JPH0822794B2 - 結晶成長法 - Google Patents
結晶成長法Info
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- JPH0822794B2 JPH0822794B2 JP14999088A JP14999088A JPH0822794B2 JP H0822794 B2 JPH0822794 B2 JP H0822794B2 JP 14999088 A JP14999088 A JP 14999088A JP 14999088 A JP14999088 A JP 14999088A JP H0822794 B2 JPH0822794 B2 JP H0822794B2
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微小重力下における結晶の成長法に関し、ガ
スタービンなどに使用される高温材料、太陽熱発電など
に使用されるエネルギ変換材、半導体素材などのような
種々の結晶を微小重力下で結晶成長させる方法に関す
る。
スタービンなどに使用される高温材料、太陽熱発電など
に使用されるエネルギ変換材、半導体素材などのような
種々の結晶を微小重力下で結晶成長させる方法に関す
る。
従来の微小重力下における結晶成長法の一態様を第4
図〜第6図によつて説明する。
図〜第6図によつて説明する。
第4図はNi合金を温度勾配炉を用い、いわゆるブリツ
ジマン方式で微小重力(以下、μGと略す)下で製造す
る態様の説明図である。第4図において、1はアンプ
ル、2はカートリツジ、3は電気炉、4は冷却器であ
る。第5図は第4図の一部拡大図でアンプル1まわりの
説明図であり、Ni合金試料は先ず焼結法により円筒状に
固形化され、第5図に示すように、初期試料5としてア
ンプル1内に充填される。この時の試料5直径diはアン
プル1内径にできるだけ近い寸法とする。第4図に示す
ように、アンプル1は石英材を用い、更にセラミツクス
製のカートリツジ2に装填される。
ジマン方式で微小重力(以下、μGと略す)下で製造す
る態様の説明図である。第4図において、1はアンプ
ル、2はカートリツジ、3は電気炉、4は冷却器であ
る。第5図は第4図の一部拡大図でアンプル1まわりの
説明図であり、Ni合金試料は先ず焼結法により円筒状に
固形化され、第5図に示すように、初期試料5としてア
ンプル1内に充填される。この時の試料5直径diはアン
プル1内径にできるだけ近い寸法とする。第4図に示す
ように、アンプル1は石英材を用い、更にセラミツクス
製のカートリツジ2に装填される。
カートリツジ2及びアンプル1は電気炉3上に取り付
け、加熱により一旦全試料を溶融状態とする。その後ア
ンプル1を徐々に定速で右へ移動させる。右側には冷却
器4があるのでアンプル1右端から試料は凝固し始め
る。この状況を第6図に示す。この操作はμG下で行う
ので溶けた試料はアンプル1とほぼ同心の位置にあり、
体積収縮のため径dmはdiよりも小となつている。これが
凝固して右側の7のようになると再び体積増加して径ds
となり、ほぼ初期の径diと同程度となつて、アンプル1
内壁にほぼ密着する。
け、加熱により一旦全試料を溶融状態とする。その後ア
ンプル1を徐々に定速で右へ移動させる。右側には冷却
器4があるのでアンプル1右端から試料は凝固し始め
る。この状況を第6図に示す。この操作はμG下で行う
ので溶けた試料はアンプル1とほぼ同心の位置にあり、
体積収縮のため径dmはdiよりも小となつている。これが
凝固して右側の7のようになると再び体積増加して径ds
となり、ほぼ初期の径diと同程度となつて、アンプル1
内壁にほぼ密着する。
第6図に示すように溶融試料6は自由液面をもつた液
柱であり、かつ左側で加熱、右側で冷却されるため左右
の温度差がつく。このため左右の表面張力にも差がで
き、液が表面で左から右、内部で右から左に流れるよう
ないわゆる表面張力対流を生じる。
柱であり、かつ左側で加熱、右側で冷却されるため左右
の温度差がつく。このため左右の表面張力にも差がで
き、液が表面で左から右、内部で右から左に流れるよう
ないわゆる表面張力対流を生じる。
なお、μG下製造とは、宇宙空間での製造、あるいは
航空機、ロケツト等による無重力飛行時の製造を指す。
航空機、ロケツト等による無重力飛行時の製造を指す。
従来のμG下での結晶成長法では、前述した表面張力
対流のため、凝固界面で結晶構造が乱れ欠陥の多い結晶
となつて、品質の高いものが得られないという問題があ
つた。
対流のため、凝固界面で結晶構造が乱れ欠陥の多い結晶
となつて、品質の高いものが得られないという問題があ
つた。
本発明は上記技術水準に鑑み、μG下における表面張
力対流を防止または殆んど防止して品質の高い結晶を得
ることのできる結晶成長法を提供しようとするものであ
る。
力対流を防止または殆んど防止して品質の高い結晶を得
ることのできる結晶成長法を提供しようとするものであ
る。
本発明は、 (1) 円管状のアンプル内に固形の初期試料を充填
し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再凝
固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下において
行う方法において、該初期試料の外周にリング状のスペ
ーサを複数かつ間欠的に設けることを特徴とする結晶成
長法及び (2) 円管状のアンプル内に固形の初期試料を充填
し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再凝
固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下で行う方
法において、該初期試料とアンプルの間に操作温度では
非溶融性の微小粒子材を充填することを特徴とする結晶
成長法 である。
