JPH08226901A - ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ビューファインダー用カラーフイルターの全
ての種類の欠陥検出ができ、且つ、良品と判定されたも
のを人手を介さず容器に移す手段を備えた、コンパクト
なビューファインダー用カラーフイルターの自動外観検
査装置を提供する。 【構成】 透過およびまたは反射照明手段を用いて、Ｘ
Ｙ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な保持板上のビ
ューファインダー用カラーフイルターを撮像し、撮像に
より得られた信号を画像処理手段により画像処理するこ
とにより、欠陥を検出する自動検査装置であって、ＸＹ
ステージを移動させることによって試料を視野に移動さ
せ、透明な保持板上のビューファインダー用カラーフイ
ルターを透過ないし反射照明手段を用いて観察する顕微
鏡等の観察手段と、透明な保持板上に複数載せられてい
るビューファインダー用カラーフイルターを容器に移す
移載手段と、ＸＹステージ、画像処理手段および移載手
段を関連づけて動作制御する制御手段とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの外観欠陥を自動検査する装置に関
し、特に、ビューファインダー用カラーフイルターの欠
陥の全種類を検出可能な自動検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダー用ーカラーフイルターについて
は、益々、微細化、量産が求められるようになってき
た。高精細化に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠
陥を検出することが要求されるようになってきており、
従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼での検査について
は、人による差や再現性に問題がある為、人手でない自
動化された検査方法が求められるようになってきた。量
産対応としても自動化された検査方法が求められるよう
になってきた。又、ビューファインダー用カラーフイル
ターにおいては、製品の表裏のほぼ全面が検査対象領域
である為、全種類の欠陥を対象にして検査することは難
しく、表裏の欠陥全てを一つの検査装置にて、できるだ
けコンパクトにした状態で欠陥検出することが望まれて
おり、その対応が求められていた。更に、ビューファイ
ンダー用カラーフイルターはサイズが小さく取扱が難し
いため、検査の際中、検査後に良品と判定されたものを
人手により出荷用容器等へ移載するときに、製品の破損
等が発生があり、その対応が求められていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの量産に対
応して、ビューファインダー用カラーフイルターの表裏
の全ての種類の欠陥検出を、コンパクトな自動外観検査
装置にて一度に行い、且つ、良品と判定されたものを人
手を介さずに出荷用容器等へ移載できることが求められ
ていた。本発明は、ビューファインダー用カラーフイル
ターの全ての種類の欠陥検出ができ、且つ、良品と判定
されたものを人手を介さず容器に移す手段を備えた、コ
ンパクトなビューファインダー用カラーフイルターの自
動外観検査装置を提供しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検査装置は、透過照明手
段およびまたは反射照明手段を用いて、ＸＹ駆動制御さ
れたＸＹステージ上の透明な保持板上のビューファイン
ダー用カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた
信号を画像処理手段により画像処理することにより、欠
陥を検出する自動検査装置であって、ＸＹステージを移
動させることによって試料を視野に移動させ、透明な保
持板上のビューファインダー用カラーフイルターを等価
ないし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等の観察手
段と、透明な保持板上に複数載せられているビューファ
インダー用カラーフイルターを容器に移す移載手段と、
ＸＹステージ、画像処理手段および移載手段を関連づけ
て動作制御する制御手段とを備えたことを特徴とするも
のである。そして、上記において、ビューファインダー
用カラーフイルターの着色面側には、ビューファインダ
ー用カラーフイルターに対向して、ＣＣＤ等の画素分割
素子からなる第一撮像手段と、該第一撮像手段の受像面
上にビューファインダー用カラーフイルターの像を結像
させる第一結像手段と、ビューファインダー用カラーフ
イルター面に垂直落射照明して、その正反射光像を第一
結像手段により第一撮像手段に結像させる第一照明手段
とを有し、ビューファインダー用カラーフイルターの非
着色面側には、ビューファインダー用カラーフイルター
に対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第二撮像
手段、該第二撮像手段の受像面上にビューファインダー
用カラーフイルターの像を結像させる第二結像手段と、
ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照
明して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像手
段に結像させる第二照明手段と、ビューファインダー用
カラーフイルターの非着色面側を反射暗視野照明し、散
乱光を第二撮像手段に結像させ、ビューファインダー用
カラーフイルターを透過暗視野照明し、その回折光ない
し散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明手段とを
有しており、且つ、画像処理手段が各撮像手段により、
撮像された画像信号を画像処理することを特徴とするも
のである。そしてまた、上記における第一照明手段が、
第一光源よりの光を第一撮像手段と第一結像手段との間
にある第一ハーフミラーを介して、第一結像手段により
ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照
明して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像
手段に結像させる照明手段であることを特徴とするもの
であり、上記における第二照明手段が、第二光源よりの
光を第二撮像手段と第二結像手段との間にある第二ハー
フミラーを介して、第二結像手段とよりビューファイン
ダー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その透
過光像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる
照明手段であることを特徴とするものであり、上記にお
ける第三照明手段が、リング型光源により、ビューファ
インダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗視野
照明し、ビューファインダー用カラーフイルターを透過
暗視野照明するものであることを特徴とするものであ
る。

