出された突起の位置と同じであると判定できた。
【0016】〈実施例2〉スライダに磁気抵抗ヘッドを
取り付け、磁気抵抗ヘッドのバイアス電流を14mAと
する。そして、任意の2枚の検査磁気ディスクを用い、
磁気抵抗ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速におい
て、検出した突起数を比較例2とともに、表2に示す。
取り付け、磁気抵抗ヘッドのバイアス電流を14mAと
する。そして、任意の2枚の検査磁気ディスクを用い、
磁気抵抗ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速におい
て、検出した突起数を比較例2とともに、表2に示す。
【0017】
【表2】
【0018】なお、実施例2の再現性は、数回の掃引検
査によって確認された。そして、比較例2は、実施例2
で使用した検査磁気ディスクを、ピエゾセンサを用いた
掃引ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速において、
突起をヒット(検出)した数であるが、実突起数に対し
てばらついていることが分かる。ここで、比較例2にお
いて検出された突起の位置は、半径と角度とから実施例
2で検出された突起の位置と同じであると判定できた。
査によって確認された。そして、比較例2は、実施例2
で使用した検査磁気ディスクを、ピエゾセンサを用いた
掃引ヘッドの浮上量が2μインチとなる風速において、
突起をヒット(検出)した数であるが、実突起数に対し
てばらついていることが分かる。ここで、比較例2にお
いて検出された突起の位置は、半径と角度とから実施例
2で検出された突起の位置と同じであると判定できた。
【0019】上記した実施例1,2と、比較例1,2と
から明らかなように、磁気抵抗ヘッドのサーマルアスペ
リティは、磁気ディスクの突起を検出するのに有効であ
り、精度よく突起を検出できることが分かった。
から明らかなように、磁気抵抗ヘッドのサーマルアスペ
リティは、磁気ディスクの突起を検出するのに有効であ
り、精度よく突起を検出できることが分かった。
【0020】図2(a),(b)は磁気抵抗ヘッドの出
力信号を示す波形図である。なお、図2(a)は磁気デ
ィスクにデータが記録されている場合であり、図2
(b)は磁気ディスクにデータが記録されていない場合
である。図2(a),(b)の波形図から分かるよう
に、磁気ディスクにデータが記録されているか、否かに
かかわらず、突起の存在を検出することができる。
力信号を示す波形図である。なお、図2(a)は磁気デ
ィスクにデータが記録されている場合であり、図2
(b)は磁気ディスクにデータが記録されていない場合
である。図2(a),(b)の波形図から分かるよう
に、磁気ディスクにデータが記録されているか、否かに
かかわらず、突起の存在を検出することができる。
【0021】なお、図2(a),(b)の出力信号から
突起の存在を検出する場合は、一点鎖線で示すオフセッ
ト値を利用することにより、突起を容易に検出できるの
で、突起を検出した検出信号によって報知器などを作動
させることにより、検査した磁気ディスクが不良品であ
ることを報知することができる。
突起の存在を検出する場合は、一点鎖線で示すオフセッ
ト値を利用することにより、突起を容易に検出できるの
で、突起を検出した検出信号によって報知器などを作動
させることにより、検査した磁気ディスクが不良品であ
ることを報知することができる。
【0022】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、磁気
ディスクの表面に存在する突起を高い精度で検出するこ
とができる。したがって、製品としての磁気ディスクの
良否を精度よく判定することができるので、磁気ディス
クを組み込んだ製品の信頼性を向上させることができ
る。
ディスクの表面に存在する突起を高い精度で検出するこ
とができる。したがって、製品としての磁気ディスクの
良否を精度よく判定することができるので、磁気ディス
クを組み込んだ製品の信頼性を向上させることができ
る。
【図1】磁気抵抗ヘッドの出力信号を示す波形図であ
る。
る。
【図2】(a),(b)は磁気抵抗ヘッドの出力信号を
示す波形図である。
示す波形図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 磁気ディスクの表面から所定距離に配設
した磁気抵抗ヘッドの出力に基づいて前記磁気ディスク
の表面に存在する突起を検出する、 ことを特徴とする磁気記録媒体の突起検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5379095A JPH08226801A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 磁気記録媒体の突起検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5379095A JPH08226801A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 磁気記録媒体の突起検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08226801A true JPH08226801A (ja) | 1996-09-03 |
Family
ID=12952620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5379095A Pending JPH08226801A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 磁気記録媒体の突起検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08226801A (ja) |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP5379095A patent/JPH08226801A/ja active Pending
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