し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再凝
固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下において
行う方法において、該初期試料の外周にリング状のスペ
ーサを複数かつ間欠的に設けることを特徴とする結晶成
長法及び (2) 円管状のアンプル内に固形の初期試料を充填
し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再凝
固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下で行う方
法において、該初期試料とアンプルの間に操作温度では
非溶融性の微小粒子材を充填することを特徴とする結晶
成長法 である。
第1の発明においては、試料融解液の自由表面がスペ
ーサにより分断されることにより、個々の自由表面が小
さくなつて、各自由表面における両端温度差が小さくな
り、表面張力対流が減少し、このため対流の影響が少な
い状態で凝固が進むので品質のよい結晶が得られる。
ーサにより分断されることにより、個々の自由表面が小
さくなつて、各自由表面における両端温度差が小さくな
り、表面張力対流が減少し、このため対流の影響が少な
い状態で凝固が進むので品質のよい結晶が得られる。
第2の発明においては、試料溶融時に自由表面上に微
少粒子群が付着するため、表面張力対流が生じにくくな
り、対流のないまたは少ない状態のまゝで凝固が進むの
で品質のよい結晶が得られる。
少粒子群が付着するため、表面張力対流が生じにくくな
り、対流のないまたは少ない状態のまゝで凝固が進むの
で品質のよい結晶が得られる。
〔実施例1〕 第1の発明の実施態様の一つを第1図によつて説明す
る。第1図中、第4図と同一部位には同一符号を付して
ある。第1図(a)は初期試料の状態を示す。
る。第1図中、第4図と同一部位には同一符号を付して
ある。第1図(a)は初期試料の状態を示す。
スペーサ8は石英あるいはグラフアイト等の非溶融材
を小型の2分割リング状に成形し、これを初期試料5の
表面の円周上に間欠的に設けた溝の中に埋め込み、スペ
ーサ8外径と初期試料5外径とが殆んど等しくなるよう
に調整する。このように調整された初期試料5をアンプ
ル1に装填された状態が第1図(a)に示されている。
を小型の2分割リング状に成形し、これを初期試料5の
表面の円周上に間欠的に設けた溝の中に埋め込み、スペ
ーサ8外径と初期試料5外径とが殆んど等しくなるよう
に調整する。このように調整された初期試料5をアンプ
ル1に装填された状態が第1図(a)に示されている。
第1図(b)は結晶製造中の状態を示す。アンプル1
全体が加熱され、初期試料5は溶融試料6となつている
が、冷却端(右側)では一部凝固試料7が形成されつつ
ある。このとき、溶融による体積減少により初期試料5
は円柱状の液柱となり微小重力であるため全体がアンプ
ル1内面と遊離して自由表面を形成する。しかし、これ
は第1図(b)に示すようにリングがあるため、S1,S2,
・・・のように分割された自由表面となる。自由表面S1
を例にとると、自由表面S1はスペーサ8−1とスペーサ
8−2との間のみで連続した液面となる。スペーサ8−
1における液の温度とスペーサ8−2の温度との差は比
較的(第6図の場合にくらべ)小さいのでこれに基いて
発生する表面張力対流も僅小であり、第1図(b)に矢
印で流線を示したように表面近傍での小規模な対流にと
どまり、凝固界面にまで影響を及ぼすようなことにはな
り得ない。このため凝固して得られた結晶は良品質のも
のとなる。
全体が加熱され、初期試料5は溶融試料6となつている
が、冷却端(右側)では一部凝固試料7が形成されつつ
ある。このとき、溶融による体積減少により初期試料5
は円柱状の液柱となり微小重力であるため全体がアンプ
ル1内面と遊離して自由表面を形成する。しかし、これ
は第1図(b)に示すようにリングがあるため、S1,S2,
・・・のように分割された自由表面となる。自由表面S1
を例にとると、自由表面S1はスペーサ8−1とスペーサ
8−2との間のみで連続した液面となる。スペーサ8−
1における液の温度とスペーサ8−2の温度との差は比
較的(第6図の場合にくらべ)小さいのでこれに基いて
発生する表面張力対流も僅小であり、第1図(b)に矢
印で流線を示したように表面近傍での小規模な対流にと
どまり、凝固界面にまで影響を及ぼすようなことにはな
り得ない。このため凝固して得られた結晶は良品質のも
のとなる。
次に、第1の発明の実施態様の別の例を第2図によつ
て説明する。第2図は結晶製造中の状態を示す。第2図
においても、第4図と同一部位には同一符号を付してあ
る。
て説明する。第2図は結晶製造中の状態を示す。第2図
においても、第4図と同一部位には同一符号を付してあ
る。
リング状のスペーサ8は円筒状の初期試料5の外周に
複数個装着される。初期試料5溶融時には液はスペーサ
8内側とは密着したまま、スペーサ間の当初から空間で
あつた部分で更に空間が増すことになつて、S1,S2・・
・のような自由表面を形成する。これにより前例と同じ
作用が得られる。
複数個装着される。初期試料5溶融時には液はスペーサ
8内側とは密着したまま、スペーサ間の当初から空間で
あつた部分で更に空間が増すことになつて、S1,S2・・
・のような自由表面を形成する。これにより前例と同じ
作用が得られる。
更に別の態様として、第2図のスペーサの代りに図示
しないが、初期試料の外周に、多数の垂直方向の貫通孔
を有する円筒状体を被覆させても、上述したスペーサと
同様の効果を奏し得る。
しないが、初期試料の外周に、多数の垂直方向の貫通孔
を有する円筒状体を被覆させても、上述したスペーサと
同様の効果を奏し得る。
〔実施例2〕 第2の発明の実施態様を第3図によつて説明する。第