【０００５】また、本発明のビューファインダー用カラ
ーフイルターの欠陥検査装置は、上記において、画像処
理手段により得られた試料の検査結果情報を保存するた
めの情報記録媒体を備えており、ＸＹステージ、画像処
理手段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手
段に制御されていることを特徴とするものである。そし
て、上記情報記録媒体の試料の検査結果情報に基づき、
制御手段が試料の欠陥と判定された箇所が観察手段の視
野に入るようにＸ、Ｙステージを制御することを特徴と
するものである。そしてまた、上記において、情報記録
媒体の試料の検査結果情報が、観察視野を観察した結果
に応じて変更されることを特徴とするものである。ま
た、上記移載手段が、ビューファインダー用カラーフイ
ルターを製造工程から搬出する際に用いる容器から透明
な保持板に移し載せるものであることを特徴とするもの
であり、上記移載手段が、画像処理手段により得られた
試料の検査結果情報ないし観察した結果に応じて変更さ
れた、記録媒体に保存してある検査結果情報にもとづい
て、所定の試料のみを保持板から出荷用容器に移し載せ
るように制御手段により制御されていることを特徴とす
るものである。

【０００６】上記本発明の自動検査装置においては、第
一照明手段、第二照明手段、及び第三照明手段にて第一
撮像手段に結像することにより着色面側の白欠陥、黒欠
陥の検出ができ、第三照明手段にて第二撮像手段に結像
することによりガラス面側の汚れ、キズ等の欠陥検出が
でき、結局、第一撮像手段、第二撮像手段から得られる
画像信号により、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの全種類の外観欠陥の検出ができる。尚、ここでは、
暗視野照明は照明光の光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しないもの、明視野照明は照明光の光軸が撮像手段
の受光部の光軸と一致したものとしている。第一照明手
段、第二照明手段はそれぞれ、反射明視野照明、透過明
視野照明となる。また、試料であるビューファインダー
用カラーフイルターの着色画素部の断面は、一般には図
８（ロ）に示すようになっており、試料の着色層側（着
色面側）を上にして透明な保持板に載せて検査を行う。

【０００７】又、透過明視野照明、反射明視野照明によ
って、ビューファインダー用カラーフイルターの白欠
陥、黒欠陥のいずれもが検出可能となるが、本発明にお
いては、更に、暗視野照明を併用している。透過暗視野
照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮像により得られ
た画像信号を処理することにより、明視野照明単独使用
による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感度を上げてい
る。透過暗視野光は、光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しない為、受光部への暗視野照明による光は、周期
性パターンまたは略周期性パターン部の開口部透過光は
受光部へ入射されない為、ほぼ回折光ないし散乱光のみ
が検出され、透過明視野の場合に比べＳ／Ｎが大とな
る。反射暗視野光についても、同様に、ほぼ散乱光のみ
が検出され、反射明視野の場合に比べＳ／Ｎが大とな
る。したがって、暗視野光を単独使用して撮像する場
合、明視野光を単独使用して撮像する場合に比べ、Ｓ／
Ｎが向上するのは言うまでもない。暗視野光と明視野光
とを同時に用いて撮像する場合も、明視野光単独使用の
場合に比べＳ／Ｎが向上する。尚、本発明において、ビ
ューファインダー用カラーフイルターの非着色面側を反
射暗視野照明する理由は、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルターを透明な保持板に載せた場合には裏面の
正反射照明像は得ることができないからであり、試料ビ
ューファインダー用カラーフイルターの側面を保持し、
非着色面側を正反射照明した場合には着色面の影響によ
り反射率が試料ビューファインダー用カラーフイルター
の部位によって異なるため、撮像を複数回に分ける必要
があるのに対し、反射暗視野照明にすれば撮像が１回で
済み、検査タクトを短縮することができるからである。
また、着色面側を反射暗視野照明で検査しようとした場
合、図８（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピンホー
ル欠陥では欠陥を検出できる照明角度が異なり自動検査
には適さない為、着色面側は正反射照明で行うべきであ
る。但し、必要に応じて、反射暗視野照明を併用しても
良い。