3図は結晶製造中の状態を示す。第3図中、第4図と同
一部位には同一符号を付してある。
3図は結晶製造中の状態を示す。第3図中、第4図と同
一部位には同一符号を付してある。
微粒子充填材9はAl2O3あるいはY2O3などのセラミツ
クス材で、このNi合金製造操作温度では溶融しない材料
からなるものである。微粒子の径は約0.2〜100μm程度
の範囲のものであり、これらを適当な充填率で初期試料
5の周囲に充填する。溶融試料6の処では試料6とアン
プル1の間隙が拡がるが、微粒子充填材9は液面上に付
着するため、液と固形粒子表面との間に界面張力が存在
することになり、したがつて表面張力は消滅することに
なる。固液間の界面張力は温度差によつて殆んど変らな
いため、溶融試料6左右で差がなく従つて液の移動は生
じ得ない。
クス材で、このNi合金製造操作温度では溶融しない材料
からなるものである。微粒子の径は約0.2〜100μm程度
の範囲のものであり、これらを適当な充填率で初期試料
5の周囲に充填する。溶融試料6の処では試料6とアン
プル1の間隙が拡がるが、微粒子充填材9は液面上に付
着するため、液と固形粒子表面との間に界面張力が存在
することになり、したがつて表面張力は消滅することに
なる。固液間の界面張力は温度差によつて殆んど変らな
いため、溶融試料6左右で差がなく従つて液の移動は生
じ得ない。
以上はNi合金を高温材として製造する場合を一例とし
て述べたが、この他にエネルギ変換材として用いる半導
体、あるいは電子材料、超電導材料など製造にも適用可
能であり、また、以上はブリツジマン法について述べた
が、この他に帯域溶融法についても同様に適用可能であ
る。
て述べたが、この他にエネルギ変換材として用いる半導
体、あるいは電子材料、超電導材料など製造にも適用可
能であり、また、以上はブリツジマン法について述べた
が、この他に帯域溶融法についても同様に適用可能であ
る。
本発明により表面張力対流が減少または全く回避でき
るため、高品質の結晶が得られる。
るため、高品質の結晶が得られる。
第1図,第2図は本発明の一実施例の説明図、第3図は
本発明の他の実施例の説明図、第4図〜第6図は従来法
の説明図である。
本発明の他の実施例の説明図、第4図〜第6図は従来法
の説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植屋 勝己 兵庫県神戸市兵庫区和田宮通7丁目1番14 号 西菱エンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】円管状のアンプル内に固形の初期試料を充
填し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再
凝固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下におい
て行う方法において、該初期試料の外周にリング状のス
ペーサを複数かつ間欠的に設けることを特徴とする結晶
成長法。 - 【請求項2】円管状のアンプル内に固形の初期試料を充
填し、これを加熱して一旦溶融させた後、冷却により再
凝固して所要の材料結晶を得る操作を微小重力下で行う
方法において、該初期試料とアンプルの間に操作温度で
は非溶融性の微小粒子材を充填することを特徴とする結
晶成長法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14999088A JPH0822794B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 結晶成長法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14999088A JPH0822794B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 結晶成長法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026380A JPH026380A (ja) | 1990-01-10 |
| JPH0822794B2 true JPH0822794B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=15487056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14999088A Expired - Lifetime JPH0822794B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 結晶成長法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822794B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01300043A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-12-04 | Japan Metal Gasket Co Ltd | 金属ガスケット |
| JPH0718112Y2 (ja) * | 1989-02-28 | 1995-04-26 | オプトニクス株式会社 | 自動販売機等の押釦式スイッチ装置 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP14999088A patent/JPH0822794B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026380A (ja) | 1990-01-10 |
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