【０００８】本発明の自動検査装置においては、ビュー
ファインダー用カラーフイルターを着色面側を上にし
て、透明な保持板等の上に載せた状態で、カラーフイル
ターの表裏を照明し、撮像するもので、ビューファイン
ダー用カラーフイルターは、通常、保持板とともにＸＹ
駆動制御可能なステージ上にて位置制御される。本発明
の自動検査装置は、具体的には図４に示すように、光源
１０５からの光をハーフミラー１０８を介して、レンズ
１０３によりビューファインダー用カラーフイルター面
に垂直落射照明した光の正反射光像をレンズ１０３によ
りカメラ１０１に結像させる、照明手段を有するもので
あり、光源１０６からの光をハーフミラー１０９を介し
て、レンズ１０４によりビューファインダー用カラーフ
イルター面に垂直落射照明した光の透過明視野照明によ
る光をレンズ１０３によりカメラ１０１に結像させる透
過照明手段を有する。そして、光源１０７よりの透過暗
視野照明による回折光ないし散乱光をカメラ１０１にて
結像させ、且つ、光源１０７より反射暗視野照明による
散乱光をカメラ１０２にて結像させる、照明手段を有す
るものである。撮像手段としては、ＣＣＤ素子等の画素
分割素子を用いた撮像カメラで、特に、電子シャッター
を有し、露光時間の調整ができるものが好ましい。照明
手段の光源としては、キセノン光源等が挙げられるが、
特にこれに限定はされない。ビューファインダー用カラ
ーフイルターの非着色面側を反射暗視野照明し、同時に
ビューファインダー用カラーフイルターを透過暗視野照
明する光源としては、試料より大サイズの孔部を有する
環状（リング型）の光源が、反射暗視野照明、透過暗視
野照明いずれの照明にも適しており、この形状の場合、
第二光源よりの光を第一撮像手段と第二結像手段（レン
ズ系）との間にある第二ハーフミラーを介して、第二結
像手段（レンズ系）によりビューファインダー用カラー
フイルター面に垂直落射照明して、その透過光像を第一
結像手段（レンズ系）により第一撮像手段に結像させる
第二透過照明手段、第二撮像手段の配置、組合せを容易
にできる。通常、リング型のフアイバー光源を使用す
る。

【０００９】本発明のビューファインダー用カラーフイ
ルターの欠陥検査装置における画像処理装置は、撮像に
より得られた画像信号を、画素のＸ方向またはＹ方向に
一次微分ないし二次微分することにより、信号の変化を
得て欠陥を特定する等の強調処理を施し欠陥検出するも
のである。欠陥検出処理としては、透過照明および／ま
たは反射照明により照明して、第一、第二撮像手段（カ
メラ）にて撮像した映像信号が画像処理装置に入り、強
調処理等を施して欠陥が検出されるが、以下、欠陥検出
のための強調処理について一例を挙げ、図５にそって説
明する。説明を簡単にする為、試料を透過明視野照明し
て自動検査する場合、即ち、図４において、光源１０６
を点灯し、ビューファインダー用カラーフイルター１１
０の非着色面側から垂直照明し、撮像カメラ１０１で撮
像する場合についての画像処理について、図６を用いて
説明する。先ず、試料の同一箇所において複数回、撮像
手段によって撮像し、画像信号を得て、得られた複数回
分の画像信号を積算、平均処理する。これは、欠陥部を
含む箇所については、図６に示す（ａ）のような光透過
率分布をえるが、撮像装置からのビデオ信号は（ｂ）の
ように、パターンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によ
るゆるやかな信号変化（シエーデイング）とビデオ信号
回路で発生するランダムノイズ、および光学系に付着し
たゴミなどによる信号の局部的変化とが含まれた信号と
なってしまうことに対応するもので、同一箇所におい
て、複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得
て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理する
ものである。これにより（ｃ）のように、加算回数をＮ
とした場合には、ランダムノイズの比率は１／Ｎ^1/2 と
なる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示す
もので、Ｃは光学系に付着したゴミ等による信号の局部
的変化を示すものである。次いで、撮像する位置をわず
かにずらして、同様に積算、平均処理することにより、
信号（ｃ）をわずかに変位させた信号（ｄ）を得ること
ができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のよ
うになり、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）や撮
像する位置の移動により変化しない信号分が除去され
る。ここでは、光の透過率変化による信号分と低減され
たランダムノイズ成分だけが残るが、更に、この信号
（ｅ）について、近傍平均値の減算あるいは微分処理を
施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号変化（シエー
デイング）成分も除去され、結果として、得られた信号
（ｆ）は、欠陥部に相当する部分のみが局部的に変化し
ており、強調されていることが分かる。又、スライス処
理による２値化については、信号（ｆ）を所定のスライ
スレベルＳＬで処理するもので、欠陥部のみを判定し２
値化するものである。尚、図６の（ｅ）での欠陥部にお
ける信号の反転の順序によって、欠陥の種類（白欠陥、
黒欠陥）が識別できる。尚、ここでは、白欠陥とは、着
色パターン部のピンホールや絵柄欠けを言い、黒欠陥と
は、着色パターン部の所定の絵柄以外の余分な着色部分
または遮光部分を言っており、汚れやガラス部のキズも
黒欠陥として検出される。上記の処理は、試料着色面の
透過暗視野照明および正反射による撮像、さらに試料の
非着色面の反射暗視野照明によって得られた画像に対し
ても、前記透過明視野による撮像に対しても適用でき
る。

【００１０】上記画像処理における平滑可処理は、例え
ば、得られた画像データに対し、図７（ａ）に示すフイ
ルターを用いて積和算することにより行われる。尚、積
和算方法は、着目画素中央とした場合、図７（ｂ）に示
すフイルターを用いた画像データ群ｆ（ｘ_ij）の積和算
の結果、得られる画像データ群Ｆ（Ｘ_ij）は、図７
（ｃ）に示ようになる。また、微分処理は、例えば、平
滑可処理により得られた平滑化画像データを３画素分、
左へシフトさせ、シフトさせた画像データからシフト前
の画像データを各画素毎に減算することにより１次微分
画像データを得る そして、１次微分画像データを所定のスライスレベルで
２値化し、検査対象外の部分をマスキングして得ること
により、所定領域の欠陥のみを検出することができる。

【００１１】

【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検査装置は、このような構成にすることによ
り、全ての種類の外観欠陥検査を一度ででき、且つ、量
産にも対応できるものである。詳しくは、ＸＹステージ
を移動させることによって試料を視野に移動させ、透明
な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを
透過手段ないし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等
の観察手段と、透明な保持板上に複数載せられているビ
ューファインダー用カラーフイルターを出荷用容器に移
す移載手段と、ＸＹステージ、画像処理手段および移載
手段を関連づけて動作制御する制御手段とを備えてお
り、画像処理装置にて欠陥と判断されたビューファイン
ダー用カラーフイルターの箇所を顕微鏡等の観察手段に
て確認できるものとしている。そして、確認後良品と判
断されたもののみを移載手段にて出荷用容器に人手を介
さず移すことを可能としている。また、ＸＹステージ、
画像処理手段および移載手段を関連づけて動作制御する
制御手段を有していることにより、製造されたビューフ
ァインダー用カラーフイルターの自動化検査を可能とし
ている。そして、暗視野照明を使用することにより、高
い感度で検出することを可能としており、表裏にそれぞ
れ、照明手段、撮像手段を前述のように配設することに
より、表裏全体の欠陥を一度に検出できるようにしてい
る。また、リング型光源を用いることにより、着色面側
撮像手段への透過暗視野照明、非着色面側撮像手段への
反射暗視野照明を一つの光源にて達成し、且つ、着色面
側撮像手段へ透過明視野照明、撮像装置の配置をし易い
ものとし、全体をコンパクトにしている。

【００１２】

【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査装置の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１における装置概略図である。図１
中、１０１、１０２は撮像カメラ、１１０はビューファ
インダー用カラーフイルター、１３０は保持板、１４０
はＸ、Ｙステージ、１４１はＸ、Ｙステージ制御装置、
１５０は画像処理装置、１６０はホストコンピュータ
（制御部）、１６１はホストコンピュータ用モニタ、１
７０はロボット（移載装置）、１８０は情報記録媒体で
ある。本実施例装置においては、撮像カメラ１０１、１
０２で撮像されたビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０の画像は、画像処理装置１５０にて画像処理が
施され、欠陥が検出される。検査結果情報は、ホストコ
ンピュータ１６０を介して情報記録媒体１８０へ記録保
存されるとともに、ホストコンピュータ１６０はＸ、Ｙ
ステージ制御装置１４１に対して指令を送り、情報記録
媒体１８０の検査結果情報に基づき、試料の欠陥と判定
された箇所が観察手段の視野に入るようにＸ、Ｙステー
ジ１４０を制御する。観察者は、視野内を観察し、欠陥
と判定された箇所に本当に欠陥があるか否かを確認し擬
似欠陥を除く為、情報記録媒体１８０に記録されている
検査結果情報を必要な場合は訂正変更する。そして、情
報記録媒体１８０に記録されている検査結果情報にもど
づいて、ホストコンピュータ１６０は、被検査物である
ビューァインダー用カラーフイルター１１０が良品であ
るか不良品であるかという情報をロボット１７０へ送
る。

【００１３】図２は、試料であるビューァインダー用カ
ラーフイルター１１０を搬送トレイ１７１から保持板１
３０へ、保持板１３０から出荷用トレイ１７２へ移し替
えるロボット１７０の機能構成を示す。製造工程から持
ち込まれた試料であるビューァインダー用カラーフイル
ター１１０は、ロボット１７０により、搬送トレイ１７
１から保持板へ移し替えられる。ビューァインダー用カ
ラーフイルター１１０は、例えば、図３に示すように並
べられた状態で、順に欠陥検査が行われ、検査結果によ
り良品と判断されたもののみロボット１７０により人手
を介さずに保持板１３０から出荷用トレイ１７２へ移し
替えられる。

【００１４】図４は欠陥検出検査装置の欠陥検出部の概
略構成を示したものである。図４中、１０１、１０２は
撮像カメラ、１０３、１０４はレンズ、１０５、１０
６、１０７は光源、１１０はビューファインダー用カラ
ーフイルター、１０８、１０９はハーフミラー、１３０
は保持板、１５０は画像処理装置、１４０はＸＹステー
ジである。ビューファインダー用カラーフイルター１１
０は着色面を上にして保持板１３０の上に載っており、
保持板１３０はＸＹステージ１４０の上に載っている。
撮像カメラ１０１、１０２は露光時間可変のＣＣＤエリ
アセンサを使用した。レンズ１０３は試料ビューファイ
ンダー用カラーフイルター１１０の着色面の像が撮像カ
メラ１０１の受像面上に結像するように調整されてお
り、レンズ１０４は試料であるビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０の非着色面の像が撮像カメラ１０
２の受像面に結像するように調整されている。光源１０
５はハーフミラー１０８、レンズ１０３を介して、試料
であるビューファインダー用カラーフイルター１１０を
正反射照明する。光源１０６はハーフミラー１０９、レ
ンズ１０４を介して、試料であるビューファインダー用
カラーフイルター１１０を透過照明明する。光源１０７
はリング型ファイバー光源を使用しており、試料である
ビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過暗
視野照明および非着色面側を反射照明する。

【００１５】図５は、観察手段の概略構成を示した図で
ある。図５中、１１０はビューファインダー用カラーフ
イルター、１３０は保持板、１４０はＸ、Ｙステージ、
１６１はホストコンピュータ用モニタ、２０１は撮像カ
メラ、２１０はレンズ系（顕微鏡）、２２１、２２２は
光源である。先に述べた欠陥検出部とは異なる位置に観
察手段を設けており、欠陥検出により欠陥箇所と判断さ
れた箇所を情報記録媒体１８０に記録されている情報に
基づいて、レンズ系（顕微鏡）２１０を介して撮像され
た、撮像カメラ２０１の画像をホストコンピュータ用モ
ニタ１６１で観察するもので、観察により、擬似欠陥を
除くように、情報記録媒体１８０の欠陥検査情報を変更
する。

【００１６】本装置における撮像方法を以下簡単にのべ
る。試料であるビューファインダー用カラーフイルター
１１０を透過明視野照明して撮像する場合には、光源１
０６を点灯してハーフミラー１０９で反射させ、レンズ
１０４で集光してビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０を透過照明し、透過光をレンズ１０３で集光し
て撮像カメラ１０１の受光面上に結像させて撮像する。
ビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過暗
視野照明して撮像する場合には、光源１０７を点灯して
ビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過暗
視野照明し、ビューファインダー用カラーフイルター１
１０に微小白欠陥がある場合に回折光をレンズ１０３で
集光して撮像カメラ１０１の受光面上に結像させ撮像す
る。そして、ビューファインダー用カラーフイルター１
１０の着色面の正反射照明による撮像については、光源
１０５を点灯して、ハーフミラー１０８で反射、レンズ
１０３で集光して試料着色面を正反射照明し、反射光を
レンズ１０３により撮像カメラ１０１の受光面上に結像
させて撮像する。又、ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０の非着色面側の反射暗視野照明による撮像
は、光源１０７を点灯して試料非着色面を反射暗視野照
明し、試料の表面の凹凸による散乱光をレンズ１０４に
より撮像カメラ１０２の受光面上に結像させて撮像す
る。

【００１７】本装置における各種欠陥の検出方法を以下
簡単に説明する。試料であるビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０の全面を光源１０６にて透過照明、
光源１０７にて透過暗視野照明し、撮像カメラにて撮像
する。ビューファインダー用カラーフイルター１１０は
図８（イ）に示すように、一般には着色画素部、外周遮
光部、最外周透明部と大きく３領域に分けられ各領域に
より透過率が異なる為、ビューファインダー用カラーフ
イルター１１０の各領域の透過率に合わせ、カメラの電
子シヤッターにて露光時間を調整し、所望の領域毎に撮
影して所望の領域毎に欠陥を検出し、全域における欠陥
検出を行った。これにより着色面側の白欠陥、黒欠陥を
検出した。尚、欠陥の検出のための画像処理については
前述の通りである。次いで、光源１０５にてハーフミラ
ー１０８を介して、試料ビューファインダー用カラーフ
イルター１１０を直下落射照明し、反射光像をレンズ１
０３にて撮像カメラ１０１に結像し、欠陥検出をおこな
った。これにより着色面側の汚れ、キズ等の欠陥を検出
した。この場合の画像処理についても前述の通りであ
る。次いで、試料ビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０の全面を光源１０７にて透過照明反射暗視野照
明し、撮像カメラ１０２にてその散乱光を撮像すること
により欠陥検出をおこなった。これにより非着色面側、
主にガラス面の汚れ、キズ等の欠陥を検出した。以上よ
り、試料ビューファインダー用カラーフイルター４の全
種類の外観欠陥検査を本装置のみで、ほぼ一度に自動で
できた。尚、上記で光源１０５を点灯し、カメラ１０１
で反射光像、カメラ１０２で透過光像を撮像する場合は
並行して行う。

【００１８】

【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
査方法は、ビューファインダー用カラーフイルター表裏
の汚れ、傷等の外観欠陥の自動検査を可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例ビューファインダー用カラーフイルター
の欠陥検査装置の概略図

【図２】ロボット部の動作を説明するための図

【図３】ビューファインダー用カラーフイルターを保持
板上に並べた図

【図４】実施例ビューファインダー用カラーフイルター
の欠陥検査装置の欠陥検出部の概略構成図

【図５】観察手段の概略構成図

【図６】欠陥検出領域を限定する方法における強調処理
を説明するための図

【図７】フイルター図

【図８】ビューファインダー用カラーフイルター図

【符号の説明】

１０１、１０２ 撮像カメラ １０３、１０４ レンズ １０５、１０６、１０７ 光源 １１０ ビューファインダー用カラ
ーフイルター １０８、１０９ ハーフミラー １３０ 保持板 １４０ Ｘ、Ｙステージ １４１ Ｘ、Ｙステージ制御装置 １５０ 画像処理装置 １６０ ホストコンピュータ（制御
部） １６１ ホストコンピュータ用モニ
タ １７０ ロボット（移載装置） １８０ 情報記録媒体

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透過照明手段およびまたは反射照明手段
   を用いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上の透明な
   保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを撮
   像し、撮像により得られた信号を画像処理手段により画
   像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置で
   あって、ＸＹステージを移動させることによって試料を
   視野に移動させ、透明な保持板上のビューファインダー
   用カラーフイルターを透過ないし反射照明手段を用いて
   観察する顕微鏡等の観察手段と、透明な保持板上に複数
   載せられているビューファインダー用カラーフイルター
   を容器に移す移載手段と、ＸＹステージ、画像処理手段
   および移載手段を関連づけて動作制御する制御手段とを
   備えたことを特徴とするビューファインダー用カラーフ
   イルターの検査装置。
2. 【請求項２】 ビューファインダー用カラーフイルター
   の着色面側には、ビューファインダー用カラーフイルタ
   ーに対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第一撮
   像手段と、該第一撮像手段の受像面上にビューファイン
   ダー用カラーフイルターの像を結像させる第一結像手段
   と、ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直落
   射照明して、その正反射光像を第一結像手段により第一
   撮像手段に結像させる第一照明手段とを有し、ビューフ
   ァインダー用カラーフイルターの非着色面側には、ビュ
   ーファインダー用カラーフイルターに対向して、ＣＣＤ
   等の画素分割素子からなる第二撮像手段、該第二撮像手
   段の受像面上にビューファインダー用カラーフイルター
   の像を結像させる第二結像手段と、ビューファインダー
   用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その透過光
   像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる第二
   照明手段と、ビューファインダー用カラーフイルターの
   非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手段
   に結像させ、ビューファインダー用カラーフイルターを
   透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一撮像
   手段に結像させる第三照明手段とを有しており、且つ、
   画像処理手段が各撮像手段により、撮像された画像信号
   を画像処理することを特徴とする請求項１記載のビュー
   ファインダー用カラーフイルターの検査装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、第一照明手段が、第
   一光源よりの光を第一撮像手段と第一結像手段との間に
   ある第一ハーフミラーを介して、第一結像手段によりビ
   ューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明
   して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像手
   段に結像させる照明手段であることを特徴とするビュー
   ファインダー用カラーフイルターの検査装置。
4. 【請求項４】 請求項２において、第二照明手段が、第
   二光源よりの光を第二撮像手段と第二結像手段との間に
   ある第二ハーフミラーを介して、第二結像手段とよりビ
   ューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明
   して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像手段
   に結像させる照明手段であることを特徴とするビューフ
   ァインダー用カラーフイルターの検査装置。
5. 【請求項５】 請求項２において、第三照明手段が、リ
   ング型光源により、ビューファインダー用カラーフイル
   ターの非着色面側を反射暗視野照明し、ビューファイン
   ダー用カラーフイルターを透過暗視野照明するものであ
   ることを特徴とするビューファインダー用カラーフイル
   ターの検査装置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５において、画像処理手
   段により得られた試料の検査結果情報を保存するための
   情報記録媒体を備えており、ＸＹステージ、画像処理手
   段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手段に
   制御されていることを特徴とするビューファインダー用
   カラーフイルターの検査装置。
7. 【請求項７】 請求項６の情報記録媒体の試料の検査結
   果情報に基づき、制御手段が試料の欠陥と判定された箇
   所が観察手段の視野に入るようにＸ、Ｙステージを制御
   することを特徴とするビューファインダー用カラーフイ
   ルターの検査装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、情報記録媒体の試料
   の検査結果情報が、観察視野を観察した結果に応じて変
   更されることを特徴とするビューファインダー用カラー
   フイルターの検査装置。
9. 【請求項９】 請求項１ないし５における移載手段が、
   ビューファインダー用カラーフイルターを製造工程から
   搬出する際に用いる容器から透明な保持板に移し載せる
   ものであることを特徴とするビューファインダー用カラ
   ーフイルターの検査装置。
10. 【請求項１０】 請求項６ないし９における移載手段
    が、画像処理手段により得られた試料の検査結果情報な
    いし観察した結果に応じて変更された、記録媒体に保存
    してある検査結果情報にもとづいて、所定の試料のみを
    保持板から出荷用容器に移し載せるように制御手段によ
    り制御されていることを特徴とするビューファインダー
    用カラーフイルターの検査装置。